JPH09133870A - 共焦点光スキャナ - Google Patents
共焦点光スキャナInfo
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- JPH09133870A JPH09133870A JP29228095A JP29228095A JPH09133870A JP H09133870 A JPH09133870 A JP H09133870A JP 29228095 A JP29228095 A JP 29228095A JP 29228095 A JP29228095 A JP 29228095A JP H09133870 A JPH09133870 A JP H09133870A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
- G02B21/0044—Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】第２の集光ディスクを挿入し、第１の集光ディ
スクのマイクロレンズのＮＡと対物レンズの後ろ側ＮＡ
を合わせ、像の倍率は変えないで分解能のみ上げる。 【解決手段】複数の微小開口を有するニポウディスク
と、複数の集光手段が形成された第１の集光ディスクを
有する共焦点光スキャナにおいて、前記微小開口の配置
と同じパターンの複数の集光手段が形成された第２の集
光ディスクを備え、この第２の集光ディスクを前記微小
開口と対物レンズの間に配置し、前記第１の集光ディス
クの集光手段の開口数と前記対物レンズの後ろ側の開口
数が合うように構成する。
スクのマイクロレンズのＮＡと対物レンズの後ろ側ＮＡ
を合わせ、像の倍率は変えないで分解能のみ上げる。 【解決手段】複数の微小開口を有するニポウディスク
と、複数の集光手段が形成された第１の集光ディスクを
有する共焦点光スキャナにおいて、前記微小開口の配置
と同じパターンの複数の集光手段が形成された第２の集
光ディスクを備え、この第２の集光ディスクを前記微小
開口と対物レンズの間に配置し、前記第１の集光ディス
クの集光手段の開口数と前記対物レンズの後ろ側の開口
数が合うように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、共焦点顕微鏡などに用
いるピンホール基板を走査する共焦点光スキャナにおけ
る分解能向上のための光学系の改善に関するものであ
る。
いるピンホール基板を走査する共焦点光スキャナにおけ
る分解能向上のための光学系の改善に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】共焦点顕微鏡に用いられる光スキャナで
あって、複数の微小開口（例えばピンホール）を有する
基板（以下ピンホールディスクという）が回転可能に組
み込まれた光スキャナについては、例えば米国特許第
３，９２６，５００号や、米国特許第４，９２７，２５
４号、米国特許第５，０６７，８０５号等に開示されて
いる。
あって、複数の微小開口（例えばピンホール）を有する
基板（以下ピンホールディスクという）が回転可能に組
み込まれた光スキャナについては、例えば米国特許第
３，９２６，５００号や、米国特許第４，９２７，２５
４号、米国特許第５，０６７，８０５号等に開示されて
いる。
【０００３】また、更にこの種の光スキャナに集光手段
（例えばマイクロレンズ）を付加した光スキャナについ
ては、例えば本願出願人による特許出願である特願平４
−１５４１１号（特開平５−６０９８０号）「共焦点用
光スキャナ」に開示されており、図４にこの種の共焦点
光スキャナを用いた共焦点顕微鏡の基本部分の原理構成
図を示す。
（例えばマイクロレンズ）を付加した光スキャナについ
ては、例えば本願出願人による特許出願である特願平４
−１５４１１号（特開平５−６０９８０号）「共焦点用
光スキャナ」に開示されており、図４にこの種の共焦点
光スキャナを用いた共焦点顕微鏡の基本部分の原理構成
図を示す。
【０００４】図４において、光スキャナ１０は、ディス
クユニット１１と、分岐光学系としてのビームスプリッ
タ１２と、ディスクユニット１１を一定速度で回転する
回転手段（モータ等）１３より構成されている。ディス
クユニット１１は、複数のピンホールＰＨが配設された
ピンホールディスク１１１と複数のマイクロレンズＭＬ
１が形成された集光ディスク１１２から構成されてい
る。なお、ピンホールディスク１１１と集光ディスク１
１２は、マイクロレンズの焦点位置にそれぞれピンホー
ルが配置されるように連結手段（例えばドラム：図示せ
ず）により連結されている。
クユニット１１と、分岐光学系としてのビームスプリッ
タ１２と、ディスクユニット１１を一定速度で回転する
回転手段（モータ等）１３より構成されている。ディス
クユニット１１は、複数のピンホールＰＨが配設された
ピンホールディスク１１１と複数のマイクロレンズＭＬ
１が形成された集光ディスク１１２から構成されてい
る。なお、ピンホールディスク１１１と集光ディスク１
１２は、マイクロレンズの焦点位置にそれぞれピンホー
ルが配置されるように連結手段（例えばドラム：図示せ
ず）により連結されている。
【０００５】ビームスプリッタ１２は、図示しない手段
により集光ディスク１１２とピンホールディスク１１１
の間に保持されている。このような構成において入射光
はマイクロレンズＭＬ１で絞られピンホールＰＨを通
り、対物レンズ２０で集束され試料３０に照射される。
試料３０からの戻り光は再び対物レンズ２０を通り、光
スキャナ１０のピンホールＰＨ上に集束し、ここに試料
表面の実像が得られる。ピンホールＰＨを通過した光は
ビームスプリッタ１２で反射し図示しない集光レンズを
通り、カメラ（図示せず）に入る。モータ１３を駆動し
てディスクユニット１１を回転させることにより、試料
３０の表面が光走査され、試料表面を画像としてカメラ
で観ることができる。
により集光ディスク１１２とピンホールディスク１１１
の間に保持されている。このような構成において入射光
はマイクロレンズＭＬ１で絞られピンホールＰＨを通
り、対物レンズ２０で集束され試料３０に照射される。
試料３０からの戻り光は再び対物レンズ２０を通り、光
スキャナ１０のピンホールＰＨ上に集束し、ここに試料
表面の実像が得られる。ピンホールＰＨを通過した光は
ビームスプリッタ１２で反射し図示しない集光レンズを
通り、カメラ（図示せず）に入る。モータ１３を駆動し
てディスクユニット１１を回転させることにより、試料
３０の表面が光走査され、試料表面を画像としてカメラ
で観ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成の共焦点顕微鏡では、マイクロレンズＭＬ１による
開口数（ＮＡ）と対物レンズによる後ろ側ＮＡは必ずし
も一致していない。マイクロレンズＭＬ１によるＮＡの
方が小さい（図示のようにマイクロレンズＭＬ１の開き
角ａ゜が対物レンズ２０の後ろ側の開き角ｂ゜より小さ
い）場合、マイクロレンズＭＬ１により決まるピンホー
ルの孔径（ピンホール径という）は対物レンズ２０の後
ろ側ＮＡにより決まるスポット径より大きい。
構成の共焦点顕微鏡では、マイクロレンズＭＬ１による
開口数（ＮＡ）と対物レンズによる後ろ側ＮＡは必ずし
も一致していない。マイクロレンズＭＬ１によるＮＡの
方が小さい（図示のようにマイクロレンズＭＬ１の開き
角ａ゜が対物レンズ２０の後ろ側の開き角ｂ゜より小さ
い）場合、マイクロレンズＭＬ１により決まるピンホー
ルの孔径（ピンホール径という）は対物レンズ２０の後
ろ側ＮＡにより決まるスポット径より大きい。
【０００７】このようにマイクロレンズのＮＡを対物レ
ンズによる後ろ側ＮＡよりも小さくした場合、次のよう
な利点がある。 (1) マイクロレンズの焦点距離を長くすることで視野を
大きくできる。 (2) マイクロレンズの配列ピッチを小さくすれば、ディ
スクの径が小さくできると共に光走査のピッチ（スキャ
ンピッチという）も小さくできる。
ンズによる後ろ側ＮＡよりも小さくした場合、次のよう
な利点がある。 (1) マイクロレンズの焦点距離を長くすることで視野を
大きくできる。 (2) マイクロレンズの配列ピッチを小さくすれば、ディ
スクの径が小さくできると共に光走査のピッチ（スキャ
ンピッチという）も小さくできる。
【０００８】しかしながら、上記の利点とは裏腹に次の
ような問題がある。 (1) マイクロレンズＭＬ１によるＮＡが対物レンズの後
ろ側ＮＡより小さいため、対物レンズのＮＡが生かされ
ず、試料３０上で光は絞りきれず面内分解能が悪くな
る。 (2) ピンホール径が試料３０から戻ってきた光のビーム
径より大きいため、試料の深さ方向の分解能が悪くな
る。
ような問題がある。 (1) マイクロレンズＭＬ１によるＮＡが対物レンズの後
ろ側ＮＡより小さいため、対物レンズのＮＡが生かされ
ず、試料３０上で光は絞りきれず面内分解能が悪くな
る。 (2) ピンホール径が試料３０から戻ってきた光のビーム
径より大きいため、試料の深さ方向の分解能が悪くな
る。
【０００９】(3) 対物レンズの後ろ側に合わせた小さな
ピンホール径にすると、マイクロレンズＭＬ１によって
絞られたビーム径の内部しかピンホールを通過できなく
なる。この場合、照明効率は低下し、かつはみ出した外
側の光はピンホール板の表面で反射し背景光として画像
に重なり、Ｓ／Ｎを悪化させる。 (4) ピンホールディスクと対物レンズの間に単レンズを
挿入すれば、その倍率によってピンホール径を変化させ
ることができるが、像の倍率も同時に変化してしまう。
ピンホール径にすると、マイクロレンズＭＬ１によって
絞られたビーム径の内部しかピンホールを通過できなく
なる。この場合、照明効率は低下し、かつはみ出した外
側の光はピンホール板の表面で反射し背景光として画像
に重なり、Ｓ／Ｎを悪化させる。 (4) ピンホールディスクと対物レンズの間に単レンズを
挿入すれば、その倍率によってピンホール径を変化させ
ることができるが、像の倍率も同時に変化してしまう。
【００１０】本発明の目的は、このような点に鑑み、ピ
ンホールディスクと同じパターンを持つ第２の集光ディ
スクをピンホールディスクと対物レンズの間に挿入する
ことにより第１の集光ディスクのマイクロレンズのＮＡ
と対物レンズの後ろ側ＮＡを合わせ、像の倍率は変えな
いで分解能のみ上げることのできる共焦点光スキャナを
提供することにある。なお、ここで「ＮＡを合わせ」と
は、両者のＮＡを同一にすることではなく、ＮＡを変換
する素子を介することにより、光の結合効率を向上させ
ることである。
ンホールディスクと同じパターンを持つ第２の集光ディ
スクをピンホールディスクと対物レンズの間に挿入する
ことにより第１の集光ディスクのマイクロレンズのＮＡ
と対物レンズの後ろ側ＮＡを合わせ、像の倍率は変えな
いで分解能のみ上げることのできる共焦点光スキャナを
提供することにある。なお、ここで「ＮＡを合わせ」と
は、両者のＮＡを同一にすることではなく、ＮＡを変換
する素子を介することにより、光の結合効率を向上させ
ることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、複数の微小開口を有するニポウデ
ィスクと、複数の集光手段が形成された第１の集光ディ
スクと、前記複数の集光手段の焦点位置に前記微小開口
がそれぞれ配置されるように前記ニポウディスクと集光
ディスクを連結する連結手段から成るディスクユニット
と、このディスクユニットを回転させる回転手段と、前
記集光ディスクとニポウディスクとの間に設置された分
岐光学系とを備え、前記微小開口を通過した照射光を対
物レンズを介して試料に照射し、試料面を光走査する共
焦点光スキャナにおいて、前記微小開口の配置と同じパ
ターンの複数の集光手段が形成された第２の集光ディス
クを備え、この第２の集光ディスクを前記微小開口と対
物レンズの間に配置し、前記第１の集光ディスクの集光
手段の開口数と前記対物レンズの後ろ側の開口数が合う
ように構成したことを特徴とする。
るために本発明では、複数の微小開口を有するニポウデ
ィスクと、複数の集光手段が形成された第１の集光ディ
スクと、前記複数の集光手段の焦点位置に前記微小開口
がそれぞれ配置されるように前記ニポウディスクと集光
ディスクを連結する連結手段から成るディスクユニット
と、このディスクユニットを回転させる回転手段と、前
記集光ディスクとニポウディスクとの間に設置された分
岐光学系とを備え、前記微小開口を通過した照射光を対
物レンズを介して試料に照射し、試料面を光走査する共
焦点光スキャナにおいて、前記微小開口の配置と同じパ
ターンの複数の集光手段が形成された第２の集光ディス
クを備え、この第２の集光ディスクを前記微小開口と対
物レンズの間に配置し、前記第１の集光ディスクの集光
手段の開口数と前記対物レンズの後ろ側の開口数が合う
ように構成したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】第２の集光ディスクをピンホールディスクと対
物レンズの間に挿入し、第１の集光ディスクの集光手段
のＮＡと対物レンズの後ろ側ＮＡを合わせる。これによ
り像の倍率は変えないで、分解能を上げることができ
る。
物レンズの間に挿入し、第１の集光ディスクの集光手段
のＮＡと対物レンズの後ろ側ＮＡを合わせる。これによ
り像の倍率は変えないで、分解能を上げることができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実
施例を示す構成図である。なお、図４と同等部分には同
一符号を付し、その部分の説明は省略する。図１におい
て、４０はピンホールディスク１１１の微小開口の配置
と同じパターンでマイクロレンズＭＬ２（集光手段）が
形成された第２の集光ディスクである。なお、集光ディ
スク１１２を第１の集光ディスクと呼ぶ。この第２の集
光ディスク４０はピンホールディスク１１１および第１
の集光ディスク１１２と連結され、モータ１３の駆動に
より３枚のディスクが一体に回転するようになってい
る。
説明する。図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実
施例を示す構成図である。なお、図４と同等部分には同
一符号を付し、その部分の説明は省略する。図１におい
て、４０はピンホールディスク１１１の微小開口の配置
と同じパターンでマイクロレンズＭＬ２（集光手段）が
形成された第２の集光ディスクである。なお、集光ディ
スク１１２を第１の集光ディスクと呼ぶ。この第２の集
光ディスク４０はピンホールディスク１１１および第１
の集光ディスク１１２と連結され、モータ１３の駆動に
より３枚のディスクが一体に回転するようになってい
る。
【００１４】このような構成において、入射光は第１の
集光ディスク１１２のマイクロレンズＭＬ１によりピン
ホールディスク１１１のピンホールへ絞られ、ピンホー
ルを通過した光は第２の集光ディスク４０のマイクロレ
ンズＭＬ２で対物レンズ２０の後ろ側焦点位置（中間像
面）に結像する。この場合、マイクロレンズＭＬ２はマ
イクロレンズＭＬ１のＮＡと対物レンズ２０の後ろ側Ｎ
Ａを一致させるリレー系となる。入射光は試料３０上に
対物レンズ２０のＮＡで集光する。
集光ディスク１１２のマイクロレンズＭＬ１によりピン
ホールディスク１１１のピンホールへ絞られ、ピンホー
ルを通過した光は第２の集光ディスク４０のマイクロレ
ンズＭＬ２で対物レンズ２０の後ろ側焦点位置（中間像
面）に結像する。この場合、マイクロレンズＭＬ２はマ
イクロレンズＭＬ１のＮＡと対物レンズ２０の後ろ側Ｎ
Ａを一致させるリレー系となる。入射光は試料３０上に
対物レンズ２０のＮＡで集光する。
【００１５】試料からの戻り光は同じ光路を通り、ピン
トの合った面では丁度ピンホールＰＨの径に絞られてピ
ンホールに入射する。例えば、ａ：ｂ＝１：２（ａはマ
イクロレンズＭＬ１の開き角、ｂは対物レンズ２０の後
ろ側の開き角）のときは、Ｄa ：Ｄb ＝２：１（Ｄa は
ピンホール位置でのビーム径、Ｄb は中間像面でのビー
ム径）となる。つまり、マイクロレンズＭＬ２によりピ
ンホール上の像を中間像面に１／２に縮小する光学系と
なっている。なお、隣接ピンホールからの入射光がマイ
クロレンズＭＬ２に入ったとしても図２に示すように横
に進み、対物レンズには入らない。
トの合った面では丁度ピンホールＰＨの径に絞られてピ
ンホールに入射する。例えば、ａ：ｂ＝１：２（ａはマ
イクロレンズＭＬ１の開き角、ｂは対物レンズ２０の後
ろ側の開き角）のときは、Ｄa ：Ｄb ＝２：１（Ｄa は
ピンホール位置でのビーム径、Ｄb は中間像面でのビー
ム径）となる。つまり、マイクロレンズＭＬ２によりピ
ンホール上の像を中間像面に１／２に縮小する光学系と
なっている。なお、隣接ピンホールからの入射光がマイ
クロレンズＭＬ２に入ったとしても図２に示すように横
に進み、対物レンズには入らない。
【００１６】以上のような構成により、ＮＡとビーム径
の両方を同時に変換し、マイクロレンズ側と対物レンズ
側からの要求を効率よく一致させることができる。
の両方を同時に変換し、マイクロレンズ側と対物レンズ
側からの要求を効率よく一致させることができる。
【００１７】なお、本発明はその本質から逸脱せずに多
くの変更あるいは変形をなし得る。例えば図３に示すよ
うに、ピンホールＰＨとマイクロレンズＭＬ２を同一デ
ィスク１１１ａに形成した構成としてもよい。また、微
小開口としてはピンホールに限定されず楕円その他の形
の孔でもよい。なお、このような微小開口を有する基板
は通常ニポウディスクと呼ばれている。
くの変更あるいは変形をなし得る。例えば図３に示すよ
うに、ピンホールＰＨとマイクロレンズＭＬ２を同一デ
ィスク１１１ａに形成した構成としてもよい。また、微
小開口としてはピンホールに限定されず楕円その他の形
の孔でもよい。なお、このような微小開口を有する基板
は通常ニポウディスクと呼ばれている。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果がある。 (1) マイクロレンズＭＬ１のＮＡと対物レンズ２０の後
ろ側ＮＡをマイクロレンズＭＬ２のリレー系で合わせる
ことができ、対物レンズ２０のＮＡが有効に利用でき横
方向および深さ方向の分解能が向上する。 (2) マイクロレンズＭＬ１のＮＡのビーム径でピンホー
ル径が選択でき、このとき光利用効率は低下せず、ピン
ホール面の反射光も増加しない。 (3) マイクロレンズＭＬ２により個々のＮＡをリレーす
るため、倍率の変化はない。
のような効果がある。 (1) マイクロレンズＭＬ１のＮＡと対物レンズ２０の後
ろ側ＮＡをマイクロレンズＭＬ２のリレー系で合わせる
ことができ、対物レンズ２０のＮＡが有効に利用でき横
方向および深さ方向の分解能が向上する。 (2) マイクロレンズＭＬ１のＮＡのビーム径でピンホー
ル径が選択でき、このとき光利用効率は低下せず、ピン
ホール面の反射光も増加しない。 (3) マイクロレンズＭＬ２により個々のＮＡをリレーす
るため、倍率の変化はない。
【図１】本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示
す構成図
す構成図
【図２】隣接ピンホールからの入射光の影響を説明する
ための図
ための図
【図３】本発明の他の実施例構成図
【図４】従来の共焦点顕微鏡の光スキャナ部分の原理構
成図である。
成図である。
１０ 光スキャナ １１ ディスクユニット １２ ビームスプリッタ １３ モータ ２０ 対物レンズ ３０ 試料 ４０ 第２の集光ディスク １１１，１１１ａ ピンホールディスク １１２ 第１の集光ディスク ＭＬ１，ＭＬ２ マイクロレンズ ＰＨ ピンホール
Claims (3)
- 【請求項１】複数の微小開口を有するニポウディスク
と、複数の集光手段が形成された第１の集光ディスク
と、前記複数の集光手段の焦点位置に前記微小開口がそ
れぞれ配置されるように前記ニポウディスクと集光ディ
スクを連結する連結手段から成るディスクユニットと、
このディスクユニットを回転させる回転手段と、前記集
光ディスクとニポウディスクとの間に設置された分岐光
学系とを備え、前記微小開口を通過した照射光を対物レ
ンズを介して試料に照射し、試料面を光走査する共焦点
光スキャナにおいて、 前記微小開口の配置と同じパターンの複数の集光手段が
形成された第２の集光ディスクを備え、この第２の集光
ディスクを前記微小開口と対物レンズの間に配置し、前
記第１の集光ディスクの集光手段の開口数と前記対物レ
ンズの後ろ側の開口数が合うように構成したことを特徴
とする共焦点光スキャナ。 - 【請求項２】前記第２の集光ディスクは、前記ニポウデ
ィスクと集光ディスクに連結し、前記回転手段により一
体に回転するように構成されたことを特徴とする請求項
１記載の共焦点光スキャナ。 - 【請求項３】前記ニポウディスクと前記第２の集光ディ
スクが一体化された構造であることを特徴とする請求項
１記載の共焦点光スキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228095A JP3159006B2 (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 共焦点光スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228095A JP3159006B2 (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 共焦点光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09133870A true JPH09133870A (ja) | 1997-05-20 |
| JP3159006B2 JP3159006B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17779716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29228095A Expired - Fee Related JP3159006B2 (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 共焦点光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3159006B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1359452A1 (de) * | 2002-05-03 | 2003-11-05 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Konfokales Mikroskop mit zwei Mikrolinsenarrays und einem Lochblendenarray |
| US7706043B2 (en) * | 2007-02-27 | 2010-04-27 | Till I.D. Gmbh | Device for confocal illumination of a specimen |
| WO2014114702A1 (de) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und mikroskopieverfahren |
| EP2871511A1 (en) * | 2013-11-12 | 2015-05-13 | Intelligent Imaging Innovations, Inc. | Spinning disk confocal using paired microlens disks |
| JP2015152836A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 横河電機株式会社 | 共焦点光スキャナ |
| JP2016110056A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | 横河電機株式会社 | 共焦点スキャナ、共焦点顕微鏡 |
| JP2016212154A (ja) * | 2015-04-30 | 2016-12-15 | オリンパス株式会社 | 走査型顕微鏡システム |
| DE102022108448B3 (de) | 2022-04-07 | 2023-05-04 | Till I.D. Gmbh | Superauflösende Mikroskopvorrichtung mit rotierender Scheibe |
-
1995
- 1995-11-10 JP JP29228095A patent/JP3159006B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP4258036A1 (en) | 2022-04-07 | 2023-10-11 | Till I.D. GmbH | Spinning disk microscope device with potentially enhanced image resolution |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3159006B2 (ja) | 2001-04-23 |
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