JP2000046613A

JP2000046613A - コリオリ質量流量計

Info

Publication number: JP2000046613A
Application number: JP21317498A
Authority: JP
Inventors: Norikazu Osawa; 紀和大沢
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1998-07-28
Filing date: 1998-07-28
Publication date: 2000-02-18

Abstract

(57)【要約】【課題】安定性、精度、耐振性が向上されるコリオリ
質量流量計を実現する。【解決手段】上流側固定端と下流側固定端とを結ぶ直
線を基準軸として振動する振動チューブと、基準軸に平
行して設けられ両端が振動チューブの両端側にそれぞれ
固定支持される補償体と、振動チューブを固定端近傍で
は基準軸回りのねじれが主体となるように励振すると共
に補償体をこの補償体の振動が基準軸と同じ軸あるいは
この基準軸と平行な軸を中心に回転するねじれ振動であ
り且つ振動チューブの振動とは逆位相で振動チューブと
補償体との連結部では逆位相で振動することにより基準
軸回りのねじれ振動が互いに打ち消し合い発生する振動
を削減するように励振する励振手段とを具備したことを
特徴とするコリオリ質量流量計である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリ質量流量
計の内部の、振動チューブの振動を外に漏らさないよう
にすることと、外部からの振動ノイズや応力の影響を受
け難くすることによって、安定性、精度、耐振性が向上
されたコリオリ質量流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４３は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成説明図で、例えば、特開平６−１０９５
１２号の従来例に示されている。図において、振動チュ
ーブ１はフランジ２に、両端が取付けられている。フラ
ンジ２は管路Ａへ振動チューブ１を取付けるためのもの
である。

【０００３】励振器３は、振動チューブ１の中央部に設
けられている。振動検出センサ４，５は振動チューブ１
の両側にそれぞれ設けられている。ハウジング６は、振
動チューブ１の両端が固定されている。

【０００４】以上の構成において、振動チューブ１に測
定流体が流され、励振器３が駆動される。励振器３の振
動方向の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以
下『』で囲まれた記号はベクトル量を表す。）とする
と、

【０００５】Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。

【０００６】図４４は従来より一般に使用されている他
の従来例の構成説明図である。本従来例では、振動チュ
ーブ１を２管式にしたものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図４３のような一般的
な１本直管式コリオリ質量流量計では、振動チューブ１
を両端で固定しているが、限られた大きさの流量計では
端点を完全固定にすることはできず、わずかに振動して
しまう。

【０００８】振動が発生する理由として、以下の原因が
考えられる。内部を流体が流れる振動チューブ１を、図
４５のように変形（近似的に１次モード共振状態）させ
ると、変形によりチューブの長さが長くなるので、振動
チューブの軸方向に引っ張り応力が発生する。

【０００９】例えば、ステンレスのφ９.６×０.９１
t、４００Ｌの振動チューブ１の、中央部分を１ｍｍ変
形させると、図４５のように軸方向に７.５kgfの大きさ
の引っ張り力が発生する。

【００１０】振動チューブ１を１次の共振モードで励振
させた場合、プラスとマイナスの変形最大の時に、引っ
張り力も最大になり、変形のない基本形状の時は、引っ
張り力は最小でゼロである。

【００１１】励振振動の１周期中に、引っ張り力は最
大、最小を２回繰り返す。すなわち、振動チューブ１の
軸方向の引っ張り力は、励振周波数の２倍の周波数で発
生する。

【００１２】結局、端点を完全固定状態にして、振動を
完全に絶縁することは困難である。この場合、大きく分
けて、問題は２つある。

【００１３】一つは、外部からの影響を受けやすいこと
である。すなわち、流量計外部から、配管振動や、配管
応力が加わった場合に、コリオリ質量流量計のハウジン
グ（筐体）６では、その影響を受け止めきれず、内部の
振動チューブ１に外部振動や、応力が加わり、振動チュ
ーブ１の振動状態が変化し、出力揺動や、ゼロ点変化等
の誤差になって現れてしまう。

【００１４】もう一つは、内部の振動チューブ１の振動
が、外部配管に漏れてしまうことである。振動が外に漏
れ、振動絶縁が不十分になると以下のような問題が発生
する。

【００１５】振動絶縁が不十分であると、（１）Ｑ値が低くなるので、内部の振動が不安定にな
り、励振振動以外の余計な振動ノイズの影響を受けやす
くなる。（２）励振に大きなエネルギーが必要になり、消費電力
が増加する。

【００１６】（３）設置方法や、配管応力、温度等の環
境変化や外的要因により、振動の漏れ程度も大きく変わ
り、振動チューブ１の振動状況も変化し、零点やスパン
が変化しやすくなる。すなわち、これらの環境変化や外
的要因に対し、不安定で、耐振性、精度が悪いコリオリ
流量計になりがちである。

【００１７】一方、図４４従来例では、２本の振動チュ
ーブ１が互いに反対方向に振動することで、分岐部で力
が打ち消しあって、図４６，４７に示す如く、音叉の原
理により振動が外に漏れにくい構造となつている。しか
し、分岐点の無い振動チューブ１本の構造は取れなくな
る。

【００１８】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、コリオリ質量流量計の内部の、振
動チューブの振動を外に漏らさないようにすることと、
外部からの振動ノイズや応力の影響を受け難くすること
によって、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ
質量流量計を提供するにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、（１）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、上流側固定端と下流側固定端とを
結ぶ直線を基準軸として振動する振動チューブと、前記
基準軸に平行して設けられ両端が前記振動チューブの両
端側にそれぞれ固定支持される補償体と、前記振動チュ
ーブを前記固定端近傍では前記基準軸回りのねじれが主
体となるように励振すると共に前記補償体をこの補償体
の振動が前記基準軸と同じ軸あるいはこの基準軸と平行
な軸を中心に回転するねじれ振動であり且つ前記振動チ
ューブの振動とは逆位相で前記振動チューブと前記補償
体との連結部では逆位相で振動することにより前記基準
軸回りのねじれ振動が互いに打ち消し合い発生する振動
を削減するように励振する励振手段とを具備したことを
特徴とするコリオリ質量流量計。（２）前記励振手段として、一端が前記振動チューブに
接続され他端が前記補償体に接続された励振器を具備し
たことを特徴とする（１）記載のコリオリ質量流量計。（３）前記励振手段として、前記振動チューブを励振す
る第１の励振器と、前記補償体を励振する第２の励振器
とを具備したことを特徴とする（１）又は（２）記載の
コリオリ質量流量計。（４）前記補償体として、外部からの配管応力や振動ノ
イズが加わった場合に補償体や振動チューブの形状変化
が発生しないように十分に高い剛性を有する補償体を具
備したことを特徴とする（１）乃至（３）の何れかに記
載のコリオリ質量流量計。（５）前記振動チューブとして、前記上流側固定端と前
記下流側固定端から等距離の中線に線対称であって少な
くとも１個の緩やかな曲部を有し前記上流側固定端と前
記下流側固定端とを結ぶ直線を基準軸としてこの基準軸
の各点からそれぞれ所定距離の円周線上あるいはその近
傍で単振動をする一本の振動チューブを具備したことを
特徴とする（１）乃至（４）の何れかに記載のコリオリ
質量流量計。（６）前記基準軸あるいは前記振動チューブに直交し一
端がこの振動チューブに固定され他端が前記基準軸に対
して前記振動チューブと反対側に配置され且つ前記中線
に対称な位置に少なくとも２個配置された板状の振動体
を具備し、前記振動チューブの質量分布と形状と剛性
と、前記振動体の質量分布と形状と剛性と間隔とを調整
して定常励振状態の前記振動チューブの両端連結部に発
生する力を前記基準軸周りのねじれ成分のみにして励振
器による加振力に起因する前記基準軸に直交する成分が
生じ無いようにされたことを特徴とする（１）乃至
（５）の何れかに記載のコリオリ質量流量計。（７）前記基準軸あるいは前記振動チューブに直交し一
端がこの振動チューブに固定され他端が前記基準軸に対
して前記振動チューブと反対側に配置された板状の振動
体と、前記振動体の他端に設けられた振動検出センサと
を具備したことを特徴とする（１）乃至（６）の何れか
に記載のコリオリ質量流量計。（８）前記振動チューブを２次モード以上の高次の振動
モードで励振する励振器を具備したことを特徴とする
（１）乃至（７）の何れかに記載のコリオリ質量流量
計。（９）前記上流側固定端と前記下流側固定端と前記補償
体との間の前記振動チューブに設けられ前記基準軸の方
向の伸縮と前記基準軸回りの回転振動を吸収する柔構造
部を具備したことを特徴とする（１）乃至（８）の何れ
かに記載のコリオリ質量流量計。を構成したものである。

【００２０】

【作用】以上の構成において、振動チューブに測定流体
が流され、励振器が駆動されると、コリオリ力が働く、
このコリオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質
量流量が測定出来る。

【００２１】而して、非励振時の初期状態では、振動チ
ューブは基準軸上に、完全な直管として存在する。

【００２２】励振器が作動することにより、引っ張りの
バイアス成分が加わり、基準軸の位置から所定半径の位
置に移動する。励振中の振動チューブは、単振動を行
う。

【００２３】この結果、振動チューブと、補償体とは、
基準軸に関して、互いに逆回転の振動が発生する。振動
チューブと補償体とは、結合されている連結部で、逆方
向に力が働き合い、互いに打ち消し合って、振動の節を
形成する。

【００２４】基準軸の回りの回転成分も抑えることがで
きるので、振動絶縁性を高めることができる。以下、実
施例に基づき詳細に説明する。

【００２５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図で、請求項１と請求項２の一実施例である。
図２は図１のＡーＡ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面
図、図４，図５は図１の動作説明図である。図におい
て、図４３と同一記号の構成は同一機能を表わす。以
下、図４３と相違部分のみ説明する。

【００２６】振動チューブ１１は、上流側固定端１２と
下流側固定端１３とを結ぶ直線を基準軸１４として振動
する。補償体１５は、基準軸１４に平行して設けられ、
両端が振動チューブ１１の両端部にそれぞれ連結部１
６，１７で連結固定されている。

【００２７】励振器３は、この場合は、一端が振動チュ
ーブ１１に接続され、他端が補償体１５に接続されてい
る。作用反作用により、振動チューブ１１と補償体１５
とが、お互いに、反対方向の力を受けるように構成され
ている。

【００２８】本実施例では、図２のＹ方向と、Ｚ方向に
同時に２方向に加振が可能な様に、２組の励振器３が配
置されている。励振器３は、振動チューブ１１を励振
し、連結部１６，１７の近傍では、基準軸１４回りのね
じれが、主体となるように励振する。

【００２９】また、励振器３は、補償体１５の振動が、
基準軸１４と同じ軸、あるいはこの基準軸１４と平行な
軸を、中心に回転するねじれ振動となるように、補償体
１５を励振する。

【００３０】補償体１５の振動は、振動チューブ１１の
振動とは逆位相で、振動チューブ１１と補償体１５の連
結部１６，１７では、逆位相で振動することにより、基
準軸１４回りのねじれ振動が、互いに打ち消し合い、発
生する振動を、大幅に削減する。

【００３１】振動検出センサ４，５は、振動チューブ１
１の振動を検出する。本実施例では、図３のＹ方向と、
Ｚ方向の同時に２方向の振動を検出できる様に、それぞ
れ２組の振動検出センサ４，５が配置されている。

【００３２】以上の構成において、非励振時の初期状態
では、振動チューブ１１は基準軸１４上に、完全な直管
として存在する。初期状態では、図４，図５に示す如
く、Ａの位置に振動チューブ１１は存在する。

【００３３】励振器３が作動することにより、引っ張り
のバイアス成分が加わり、基準軸１４の位置から半径Ｒ
の位置に移動する。励振中の振動チューブ１１は、Ｂ→
Ｃ→Ｄ→Ｃ→Ｂ→Ｃ→Ｄ（繰り返し）の様に位置を変え
ていく。

【００３４】この結果、振動チューブ１１と、補償体１
５とは、基準軸１４に関して、互いに逆回転の振動が発
生する。振動チューブ１１と補償体１５とは、結合され
ている連結部１６，１７で、逆方向に力が働き合い、互
いに打ち消し合って、振動の節を形成する。

【００３５】基準軸１４の回りの回転成分も抑えること
ができるので、振動絶縁性を高めることができる。この
ように、振動絶縁を高めることで、以下のような利点を
発揮する。

【００３６】（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外
部ノイズが加わっても、その影響が相対的に少なく、振
動が安定なので、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流
量計が得られる。

【００３７】（２）少ないエネルギで、安定した励振を
実現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得
られる。

【００３８】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
ので、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が
実現できる。

【００３９】また、（４）励振器３を、振動チューブ１１と補償体１５との
間に設置することで、振動チューブ１１と補償体１５と
の両方を、互いに、逆位相で振動させる事が可能にな
る。振動チューブ１１と補償体１５との、各々用の励振
器３を、１個にまとめることができるので、構成が簡単
になり、低コストなコリオリ質量流量計が得られる。

【００４０】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図で、請求項３の一実施例である。図７は図６の動作説
明図である。本実施例においては、振動チューブ２１
は、振動チューブ両端の固定端１２，１３付近では、振
動チューブは基準軸１４上に存在する。

【００４１】励振手段として、振動チューブ２１を励振
する第１の励振器３１と、補償体１５を励振する第２の
励振器３２とが使用されている。この場合は、第１の励
振器３１と第２の励振器３２とは、ハウジング６に支持
されている。

【００４２】以上の構成において、図７は、振動チュー
ブ２１の振動の様子を示す動作説明図である。励振振動
に伴い、点線Ｅ，Ｆと矢印Ｇ，Ｈで示したように、振動
チューブ１１及び、補償振動体１５は振動をする。

【００４３】振動チューブ１１と、補償体１５とは、そ
の両側の連結部１６，１７付近では、基準軸１４周りの
ねじれ振動だが、お互いに逆回りであり、その連結部１
６，１７では、振動はキャンセルされる。

【００４４】この結果、（１）振動チューブ１１の加振と、補償体１５の加振と
を、第１、第２の励振器３１，３２を用いて別々に加振
する様にしたので、より細かな振動の制御が可能にな
る。

【００４５】（２）振動チューブ１１と、補償体１５の
共振周波数が異なっても、個々に、位相の異なる加振を
行うことで、複雑な共振周波数設計を行わなくとも、振
動の節を容易に実現出来、安価なコリオリ質量流量計が
得られる。

【００４６】図８は本発明の他の実施例の要部構成説明
図で、請求項４の一実施例である。図９は図８の側面図
である。本実施例においては、外部配管と接続の為のフ
ランジ２は省略されている。

【００４７】本実施例においては、補償体４１として、
外部からの配管応力や振動ノイズが加わった場合に、補
償体４１や振動チューブ２１の形状変化が発生しないよ
うに十分に高い剛性を有する補償体を使用したものであ
る。

【００４８】この結果、十分に大きな剛性を持つ、補償
体４１を有しているので、外部から応力や、振動ノイズ
が加わっても、補償体４１内部の振動チューブ２１にそ
の影響を伝えず、安定した励振を続けることができる。
すなわち、外部から応力や振動の影響を受けにくい、安
定して高精度なコリオリ質量流量計が得られる。

【００４９】なお、本実施例においては、励振手段３と
検出手段４、５として、振動チューブ２１、或いは、補
償体４１の一方に設けられた電磁コイル３０１，４０
１，５０１と、振動チューブ２１、或いは補償体４１の
他方に設けられたマグネット３０２，４０２，５０２と
が使用されている。

【００５０】この場合は、振動チューブ２１に励振コイ
ル３０１、センサーコイル４０１，５０１が設置され、
補償振動体１５に励振マグネット３０２、センサーマグ
ネット４０２、５０２が設置されている。

【００５１】以上の構成において、励振器３のコイル３
０１とマグネット３０２とが反発するときには、図９に
示す如く、振動チューブ２１は、矢印Ｉのように、基準
軸１４を中心に右回りのねじれが発生し、補償振動体１
５は、矢印Ｊのように、基準軸１４を中心に左回りのね
じれが発生する。

【００５２】お互いに反対回転のねじりなので、その結
合部である連結部１６，１７では、力が打ち消し合い、
振動の節のように振動が発生しない。

【００５３】この結果、励振器３を振動チューブ２１
と、補償体１５との間に設置することで、振動チューブ
２１と、補償体１５の両方を、互いに逆位相で振動させ
ることができる。

【００５４】図１０は本発明の他の実施例の要部構成説
明図で、請求項５の一実施例である。図１１，図１２，
図１３は図１０の動作説明図である。

【００５５】本実施例においては、振動チューブ５１
は、上流側固定端１２と下流側固定端１３から等距離の
中線５２に線対称であって、少なくとも１個の緩やかな
曲部５３を有する。

【００５６】そして、振動チューブ５１は、上流側固定
端１２と下流側固定端１３とを結ぶ直線を基準軸１４と
して、この基準軸１４の各点からそれぞれ所定距離の円
周線上で単振動をする一本のチューブよりなる。

【００５７】なお、この場合は、上流側固定端１２と下
流側固定端１３間の距離をＬとして、基準軸１４と振動
チューブ５１間の距離をｈとすると、概ねｈ≦０.２
Ｌを満たす形状である事が望ましい。

【００５８】以上の構成において、図１１は、図１０の
振動チューブ５１のｂ−ｂ断面図、図１２は図１０の振
動チューブ５１のａ−ａ，ｃ−ｃ断面図、図１３は振動
チューブ５１の振動の様子を示す斜視図である。図１
１，図１２において、非励振状態の時、振動チューブ５
１はＡの位置近傍にある。

【００５９】励振状態になると、振動チューブ５１の中
心は、基準軸１４から半径Ｒ(x)離れた円周上を移動す
る。断面ｂ−ｂの位置では、基準軸１４から半径Ｒ(b)
離れた円周上を、断面ａ−ａやｃ−ｃの位置では、基準
軸１４から半径Ｒ(a) やＲ(c) 離れた円周上を、Ａ→
Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→Ａ(繰り返し)のように振動する。

【００６０】図１３において、Ａ，Ｂ，Ｃは図１１，図
１２の振動チューブ５１の各位置に一致する。

【００６１】なお、振動検出と信号処理に関しては、通
常のコリオリ質量流量計と同様な処理をすれば良い。例
えば、振動検出センサ４，５で、振動のＹ成分を検出
し、２つのセンサ出力の位相差を求め、周波数補正、温
度補正等を加えて、チューブ内部を流れる質量流量を求
める事が出来る。

【００６２】振動チューブ５１は、基準軸１４から等距
離にある円周面内のみでの振動なので、振動チューブ５
１の位置がどこであっても、振動チューブ５１の長さが
変わることはない。

【００６３】従って、軸方向の引っ張りの力が常に一定
である。すなわち、軸方向の力が変化することによる、
振動の漏れを無くすことができる。

【００６４】図１４は、従来の１本管直管タイプの振動
チューブ１の振動の様子を示す動作説明図、図１５は図
１４の側面から見た動作説明図、図１６は本実施例での
振動チューブ５１の振動の様子を示す動作説明図、図１
７は図１６の側面から見た動作説明図である。

【００６５】図１４において、図１６と同条件にするた
め、振動チューブ１の両端側に、両端が連結部１６，１
７により固定された補償体１５が設けられた場合におい
て、図１５に示す如く、振動チューブ１に通常の振動を
加えた場合。

【００６６】振動チューブ１は、連結部１６、１７で固
定されているが、大きさ重さに実用上は制約があるコリ
オリ質量流量計では、完全な固定端にすることはでき
ず、連結部１６、１７の外側部分５４，５５の振動チュ
ーブ１の部分も、図１４に示す如く、振動してしまう。
すなわち、振動絶縁が不十分であることを意味する。

【００６７】一方、図１６の場合、励振変形しても、Ｚ
方向の力は少ないので、連結部１６、１７の外側部分５
６，５７に形状変化は見られず、振動の漏れも小さい。
また、基準軸１４周りのねじれ振動に関しては、補償体
１５によりキャンセルできるので、連結部１６、１７の
外側には、振動は漏れない。

【００６８】本実施例においては、振動絶縁が高まるこ
とにより、コリオリ質量流量計内部の振動が安定にな
り、高精度で安定したコリオリ質量流量計が実現出来
る。

【００６９】具体的には、内部振動のＱ値が高くなるの
で、振動ノイズの影響を受け難くなり、低消費電力を実
現し、振動の漏れ量の変化によるゼロ点やスパン変化を
低減できるコリオリ質量流量計が得られる。このように
振動絶縁を高めることで、以下のような利点を発揮す
る。

【００７０】この結果、（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００７１】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００７２】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００７３】また、（４）測定流体流路は、流量計の入り口（インレット）
から出口（アウトレット）まで、分岐や、隙間の無い、
１本の貫通構造であるので、流速損失の少なく、詰まり
難く、洗浄しやすいコリオリ質量流量計が得られる。

【００７４】（５）完全な直管でなく、振動チューブ５
１が、非励振状態で、予め所定形状に湾曲５３されてい
るので、周囲温度変化に対して、湾曲部分５３で吸収も
容易であり、温度特性が良好なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００７５】一般的な曲管でもなく、完全な直管でもな
く、適度な湾曲を持つことで、曲管と直管の長所を同時
に実現できるコリオリ質量流量計が得られる。

【００７６】図１８は本発明の他の実施例の要部構成説
明図で、請求項６の一実施例である。図１９は図１８の
側面図である。

【００７７】本実施例において、振動体６１，６２は、
基準軸１４、あるいは振動チューブ２１に直交し、一端
がこの振動チューブ２１に固定され、他端が基準軸１４
に対して振動チューブ２１と反対側に配置され、且つ中
線５２に対称な位置に少なくとも２個配置され、板状を
なす。

【００７８】振動チューブ２１の質量分布と形状と剛性
と、振動体６１．６２の質量分布と形状と剛性と間隔と
を調整して、定常励振状態の、振動チューブ２１の両端
連結部１６．１７に発生する力を、基準軸１４周りのね
じれ成分のみにして、励振器３による加振力に起因す
る、基準軸１４に直交する成分が生じ無いようにされて
いる。

【００７９】図２０、図２１、図２２，図２３は、図１
８の動作説明図で、ビーム要素を用いた有限要素法のモ
ーダル解析結果を示す。図２０、図２１、図２２，図２
３においては、コリオリ質量流量計を形作るハウジング
６と、外部配管と接続の為のフランジ２と補償体１５は
省略されている。

【００８０】図２０は斜視図、図２１は図２０のＸ方向
からの投影図、図２２は図２０のＹ方向からの投影図、
図２３は図２０のＺ方向からの投影図であり、初期状態
の形状Ｄと、最大変形時の形状Ｅの両方が示されてい
る。

【００８１】本実施例においては、振動チューブ２１の
剛性、２つの振動体６１．６２の間隔、振動体６１．６
２の形状と質量分布を調整することで、定常励振状態で
の（静的な変形では、ばね剛性による復元力しか考慮さ
れないが、実際は動的な状態における慣性力の影響も考
える必要がある。）チューブ両端連結部１６．１７に発
生する力に関して、基準軸回りのねじれ成分（図のROT
X）は生じるが、励振振動に起因する並進方向成分（図
のFY, FZ ）が生じないようにすることを特徴としてい
る。

【００８２】但し、基準軸１４回りのねじれ成分につい
ては、補償体１５の働きにより、キャンセルされるの
で、実質的に、振動が外に漏れにくい構造となる。

【００８３】定常励振状態において、振動チューブ２１
の両端の連結部１６，１７に、基準軸１４回りのねじれ
成分以外の、並進方向成分の力が全く生じないので、振
動が外に漏れない。

【００８４】請求項５では軸方向の伸縮力をゼロ、ある
いは大幅削減をしたが、請求項６によって、さらに加振
方向などの並進方向成分もゼロ、あるいは大幅削減を可
能になるコリオリ質量流量計得られる。

【００８５】このように振動絶縁を高めることで、以下
のような利点を発揮する。（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計得られ
る。

【００８６】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計得られ
る。

【００８７】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
ので、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計得
られる。

【００８８】図２４は本発明の他の実施例の要部構成説
明図で、請求項７の一実施例である。図２５は図２４の
側面図である。

【００８９】本実施例においては、振動検出センサ４，
５が、振動体６１、６２の他端に設けられている。

【００９０】振動検出センサ４，５を、基準軸１４をは
さんで振動チューブ２１とは反対方向の、振動体６１，
６２の先端付近に設置することにより、最適な位置で振
動の検出が出来る。

【００９１】振動体６１，６２の先端に位置すること
で、振動系の中でも、最も振幅が大きい所で振動測定が
可能になる。また、コリオリ力によって発生する位相差
も、大変大きくなる。

【００９２】実際、図１８実施例と、図２４実施施例
（請求項７相当）を実験で比較した結果、一例として、
下記のようになった。センサ振幅／ドライブ振幅の比は、図１８実施例は０．８、図２４実施例では３．５。発生位相差 < m rad >は、図１８実施例は８．８、図２４実施例では３７．５。となる。

【００９３】このように、振幅比でも、発生位相差で
も、図１８実施例の場合に比較して、４倍強大きい値が
観測された。

【００９４】この結果、（１）測定振幅が大きければ、Ｓ／Ｎが向上する。逆
に、従来と同程度の測定振幅でよいのなら、励振力を小
さくすることが可能で、低消費電力のコリオリ質量流量
計が得られる。最大振幅が小さければ、振動エネルギー
も小さく、外部への漏れも小さくなり、振動絶縁も容易
になり、高精度で安定したコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００９５】（２）発生位相差が大きければ、信号変換
部分の信号処理が容易になる。すなわち、単純で安価な
信号処理回路でも、安定で高精度な性能を実現できるコ
リオリ質量流量計が得られる。

【００９６】逆に、従来と同等の信号処理性能であれ
ば、発生位相差の小さい低流量域まで安定して測定が可
能になったり、もとから発生位相差の小さい気体の質量
流量測定が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。

【００９７】結局、振幅も位相差も４倍以上大きいの
で、非常に有利で、劇的な改善効果が得られる。

【００９８】図２６、図２７、図２８，図２９は、本発
明の他の実施例の要部動作説明図で、請求項８の振動動
作説明図で、励振器３により、振動チューブ２１を２次
モード以上の高次の振動モードで励振する。図２４実施
例をシェル要素を用いた有限要素法で、モーダル解析を
行った結果である。

【００９９】図２６は斜視図、図２７は図２６のＸ方向
からの投影図、図２８は図２６のＹ方向からの投影図、
図２９は図２６のＺ方向からの投影図であり、初期状態
の形状Ｄと、最大変形時の形状Ｅの両方が示されてい
る。

【０１００】図２４実施例の３次モード共振状態で、共
振周波数は２６７Hzである。通常、自励振させると、最
も低次の振動モードが励起しやすいが、本実施例では、
３次モードが励起するように励振器３を調整して、自励
振させる。

【０１０１】なお、図２４実施例における、１次モード
共振周波数は１５３Hzで、図３０、図３１、図３２，図
３３に示したような振動モード形状である。

【０１０２】図３０は斜視図、図３１は図３０のＸ方向
からの投影図、図３２は図３０のＹ方向からの投影図、
図３３は図３０のＺ方向からの投影図であり、初期状態
の形状Ｄと、最大変形時の形状Ｅの両方が示されてい
る。

【０１０３】図３０、図３１、図３２、図３３に於て、
振動系全体が＋Ｚの方向に変形している。円周振動では
ないし、励振力が直接に端部１６、１７に加わるので、
端部１６、１７には、Ｘ方向と、Ｚ方向の大きな力が加
わる。

【０１０４】図２４実施例における、２次モード共振周
波数は２５０Hzで、図３４、図３５、図３６、図３７に
示したような振動モード形状である。

【０１０５】図３４は斜視図、図３５は図３４のＸ方向
からの投影図、図３６は図３４のＹ方向からの投影図、
図３７は図３４のＺ方向からの投影図であり、初期状態
の形状Ｄと、最大変形時の形状Ｅの両方が示されてい
る。

【０１０６】図３４、図３５、図３６、図３７に於て、
振動チューブ２１は、その中央付近で、Ｚ方向の変形
が、プラスマイナス逆転している。振動チューブ２１自
体の変形量が小さいので、コリオリ力の発生も小さく、
あまり実用的な振動モードではない。

【０１０７】図２４実施例における、４次モード共振周
波数は３９７Hzで、図３８、図３９、図４０、図４１に
示したような振動モード形状である。

【０１０８】図３８は斜視図、図３９は図３８のＸ方向
からの投影図、図４０は図３８のＹ方向からの投影図、
図４１は図３８のＺ方向からの投影図であり、初期状態
の形状Ｄと、最大変形時の形状Ｅの両方が示されてい
る。

【０１０９】図３８、図３９、図４０、図４１におい
て、複雑な変形形状であるが、共振周波数が高いので、
あまり悪影響を及ぼすことはない。

【０１１０】この結果、２次、３次あるいは、それ以上
の高次モードで励振することで、以下のような利点があ
る。

【０１１１】（１）励振周波数を高めに設定しやすい。
低周波数での振動では、フィールドの振動ノイズを受け
易いのに対し、高周波数励振では、振動ノイズの影響を
受けにくい、コリオリ質量流量計が得られる。

【０１１２】（２）励振モードと、コリオリ力によって
発生する振動モードの共振周波数を近づけることができ
る。図２４相当の実験結果では、駆動周波数は２６０H
z、コリオリ近似モードは２４６Hzと近いので、

【０１１３】下式より、P＝1.057, Q=1000 なので、動
倍率Ｇ＝８．５と大きくなり、発生位相差も大きい。ただし、動倍率Ｇ＝（１−Ｐ²）／（（１−Ｐ²）²＋（Ｐ／Ｑ））Ｐ＝（駆動周波数）／（コリオリ近似モードの共振周波数）

【０１１４】（３）発生位相差が大きければ、信号変換
部の信号処理が容易になる。すなわち、単純で安価な信
号処理回路でも、安定で高精度な性能を実現できるコリ
オリ質量流量計が得られる。

【０１１５】逆に、従来と同等の信号処理性能であれ
ば、発生位相差の小さい低流量域まで安定して測定が可
能になったり、もとから発生位相差の小さい気体の質量
流量測定が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。

【０１１６】図４２は、本発明の他の実施例の要部構成
説明図で、請求項９の一実施例を示す。本実施例におい
ては、基準軸１４の方向の伸縮と、基準軸１４回りの回
転振動を吸収する柔構造部７１が、上流下流側固定端１
２、１３と、補償体１５との間の、振動チューブ５１に
設けられている。

【０１１７】この結果、柔構造部７１が、上流下流側固
定端１２、１３と、補償体１５との間の、振動チューブ
５１に設けられたので、（１）熱膨張を吸収することが可能になり、広い温度範
囲で安定して高精度で測定が可能なコリオリ質量流量計
が得られる。

【０１１８】（２）配管応力が加わった場合でも、柔構
造部７１で吸収出来、内部まで影響を及ぼさず、安定し
て高精度なコリオリ質量流量計が得られる。

【０１１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、振動チューブと、補償体とは、基準軸に関し
て、互いに逆回転の振動が発生する。振動チューブと補
償体とは、結合されている連結部で、逆方向に力が働き
合い、互いに打ち消し合って、振動の節を形成する。

【０１２０】基準軸の回りの回転成分も抑えることがで
きるので、振動絶縁性を高めることができる。このよう
に、振動絶縁を高めることで、以下のような利点を発揮
する。

【０１２１】（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外
部ノイズが加わっても、その影響が相対的に少なく、振
動が安定なので、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流
量計が得られる。

【０１２２】（２）少ないエネルギで、安定した励振を
実現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得
られる。

【０１２３】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
ので、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が
実現できる。

【０１２４】本発明の請求項２によれば、励振器を、振
動チューブと補償体との間に設置することで、振動チュ
ーブと補償体との両方を、互いに、逆位相で振動させる
事が可能になる。振動チューブと補償体それぞれ用の励
振器を１個にまとめることができるので、構成が簡単に
なり、低コストなコリオリ質量流量計が得られる。

【０１２５】本発明の請求項３によれば、（１）振動チューブ１１の加振と、補償体１５の加振と
を、第１、第２の励振器３１，３２を用いて別々に加振
する様にしたので、より細かな振動の制御が可能にな
る。

【０１２６】（２）振動チューブ１１と、補償体１５の
共振周波数が異なっても、個々に、位相の異なる加振を
行うことで、複雑な共振周波数設計を行わなくとも、振
動の節を容易に実現出来、安価なコリオリ質量流量計が
得られる。

【０１２７】本発明の請求項４によれば、十分に大きな
剛性を持つ、補償体を有しているので、外部から応力
や、振動ノイズが加わっても、補償体内部の振動チュー
ブにその影響を伝えず、安定した励振を続けることがで
きる。すなわち、外部から応力や振動の影響を受けにく
い、安定して高精度なコリオリ質量流量計が得られる。

【０１２８】本発明の請求項５によれば、振動チューブ
は、基準軸から等距離にある円周面内のみでの振動なの
で、振動チューブの位置がどこであっても、振動チュー
ブの長さが変わることはない。

【０１２９】従って、軸方向の引っ張りの力が常に一定
である。すなわち、軸方向の力が変化することによる、
振動の漏れを無くすことができる。

【０１３０】この結果、（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【０１３１】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【０１３２】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【０１３３】また、（４）測定流体流路は、流量計の入り口（インレット）
から出口（アウトレット）まで、分岐や、隙間の無い、
１本の貫通構造であるので、流速損失の少なく、詰まり
難く、洗浄しやすいコリオリ質量流量計が得られる。

【０１３４】（５）完全な直管でなく、振動チューブ
が、非励振状態で、予め所定形状に湾曲されているの
で、周囲温度変化に対して、湾曲部分で吸収も容易であ
り、温度特性が良好なコリオリ質量流量計が得られる。

【０１３５】一般的な曲管でもなく、完全な直管でもな
く、適度な湾曲を持つことで、曲管と直管の長所を同時
に実現できるコリオリ質量流量計が得られる。

【０１３６】本発明の請求項６によれば、定常励振状態
において、振動チューブの両端の連結部に、基準軸回り
のねじれ成分以外の、並進方向成分の力が全く生じない
ので、振動が外に漏れない。

【０１３７】請求項５では軸方向の伸縮力をゼロ、ある
いは大幅削減をしたが、請求項６によって、さらに加振
方向などの並進方向成分もゼロ、あるいは大幅削減を可
能になるコリオリ質量流量計得られる。

【０１３８】このように振動絶縁を高めることで、以下
のような利点を発揮する。（１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計得られ
る。

【０１３９】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計得られ
る。

【０１４０】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
のでその心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【０１４１】本発明の請求項７によれば、振動検出セン
サを、基準軸をはさんで振動チューブとは反対方向の、
振動体の先端付近に設置することにより、最適な位置で
振動の検出が出来る。

【０１４２】振動体の先端に位置することで、振動系の
中でも、最も振幅が大きい所で振動測定が可能になる。
また、コリオリ力によって発生する位相差も、大変大き
くなる。

【０１４３】実際、図１８実施例と、図２４実施施例
（請求項７相当）を実験で比較した結果、一例として、
下記のようになった。センサ振幅／ドライブ振幅の比は、図１８実施例は０．８、図２４実施例では３．５。発生位相差 < m rad >は、図１８実施例は８．８、図２４実施例では３７．５。となる。

【０１４４】このように、振幅比でも、発生位相差で
も、図１８実施例の場合に比較して、４倍強大きい値が
観測された。

【０１４５】この結果、（１）測定振幅が大きければ、Ｓ／Ｎが向上する。逆
に、従来と同程度の測定振幅でよいのなら、励振力を小
さくすることが可能で、低消費電力のコリオリ質量流量
計が得られる。最大振幅が小さければ、振動エネルギー
も小さく、外部への漏れも小さくなり、振動絶縁も容易
になり、高精度で安定したコリオリ質量流量計が得られ
る。

【０１４６】（２）発生位相差が大きければ、信号変換
部分の信号処理が容易になる。すなわち、単純で安価な
信号処理回路でも、安定で高精度な性能を実現できるコ
リオリ質量流量計が得られる。

【０１４７】逆に、従来と同等の信号処理性能であれ
ば、発生位相差の小さい低流量域まで安定して測定が可
能になったり、もとから発生位相差の小さい気体の質量
流量測定が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。

【０１４８】結局、振幅も位相差も４倍以上大きいの
で、非常に有利で、劇的な改善効果が得られる。

【０１４９】本発明の請求項８によれば、２次、３次あ
るいは、それ以上の高次モードで励振することで、以下
のような利点がある。

【０１５０】（１）励振周波数を高めに設定しやすい。
低周波数での振動では、フィールドの振動ノイズを受け
易いのに対し、高周波数励振では、振動ノイズの影響を
受けにくい、コリオリ質量流量計が得られる。

【０１５１】（２）励振モードと、コリオリ力によって
発生する振動モードの共振周波数を近づけることができ
る。また、発生位相差も大きい。

【０１５２】（３）発生位相差が大きければ、信号変換
部の信号処理が容易になる。すなわち、単純で安価な信
号処理回路でも、安定で高精度な性能を実現できるコリ
オリ質量流量計が得られる。

【０１５３】逆に、従来と同等の信号処理性能であれ
ば、発生位相差の小さい低流量域まで安定して測定が可
能になったり、もとから発生位相差の小さい気体の質量
流量測定が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。

【０１５４】本発明の請求項９によれば、柔構造部が、
上流下流側固定端と、補償体との間の、振動チューブに
設けられたので、（１）熱膨張を吸収することが可能になり、広い温度範
囲で安定して高精度で測定が可能なコリオリ質量流量計
が得られる。

【０１５５】（２）配管応力が加わった場合でも、柔構
造部で吸収出来、内部まで影響を及ぼさず、安定して高
精度なコリオリ質量流量計が得られる。

【０１５６】従って、本発明によれば、内部振動の絶縁
性を向上させる事により、安定性、精度、耐振性が向上
されるコリオリ質量流量計を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１のＡーＡ断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。

【図４】図１の動作説明図である。

【図５】図１の動作説明図である。

【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図７】図６の動作説明図である。

【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図９】図８の側面図である。

【図１０】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。

【図１１】図１０の動作説明図である。

【図１２】図１０の動作説明図である。

【図１３】図１０の動作説明図である。

【図１４】図１０の動作説明図である。

【図１５】図１４の動作説明図である。

【図１６】図１０の動作説明図である。

【図１７】図１６の動作説明図である。

【図１８】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。

【図１９】図１８の側面図である。

【図２０】図１８の動作斜視図である。

【図２１】図２０のＸ方向からの投影図である。

【図２２】図２０のＹ方向からの投影図である。

【図２３】図２０のＺ方向からの投影図である。

【図２４】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。

【図２５】図２１の側面図である。

【図２６】本発明の他の実施例の要部動作斜視説明図で
ある。

【図２７】図２６のＸ方向からの投影図である。

【図２８】図２６のＹ方向からの投影図である。

【図２９】図２６のＺ方向からの投影図である。

【図３０】図２４の１次モードの動作斜視説明図であ
る。

【図３１】図３０のＸ方向からの投影図である。

【図３２】図３０のＹ方向からの投影図である。

【図３３】図３０のＺ方向からの投影図である。

【図３４】図２４の２次モードの動作斜視説明図であ
る。

【図３５】図３４のＸ方向からの投影図である。

【図３６】図３４のＹ方向からの投影図である。

【図３７】図３４のＺ方向からの投影図である。

【図３８】図２４の４次モードの動作斜視説明図であ
る。

【図３９】図３８のＸ方向からの投影図である。

【図４０】図３８のＹ方向からの投影図である。

【図４１】図３８のＺ方向からの投影図である。

【図４２】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。

【図４３】従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。

【図４４】従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。

【図４５】図４３の動作説明図である。

【図４６】図４４の動作説明図である。

【図４７】図４４の動作説明図である。

【符号の説明】

２フランジ３励振手段４振動検出センサ５振動検出センサ６ハウジング１１振動チューブ１２上流側固定端１３下流側固定端１４基準軸１５補償体１６連結部１７連結部２１振動チューブ３１第１の励振器３２第２の励振器４１補償体５１振動チューブ５２中線５３緩やかな曲部５４外側部分５５外側部分５６外側部分５７外側部分６１振動体６２振動体７１柔構造部３０１コイル３０２マグネット４０１コイル４０２マグネット５０１コイル５０２マグネット

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年７月２９日（１９９８．７．２
９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３４】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定
流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じる
コリオリ力により、該振動チューブを変形振動させるコ
リオリ質量流量計において、上流側固定端と下流側固定端とを結ぶ直線を基準軸とし
て振動する振動チューブと、前記基準軸に平行して設けられ両端が前記振動チューブ
の両端側にそれぞれ固定支持される補償体と、前記振動チューブを前記固定端近傍では前記基準軸回り
のねじれが主体となるように励振すると共に前記補償体
をこの補償体の振動が前記基準軸と同じ軸あるいはこの
基準軸と平行な軸を中心に回転するねじれ振動であり且
つ前記振動チューブの振動とは逆位相で前記振動チュー
ブと前記補償体との連結部では逆位相で振動することに
より前記基準軸回りのねじれ振動が互いに打ち消し合い
発生する振動を削減するように励振する励振手段と、を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】前記励振手段として、一端が前記振動チュ
ーブに接続され他端が前記補償体に接続された励振器を
具備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量
流量計。
【請求項３】前記励振手段として、前記振動チューブを
励振する第１の励振器と、前記補償体を励振する第２の励振器とを具備したことを
特徴とする請求項１又は請求項２記載のコリオリ質量流
量計。
【請求項４】前記補償体として、外部からの配管応力や
振動ノイズが加わった場合に補償体や振動チューブの形
状変化が発生しないように十分に高い剛性を有する補償
体を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の
何れかに記載のコリオリ質量流量計。
【請求項５】前記振動チューブとして、前記上流側固定
端と前記下流側固定端から等距離の中線に線対称であっ
て少なくとも１個の緩やかな曲部を有し前記上流側固定
端と前記下流側固定端とを結ぶ直線を基準軸としてこの
基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上あるいは
その近傍で単振動をする一本の振動チューブを具備した
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載
のコリオリ質量流量計。
【請求項６】前記基準軸あるいは前記振動チューブに直
交し一端がこの振動チューブに固定され他端が前記基準
軸に対して前記振動チューブと反対側に配置され且つ前
記中線に対称な位置に少なくとも２個配置された板状の
振動体を具備し、前記振動チューブの質量分布と形状と剛性と、前記振動
体の質量分布と形状と剛性と間隔とを調整して定常励振
状態の前記振動チューブの両端連結部に発生する力を前
記基準軸周りのねじれ成分のみにして励振器による加振
力に起因する前記基準軸に直交する成分が生じ無いよう
にされたことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れ
かに記載のコリオリ質量流量計。
【請求項７】前記基準軸あるいは前記振動チューブに直
交し一端がこの振動チューブに固定され他端が前記基準
軸に対して前記振動チューブと反対側に配置された板状
の振動体と、前記振動体の他端に設けられた振動検出センサとを具備
したことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに
記載のコリオリ質量流量計。
【請求項８】前記振動チューブを２次モード以上の高次
の振動モードで励振する励振器を具備したことを特徴と
する請求項１乃至請求項７の何れかに記載のコリオリ質
量流量計。
【請求項９】前記上流側固定端と前記下流側固定端と前
記補償体との間の前記振動チューブに設けられ前記基準
軸の方向の伸縮と前記基準軸回りの回転振動を吸収する
柔構造部を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求
項８の何れかに記載のコリオリ質量流量計。