JP2000036190A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
のビット線に対してプリチャージ電流を供給する回路の
パワーオン時のパワーオン電流を抑制する。 【解決手段】それぞれ有するビット線プリチャージ電源
線が共通に接続され、それぞれ同様の構成を有する複数
のバンク回路BKiと、プリチャージ電源線に出力ノー
ドが接続され、DRAMチップの電源投入時にプリチャ
ージ電流供給動作を開始する第1のプリチャージ電源供
給回路211 と、プリチャージ電源線に出力ノードが接続
され、第1のプリチャージ電源供給回路のプリチャージ
電流によりビット線が所定の電位に立ち上がった後にプ
リチャージ電流供給動作を開始する第2のプリチャージ
電源供給回路212 とを具備する。
Description
り、特に同じ構成の複数の回路ブロックに所定の電源を
供給する電源供給回路のパワーオン時の動作を制御する
制御回路に関するものであり、例えばマルチバンクに区
分されたメモリセルアレイを有する同期型ダイナミック
・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)に使用され
る。
つDRAMにおけるバンクとプリチャージ電源供給回路
との回路接続の一例を示す等価回路図である。図12に
示すDRAMにおいて、Bank1〜Bank4はバンク、Gen
はプリチャージ電源供給回路、121 は各バンクBank1〜
Bank4のビット線にビット線プリチャージ電圧(VBLE
Q)を供給するためのプリチャージ電源線、122 は接地
電位(Vss)線である。この場合、プリチャージ電源線
121 に対して共通にプリチャージ電流を供給するように
1個のプリチャージ電源供給回路Genが設けられてい
る。
給回路Genのプリチャージ電流供給動作を説明するため
に示すタイミング波形図である。プリチャージ電源供給
回路Genは、パワーオン時には各バンクに対してプリチ
ャージ電流を十分に供給し、定常動作時にはビット線に
プリチャージ電流を補充的に供給するので、パワーオン
時の供給電流(パワーオン電流)が大きくなり、パワー
オン時から所定時間後の供給電流は比較的小さくて済
む。
動作電源は、外部電源入力に基づいてDRAMチップ内
部で生成した内部電源Vint であり、前記したようにパ
ワーオン時のプリチャージ電流が大きいと、DRAMチ
ップのパワーオン電流も大きくなる。
が大きいと、DRAMを使用したシステム製品のパワー
オン時において、システムボード(マザーボード)上の
配線の電圧降下などが生じることに起因してシステム電
源の電圧変動をまねき、システム製品の立ち上げ時に誤
動作をまねく原因になる。
数個に分割されている場合にも、従来は、前述したよう
にパワーオン時に複数個のプリチャージ電源供給回路が
同時にプリチャージ電流を供給するので、前述したよう
な問題が生じる。
ンクを独立に選択し得るように構成されたマルチバンク
構成を持つDRAMにおいては、従来は、各バンクのビ
ット線が共通に接続されていたので、定常動作時におい
てあるバンクの例えばビット線イコライズ動作によりビ
ット線に生じた電圧変動が他のバンクのビット線に直接
に影響を及ぼす(バンク間の干渉によるノイズが発生す
る)ことになり、メモリセルの読み出し動作に悪影響を
及ぼすという問題があった。
マルチバンク構成を持つ同期型DRAMは、パワーオン
電流が大きく、DRAMを使用したシステム製品のパワ
ーオン時にシステム電源の電圧変動をまねき、システム
製品の立ち上げ時に誤動作をまねく原因になるという問
題があった。また、定常動作時においてバンク間の干渉
によるノイズが発生し易く、メモリセルの読み出し動作
に悪影響を及ぼすという問題があった。
たもので、同様な構成を有する複数の回路ブロックに対
してプリチャージ電流を供給するために複数個のプリチ
ャージ電源供給回路が設けられる場合に、パワーオン時
にはパワーオン電流を抑制でき、定常動作時には所定の
プリチャージ電流を供給可能であって、マルチバンク構
成を持つ同期型DRAMなどに応用して好適な半導体装
置を提供することを目的とする。
有する複数の回路ブロック間の定常動作時における干渉
ノイズが発生しなくなり、パワーオン時にはパワーオン
電流を抑制でき、マルチバンク構成を持つ同期型DRA
Mに応用した場合にはバンク間の干渉ノイズを防止して
メモリセルの読み出し動作の安定化を図り得る半導体装
置を提供することにある。
は、それぞれ有するプリチャージ電源線が共通に接続さ
れ、それぞれ同様の構成を有する複数の回路ブロック
と、前記プリチャージ電源線にプリチャージ電流出力ノ
ードが接続され、半導体チップの電源投入時にプリチャ
ージ電流供給動作を開始する第1のプリチャージ電源供
給回路と、前記プリチャージ電源線にプリチャージ電流
出力ノードが接続され、前記第1のプリチャージ電源供
給回路のプリチャージ電流により前記プリチャージ電源
線が所定の電位に立ち上がった後にプリチャージ電流供
給動作を開始する第2のプリチャージ電源供給回路とを
具備することを特徴とする。
チャージ電源線を有する複数の回路ブロックと、前記複
数の回路ブロックに対応して設けられ、対応する回路ブ
ロックのプリチャージ電源線に一端側が接続され、半導
体チップの電源投入時から所定期間後にオフ状態に制御
される複数のスイッチ回路と、前記複数のスイッチ回路
の各他端側に共通に接続された共通プリチャージ電源線
と、前記複数の回路ブロックに対応して設けられ、対応
する回路ブロックのプリチャージ電源線にプリチャージ
電流出力ノードが接続された複数のプリチャージ電源供
給回路とを具備し、前記複数のプリチャージ電源供給回
路は、半導体チップの電源投入時にプリチャージ電流供
給動作を開始する第1のプリチャージ電源供給回路と、
前記第1のプリチャージ電源供給回路のプリチャージ電
流により前記プリチャージ電源線が所定の電位に立ち上
がった後にプリチャージ電流供給動作を開始する第2の
プリチャージ電源供給回路とが混在することを特徴とす
る。
チャージ電源線を有する複数の回路ブロックと、前記複
数の回路ブロックのうちの特定の第1の回路ブロックの
プリチャージ電源線に一端側が接続され、他端側が共通
に接続され、半導体チップの電源投入時から所定期間後
にオフ状態に制御されるスイッチ回路と、前記第1の回
路ブロック以外の第2の回路ブロックのプリチャージ電
源線および前記スイッチ回路の他端側に共通に接続され
た共通プリチャージ電源線と、前記第1の回路ブロック
のプリチャージ電源線にプリチャージ電流出力ノードが
接続された第1のプリチャージ電源供給回路と、前記第
2の回路ブロックのプリチャージ電源線にプリチャージ
電流出力ノードが接続された第2のプリチャージ電源供
給回路とを具備し、前記第1のプリチャージ電源供給回
路および第2のプリチャージ電源供給回路のうち、一方
のプリチャージ電源供給回路は、半導体チップの電源投
入時にプリチャージ電流供給動作を開始し、他方のプリ
チャージ電源供給回路は、前記一方のプリチャージ電源
供給回路のプリチャージ電流により前記プリチャージ電
源線が所定の電位に立ち上がった後にプリチャージ電流
供給動作を開始するように制御されることを特徴とす
る。
施の形態を詳細に説明する。 <第1実施例>図1は、第1実施例に係るマルチバンク
構成を持つ同期型DRAMのブロック構成の一部を示し
ている。ここでは、各バンクを独立に選択してリフレッ
シュ動作が可能なように構成された同期型DRAMに本
発明を適用した例を説明する。
(本例では4個)のバンクメモリBank1〜Bank4に分割
されている。セルフリフレッシュバンク選択回路10
は、セルフリフレッシュモードにおけるバンク選択信号
を生成するためのものである。クロック入力バッファ1
1は、クロック信号CLKおよび制御信号CKEが入力
するものである。
号A0 〜Am-1 、Amおよびバンクアドレス信号BS0
〜BSn-1 が入力し、クロック入力バッファ11の出力
信号に同期してバッファ増幅するものであり、バンクア
ドレス信号BS0 〜BSn-1入力をデコードしてバンク
選択信号を生成するバンク選択回路12aを含む。
定用のコマンド入力として各種の外部制御信号(CKE
信号、チップ・セレクト信号/CS、ロウ・アドレス・
ストローブ信号/RAS、カラム・アドレス・ストロー
ブ信号/CAS、ライト・イネーブル信号/WE、アド
レス信号の最上位ビットAm)が入力し、前記クロック
入力バッファ11の出力信号に同期してデコードする。
ーダ13のデコード出力信号が入力し、前記クロック入
力バッファ11の出力信号に同期して各種の内部制御信
号(セルフリフレッシュ制御信号を含む)を発生する。
ス信号を生成する4個のリフレッシュカウンタである。
161 〜164 はそれぞれ通常動作モード/セルフリフレッ
シュモードに応じて前記アドレス入力バッファ12の出
力信号(バンク選択信号を含む)/前記4個のリフレッ
シュカウンタ151 〜154 の出力信号(リフレッシュアド
レス信号)をラッチする4個のアドレスラッチ回路であ
る。
ーダRD、ビット線センスアンプSA、カラムデコーダ
・カラムスイッチCDS、データ線バッファアンプDB
Aなどの回路も前記各バンクメモリBank1〜Bank4に対
応して分割されて配設されている。この場合、ビット線
センスアンプSAは、各バンクメモリBank1〜Bank4内
でセルブロック単位毎に分割されて配設されている。
ロウデコーダRDは、それぞれ対応して前記各アドレス
ラッチ回路161 〜164 の出力信号が対応して入力し、前
記セルフリフレッシュバンク選択回路10からのバンク
選択信号によりデコード動作の可否が制御され、デコー
ド出力信号により対応するバンクメモリBank1〜Bank4
のロウ選択を行うものである。
カラムデコーダ・カラムスイッチCDSは、それぞれカ
ラムアドレス信号をデコードし、対応するバンクメモリ
Bank1〜Bank4のカラム選択を行うものである。
て接続されたロウデコーダなどの回路との集まりをバン
ク回路BKi(i=1 〜4 )と称する。211 、212 は各
バンクメモリBank1〜Bank4のビット線プリチャージ電
源線にプリチャージ電流を供給するために各バンク回路
BKiに共通に設けられた複数(本例では2個)のプリ
チャージ電源供給回路である。
供給回路211 は、パワーオン時にプリチャージ電流の供
給を開始するものであり、他方の第2のプリチャージ電
源供給回路212 は、パワーオン時から所定時間後に制御
信号CHRDYを受けてプリチャージ電流の供給を開始
するように制御されるものである。
k1〜Bank4と2個のプリチャージ電源供給回路211 、21
2 との回路接続の一例を示す等価回路図である。バンク
メモリBank1〜Bank4の各ビット線プリチャージ電源線
は共通接続線20に接続されており、この共通接続線20に
対して第1のプリチャージ電源供給回路211 の出力ノー
ドおよび第2のプリチャージ電源供給回路212 の出力ノ
ードが接続されている。
ける2個のプリチャージ電源供給回路211 、212 のプリ
チャージ電流供給動作を説明するために示すタイミング
波形図である。
れぞれ有するビット線プリチャージ電源線が共通接続線
20に接続され、それぞれ同様の構成を有する複数のバン
ク回路BKiと、前記ビット線プリチャージ電源線にプ
リチャージ電流出力ノードが接続され、DRAMチップ
の電源投入時にプリチャージ電流供給動作を開始する第
1のプリチャージ電源供給回路211 と、前記ビット線プ
リチャージ電源線にプリチャージ電流出力ノードが接続
され、前記第1のプリチャージ電源供給回路211 のプリ
チャージ電流により前記ビット線が所定の電位に立ち上
がった後にプリチャージ電流供給動作を開始する第2の
プリチャージ電源供給回路212 とを具備することを特徴
とするものである。
ワーオン後にDRAM内部で生成されるパワーオン完了
検出信号(例えばパワーオンリセット信号)を前記第2
のプリチャージ電源供給回路212 の動作開始の制御に用
い、この第2のプリチャージ電源供給回路212 からのプ
リチャージ電流を前記第1のプリチャージ電源供給回路
211 のパワーオン後のプリチャージ電流に加えることが
可能になる。
ージ電源供給回路211 がプリチャージ電流の供給を開始
し、パワーオン時から所定時間後に第2のプリチャージ
電源供給回路212 がプリチャージ電流の供給を開始する
ように制御される。
での間は通常は比較的に長いので、その間に時間的に十
分な余裕を持って第2のプリチャージ電源供給回路の動
作を立ち上げることが可能である。
電流を抑制しつつ、定常動作時には所定のプリチャージ
電流を供給する同期型DRAMを実現することが可能に
なる。
供給回路211 の一具体例を示す回路図である。図4に示
す第1のプリチャージ電源供給回路211 は、DRAM内
部で生成された第1電源電位(VBLH )が供給される第
1電源ノードとVssノードとの間に接続され、互いに異
なる第1基準電位REFn および第2基準電位REFp (>
REFn)を生成する抵抗ブリーダ回路41と、DRAM内
部で生成された第2電源電位(Vint )が供給される第
2電源ノードとVssノードとの間に直列に接続されたP
MOSトランジスタM1 およびNMOSトランジスタM
2 を有し、上記2個のトランジスタM1 、M2 の直列接
続ノード(出力ノード)からビット線プリチャージ電圧
VBLEQを出力するプリチャージ電流出力回路42と、前記
第1基準電位REFn を前記プリチャージ電流出力回路42
の出力ノードの電圧VBLEQと比較し、REFn >VBLEQの
期間に比較出力として“L”レベルを出力し、REFn <
VBLEQの期間に比較出力として“H”レベルを出力し、
比較出力を前記プリチャージ電流出力回路42のPMOS
トランジスタM1 のゲートに印加する第1の比較回路43
と、前記第2基準電位REFp を前記プリチャージ電流出
力回路42の出力ノードの電圧VBLEQと比較し、REFp >
VBLEQの期間に比較出力として“H”レベルを出力し、
REFp <VBLEQの期間に比較出力として“L”レベルを
出力し、比較出力を前記プリチャージ電流出力回路42の
NMOSトランジスタM2 のゲートに印加する第2の比
較回路44とからなる。
供給回路211 は、外部電源入力に基づいてDRAMチッ
プ内部で生成された第1の内部電圧VBLH の電圧を分割
して第1の基準電圧REFn およびそれより高い第2の基
準電圧REFp を生成する基準電圧生成回路41と、前記外
部電源入力に基づいてDRAMチップ内部で生成された
第2の内部電圧Vint が動作電源として供給され、共通
に接続されているビット線プリチャージ電源線にプリチ
ャージ電流を供給するための第1のトランジスタM1
と、前記ビット線から電流を放電させるための第2のト
ランジスタM2 と、外部電源入力が動作電源として供給
され、第1の基準電圧REFn とビット線の電圧とを比較
し、比較出力に応じて第1のトランジスタM1 のプリチ
ャージ電流供給動作を制御する第1の電圧比較回路43
と、外部電源入力が動作電源として供給され、第2の基
準電圧REFp とビット線の電圧とを比較し、比較出力に
応じて第2のトランジスタM2 の放電動作を制御し、ビ
ット線の電圧を一定値以下に制御する第2の電圧比較回
路44とを具備する。
電圧REFn と前記ビット線の電圧が対応してゲートに入
力され、互いのソースが共通に接続された差動対をなす
入力用のNMOSトランジスタN1 、N2 と、この差動
対トランジスタN1 、N2 のソース共通接続ノードとV
ssノードとの間にドレイン・ソース間が接続され、ゲー
トに第1のバイアス電圧VCMP が印加される電流源用の
NMOSトランジスタN3 と、外部電源入力が動作電源
として供給される電源ノードと前記差動対トランジスタ
N1 、N2 の各ソースとの間に挿入され、カレントミラ
ー接続された負荷用のPMOSトランジスタP4 、P5
とを具備してなり、基準電圧入力用のNMOSトランジ
スタN1 のドレインから比較出力が取り出される。
圧REFp と前記ビット線の電圧が対応してゲートに入力
され、互いのソースが共通に接続された差動対をなす入
力用のPMOSトランジスタP1 、P2 と、外部電源入
力が動作電源として供給される電源ノードと前記差動対
トランジスタのソース共通接続ノードとの間にソース・
ドレイン間が接続され、ゲートに第2のバイアス電圧V
CMN が印加される電流源用のPMOSトランジスタP3
と、前記差動対トランジスタP1 、P2 の各ドレインと
Vssノードとの間に挿入され、カレントミラー接続され
た負荷用のNMOSトランジスタN4 、N5 とを具備し
てなり、基準電圧入力用のPMOSトランジスタP1 の
ドレインから比較出力が引き出される。
回路211 によれば、パワーオン時には、第1の電圧比較
回路43が第1の基準電圧REFn と前記ビット線の電圧V
BLEQとを比較し、REFn >VBLEQの期間の比較出力によ
って前記第1のトランジスタM1 のプリチャージ電流供
給動作が可能となるように制御する。これにより、第1
のプリチャージ電源供給回路211 はパワーオン時にプリ
チャージ電流供給動作を開始する。
はメモリコア回路用の電源として用いられ、前記第2の
内部電圧Vint は、通常はメモリコア周辺回路用の電源
として用いられ、前記ビット線の電圧VBLEQは通常はV
BLH /2に設定される。
供給回路212 の一具体例を示す回路図である。図5に示
す第2のプリチャージ電源供給回路212 は、前述した第
1のプリチャージ電源供給回路211 と比べて、ビット線
が所定の電位に立ち上がった後に生成される制御信号C
HRDY(パワーオン完了検出信号、例えばパワーオン
リセット信号)を受けて第1の電圧比較回路43a および
第2の電圧比較回路44a の比較動作が可能になるように
構成されている点、第1のトランジスタM1 のゲート電
位が第1の電圧比較回路43a の比較出力により制御され
るまでの期間にフローティング状態になるのを防止して
前記電圧Vint にプルアップするためのPMOSトラン
ジスタP7 が付加接続されている点、第2のトランジス
タM2 のゲート電位が第2の電圧比較回路44a の比較出
力により制御されるまでの期間にフローティング状態に
なるのを防止して接地電位Vssにプルダウンするための
NMOSトランジスタN7 が付加接続されている点が異
なり、その他は同じである。
は、図4中に示した第1のプリチャージ電源供給回路21
1 の第1の電圧比較回路43と比べて、電源ノードと差動
対をなす入力トランジスタN1 、N2 のソース共通接続
ノードとの間で前記電流源用トランジスタN3 に直列に
PMOSトランジスタP6 が挿入追加され、このPMO
SトランジスタP6 のゲートに前記制御信号CHRDY
の反転信号/CHRDYが印加される点が異なり、その
他は同じである。
は、図5中に示した第1のプリチャージ電源供給回路21
1 の第2の電圧比較回路44と比べて、差動対をなす入力
トランジスタP1 、P2 のソース共通接続ノードとVss
ノードとの間で前記電流源用トランジスタP3 に直列に
NMOSトランジスタN6 が挿入追加され、このNMO
SトランジスタN6 のゲートに前記制御信号CHRDY
が印加される点が異なり、その他は同じである。
供給回路212 は、外部電源入力に基づいてDRAMチッ
プ内部で生成された第1の内部電源VBLH の電圧を分割
して第1の基準電圧REFn およびそれより高い第2の基
準電圧REFp を生成する基準電圧生成回路41と、前記外
部電源入力に基づいてDRAMチップ内部で生成された
第2の内部電源Vint が動作電源として供給され、共通
に接続されているビット線にプリチャージ電流を供給す
るための第1のトランジスタM1 と、前記ビット線から
電流を放電させるための第2のトランジスタM2 と、外
部電源入力が動作電源として供給され、前記ビット線が
所定の電位に立ち上がった後に生成される制御信号を受
けて前記第1の基準電圧REFn と前記ビット線の電圧と
を比較し、比較出力に応じて前記第1のトランジスタM
1 のプリチャージ電流供給動作を制御する第1の電圧比
較回路43a と、外部電源入力が動作電源として供給さ
れ、前記ビット線が所定の電位に立ち上がった後に生成
される制御信号を受けて前記第2の基準電圧REFp と前
記ビット線の電圧とを比較し、比較出力に応じて前記第
2のトランジスタM2 の放電動作を制御してビット線電
圧を一定に制御する第2の電圧比較回路44a とを具備す
る。
回路212 の動作は、図4を参照して前述した第1のプリ
チャージ電源供給回路211 のビット線プリチャージ電流
供給動作と比べて、ビット線が所定の電位に立ち上がっ
た後に生成される制御信号CHRDYが活性化すること
によって比較動作が可能になる点が異なり、その他は同
じである。つまり、第2のプリチャージ電源供給回路21
2 は、パワーオン時から所定時間後にプリチャージ電流
の供給を開始するように制御される。
いて各バンクを独立に選択してリフレッシュを行う動作
について簡単に説明しておく。セルフリフレッシュ・エ
ントリー・コマンドは、所定の信号入力が所定の論理レ
ベルに設定され、バンクアドレス信号BS0 〜BSn-1
が確定した状態において、クロック入力バッファ11の
出力信号(CLKと同等)が立ち上がることにより入力
する。
ドは、所定の信号入力が所定の論理レベルに設定され、
バンクアドレス信号BS0 〜BSn-1 が確定した状態に
おいてクロック入力バッファ11の出力信号(CLKと
同等)が立ち上がることにより入力する。
リー・コマンド入力あるいはセルフリフレッシュ・イグ
ジット・コマンド入力を前記コマンド・デコーダ13で
デコードした時の出力信号に基づいて、前記制御信号発
生回路14はセルフリフレッシュ制御信号出力を活性化
する。
際には、リフレッシュ動作の対象となる特定のバンクを
アイドル状態にしておき、セルフリフレッシュ・エント
リー・コマンドを入力する。
に、有効なバンクアドレス信号BS0〜BSn-1 入力が
取り込まれ、バンク選択回路12aは、2ビットのバン
クアドレス信号BS0 、BS1 入力をデコードし、セル
フリフレッシュモードにおけるバンク選択信号を生成
し、前記各バンクメモリBank1〜Bank4に対応するロウ
デコーダRDに供給するので、特定のバンクを選択して
分散リフレッシュ方式により自動的にリフレッシュ動作
を開始し、記憶データを長時間にわたって保持させるこ
とが可能になる。
動作を開始しているバンクは、セルフリフレッシュ・イ
グジット・コマンド以外のコマンドは入力が禁止され
る。また、このセルフリフレッシュモードに入っている
期間には、CKE信号が入力するクロック入力バッファ
11以外の入出力バッファもイネーブル状態にすること
により、引き続いてコマンド入力が可能になる。
りリフレッシュ動作を行うので、サイクルタイムベース
では全体の消費電流を少なくすることが可能になる。セ
ルフリフレッシュモードから抜け出す際には、各種信号
入力を設定することによりセルフリフレッシュ・イグジ
ット・コマンドを入力する。この時、前記CKE信号が
“L”の期間に、有効なバンクアドレス信号BS0 〜B
Sn-1 入力が取り込まれ、デコードされてバンク選択信
号がリセットされるので、特定のバンクを選択してリフ
レッシュ動作を終了する(通常の動作モードに戻る)こ
とが可能になる。
と2個のプリチャージ電源供給回路211 、212 の配置関
係の一例を示すパターンレイアウト図である。4個のバ
ンク回路BKiが2行2列に配置されている場合、1行
目の2列(2個)のバンク回路間に第1のプリチャージ
電源供給回路211 が配設されており、2行目の2列(2
個)のバンク回路間に第2のプリチャージ電源供給回路
212 が配設されている。
K2およびプリチャージ電源供給回路211 と2行目のバ
ンクBK3、BK4およびプリチャージ電源供給回路21
2 とは、行間水平線(図示せず)に対して線対称に配設
されている。このようなパターン配置により、プリチャ
ージ電源供給回路211 、212 から各バンクまでの距離が
ほぼ等しく、定常動作時にほぼ均等にプリチャージ駆動
されるようになる。
リチャージ制御を行う例を示したが、ビット線に限ら
ず、キャパシタプレート線などの他のプリチャージ信号
線に対しても第1実施例と同様にプリチャージ制御を行
うことが可能である。
ャージ電源供給回路を設け、それぞれ動作開始のタイミ
ングを任意に分散させるように制御させることによっ
て、第1実施例と同様な効果を得ることが可能になる。
DRAMにおけるバンク回路とプリチャージ電源供給回
路との回路接続の一例を示す等価回路図である。この同
期型DRAMにおいては、例えばn個のバンク回路BK
0 〜BKn に対してn個のプリチャージ電源供給回路74
0 〜74n を設けた場合には、パワーオン時に動作を開始
させる少なくとも1個の第1のプリチャージ電源供給回
路とそれより遅れて動作を開始させる複数個の第2のプ
リチャージ電源供給回路とに役割を分担させるように制
御する。
源供給回路は、第1実施例と同様に第1のプリチャージ
電源供給回路によるプリチャージによってビット線が所
定電位に立ち上がった後に同時に動作を開始させるよう
に制御してもよく、あるいは、順次に動作を開始させる
ように制御信号CHRDY1〜CHRDYnにより制御
してもよい。
同期型DRAMの要部を示す等価回路図である。第2実
施例は、第1実施例と比べて、パワーオン時には各バン
クメモリのビット線に共通にプリチャージ電流を供給
し、定常動作時には各バンクメモリのビット線間を電気
的に分離してビット線にプリチャージ電流を供給するこ
とにより、定常動作時にバンク間の干渉ノイズを防止す
るように変更したものである。
Ki(i=1 〜4 )に各対応してプリチャージ電源供給
回路PRiおよびスイッチ回路SWiが設けられてい
る。各スイッチ回路SWiは、DRAMチップの電源投
入時から所定期間後にオフ状態に制御されるものであ
り、対応するバンク回路BKiのビット線プリチャージ
電源線に一端側が接続され、各他端側に共通接続線20が
接続されている。
は、対応するバンク回路BKiのビット線プリチャージ
電源線にプリチャージ電流出力ノードが接続されてい
る。この場合、一部のプリチャージ電源供給回路(本例
ではPR1 、PR2 )はDRAMチップの電源投入時に
プリチャージ電流供給動作を開始し、残りのプリチャー
ジ電源供給回路(本例ではPR3 、PR4 )は前記プリ
チャージ電源供給回路のプリチャージ電流により前記ビ
ット線が所定の電位に立ち上がった後にプリチャージ電
流供給動作を開始するように制御される。
は、それぞれプリチャージ電源線を有する複数のバンク
回路BKiと、前記複数のバンク回路に対応して設けら
れ、対応するバンク回路のプリチャージ電源線に一端側
が接続され、DRAMチップの電源投入時から所定期間
後にオフ状態に制御される複数のスイッチ回路SWi
と、前記複数のスイッチ回路の各他端側に共通に接続さ
れた共通接続線20と、前記複数のバンク回路に対応して
設けられ、対応するバンク回路のプリチャージ電源線に
プリチャージ電流出力ノードが接続された複数のプリチ
ャージ電源供給回路PRiとを具備し、前記複数のプリ
チャージ電源供給回路PRiは、DRAMチップの電源
投入時にプリチャージ電流供給動作を開始する第1のプ
リチャージ電源供給回路と、前記第1のプリチャージ電
源供給回路のプリチャージ電流により前記ビット線が所
定の電位に立ち上がった後にプリチャージ電流供給動作
を開始する第2のプリチャージ電源供給回路とが混在す
ることを特徴とするものである。
スイッチ回路SWiの相異なる具体例を示す。図9
(a)に示すスイッチ回路は、プリチャージ電流供給経
路に直列に挿入されたNMOSトランジスタTNと、制
御信号CHRDYが活性化する(“H”レベルになる)
まではNMOSトランジスタTNをオン状態に制御し、
制御信号CHRDYが活性化した後はNMOSトランジ
スタTNをオフ状態に制御する制御ゲートからなる。
号CHRDYおよびゲート通過可否制御信号/FUSE
が入力するナンドゲートNGが用いられており、このナ
ンドゲートNGの出力がNMOSトランジスタTNのゲ
ートに印加される。
して、例えば特定のヒューズ素子の溶断前には“H”レ
ベル、溶断後には“L”レベルになるものが用いられる
ものとすると、制御信号/FUSEが“H”レベルの状
態の時は、ナンドゲートNGがインバータ回路として動
作するので制御信号CHRDYの論理レベルに応じてN
MOSトランジスタTNのオン/オフ状態が制御され、
制御信号/FUSEが“L”レベルの状態の時は、ナン
ドゲートNGの出力が“H”レベルに固定されるので、
制御信号CHRDYの論理レベルに関係なくNMOSト
ランジスタTNがオン状態に制御される。
ャージ電流供給経路に直列に挿入されたPMOSトラン
ジスタTPと、制御信号CHRDYが活性化する
(“H”レベルになる)までは前記PMOSトランジス
タTPをオン状態に制御し、制御信号CHRDYが活性
化した後は前記PMOSトランジスタTPをオフ状態に
制御するように制御ゲートからなる。
RDYおよび前記ゲート通過可否制御信号/FUSEが
入力するナンドゲートNGと、このナンドゲートNGの
出力を反転するインバータ回路IVが用いられており、
このインバータ回路IVの出力がPMOSトランジスタ
TPのゲートに印加される。
“H”レベルの状態の時は、ナンドゲートNGがインバ
ータ回路として動作するので制御信号CHRDYの論理
レベルに応じてPMOSトランジスタTPのオン/オフ
状態が制御され、制御信号/FUSEが“L”レベルの
状態の時は、ナンドゲートNGの出力が“H”レベルに
固定され、インバータ回路IVの出力が“L”レベルに
固定されるので、制御信号CHRDYの論理レベルに関
係なくPMOSトランジスタTPがオン状態に制御され
る。
ば、パワーオン時には、スイッチ回路SWiがオン状態
であり、プリチャージ電流供給動作を開始する一部のプ
リチャージ電源供給回路が各バンク回路にプリチャージ
電流を供給し、定常動作時には、スイッチ回路SWiが
オフ状態であり、各バンク回路には対応するプリチャー
ジ電源供給回路PRiからプリチャージ電流を供給する
ように動作する。
iに対応してスイッチ回路SWiを設けることにより、
パワーオン時に各バンク回路のビット線に共通にプリチ
ャージ電流を供給し、定常動作時には各バンク回路のビ
ット線間を電気的に分離してビット線にプリチャージ電
流を供給するようにした。
流を抑制できるだけでなく、定常動作時におけるバンク
間の干渉ノイズを防止でき、メモリセルの読み出し動作
の安定化を図ることが可能になる。
イッチ回路SWiおよびプリチャージ電源供給回路PR
iの配置関係の一例を示すパターンシイアウト図であ
る。4個のバンク回路BKiが2行2列に配置されてい
る場合、1行目の2列(2個)のバンク回路間で、一方
のバンク回路の近傍にプリチャージ電源供給回路PR1
およびスイッチ回路SW1 が配設されており、他方のバ
ンク回路の近傍にプリチャージ電源供給回路PR2 およ
びスイッチ回路SW2 が配設されている。
個)のバンク回路間で、一方のバンク回路の近傍にプリ
チャージ電源供給回路PR3 およびスイッチ回路SW3
が配設されており、他方のバンク回路の近傍にプリチャ
ージ電源供給回路PR4 およびスイッチ回路SW4 が配
設されている。
チャージ電源供給回路と2行目のバンク回路およびプリ
チャージ電源供給回路とは、行間水平線(図示せず)に
対して線対称に配設されており、1列目のバンク回路お
よびプリチャージ電源供給回路と2列目のバンク回路お
よびプリチャージ電源供給回路とは、列間垂直線(図示
せず)に対して線対称に配設されている。
ャージ電源供給回路から対応する各バンク回路までの距
離がほぼ等しく、定常動作時にほぼ均等にプリチャージ
駆動されるようになる。
応してスイッチ回路を設けることなく、各バンク回路に
対応してプリチャージ電源供給回路を接続することによ
り、定常動作時に各バンク回路のビット線間を電気的に
分離してビット線にプリチャージ電流を供給することが
可能になり、定常動作時におけるバンク回路間の干渉ノ
イズを防止することが可能になる。
る同期型DRAMの要部の等価回路を示している。この
第3実施例は、図8を参照して前述した第2実施例と比
べて、一部のバンク回路(例えばBK1 )に対しての
み、そのビット線プリチャージ電源線に対してスイッチ
回路SW1 およびパワーオン時にプリチャージ電流供給
動作を開始するプリチャージ電源供給回路PR1 を接続
しておき、残りの全てのバンク回路のビット線に対して
は共通にパワーオン時から所定時間後にプリチャージ電
流供給動作を開始する1個あるいは複数のプリチャージ
電源供給回路PRを接続するように変更したものであ
り、図8中と同じ部分には同じ符号を付している。
に、パワーオン時には各バンクのビット線に共通にプリ
チャージ電流を供給し、定常動作時には一部のバンク回
路のビット線と残りのバンク回路のビット線とを電気的
に分離してビット線にプリチャージ電流を供給するよう
にして定常動作時におけるバンク間の干渉ノイズを防止
することが可能になる。
れば、同様な構成を有する複数の回路ブロックに対して
プリチャージ電流を供給するために複数個のプリチャー
ジ電源供給回路が設けられる場合に、定常動作時には所
定のプリチャージ電流を供給可能であって、パワーオン
時にはパワーオン電流を抑制できるので、マルチバンク
構成を持つ同期型DRAMなどに応用して好適である。
な構成を有する複数の回路ブロック間の定常動作時にお
ける干渉ノイズが発生しなくなり、パワーオン時にはパ
ワーオン電流を抑制できるので、マルチバンク構成を持
つ同期型DRAMに応用した場合にはバンク間の干渉ノ
イズを防止してメモリセルの読み出し動作の安定化を図
ることができる。
のままではパワーオン電流も増える傾向にあるので、6
4Mビット世代以降のDRAMに本発明を適用した場合
の効果は顕著になる。
持つ同期型DRAMの一部を示すブロック構成図。
の回路接続の一例を示す等価回路図。
ージ電源供給回路のプリチャージ電流供給動作を説明す
るために示すタイミング波形図。
具体例を示す回路図。
具体例を示す回路図。
源供給回路の配置関係の一例を示すパターンレイアウト
図。
けるバンクとプリチャージ電源供給回路との回路接続の
一例を示す等価回路図。
を示す等価回路図。
ャージ電源供給回路の配置関係の一例を示すパターンレ
イアウト図。
す等価回路図。
Mにおけるバンクとプリチャージ電源供給回路との回路
接続の一例を示す等価回路図。
ジ電源供給回路のプリチャージ電流供給動作を説明する
ために示すタイミング波形図。
Claims (7)
- 【請求項1】 それぞれ有するプリチャージ電源線が共
通に接続され、それぞれ同様の構成を有する複数の回路
ブロックと、 前記プリチャージ電源線にプリチャージ電流出力ノード
が接続され、半導体チップの電源投入時にプリチャージ
電流供給動作を開始する第1のプリチャージ電源供給回
路と、 前記プリチャージ電源線にプリチャージ電流出力ノード
が接続され、前記第1のプリチャージ電源供給回路のプ
リチャージ電流により前記プリチャージ電源線が所定の
電位に立ち上がった後にプリチャージ電流供給動作を開
始する第2のプリチャージ電源供給回路とを具備するこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の半導体装置において、 前記第2のプリチャージ電源供給回路は、 外部電源入力に基づいて第1の基準電圧を生成する基準
電圧生成回路と、 前記外部電源入力に基づいて半導体チップ内部で生成さ
れた内部電圧が動作電源として供給され、前記プリチャ
ージ電源線にプリチャージ電流を供給するための第1の
トランジスタと、 外部電源入力が動作電源として供給され、前記プリチャ
ージ電源線が所定の電位に立ち上がった後に生成される
制御信号を受けて前記第1の基準電圧と前記プリチャー
ジ電源線の電圧とを比較し、比較出力に応じて前記第1
のトランジスタ回路のプリチャージ電流供給動作を制御
する第1の電圧比較回路とを具備することを特徴とする
半導体装置。 - 【請求項3】 請求項2記載の半導体装置において、 前記基準電圧生成回路は、前記第1の基準電圧より大き
い第2の基準電圧をさらに生成し、 前記プリチャージ電源線から電流を放電させるための第
2のトランジスタと、 前記第2の基準電圧と前記プリチャージ電源線の電圧と
を比較し、比較出力に応じて前記第2のトランジスタの
放電動作を制御する第2の電圧比較回路とをさらに具備
することを特徴とする半導体装置。 - 【請求項4】 それぞれプリチャージ電源線を有する複
数の回路ブロックと、 前記複数の回路ブロックに対応して設けられ、対応する
回路ブロックのプリチャージ電源線に一端側が接続さ
れ、半導体チップの電源投入時から所定期間後にオフ状
態に制御される複数のスイッチ回路と、 前記複数のスイッチ回路の各他端側に共通に接続された
共通プリチャージ電源線と、 前記複数の回路ブロックに対応して設けられ、対応する
回路ブロックのプリチャージ電源線にプリチャージ電流
出力ノードが接続された複数のプリチャージ電源供給回
路とを具備し、 前記複数のプリチャージ電源供給回路は、半導体チップ
の電源投入時にプリチャージ電流供給動作を開始する第
1のプリチャージ電源供給回路と、前記第1のプリチャ
ージ電源供給回路のプリチャージ電流により前記プリチ
ャージ電源線が所定の電位に立ち上がった後にプリチャ
ージ電流供給動作を開始する第2のプリチャージ電源供
給回路とが混在することを特徴とする半導体装置。 - 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の
半導体装置において、 前記複数の回路ブロックとプリチャージ電源供給回路の
パターン配置関係は、各回路ブロック毎にほぼ対称にな
っていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項6】 それぞれプリチャージ電源線を有する複
数の回路ブロックと、 前記複数の回路ブロックのうちの特定の第1の回路ブロ
ックのプリチャージ電源線に一端側が接続され、他端側
が共通に接続され、半導体チップの電源投入時から所定
期間後にオフ状態に制御されるスイッチ回路と、 前記第1の回路ブロック以外の第2の回路ブロックのプ
リチャージ電源線および前記スイッチ回路の他端側に共
通に接続された共通プリチャージ電源線と、 前記第1の回路ブロックのプリチャージ電源線にプリチ
ャージ電流出力ノードが接続された第1のプリチャージ
電源供給回路と、 前記第2の回路ブロックのプリチャージ電源線にプリチ
ャージ電流出力ノードが接続された第2のプリチャージ
電源供給回路とを具備し、 前記第1のプリチャージ電源供給回路および第2のプリ
チャージ電源供給回路のうち、一方のプリチャージ電源
供給回路は、半導体チップの電源投入時にプリチャージ
電流供給動作を開始し、他方のプリチャージ電源供給回
路は、前記一方のプリチャージ電源供給回路のプリチャ
ージ電流により前記プリチャージ電源線が所定の電位に
立ち上がった後にプリチャージ電流供給動作を開始する
ように制御されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の
半導体装置は、 メモリセルアレイおよびそれに関連する回路が複数のバ
ンクに区分され、各バンクを独立に選択可能な構成を有
する同期型ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ
であり、 前記各バンクのプリチャージ電源線は、セルアレイのビ
ット線あるいはキャパシタプレート線であることを特徴
とする半導体装置。
Priority Applications (3)
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