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FR2682625A1 - POWDERS OF METALS AND METAL ALLOYS IN THE FORM OF SPHERICAL AND COMPACT MICROCRYSTALLINE GRAINS, AND PROCESS AND DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF POWDERS. - Google Patents

POWDERS OF METALS AND METAL ALLOYS IN THE FORM OF SPHERICAL AND COMPACT MICROCRYSTALLINE GRAINS, AND PROCESS AND DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF POWDERS. Download PDF

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FR2682625A1
FR2682625A1 FR9112890A FR9112890A FR2682625A1 FR 2682625 A1 FR2682625 A1 FR 2682625A1 FR 9112890 A FR9112890 A FR 9112890A FR 9112890 A FR9112890 A FR 9112890A FR 2682625 A1 FR2682625 A1 FR 2682625A1
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powder
spherical
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metals
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Dauger Alain
Roche Guy
Labregere Gerard
Guinebretiere Rene
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DEGUSSA PRODUITS CERAMIQUES SA
Degussa Produits Ceramiques SA
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DEGUSSA PRODUITS CERAMIQUES SA
Degussa Produits Ceramiques SA
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/06Metallic powder characterised by the shape of the particles
    • B22F1/065Spherical particles

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

a) Poudres de métaux et d'alliages de métaux sous forme de grains microcristallins sphériques et compacts, et procédé et dispositif pour leur fabrication. b) Poudres caractérisées en ce que le diamètre moyen des grains est compris entre 0,1 x 10- 6 m et moins de 5 x 10- 6 m et dont la granulométrie est située entre 0,01 x 10- 6 m à 25 x 10- 6 m, de préférence de 0,1 x 10- 6 m à moins de 10 x 10- 6 m, on utilise comme produit de départ une poudre du métal ou de l'alliage obtenue par synthèse chimique, de préférence par réduction chimique de sels métalliques; ce dispositif (1) est composé d'une enceinte étanche (2), d'un système d'introduction de la poudre (3), au moins d'une arrivée (4) du gaz porteur, d'un dispositif (5, 6) permettant de mélanger intimement la poudre avec le gaz et d'une sortie (7) qui est jointe avec l'entrée (9a) du tube (9).(a) Powder of metals and metal alloys in the form of spherical and compact microcrystalline grains, and method and apparatus for their manufacture. b) Powders characterized in that the average grain diameter is between 0.1 x 10-6 m and less than 5 x 10-6 m and whose particle size is between 0.01 x 10-6 m to 25 x 10-6 m, preferably 0.1 x 10-6 m to less than 10 x 10-6 m, a powder of the metal or alloy obtained by chemical synthesis, preferably by reduction, is used as starting material chemical metal salts; this device (1) is composed of a sealed enclosure (2), a system for introducing the powder (3), at least one inlet (4) for the carrier gas, a device (5, 6) allowing the powder to be intimately mixed with the gas and an outlet (7) which is joined with the inlet (9a) of the tube (9).

Description

i "Poudres de métaux et d'alliages de métaux sous forme de grainsPowdered metals and metal alloys in the form of grains

microcristallins sphériques et compacts, et procédé et dispositif pour la fabrication des poudres". La présente invention concerne des poudres de métaux et d'alliages binaires et ternaires de métaux sous forme de grains microcristallins  The present invention relates to powders of metals and binary and ternary alloys of metals in the form of microcrystalline grains.

sphériques et compacts.spherical and compact.

On observe, pour la fabrication de corps à partir de métaux frittés ainsi que d'éléments de l'industrie électronique, une augmentation de la demande en poudres microcristallines de métaux et d'alliages dont les particules sont presque sphériques, exemptes de fissures et de pores, donc  For the manufacture of bodies from sintered metals as well as elements of the electronics industry, there is an increase in the demand for microcrystalline powders of metals and alloys whose particles are almost spherical, free from cracks and pores, so

compactes, avec une surface la plus lisse possible.  compact, with the smoothest surface possible.

On peut fabriquer des poudres métalliques grâce à des procédés chimiques et physiques qui ont une influence déterminante sur les caractéristiques des poudres Les procédés connus sont l'obtention de poudres par pulvérisation de bains de fusion de métaux ou d'alliages avec un médium liquide ou gazeux (voir par exemple les documents DE-OS 33 24 188, DE-OS  It is possible to manufacture metal powders by chemical and physical processes which have a determining influence on the characteristics of the powders. Known processes are the production of powders by spraying molten metal or alloy baths with a liquid or gaseous medium. (see for example DE-OS 33 24 188, DE-OS

33 45 983, GB 952 457, GB 1 123 825 et EP-A 0 120 506.  33 45 983, GB 952 457, GB 1,123,825 and EP-A 0 120 506.

Les particules de poudres métalliques pulvérisées avec de l'eau, par exemple d'après le document DE-OS 33 24 188 ont des surfaces très irrégulières et leur surface  The particles of metal powders sprayed with water, for example according to DE-OS 33 24 188, have very irregular surfaces and their surface

est bien plus grande que celle calculée géométrique-  is much larger than that calculated geometrically-

ment On obtient par ailleurs, à l'aide d'un médium gazeux, des poudres métalliques à particules sphériques, dont le spectre d'après GB 952 457 par  In addition, spherical particles of metal powder with a spectrum of GB 952 457 are obtained by means of a gaseous medium.

exemple est compris entre 10 et 50 x 10-6 m.  example is between 10 and 50 x 10-6 m.

Le document EP-A O 120 506 présente la réalisation spéciale d'un procédé d'obtention de poudres métalliques encore plus fines par atomisation d'un jet de matière en fusion à l'aide d'un gaz Les particules de poudre obtenues avec cette méthode sont compactes et exemptes de pores; leur forme est presque sphérique et leur diamètre moyen varie entre 5  EP-A-0 120 506 discloses the special embodiment of a process for obtaining even finer metal powders by atomizing a jet of molten material with the aid of a gas. The powder particles obtained with this method are compact and pore-free; their shape is almost spherical and their average diameter varies between 5

et 35 x 10-6 m.and 35 x 10-6 m.

L'inconvénient de ces procédés connus d'obtention de poudres par pulvérisation d'un jet de matière en fusion est l'important investissement technique qui pèse particulièrement lourd, lorsqu'on doit fabriquer de petites quantités de poudres de métaux de grande valeur comme les métaux précieux En outre, on ne peut pas fabriquer, avec ces procédés, de poudres métalliques dont le diamètre moyen des  The disadvantage of these known processes for obtaining powders by spraying a jet of molten material is the important technical investment which weighs particularly heavily when small quantities of high-value metal powders such as In addition, it is not possible to manufacture, with these processes, metal powders whose average

particules est inférieur à 5 x 10-6 m.  particles is less than 5 x 10-6 m.

Un procédé complètement différent de fabrication de particules métalliques sphériques selon le document DE-OS 33 45 983 consiste à charger une quantité définie de particules métalliques grossières, telles que ferrailles, copeaux ou corps moulés, dans la zone de fusion d'un four à lit fluidisé, à faire fondre les particules, à pulvériser le produit fondu en gouttelettes dans un courant de gaz chaud et à faire se solidifier ces gouttelettes Ce procédé, aussi cher que les précédents, convient à la fabrication de particules utilisées comme abrasif, mais visiblement pas à la fabrication de poudres microcristallines. Les poudres très fines de métaux et d'alliages sont obtenues de façon classique, par synthèse chimique Par exemple, les poudres métalliques, comme les poudres de métaux précieux et d'alliages de métaux précieux, préparées par simple réduction chimique de sels métalliques, sont extrêmement fines, avec des diamètres de particules de 0,001 X 10-6 m à 0,1 x 10-6 m Elles présentent une surface spécifique élevée de 10 à 40 m 2/g, selon le réducteur utilisé Les grains primaires de cette poudre peuvent être agglomérés par un traitement thermomécanique Néanmoins, les grains possèdent une morphologie telle qu'une faible granulométrie est  A completely different method of manufacturing spherical metal particles according to German Offenlegungsschrift No. 33 45 983 is to charge a defined amount of coarse metal particles, such as scrap, chips or moldings, into the melting zone of a furnace. fluidized, to melt the particles, to spray the melted product into droplets in a stream of hot gas and to solidify these droplets This process, as expensive as the previous ones, is suitable for the manufacture of particles used as abrasive, but obviously not in the manufacture of microcrystalline powders. Very fine powders of metals and alloys are obtained conventionally, by chemical synthesis. For example, metal powders, such as powders of precious metals and alloys of precious metals, prepared by simple chemical reduction of metal salts, are extremely thin, with particle diameters from 0.001 X 10-6 m to 0.1 x 10-6 m They have a high specific surface area of 10 to 40 m 2 / g, depending on the reducer used The primary grains of this powder can However, the grains have a morphology such that a small granulometry is

généralement associée à une forte surface spécifique.  usually associated with a high specific surface area.

Dans ces conditions, les poudres sont très réactives et c'est un inconvénient pour produire des métaux frittés et des composants électroniques et des  Under these conditions, the powders are very reactive and it is a disadvantage to produce sintered metals and electronic components and

circuits microélectroniques hybrides.  hybrid microelectronic circuits.

L'influence importante de la morphologie des poudres de métaux ou d'alliages est mise en évidence dans le cas des condensateurs céramiques multicouches avec des électrodes internes à base d'alliages du  The important influence of the morphology of metal or alloy powders is evidenced in the case of multilayer ceramic capacitors with internal electrodes based on aluminum alloys.

système argent-palladium.silver-palladium system.

Les deux métaux forment facilement des séries continues de solutions monophasées Les températures du solidus et du liquidus varient de façon continue du point de fusion du palladium à 15520 C au point de fusion de l'argent à 9610 C Pour fabriquer des condensateurs mentionnés, les rapports Pd/Ag sont choisis de telle façon que la température du solidus soit au-dessus de la température de frittage du diélectrique pour éviter la fusion de  The two metals easily form continuous series of single-phase solutions The temperatures of solidus and liquidus vary continuously from the melting point of palladium at 15520 C to the melting point of silver at 9610 C. To manufacture the mentioned capacitors, the ratios Pd / Ag are chosen such that the temperature of the solidus is above the sintering temperature of the dielectric to avoid melting of

l'électrode durant le frittage.the electrode during sintering.

Les deux métaux forment des oxydes lorsqu'ils sont frittés dans l'air Ag 2 O est la phase oxydée de l'argent la plus stable à des températures voisines de la température ambiante et jusqu'à 3000 C. Cependant, la formation de l'oxyde est gênée par les atmosphères et par la diminution de la surface spécifique de l'argent pendant les premières étapes du frittage. Le palladium, de son côté, forme facilement  The two metals form oxides when sintered in air Ag 2 O is the oxidized phase of the most stable silver at temperatures around room temperature and up to 3000 C. However, the formation of The oxide is hindered by the atmospheres and by the decrease in the silver surface area during the first stages of sintering. Palladium, for its part, easily forms

l'oxyde Pd O lors des stades initiaux du frittage.  Pd O oxide during the initial stages of sintering.

L'importance de ce dernier dépend de la surface spécifique du métal, de la vitesse de chauffe et de la pression partielle d'oxygène atmosphérique Pd O, de structure cristalline tétragonale, est la phase stable thermodynamiquement jusqu'à approximativement 8000 C, revenant à l'état de métal à des températures plus hautes. Lors du frittage des condensateurs, l'oxydation du palladium peut s'accompagner d'une dilatation volumique jusqu'à 40 % Au-dessus de 8000 C, la réduction de Pd O en Pd se manifeste par une diminution de volume Ces deux réactions provoquent  The importance of the latter depends on the specific surface of the metal, the heating rate and the atmospheric oxygen partial pressure Pd O, of tetragonal crystalline structure, is thermodynamically stable phase up to approximately 8000 C, returning to the state of metal at higher temperatures. When sintering capacitors, the oxidation of palladium may be accompanied by a volume expansion up to 40% Above 8000 C, the reduction of Pd O in Pd is manifested by a decrease in volume These two reactions cause

des contraintes qui sont une cause de délamination.  constraints that are a cause of delamination.

L'oxydation-réduction du palladium est accélérée par l'introduction d'argent Par exemple, les poudres contenant 70 % en poids Ag, 30 % en poids Pd, aboutissent au maximum de l'oxydation du palladium vers 5200 C contre 7900 C en absence d'argent La fin de la réduction de Pd O est aussi modifiée avec une diminution de 9000 C à 7000 C. Pendant les étapes de la cuisson, la poudre fine peut interagir de manière catalytique avec le milieu organique de l'encre, créant des points chauds et menant au dégagement rapide de gaz de combustion,  The oxidation-reduction of palladium is accelerated by the introduction of silver. For example, the powders containing 70% by weight Ag, 30% by weight Pd, result in the maximum of the oxidation of palladium at 5200 C against 7900 C in lack of silver The end of the reduction of Pd O is also modified with a decrease of 9000 C to 7000 C. During the cooking stages, the fine powder can interact catalytically with the organic medium of the ink, creating hot spots and leading to rapid release of flue gas,

au cloquage et à la délamination des condensateurs.  blistering and delamination of the capacitors.

Les caractéristiques de retrait de très fines poudres métalliques sont, habituellement, excessives et ne peuvent égaler celles du matériau diélectrique (entourant) Par conséquent, de minuscules "ilots" de métal sont formés, résultant de groupements métalliques discontinus de faible conductivité. La présente invention a pour but de mettre au point des poudres métalliques non actives, assez fines pour l'utilisation dans des pâtes applicables par sérigraphie, mais de surface spécifique suffisamment faible pour inhiber l'activité catalytique Un autre but de la présente invention est de trouver un procédé et un dispositif de fabrication de telles poudres à partir de poudres microcristallines constituées de grains non-sphériques dont la surface spécifique est plus forte que la  The shrinkage characteristics of very fine metal powders are usually excessive and can not match those of the (surrounding) dielectric material. As a result, tiny "islands" of metal are formed resulting from discontinuous metallic groups of low conductivity. The object of the present invention is to develop non-active metal powders which are fine enough for use in screen-printed pastes, but which have a specific surface area sufficiently small to inhibit catalytic activity. Another object of the present invention is to find a method and a device for manufacturing such powders from microcrystalline powders consisting of non-spherical grains whose specific surface area is greater than the

valeur théorique calculée.calculated theoretical value.

A cet effet, l'invention concerne un procédé du type défini ci-dessus remédiant aux inconvénients cités et caractérisé en ce que le diamètre moyen est  For this purpose, the invention relates to a process of the type defined above remedying the disadvantages mentioned and characterized in that the average diameter is

compris entre 0,1 et moins de 5 x 10-6 et dont la gra-  between 0.1 and less than 5 x 10-6 and whose

nulométrie est étalée au-dedans de 0,01 à 25 x 10-6 m, de préférence de 0,1 à 10 x 10-6 m et en particulier  Zero-size is spread within 0.01 to 25 x 10-6 m, preferably 0.1 to 10 x 10-6 m and in particular

de 0,1 x 10-6 m à moins de 5 x 10-6 m La surface spé-  from 0.1 x 10-6 m to less than 5 x 10-6 m The special surface

cifique de ces poudres est proche de la valeur théori-  of these powders is close to the theoretical value

que calculée à partir-de la granulométrie moyenne.  than calculated from the average particle size.

Les poudres selon l'invention mais aussi les poudres de même morphologie dont le diamètre moyen est plus grand que 5 x 10-6 m et dont la granulométrie est située entre 0,01 x 10-6 m à environ 50 x 10-6 m peuvent être produites par un procédé comprenant l'introduction des métaux ou de leurs alliages concernant sous forme de grains non-sphériques dans un four pour les y chauffer à une température supérieure à la température de fusion et refroidissement des grains sphériques obtenus pour les solidifier, qui est caractérisé en ce qu'on utilise comme produit de départ une poudre de métaux ou d'alliage, ou des poudres des constituants de l'alliage, sous forme de grains microcristallins non-sphériques, avec une surface spécifique plus grande que celle des poudres à fabriquer, on met en suspension (nuage de poudre) ce produit de départ dans un gaz porteur inerte, on introduit cette suspension dans un four tubulaire avec chauffage externe, on fait refroidir la suspension après le passage au travers de la zone de chauffe du four et ensuite on récupère la poudre de la suspension  The powders according to the invention, but also the powders of the same morphology, whose average diameter is greater than 5 × 10 -6 m and whose particle size is between 0.01 × 10 -6 m and about 50 × 10 -6 m. may be produced by a process comprising introducing the metals or their alloys in the form of non-spherical grains into an oven to heat them to a temperature above the melting temperature and cooling the spherical grains obtained to solidify them, which is characterized in that the starting material used is a metal or alloy powder, or powders of the constituents of the alloy, in the form of non-spherical microcrystalline grains, with a specific surface area greater than that of the powders to be manufactured, this starting material is suspended (cloud of powder) in an inert carrier gas, this suspension is introduced into a tubular furnace with external heating, the suspension is cooled after passing through the oven heating zone and then recovering the powder from the suspension

à l'aide de méthodes connues.using known methods.

Suivant une autre caractéristique du procédé de l'invention: on règle la température de la zone de chauffe du four à une température de 100 à 2500 C supérieure à la température de fusion, on utilise comme produit de départ une poudre du métal ou de l'alliage obtenu par synthèse chimique, de préférence par réduction chimique de sels métalliques et éventuellement suivi par un traitement thermomécanique. L'invention concerne également un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé, caractérisé en ce qu'il comprend un four tubulaire, un ou plusieurs dispositifs de refroidissement de la suspension, un dispositif de récupération de la poudre permettant la séparation de la poudre du gaz porteur, ce dispositif est composé d'une enceinte étanche, d'un système d'introduction de la poudre, au moins d'une arrivée du gaz porteur, d'un dispositif permettant de mélanger intimement la poudre avec le gaz et d'une sortie qui est jointe avec l'entrée du tube du four tubulaire ou une zone du tube est entourée par un ou plusieurs dispositifs de chauffe, le ou les dispositifs de Ir refroidissement sont disposés dans ou autour d'une partie du tube située entre la zone de chauffe et la sortie du tube ou/et facultativement dans ou autour d'une cheminée située entre la sortie et le dispositif de récupération. Comme produit de départ (poudre de base) on peut utiliser, en principe, toutes les poudres qui sont aptes à être mises en suspension dans le gaz porteur La vitesse du courant de la suspension au travers du four et la température de la zone de chauffe sont réglées de telle façon qu'on obtienne des grains fondus sphériques à l'entrée de la zone de refroidissement De préférence, la zone de chauffe est réglée à une température de 100 à 250 OC supérieure à la température de fusion Dans une zone de refroidissement qui peut être disposée autour de ou dans une partie du tube du four et/ou positionnée à  According to another characteristic of the process of the invention: the temperature of the heating zone of the oven is set to a temperature of 100 to 2500 ° C. above the melting temperature, a powder of the metal or aluminum is used as starting material. alloy obtained by chemical synthesis, preferably by chemical reduction of metal salts and optionally followed by a thermomechanical treatment. The invention also relates to a device for carrying out the process, characterized in that it comprises a tubular furnace, one or more cooling devices for the suspension, a powder recovery device allowing the separation of the powder from the carrier gas, this device is composed of a sealed enclosure, a system for introducing the powder, at least an inlet of the carrier gas, a device for intimately mixing the powder with the gas and an outlet which is joined with the inlet of the tube of the tubular furnace or a zone of the tube is surrounded by one or more heating devices, the one or more Ir cooling devices are arranged in or around a part of the tube situated between the heating zone and the outlet of the tube and / or optionally in or around a chimney located between the outlet and the recovery device. As a starting material (base powder) all the powders which are suitable for being suspended in the carrier gas can be used in principle. The speed of the suspension current through the furnace and the temperature of the heating zone are adjusted in such a way that spherical fused grains are obtained at the inlet of the cooling zone. Preferably, the heating zone is set at a temperature of 100 to 250 ° C. higher than the melting temperature In a cooling zone which can be arranged around or in a portion of the oven tube and / or positioned at

l'extérieur du tube du four les grains se solidifient.  outside the oven tube the grains solidify.

Le procédé de fabrication des poudres désirées est caractérisé en ce qu'on utilise comme produit de départ une poudre du métal ou de l'alliage obtenue par synthèse chimique, de préférence par  The process for producing the desired powders is characterized in that the starting material used is a powder of the metal or alloy obtained by chemical synthesis, preferably by

réduction chimique de sels métalliques et éventuelle-  chemical reduction of metal salts and possible

ment suivi par un traitement thermomécanique.  followed by thermomechanical treatment.

Selon le procédé de l'invention, on peut fabriquer des poudres de métaux communs,: comme par exemple de cuivre, plomb, étain, zinc, aluminium et de poudres de métaux précieux, de préférence d'argent, d'or, de palladium et de platine Au-delà, le procédé est applicable aux alliages binaires et ternaires de métaux. L'invention sera mieux comprise à l'aide de  According to the process of the invention, it is possible to manufacture powders of base metals, such as, for example, copper, lead, tin, zinc, aluminum and powders of precious metals, preferably silver, gold or palladium. and Platinum Beyond, the process is applicable to binary and ternary alloys of metals. The invention will be better understood by means of

la description faite ci-après de deux exemples et des  the following description of two examples and

figures. La figure 1 montre la morphologie d'une poudre de départ d'un alliage Ag-Pd; La figure 2 celle du produit obtenu selon le procédé de l'invention (les figures 1 et 2 correspondent à des photos au microscope électronique à balayage); La figure 3 montre un schéma d'une installation de fabrication de poudre selon l'invention. A titre d'exemple, une poudre d'un alliage Ag-Pd préparée par réaction chimique d'oxydo-réduction à l'aide d'un réducteur du type d'un aldéhyde en milieu aqueux à partir d'un carbonate mixte d'argent et de palladium, est caractérisée par une surface spécifique de l'ordre de 10 m 2/g (mesurée par l'adsorption d'un gaz selon la méthode BET) et un diamètre des grains inférieurs à 0,1 x 10-6 m Par un traitement thermo-mécanique de la poudre obtenue, on peut obtenir une poudre dont la surface spécifique est comprise entre 1 et 2 m 2/g Par le procédé de l'invention à partir de la poudre dernièrement mentionnée, la surface spécifique est réduite à  FIGS. Figure 1 shows the morphology of a starting powder of an Ag-Pd alloy; Figure 2 that of the product obtained according to the method of the invention (Figures 1 and 2 correspond to scanning electron microscope photos); Figure 3 shows a diagram of a powder manufacturing plant according to the invention. By way of example, a powder of an Ag-Pd alloy prepared by chemical redox reaction using an aldehyde-type reducing agent in an aqueous medium from a mixed carbonate of silver and palladium, is characterized by a specific surface of the order of 10 m 2 / g (measured by the adsorption of a gas according to the BET method) and a grain diameter of less than 0.1 x 10-6 By a thermomechanical treatment of the powder obtained, it is possible to obtain a powder whose specific surface is between 1 and 2 m 2 / g. By the process of the invention from the powder mentioned above, the specific surface is reduced to

environ 0,3 0,5 m 2/g.about 0.3 0.5 m 2 / g.

La figure 3 montre un dispositif schématique en section longitudinale d'une installation fonctionnelle pour la fabrication de poudres selon le procédé décrit et comprend un dispositif de mise en suspension de la poudre 1, un four tubulaire 8, un ou plusieurs dispositifs de refroidissement de la suspension 11 et un dispositif de récupération de la poudre 13 permettant la séparation de la poudre du gaz porteur, ledit dispositif 1 est composé d'une enceinte étanche 2, d'un système d'introduction de la poudre 3, au moins d'une arrivée du gaz porteur, d'un dispositif , 6 permettant de mélanger intimement la poudre avec le gaz et d'une sortie 7 qui est jointe avec l'entrée 9 a du tube 9 du four tubulaire 8 o une zone 9 b du tube 9 est entourée par un ou plusieurs dispositifs de chauffe 10 Le ou les dispositifs de refroidissement 11 sont disposés dans ou autour d'une partie du tube 9 située entre la zone de chauffe 9 b et la sortie 9 c du tube ou/et facultativement dans ou autour d'une cheminée 12 située entre la sortie 9 c et le dispositif  FIG. 3 shows a schematic device in longitudinal section of a functional installation for the manufacture of powders according to the method described and comprises a device for suspending the powder 1, a tubular furnace 8, one or more cooling devices of the suspension 11 and a powder recovery device 13 for separating the powder from the carrier gas, said device 1 is composed of a sealed enclosure 2, a powder introduction system 3, at least one arrival of the carrier gas, a device 6 for intimately mixing the powder with the gas and an outlet 7 which is joined with the inlet 9a of the tube 9 of the tubular furnace 8 o a zone 9b of the tube 9 is surrounded by one or more heating devices 10 or the cooling devices 11 are arranged in or around a portion of the tube 9 located between the heating zone 9b and the outlet 9c of the tube and / or optionally in or aut of a chimney 12 located between the outlet 9c and the device

de récupération 13.recovery 13.

Le dispositif et les éléments qui le composent 2 à 6 peuvent être organisés de différentes façons L'alimentation en poudre 3 peut se faire à l'aide des systèmes de dosage classiques utilisés pour les poudres fines, tels que par exemple sas à roues cellulaire, vis doseuse ou goulotte vibrante La figure 3 présente un dispositif de mélange 5, 6 particulièrement avantageux; la référence 5 représente une hélice actionnée par un moteur 6 Le principe des appareils de mélange 5, 6 sans pièces mobiles, mélangeurs fixes, dans lesquels on introduit à une extrémité la poudre et le gaz porteur, convient également Au lieu d'être introduit par une alimentation 4, le gaz porteur peut également être introduit dans la chambre de mélange 2 par différentes conduites Le tube 9 du four tubulaire 8 contient une zone de chauffe 9 b chauffée à l'aide d'un ou de plusieurs registres de tirage 10 Le chauffage peut être électrique ou au gaz; on préférera toutefois le chauffage électrique car il permet le réglage et l'ajustage facile du programme de température sur toute la longueur de la zone de chauffe Le tube 9 est relié d'un côté 9 a à la chambre de mélange 2 et de l'autre côté 9 c au dispositif de récupération ou bien éventuellement à une cheminée 12 placée entre le  The device and the elements that make it up 2 to 6 can be organized in different ways. The powder feed 3 can be done using conventional dosing systems used for fine powders, such as, for example, cellular wheelhouses. metering screw or vibrating chute Figure 3 shows a particularly advantageous mixing device 5, 6; the reference 5 represents a propeller driven by a motor 6 The principle of mixing devices 5, 6 without moving parts, fixed mixers, in which one introduces at one end the powder and the carrier gas, is also suitable Instead of being introduced by a feed 4, the carrier gas can also be introduced into the mixing chamber 2 by different pipes The tube 9 of the tubular furnace 8 contains a heating zone 9 b heated by means of one or more pulling registers 10 heating can be electric or gas; however, the electric heating will be preferred because it allows the adjustment and the easy adjustment of the temperature program over the entire length of the heating zone. The tube 9 is connected on one side 9 a to the mixing chamber 2 and the another side 9 c to the recovery device or possibly to a stack 12 placed between the

dispositif de récupération et l'extrémité du tube 9.  recovery device and the end of the tube 9.

Le ou les systèmes de refroidissement 11 peuvent se présenter de différentes façons et peuvent être placés vers l'extrémité du tube 9 et/ou près d'une éventuelle cheminée 12 Le refroidissement de la suspension peut se faire en une ou plusieurs étapes Conformément au schéma recommandé, le dispositif de refroidissement 11 représenté sur la figure 3 se situe près de l'extrémité du tube 9; ce système de refroidissement est constitué d'un échangeur de chaleur placé autour  The cooling system or systems 11 may be in various ways and may be placed towards the end of the tube 9 and / or near a possible chimney 12. The cooling of the suspension may be carried out in one or more steps. recommended, the cooling device 11 shown in Figure 3 is located near the end of the tube 9; this cooling system consists of a heat exchanger placed around it

du tube, fonctionnant avec un médium de refroidisse-  of the tube, operating with a cooling medium

ment tel que l'eau lia et llb représentent l'arrivée et le départ du médium de refroidissement Le système facultatif de refroidissement 14 avec conduite d'alimentation et d'évacuation 14 a et 14 b du médium de refroidissement sert à bien relier le tube 9 à la chambre 2 Si on place, entre le tube 9 et le système de récupération 13 un élément tubulaire 12 ayant la forme d'une cheminée et pouvant être équipé d'un dispositif de refroidissement, il servira, grâce à son diamètre beaucoup plus grand que celui du tube 9, à diminuer la vitesse d'écoulement de la suspension On peut, de cette façon, séparer dans des chambres de conception simple 13, la poudre du gaz porteur par sédimentation; la poudre est dirigée vers l'évacuation 13 b, le gaz porteur s'échappe par la sortie 13 a éventuellement reliée à des filtres à poussière, ou bien est recyclé complètement ou en partie dans la chambre de suspension 2 Au lieu du dispositif de récupération 13 présenté sur la figure 3, la séparation de la poudre contenue dans la suspension refroidie peut également être réalisée grâce à d'autres dispositifs connus, à l'aide de  Such as the water 11a and 11b represent the arrival and departure of the cooling medium. The optional cooling system 14 with supply and exhaust ducts 14a and 14b of the cooling medium serves to connect the tube 9 to the chamber 2 If placed between the tube 9 and the recovery system 13 a tubular element 12 having the shape of a chimney and can be equipped with a cooling device, it will serve, thanks to its diameter much more large than that of the tube 9, to reduce the flow rate of the suspension It is possible, in this way, to separate in the rooms of simple design 13, the powder of the carrier gas by sedimentation; the powder is directed towards the outlet 13b, the carrier gas escapes through the outlet 13 possibly connected to dust filters, or is recycled completely or partially into the suspension chamber 2 Instead of the recovery device 13 shown in FIG. 3, the separation of the powder contained in the cooled suspension can also be carried out by means of other known devices, with the aid of

séparateurs à cyclone et/ou de filtres à poussière.  cyclone separators and / or dust filters.

On ne pouvait pas prévoir qu'on aurait à transformer des poudres microcristallines de métaux ou d'alliages de métaux se présentant sous forme de il particules non sphériques en poudres à particules sphériques et surface lisse conformément au brevet d'invention et dans un dispositif de fabrication particulièrement adapté à ce procédé Ce procédé est particulièrement avantageux dans la mesure o il est sensiblement plus simple et o il peut fonctionner de façon plus rentable que le procédé précité dont le  It could not be expected that microcrystalline powders of metals or metal alloys in the form of non-spherical particles would be converted into spherical particle and smooth surface powders in accordance with the invention patent and in a This process is particularly advantageous in that it is substantially simpler and it can operate in a more cost-effective manner than the aforementioned process whose

point de départ est également des particules solides.  starting point is also solid particles.

Dans le procédé de l'invention, la quantité de gaz est beaucoup plus faible que dans le procédé précité; les coûts d'énergie et de matières premières sont donc plus faibles En sélectionnant les poudres de départ et en agissant sur leur durée de séjour dans la zone de chauffe par la longueur et la température de la zone de chauffe et la vitesse d'écoulement du gaz, il est possible de fabriquer des poudres avec le spectre  In the process of the invention, the amount of gas is much lower than in the above process; energy and raw material costs are therefore lower By selecting the starting powders and by acting on their residence time in the heating zone by the length and temperature of the heating zone and the flow velocity of the heating zone. gas, it is possible to manufacture powders with the spectrum

granulométrique souhaité dans des domaines inaccessi-  desired particle size in inaccessible areas.

bles jusqu'alors Les poudres pouvant être obtenues par le procédé de l'invention se sont avérées particulièrement avantageuses pour la fabrication de constituants électroniques tels que les condensateurs céramiques multicouches En raison de sa structure simple, le dispositif est particulièrement adapté à la fabrication de petites charges de poudres métalliques très coûteuses, celles par exemple de métaux précieux  The powders obtainable by the process of the invention have proved particularly advantageous for the manufacture of electronic constituents such as multilayer ceramic capacitors. Because of its simple structure, the device is particularly suitable for the manufacture of small loads of very expensive metal powders, for example those of precious metals

et de leurs alliages.and their alloys.

Il est à noter qu'un dispositif pour fabriquer des poudres de l'invention peut être aussi utilisé pour améliorer la cristallinité des poudres de métaux et d'alliages de métaux, même en les traitant à une température inférieure de 1000 C à 2000 C à la température de fusion En ce cas, la poudre de départ  It should be noted that a device for producing powders of the invention can also be used to improve the crystallinity of the powders of metals and metal alloys, even if they are treated at a temperature of less than 1000 ° C. to 2000 ° C. the melting temperature In this case, the starting powder

peut être sous forme de grains sphériques ou non-  can be in the form of spherical or non-spherical grains

sphériques. est expliqué à l'aide des Le procédé  spherical. is explained using the method

exemples suivants.following examples.

Exemple 1Example 1

La poudre de départ voir figure 1 est un alliage d'argent palladium à 30 % en poids de Pd obtenu par voie chimique et traitement thermomécani- que. Les caractéristiques physico-chimiques sont les suivantes: Morphologie: agrégats de 3 à 4 x 10-6 m de diamètre moyen, pouvant atteindre 17 x 10-6 m dans une direction. Surface spécifique 1,8 m 2/g (adsorption de gaz selon BET). Taux d'oxydation: 60 à 80 % du palladium contenu  The starting powder (see FIG. 1) is a palladium silver alloy containing 30% by weight of Pd obtained chemically and thermomechanically. The physico-chemical characteristics are as follows: Morphology: aggregates of 3 to 4 x 10-6 m average diameter, up to 17 x 10-6 m in one direction. Specific surface 1.8 m 2 / g (gas adsorption according to BET). Oxidation rate: 60 to 80% of the palladium content

s'oxyde à la température maximum d'oxydation.  oxidizes at the maximum oxidation temperature.

Conditions expérimentales: Le procédé est réalisé dans un dispositif selon la figure 3,  Experimental conditions: The process is carried out in a device according to FIG.

Gaz porteur: argon, débit: 1 1/min.  Carrier gas: argon, flow rate: 1 1 / min.

Vitesse de rotation de l'hélice 3000 tr/min. Température de four: 14600 C. Résultats: Les particules voir figure 2 sont parfaitement sphériques, la granulométrie est située de 0,2 à 3 x 10-6 m, la surface spécifique est de 0,43 m 2/g (microscope électronique) La poudre présente une homogénéité solide parfaite; la composition chimique  Rotation speed of the propeller 3000 rpm. Oven temperature: 14600 C. Results: The particles see Figure 2 are perfectly spherical, the particle size is 0.2 to 3 x 10-6 m, the specific surface is 0.43 m 2 / g (electron microscope) The powder has perfect solid homogeneity; the chemical composition

reste inchangée.remains unchanged.

Utilisation La poudre de départ et la poudre obtenue ont été utilisées pour réaliser les électrodes internes de condensateurs céramiques multicouches; fabrication des condensateurs de façon connue: Les chips à base de la poudre de départ présentaient quelques minuscules ilots de métal et une délamination partielle des couches après frittage à  Use The starting powder and the powder obtained were used to produce the internal electrodes of multilayer ceramic capacitors; Manufacture of capacitors in known manner: The chips based on the starting powder had a few tiny islands of metal and a partial delamination of the layers after sintering.

11500 C.11500 C.

Les chips à base de la poudre de grains sphériques selon l'exemple 1 ne présentaient aucune délamination après frittage à 11500 C.  The chips based on the powder of spherical grains according to Example 1 showed no delamination after sintering at 11500 C.

Exemple 2Example 2

La poudre de départ et les conditions expérimentales sont identiques à l'exemple 1 avec la seule différence que la température du four est régulée à 13200 C. Résultats Les particules sont parfaitement sphériques, la granulométrie s'étale de 0,4 à 4 x 10-6 m, la surface spécifique est de 0,34 m 2/g La poudre présente une homogénéité solide parfaite et la  The starting powder and the experimental conditions are identical to Example 1 with the only difference that the temperature of the oven is regulated at 13200 C. Results The particles are perfectly spherical, the particle size ranges from 0.4 to 4 × 10 -6 m, the specific surface is 0.34 m 2 / g The powder has a perfect solid homogeneity and the

composition chimique est inchangée.  chemical composition is unchanged.

Le taux d'oxydation du palladium contenu est de 30 % à la température maximum d'oxydation à 5750 C. Le retrait mesuré à 11000 C est de l'ordre de 12 % contre 40 % pour la poudre de départ Le coefficient de dilatation linéaire, entre O à 900 'C, est proche de  The oxidation rate of the palladium content is 30% at the maximum oxidation temperature at 5750 C. The shrinkage measured at 11000 C is of the order of 12% against 40% for the starting powder The coefficient of linear expansion , between O at 900 'C, is close to

celui du matériau massif, soit 1,68 x 10-5 /OC.  that of the massive material, 1.68 x 10-5 / OC.

Utilisées pour réaliser les électrodes internes de condensateurs céramiques multicouches, les chips ne présentaient aucune délamination après frittage à 11500 C.  Used to produce the internal electrodes of multilayer ceramic capacitors, the chips showed no delamination after sintering at 11500 C.

Exemple 3Example 3

La poudre de départ est un alliage d'argent palladium à 70 % en poids de palladium obtenu par voie  The starting powder is an alloy of palladium silver with 70% by weight of palladium obtained by

chimique et traitement thermomécanique.  chemical and thermomechanical treatment.

Les caractéristiques physico-chimiques sont les suivantes: Morphologie: agrégats de 3 à 5 x 10-6 m de diamètre moyen, pouvant atteindre 12 x 10-6 m dans une direction.  The physicochemical characteristics are as follows: Morphology: aggregates of 3 to 5 x 10-6 m average diameter, up to 12 x 10-6 m in one direction.

Surface spécifique 1,5 m 2/g.Specific surface 1.5 m 2 / g.

Conditions expérimentalesExperimental conditions

Dispositif selon Figure 3.Device according to Figure 3.

Gaz porteur: argon, débit: 5 1/min.  Carrier gas: argon, flow rate: 5 l / min.

Vitesse de rotation de l'hélice: 3000 tr/min.  Rotation speed of the propeller: 3000 rpm.

Température du four: 15000 C. Résultats: Les particules sont parfaitement sphériques, la granulométrie est située de 0,2 à 3 x 10-6 m, la surface spécifique est de 0,5 m 2/g La poudre présente une homogénéité solide parfaite et la composition  Oven temperature: 15000 C. Results: The particles are perfectly spherical, the particle size is 0.2 to 3 x 10-6 m, the specific surface is 0.5 m 2 / g The powder has a perfect solid homogeneity and the composition

chimique reste inchangée.chemical remains unchanged.

Exemple 4Example 4

La poudre de départ est constituée de grains  The starting powder consists of grains

d'argent obtenus par réduction chimique Les caracté-  of silver obtained by chemical reduction.

ristiques physico-chimiques sont les suivantes: Morphologie: agrégats de 5 à 7 x 10-6 m en moyenne,  Physico-chemical parameters are as follows: Morphology: aggregates of 5 to 7 x 10-6 m on average,

pouvant atteindre 25 x 10-6 m.up to 25 x 10-6 m.

Surface spécifique: 1 m 2/g.Specific surface area: 1 m 2 / g.

Conditions expérimentalesExperimental conditions

Dispositif selon figure 3.Device according to Figure 3.

Gaz porteur: argon, débit 5 1/min.Carrier gas: argon, flow rate 5 l / min.

Vitesse de rotation de l'hélice: 3000 tr/min.  Rotation speed of the propeller: 3000 rpm.

Température du four: 12000 C. Résultats: Les particules sont parfaitement sphériques,  Oven temperature: 12000 C. Results: The particles are perfectly spherical,

la granulométrie est étalée de 2 à 5 x 10-6 m.  the particle size is spread from 2 to 5 x 10-6 m.

Exemple 5Example 5

La poudre de départ est constituée de grains de cuivre obtenus par décomposition thermique à 3000 C  The starting powder consists of copper grains obtained by thermal decomposition at 3000 ° C.

sous azote d'un formiate de cuivre pulvérulent.  under nitrogen of a pulverulent copper formate.

Morphologie: agrégats pouvant atteindre 50 x 10-6 m  Morphology: aggregates up to 50 x 10-6 m

Surface spécifique 0,8 m 2/g.Specific surface area 0.8 m 2 / g.

Conditions d'obtention des poudres sphéri-  Conditions for obtaining spherical powders

ques:c:

Dispositif selon figure 3.Device according to Figure 3.

Gaz porteur: argon.Carrier gas: argon.

Vitesse de rotation de l'hélice: 3000 tours/min.  Rotation speed of the propeller: 3000 rpm.

Température du four: 13000 C. Résultats:  Oven temperature: 13000 C. Results:

Les particules sont parfaitement sphériques.  The particles are perfectly spherical.

La granulométrie moyenne est de 8 x 10-6 m et la  The average particle size is 8 x 10-6 m and the

surface spécifique de 0,2 m 2/g.specific surface area of 0.2 m 2 / g.

Claims (6)

REVENDICATIONS 1) Poudres de métaux et d'alliages binaires et ternaires de métaux sous forme de grains microcristallins sphériques et compacts, caractérisées en ce que le diamètre moyen des grains est compris entre 0,1 x 10-6 m et moins de 5 x 10-6 m et dont la granulométrie est située entre 0,01 x 10-6 m à 25 x -6 m, de préférence de 0,1 x 10-6 m à moins de 10 x -6 m.  1) Powders of metals and binary and ternary alloys of metals in the form of spherical and compact microcrystalline grains, characterized in that the average grain diameter is between 0.1 x 10-6 m and less than 5 x 10- 6 m and whose particle size is between 0.01 x 10-6 m at 25 x -6 m, preferably from 0.1 x 10-6 m to less than 10 x -6 m. 2) Poudres selon la revendication 1, carac-  2) Powders according to claim 1, characterized térisées en ce qu'elles comprennent des métaux précieux ou d'alliages binaires ou ternaires de métaux précieux, de préférence d'argent, d'or, de palladium  characterized in that they comprise precious metals or binary or ternary alloys of precious metals, preferably silver, gold, palladium ou de platine ou de leurs alliages.or platinum or their alloys. 3) Procédé de fabrication de poudres de métaux et d'alliages binaires et ternaires de métaux sous forme de grains microcristallins sphériques et compacts dont la granulométrie est située entre 0,01 x -6 m à environ 50 x 10-6 m, ce procédé comprenant l'introduction des métaux ou de leurs alliages sous forme de grains non-sphériques dans un four pour les y chauffer à une température supérieure à la température de fusion et refroidissement des grains sphériques obtenus pour les solidifier, caractérisé en ce qu'on utilise comme produit de départ une poudre de métaux ou d'alliage ou les poudres de constituants de  3) A method for producing metal and binary and ternary metal powders in the form of spherical and compact microcrystalline grains whose particle size is between 0.01 x -6 m and approximately 50 x 10-6 m, this process comprising introducing the metals or their alloys in the form of non-spherical grains into an oven to heat them to a temperature above the melting temperature and cooling of the spherical grains obtained to solidify them, characterized in that it uses as the starting material a metal or alloy powder or the powders of l'alliage, sous forme de grains microcristallins non-  the alloy, in the form of non-microcrystalline grains sphériques, avec une surface spécifique plus grande que celle des poudres à fabriquer, on met en suspension (nuage de poudre) ce produit de départ dans un gaz porteur inerte, on introduit cette suspension dans un four tubulaire avec chauffage externe, on fait refroidir la suspension après le passage au travers de la zone de chauffe du four et ensuite on récupère la  spherical, with a specific surface area larger than that of the powders to be produced, this starting material is suspended (cloud of powder) in an inert carrier gas, this suspension is introduced into a tubular furnace with external heating, the suspension after passing through the oven heating zone and then recovering the poudre de la suspension à l'aide de méthodes connues.  suspension powder using known methods. 4) Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on règle la température de la zone de chauffe du four à une température de 100 à  4) Process according to claim 3, characterized in that the temperature of the heating zone of the oven is set to a temperature of 100 to 250 'C supérieure à la température de fusion.  250 ° C higher than the melting temperature. 5) Procédé de fabrication de poudres de métaux précieux ou d'alliages binaires ou ternaires de métaux précieux sous forme de grains microcristallins sphériques et compacts dont le diamètre moyen est compris entre 0,1 x 10-6 m et moins de 5 x 10-5 m et dont la granulométrie est située entre 0,01 x 10-6 m à x 10-6 m, de préférence de 0,1 x 10-6 m à moins de  5) Process for the manufacture of precious metal powders or binary or ternary alloys of precious metals in the form of spherical and compact microcrystalline grains having an average diameter of between 0.1 x 10-6 m and less than 5 x 10- 5 m and whose particle size is between 0.01 x 10-6 m to x 10-6 m, preferably 0.1 x 10-6 m to less than x 10-6 m selon l'une quelconque des revendications 3  x 10-6 m according to any one of claims 3 ou 4, caractérisé en ce qu'on utilise comme produit de départ une poudre du métal ou de l'alliage obtenu par synthèse chimique, de préférence par réduction chimique de sels métalliques et éventuellement suivi  or 4, characterized in that the starting material used is a powder of the metal or alloy obtained by chemical synthesis, preferably by chemical reduction of metal salts and optionally followed par un traitement thermomécanique.by a thermomechanical treatment. 6) Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé pour fabriquer des poudres de métaux et d'alliages binaires et ternaires de métaux sous forme de grains micro-cristallins sphériques et compacts dont la granulométrie est située entre 0,01 x 10-6 m et 50 x 10-6 m à partir de poudres des métaux ou de leurs alliages sous forme de grains microcristallins non-sphériques avec une surface spécifique plus grande que celle des poudres à fabriquer, dispositif caractérisé par la mise en suspension de la poudre ( 1) et comprenant un four tubulaire ( 8), un ou plusieurs dispositifs de refroidissement de la suspension ( 11), un dispositif de récupération de la poudre ( 13) permettant la séparation de la poudre du gaz porteur, ce dispositif ( 1) est composé d'une enceinte étanche ( 2), d'un système d'introduction de la poudre ( 3), au moins d'une arrivée ( 4) du gaz porteur, d'un dispositif ( 5, 6) permettant de mélanger intimement la poudre avec le gaz et d'une sortie ( 7) qui est jointe avec l'entrée ( 9 a) du tube ( 9) du four tubulaire ( 8) ou une zone ( 9 b) du tube ( 9) est entourée par un ou plusieurs dispositifs de chauffe ( 10), le ou les dispositifs de refroidissement ( 11) sont disposés dans ou autour d'une partie du tube ( 9) située entre la zone de chauffe ( 9 b) et la sortie ( 9 c) du tube ou/et facultativement dans ou autour d'une cheminée ( 12) située entre la sortie ( 9 c) et le dispositif de  6) Apparatus for carrying out the process for producing metal and binary alloy and metal ternary alloy powders in the form of spherical and compact microcrystalline grains whose particle size is between 0.01 × 10 -6 m and 50 x 10-6 m from powders of metals or their alloys in the form of non-spherical microcrystalline grains with a specific surface area greater than that of the powders to be manufactured, characterized by the suspension of the powder (1) and comprising a tubular furnace (8), one or more slurry cooling devices (11), a powder recovery device (13) for separating the powder from the carrier gas, said device (1) is composed of a sealed enclosure (2), a powder introduction system (3), at least one inlet (4) of the carrier gas, a device (5, 6) for intimately mixing the powder with the gas and an outlet (7) which are t joined with the inlet (9a) of the tube (9) of the tubular furnace (8) or an area (9b) of the tube (9) is surrounded by one or more heating devices (10), the device or devices (11) are arranged in or around a portion of the tube (9) between the heating zone (9b) and the outlet (9c) of the tube and / or optionally in or around a chimney ( 12) between the outlet (9c) and the récupération ( 13).recovery (13).
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