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FR2532118A1 - Methode pour le montage d'un dispositif piezoelectrique et dispositif piezoelectrique ainsi monte - Google Patents

Methode pour le montage d'un dispositif piezoelectrique et dispositif piezoelectrique ainsi monte Download PDF

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Publication number
FR2532118A1
FR2532118A1 FR8312826A FR8312826A FR2532118A1 FR 2532118 A1 FR2532118 A1 FR 2532118A1 FR 8312826 A FR8312826 A FR 8312826A FR 8312826 A FR8312826 A FR 8312826A FR 2532118 A1 FR2532118 A1 FR 2532118A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
support structure
piezoelectric device
piezoelectric
intermediate support
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
FR8312826A
Other languages
English (en)
Inventor
Douglas Frank George Dwyer
Edward George Tuckett
Ann Muriel Harrison
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STC PLC
Original Assignee
Standard Telephone and Cables PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Standard Telephone and Cables PLC filed Critical Standard Telephone and Cables PLC
Publication of FR2532118A1 publication Critical patent/FR2532118A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/058Holders or supports for surface acoustic wave devices
    • H03H9/059Holders or supports for surface acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/058Holders or supports for surface acoustic wave devices
    • H03H9/0585Holders or supports for surface acoustic wave devices consisting of an adhesive layer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

LA PRESENTE INVENTION CONCERNE LE MONTAGE DES DISPOSITIFS PIEZOELECTRIQUES. ELLE PREVOIT L'INSERTION, ENTRE LE DISPOSITIF 11 ET SON SUPPORT 15, D'UNE STRUCTURE INTERMEDIAIRE 14 D'UNE MATIERE IDENTIQUE OU SIMILAIRE A CELLE DU DISPOSITIF PIEZOELECTRIQUE, AYANT LA MEME ORIENTATION CRISTALLINE. CELA LIMITE LES EFFETS DE LA DILATATION DIFFERENTIELLE ENTRE LE DISPOSITIF ET SON SUPPORT. L'INVENTION EST APPLICABLE AU MONTAGE DE TOUS LES DISPOSITIFS PIEZOELECTRIQUES TELS QUE RESONATEURS, FILTRES A ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE, ETC.

Description

La présente invention concerne une méthode pour supporter mécaniquement
des dispositifs piézoélectriques tels que des filtres
à ondes acoustiques de surface (filtres SAW), des résonateurs à cris-
tal, et des dispositifs analogues.
Le fonctionnement des dispositifs piézoélectriques peut être altéré par des contraintes dues à la structure support Bien que ces contraintes puissent être minimalisées pour une température donnée,
la dilatation différentielle entre la structure de support et le dis-
positif peut, sur létendue d'une plage de températures de fonction
nement,modifier les caractéristiques du dispositif.
Diverses tentatives ont été faites dans le passé pour an-
nuler ou éliminer les effets de la dilatation différentielle Par exemple, il est connu de monter un dispositif piézoélectrique, tel qu'un résonateur, dans des barrettes à ressort spécialement conçues
(brevet britannique 1,459,609) En outre, une autre solution propo-
sée consiste à monter un dispositif piézoélectrique sur un dispositif semiconducteur ayant un équilibre thermique dépendant de la tension ou du courant, ce qui permet de maintenir constante la températre du dispositif piézoélectrique (brevet britannique
1,435,665).
Selon la présente-invention, il est prévu une méthode de montage d'un dispositif piézoélectrique, comportant l'insertion,
entre le dispositif et sa structure de support mécanique, d'une struc-
ture de support intermédiaire en une matière dont les caractéristiques dépendant de la température sont identiques ou similaires à celles du dispositif piézoélectrique, et dont l'orientation cristalline est identique ou similaire à celle de ce dispositif piézoélectrique, d'o il résulte que les effets de dilatation différentielle sur ce dispositif sont minimalisés et que les contraintes provenant de la
structure de support mécanique sont réduites.
Les différents objets et caractéristiques de l'invention
seront maintenant détaillés dans la description qui va suivre, faite
à titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux figures annexées qui représentent: la figure 1, un agencement de montage pour un dispositif résonateur à ondes acoutiques de surface, et la figure 2, un agencement de montage pour un dispositif
résonateur à cristal.
Dans l'agencement représenté sur la figure 1, un disposi-
tif de filtre à ondes acoustiques de surface comporte un corps rectangulaire en quartz, 11, pourvu, sur sa surface supérieure, à
chaque extrémité, d'un transducteur électro-acoustique 12, 13 inter-
gità Le corps I est lié par adhésif, par exemple par urecouche de résine époxy ou polyimide, à un corps support intermédiaire plus grand, 14, en une matière similaire, par exemple en quartz, ayant la
même orientation cristalline que le corps l du filtre Le corps in-
termédiaire 14 est à son tour fixé à une structure de support méca-
nique, par exemple à un socle classique 15 pourvu de bornes tra-
versantes 16 Les transducteurs 12, 13 sont reliés aux bornes 16 par
des fils 17 fixés par un liant.
Dans l'agencement représenté sur la figure 2, une plaquette
résonateur en cristal de quartz, 21, est pourvue, sur des faces oppo-
sées, de configurations d'électrodes métalliques 22, 23 La plaquette 21 est supportée sur deux gouttes de pâte conductrice 24, 25 La goutte 24 établit un contact direct avec la configuration d'électrode 22, tandis que la goutte 25 est formé autour du bord de la plaquette, et par dessus celui-ci, pour établir un contact avec la configuration
d'électrode 23 Les gouttes sont supportéessur des conducteurs métal-
liques 26, 27 déposés sur un corps rectangulaire 28 en quartz, ayant la même orientation cristalline que la plaquette 21 Le corps en
quartz est ensuite fixé à un support mécanique approprié (non repré-
senté) Les gouttes en pâte conductrice autorisent un interstice pour jeu entre la partie résonante principale du cristal et le support intermédiaire. Bien que l'on ait décrit seulement deux exemples spécifiques, il est évident que l'invention peut être appliquée à n'importe quelle
structure piézoélectrique, par exemple aux résonateurs à cristal mas-
sif, filtres multipolaires, filtres à ondes acoustiques de surface transversales,lignes à retard à ondes acoustiques de surface, etc
L'invention peut aussi être appliquée à n'importe quelle matière pié-
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zoélectrique, le quartz et le niobate de lithium étant les exemples les plus communément utilisés Dans quelques cas, il se peut que le centre du dispositif soit supporté sur -ur goutte de pâte comprimé et que des connexions électriques soient faites avec des fils fixés par un liant L'utilisation d'un substrat porteur fait de la même matière
que le dispositif électronique fournit, grâce à la réduction des con-
traintes inhérentes au montages une amélioration des caractéristiques
de dérive à long terme, de stabilité en température, de fonctionne-
ment en présence d'accélérations et de vibrations, et simplifie très
souvent le montage de dispositifs complexes.

Claims (3)

REVENDICATIONS
1 Méthode de montage d'un dispositif piézoélectrique, ca-
ractériséaen ce qu'elle comporte l'insertion, entre le dispositif et
sa structure de support mécanique, d'une structure de support inter-
médiaire faite d'une matière ayant des caractéristiques dépendant de
la température, ainsi qu'une orientation cristalline, qui sont iden-
tiques ou similaires à celles du dispositif piézoélectrique, grâce à quoi les effets de dilatation différentielle sur le dispositif sont
minimalisés et les contraintes dues à la structure de support méca-
nique sont réduites.
2 Méthode selon la revendication 1, caractériséeen ce que
le dispositif est fixé par adhérence à la structure de support inter-
médiaire. 3 Méthode selon la revendication 1, caractérisée en ce que le dispositif est fixé à la structure de support intermédiaire par des gouttes de pâte conductrice établissant des liaisons électriques entre des électrodes sur le dispositif et des conducteurs sur le
support intermédiaire.
4 Méthode selon l'une quelconque des revendications pré-
cédentes, caractérisée en ce que le dispositif et le support intermé-
diaire sont tous les deux en quartz ou en niobate de lithium.
Dispositif piézoélectrique, caractérisé en ce qu'il est monté sur une structure de support intermédiaire qui est elle-même montée sur une structure de support mécanique, ladite structure de support intermédiaire étant en-une matière identique ou similaire à celle du dispositif piézoélectrique et ayant la même orientation
cristalline que ce dispositif piézoélectrique.
6 Dispositif piézoélectrique monté en utilisant la méthode
3 selon l'une quelconque des revendications I à 4.
FR8312826A 1982-08-03 1983-08-03 Methode pour le montage d'un dispositif piezoelectrique et dispositif piezoelectrique ainsi monte Withdrawn FR2532118A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB08222375A GB2125211A (en) 1982-08-03 1982-08-03 Mechanical support of piezoelectric devices

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2532118A1 true FR2532118A1 (fr) 1984-02-24

Family

ID=10532079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8312826A Withdrawn FR2532118A1 (fr) 1982-08-03 1983-08-03 Methode pour le montage d'un dispositif piezoelectrique et dispositif piezoelectrique ainsi monte

Country Status (3)

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JP (1) JPS5944117A (fr)
FR (1) FR2532118A1 (fr)
GB (1) GB2125211A (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2202989B (en) * 1987-04-02 1991-01-09 Stc Plc Crystal resonnator
JP3017746B2 (ja) * 1989-03-31 2000-03-13 日本電波工業株式会社 水晶振動子
JP3017750B2 (ja) * 1989-04-30 2000-03-13 日本電波工業株式会社 水晶振動子
US5012151A (en) * 1989-09-12 1991-04-30 Halliburton Company Thermally matched strip mounted resonator and related mounting method
ATE165197T1 (de) * 1993-07-20 1998-05-15 Avl List Gmbh Piezoelektrisches kristallelement

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5334875B2 (fr) * 1973-07-10 1978-09-22
JPS5652490B2 (fr) * 1973-11-16 1981-12-12
US3861013A (en) * 1974-01-17 1975-01-21 Air Preheater Method of constructing a rotor for a rotary regenerative heat exchanger
JPS583602B2 (ja) * 1974-11-09 1983-01-22 セイコーエプソン株式会社 スイシヨウシンドウシ
CH608335B (de) * 1976-09-14 Ebauches Sa Microresonateur piezoelectrique.
JPS5421295A (en) * 1977-07-19 1979-02-17 Matsushima Kogyo Kk Crystal oscillator
DE2939844A1 (de) * 1978-12-21 1980-07-10 Seiko Instr & Electronics Quarzschwinger
CH626479A5 (fr) * 1979-07-05 1981-11-13 Suisse Horlogerie

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5944117A (ja) 1984-03-12
GB2125211A (en) 1984-02-29

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