FR2458351A1 - Procede de production d'une roue a aubes pour le rotor d'une turbopompe moleculaire et rotor equipe de telles roues a aubes - Google Patents
Procede de production d'une roue a aubes pour le rotor d'une turbopompe moleculaire et rotor equipe de telles roues a aubes Download PDFInfo
- Publication number
- FR2458351A1 FR2458351A1 FR8012974A FR8012974A FR2458351A1 FR 2458351 A1 FR2458351 A1 FR 2458351A1 FR 8012974 A FR8012974 A FR 8012974A FR 8012974 A FR8012974 A FR 8012974A FR 2458351 A1 FR2458351 A1 FR 2458351A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- rotor
- wheels
- blades
- producing
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/02—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass turbine or like blades from one piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
PROCEDE DE PRODUCTION D'UNE ROUE A AUBES POUR LE ROTOR D'UNE TURBOPOMPE MOLECULAIRE. LE DISQUE 1 EST USINE, AVANT LE SCIAGE DES FENTES RADIALES, DE FACON A PRESENTER UNE EPAISSEUR QUI DECROIT RADIALEMENT VERS L'EXTERIEUR, CONTINUMENT OU EN GRADINS.
Description
La présente invention concerne un procédé de production d'une roue à aubes
pour le rotor d'une turbopompe moléculaire, dans lequel des fentes radiales sont usinées dans la zone périphérique d'un disque, puis les segments résultants subissent une torsion autour de leur axe radial pour former les aubes requises. L'in- vention concerne également un rotor équipé de roues à aubes de
ce type.
Une telle production de roues à aubes est décrite par exemple dans "Vakuumtechnik", 23ème année, nO 4, pp. 109 sqq. Les aubes
doivent d'une part être aussi fines que possible, afin de per-
mettre une torsion facile et de présenter ainsi des surfaces
frontales aussi petites que possible. Ces surfaces frontales pré-
sentent en effet un "angle d'incidence" normal par rapport à la
surface de l'aube. En d'autres termes, toutes les molécules attei-
gnant une surface frontale reçoivent une impulsion de sens opposé
au sens de débit souhaité et produit par la surface de l'aube.
Cette influence gênante des surfaces frontales croit avec l'épais-
seur des aubes.
Les aubes produites de la façon décrite ne doivent par ailleurs pas être trop fines, afin de présenter une résistance suffisante aux vitesses de rotation élevées de la pompe. Les aubes produites par sciàge puis torsion présentent en outre une largeur et par suite une masse croissant radialement vers l'extérieur, ce qui impose des conditions supplémentaires de résistance. Les disques servant à la production des roues à aubes ne doivent enfin pas être trop minces, car un usinage unilatéral risque de les exciter en oscillation, ce
qui nuit à la fiabilité de l'usinage.
Dans le cas de toutes les turbopompes moléculaires connues, dont les rotors comportent des roues à aubes produites selon le
procédé précité, ces conditions contradictoires imposées à l'épais-
seur des aubes ont fait l'objet d'un compromis, qui détermine dans
une large mesure les propriétés de la turbopompe moléculaire.
Dans un autre type de turbopompes moléculaires, les roues à aubes sont produites uniquement par usinage de fentes obliques dans les zones périphériques des disques du rotor (cf. par exemple le brevet suisse n0 532 199). Un tel procédé de production évite certes sur les aubes des surfaces frontales à "angle d'incidence" incorrect, mais est beaucoup plus coûteux que le procédé du
type précédemment décrit et auquel l'invention se rapporte éga-
lement. L'invention a pour objet d'améliorer le procédé connu de production d'une roue à aubes pour le rotor d'une turbopompe moléculaire, dans lequel des fentes radiales sont usinées dans la
zone périphérique d'un disque, puis les segments résultants subis-
sent une torsion autour de leur axe radial pour former les aubes requises, de façon que les turbopompes moléculaires dont les rotors sont équipés de roues à aubes ainsi produites présentent des
propriétés de pompage nettement meilleures. Selon une caractéris-
tique essentielle de l'invention, le disque servant à la production d'une roue à aubes est usiné, avant le sciage des fentes radiales, de façon à présenter une épaisseur qui décroît radialement vers l'extérieur, continûment ou en gradins. Un rotor équipé de roues à aubes ainsi produites peut fonctionner à des vitesses de rotation
nettement supérieures, c'est-à-dire avec des vitesses circonféren-
tielles beaucoup plus élevées, car la masse des aubes décroît vers l'extérieur par suite de la décroissance radiale de leur masse vers
l'extérieur. Une turbopompe moléculaire équipée d'un tel rotor pré-
sente ainsi une capacité d'aspiration nettement meilleure et une compression plus élevée, en particulier dans le cas de gaz légers, tels que H2. L'épaisseur de l'aube et par suite la surface frontale
gênante sont faibles dans les zones extérieures, o la vitesse cir-
conférentielle t est particulièrement élevée, ce qui est également avantageux pour les propriétés de pompage. L'épaisseur de la roue à
aubes dans la région du moyeu est de préférence de 5 à 15 fois supé-
rieure à celle dans la zone périphérique. Une épaisseur décroissant d'environ 5 mm à environ 0,5 mm s'est révélée être avantageuse dans
le cas d'un disque d'un diamètre d'environ 18 cm.
Le rotor d'une turbopompe moléculaire comporte généralement plusieurs roues superposées, dont les aubes présentent fréquemment une longueur et/ou un angle d'incidence différents par étage et décroissant du côté vide poussé au côté vide préliminaire. Un rotor équipé de roues à aubes produites selon l'invention peut donc être réalisé par exemple en produisant d'abord des disques séparés avec les roues à aubes requises, puis en les assemblant dans l'ordre voulu. Il est toutefois particulièrement avantageux d'usiner un tel rotor dans la masse. Des évidements perpendiculaires à l'axe sont alors usinés dans un bloc cylindrique d'aluminium par exemple, de façon à permettre la production des roues à aubes à partir des nervures restantes. Cette phase de production des évidements par tournage par exemple peut s'effectuer simultanément de façon que
les étages restants présentent une épaisseur qui décroit radiale-
ment vers l'extérieur. Les aubes sont ensuite produites de façon
connue par sciage et torsion.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront
mieux compris à l'aide de la description détaillée ci-dessous
d'exemples de réalisation de disques à aubes et du dessin annexé sur lequel: la figure 1 représente un disque de rotor dont l'épaisseur décroît continûment dans la zone périphérique; la figure 2 représente un disque de rotor dont l'épaisseur décroît radialement vers l'extérieur en trois gradins; la figure 3 est le plan partiel d'un disque ainsi produit; et la figure 4 représente un rotor usiné dans la masse et en cours de fabrication. Le disque 1 de rotor selon figure 1"présente une épaisseur qui décroit continûment dans la zone périphérique 2. L'épaisseur
du moyeu 3 comprenant l'axe 4 est choisie de façon que la super-
position et la fixation relatives de tels disques permettent de
réaliser un rotor de turbopompe moléculaire.
L'épaisseur du disque de rotor selon figure 2 ne décroît pas radialement vers l'extérieur de façon continue, mais en trois
gradins 5, 6 et 7.
La figure 3 est le plan partiel d'un disque 1 ainsi produit.
Elle représente en outre quelques fentes radiales 9, réalisées par sciage par exemple. Les segments 10 obtenus entre les fentes 9 subissent une torsion autour de leur axe radial pour former les
aubes requises. Des aubes de longueur et angle d'incidence ou lar-
geur différents peuvent être souhaitables selon la position du
disque par rapport au côté vide poussé. La longueur ou la profon-
deur et l'écartement des fentes 9 permettent de déterminer la
longueur et la largeur des aubes. Des angles d'incidence diffé-
rents sont obtenus par une torsion différente. Un écartement aussi
grand que possible des aubes peut enfin être souhaitable, en parti-
culier du côté vide poussé d'un rotor. Des lames plus larges pour
le sciage des fentes 9 permettent d'obtenir ce résultat.
La figure 4 représente un rotor Il selon l'invention, usiné dans la masse et en cours de fabrication. Des évidements radiaux 12 ont été usinés sur un bloc d'aluminium cylindrique, avec une profondeur et un écartement tels que les aubes peuvent être produites 1S selon l'invention à partir des parties 13 restantes. L'épaisseur des parties 13 est diminuée radialement vers l'extérieur, soit par tournage pendant l'usinage des évidements 12, soit ultérieurement
par tournage au cours d'une phase opératoire distincte. Une épais-
seur des roues à aubes décroissant en gradins a de nouveau été adoptée dans l'exemple de réalisation représenté. Le sciage et la torsion des zones extérieures des parties 13 s'effectuent ensuite de la façon précédemment décrite pour les figures 2 et 3, de façon
qu'un rotor 11 monobloc est produit.
Un rotor selon l'invention pour une turbopompe moléculaire peut fonctionner à une vitesse de rotation supérieure de 40 % a celle d'un rotor selon l'art antérieur, c'est-à-dire équipé d'aubes d'épaisseur constante. Un rotor en aluminium, dimensionné
par exemple pour 42 000 tr/mn selon l'art antérieur, peut fonc-
tionner à 59 000 tr/mn environ quand il est produit selon l'inven-
tion. Il en résulte un accroissement notable des valeurs de com-
pression et une amélioration du débit d'aspiration, en particulier
dans le cas de gaz légers.
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art au procédé et aux dispositifs qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans
sortir du cadre de l'invention.
Claims (7)
1. Procédé de production d'une roue à aubes pour le rotor d'une
turbopompe moléculaire, dans lequel des fentes radiales sont usi-
nées dans la zone périphérique d'un disque, puis les segments résultants subissent une torsion autour de leur axe radial pour former les aubes requises, ledit procédé étant caractérisé en ce que le disque 1, 13 servant à la production d'une roue à aubes
est usiné, avant le sciage des fentes radiales 9, de façon à pré-
senter une épaisseur qui décroSt radialement vers l'extérieur, con-
tinûment ou en gradins.
2. Procédé de production d'un rotor avec des roues à aubes pro-
duites par le procédé selon revendication 1, caractérisé en ce
que les disques 1 des roues A aubes sont d'abord produits indivi-
duellement, puis assemblés pour former un rotor.
3. Procédé de production d'un rotor avec des roues à aubes pro-
duites par le procédé selon revendication 1, caractérisé en ce qu'il est tourné dans la masse, au moins par étages & plusieurs
roues & aubes.
4. Rotor pour turbopompe moléculaire produit par un procédé selon
une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que les aubes
constituant les roues présentent une épaisseur qui décroît radia-
lement vers l'extérieur, continûment ou en gradins.
5. Rotor selon revendication 4, caractérisé en ce que l'épaisseur des aubes dans la région du moyeu est de 5 à 15 fois supérieure à
celle dans la zone périphérique.
6. Rotor selon une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce
qu'il est monobloc.
7. Rotor selon une quelconque des revendications 4 à 6, caracté-
risé par un entraxe, une largeur, une longueur et un angle d'inci-
dence différents des aubes des diverses roues.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19792923632 DE2923632A1 (de) | 1979-06-11 | 1979-06-11 | Verfahren zur herstellung eines schaufelkranzes fuer den rotor einer tubomolekularpumpe und mit schaufelkraenzen dieser art ausgeruesteter rotor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2458351A1 true FR2458351A1 (fr) | 1981-01-02 |
FR2458351B1 FR2458351B1 (fr) | 1985-07-12 |
Family
ID=6072988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8012974A Expired FR2458351B1 (fr) | 1979-06-11 | 1980-06-11 | Procede de production d'une roue a aubes pour le rotor d'une turbopompe moleculaire et rotor equipe de telles roues a aubes |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS56593A (fr) |
CH (1) | CH646229A5 (fr) |
DE (1) | DE2923632A1 (fr) |
FR (1) | FR2458351B1 (fr) |
GB (1) | GB2052317B (fr) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58190590U (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-17 | 東京ブラインド工業株式会社 | 間仕切り |
JPS6136479A (ja) * | 1983-11-30 | 1986-02-21 | 八木 清行 | 折戸式自動扉の駆動装置 |
DE3507274A1 (de) * | 1985-03-01 | 1986-09-04 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Scheiben mit schaufeln hoher stabilitaet fuer turbomolekularpumpen |
JPH01195992A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Naoto Ibarada | ターボ分子ポンプの動翼 |
IT1238201B (it) * | 1989-11-03 | 1993-07-09 | Varian Spa | Metodo di fabbricazione mediante elettroerosione di una girante o di un rotore a una o piu' giranti di una turbopompa, particolarmente di una pompa turbomolecolare, e prodotti cosi' ottenuti. |
IT1293907B1 (it) * | 1997-05-28 | 1999-03-11 | Varian Spa | Procedimento di fresatura di rotori di pompe turbomolecolari con inglobamento in resina del particolare da fresare. |
JP3092063B2 (ja) * | 1998-06-17 | 2000-09-25 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
DE10053664A1 (de) * | 2000-10-28 | 2002-05-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Mechanische kinetische Vakuumpumpe |
EP1249612B1 (fr) | 2001-03-15 | 2004-01-28 | VARIAN S.p.A. | Procédé de fabrication d'un étage statorique pour une turbine-pompe |
RU2435076C2 (ru) * | 2006-04-29 | 2011-11-27 | Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх | Способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса |
DE102009015652A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Light Style Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Gebrauchsproduktes aus Aluminium und danach hergestelltes Produkt |
DE102011117920B4 (de) * | 2011-11-09 | 2013-08-01 | Voith Patent Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Schaufelrades, sowie danach hergestelltes Schaufelrad |
DE102014114326A1 (de) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe sowie Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe |
EP3091235B1 (fr) * | 2015-05-04 | 2020-03-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Disque de rotor |
GB2592618A (en) * | 2020-03-03 | 2021-09-08 | Edwards Ltd | Turbine blades and methods of manufacture of turbine blades |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH159747A (fr) * | 1930-01-11 | 1933-01-31 | Westinghouse Electric Corp | Hélice et procédé pour sa fabrication. |
US3168977A (en) * | 1962-01-23 | 1965-02-09 | Snecma | Turbomolecular vacuum pump |
US3623826A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-30 | Sargent Welch Scientific Co | Turbine pump with improved rotor and seal constructions |
CH532199A (de) * | 1969-10-27 | 1972-12-31 | Sargent Welch Scientific Co | Axiale Turbomolekularpumpe |
DE2627309A1 (de) * | 1976-06-18 | 1977-12-22 | Daimler Benz Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines keramischen turbinenrades |
DE2654055A1 (de) * | 1976-11-29 | 1978-06-01 | Kernforschungsanlage Juelich | Turbomolekularpumpenturbine mit geaetzter scheibenstruktur |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5227367Y1 (fr) * | 1975-09-30 | 1977-06-22 | ||
DE2717366B2 (de) * | 1977-04-20 | 1979-10-11 | Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik-Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Laufrad für eine Turbomolekularpumpe |
-
1979
- 1979-06-11 DE DE19792923632 patent/DE2923632A1/de not_active Ceased
-
1980
- 1980-04-23 GB GB8013318A patent/GB2052317B/en not_active Expired
- 1980-06-05 CH CH434880A patent/CH646229A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-06-10 JP JP7725380A patent/JPS56593A/ja active Granted
- 1980-06-11 FR FR8012974A patent/FR2458351B1/fr not_active Expired
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH159747A (fr) * | 1930-01-11 | 1933-01-31 | Westinghouse Electric Corp | Hélice et procédé pour sa fabrication. |
US3168977A (en) * | 1962-01-23 | 1965-02-09 | Snecma | Turbomolecular vacuum pump |
US3623826A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-30 | Sargent Welch Scientific Co | Turbine pump with improved rotor and seal constructions |
CH532199A (de) * | 1969-10-27 | 1972-12-31 | Sargent Welch Scientific Co | Axiale Turbomolekularpumpe |
DE2627309A1 (de) * | 1976-06-18 | 1977-12-22 | Daimler Benz Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines keramischen turbinenrades |
DE2654055A1 (de) * | 1976-11-29 | 1978-06-01 | Kernforschungsanlage Juelich | Turbomolekularpumpenturbine mit geaetzter scheibenstruktur |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2052317B (en) | 1982-12-01 |
FR2458351B1 (fr) | 1985-07-12 |
GB2052317A (en) | 1981-01-28 |
DE2923632A1 (de) | 1980-12-18 |
JPS56593A (en) | 1981-01-07 |
JPS649475B2 (fr) | 1989-02-17 |
CH646229A5 (de) | 1984-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2458351A1 (fr) | Procede de production d'une roue a aubes pour le rotor d'une turbopompe moleculaire et rotor equipe de telles roues a aubes | |
FR2754318A1 (fr) | Pompe de fluide a moteur electrique, notamment pour carburant | |
FR2585778A3 (fr) | Ventilateur axial, en particulier pour les vehicules automobiles | |
FR2721978A1 (fr) | Pompe de regeneration a plage de fonctionnement etendue | |
FR2789449A1 (fr) | Ventilateur a flux axial | |
EP2310690A1 (fr) | Pale de rouet de compresseur a raccordement elliptique evolutif | |
FR2556054A1 (fr) | Diffuseur pour compresseur centrifuge | |
FR2845737A1 (fr) | Pompe turbomoleculaire a jupe composite | |
FR2633674A1 (fr) | Pompe turbomoleculaire a vide | |
FR2578287A1 (fr) | Disques a aubes de grande stabilite pour pompes turbomoleculaires et procede de fabrication de tels disques | |
FR2732725A1 (fr) | Pompe de carburant et procede pour sa fabrication | |
FR2770586A1 (fr) | Pompe de carburant a canal lateral et moteur electrique | |
FR2836186A1 (fr) | Ventilateur a flux axial | |
EP1479443A1 (fr) | Système d'entraínement d'une centrifugeuse | |
EP0280984B1 (fr) | Pompe à vide, rotative | |
FR2669687A1 (fr) | Compresseur a flux axial. | |
FR2597949A1 (fr) | Coquille exterieure d'une roue de pompe d'une unite d'ecoulement hydrodynamique, telle qu'un convertisseur hydrodynamique de couple | |
EP0736691B1 (fr) | Pompe volumétrique rotative à gerotor à alimentation radiale | |
FR2947016A1 (fr) | Compresseur centrifuge. | |
WO2014128407A1 (fr) | Roue de turbine, de compresseur ou de pompe | |
EP3759353B1 (fr) | Turbomachine comportant un circuit de prelevement d'air | |
EP1316731A1 (fr) | Ventilateur helicoide avec un moyen réducteur de bruit | |
FR2645916A1 (fr) | Roue directrice pour pompes centrifuges | |
FR2635123A1 (fr) | Disque d'appui pour des paliers a disques d'appui de rotors de filage avec extremite ouverte (oe) | |
EP3935265A1 (fr) | Rotor de turbomachine d'aeronef comprenant un dispositif d'amortissement |