JPH01195992A - ターボ分子ポンプの動翼 - Google Patents
ターボ分子ポンプの動翼Info
- Publication number
- JPH01195992A JPH01195992A JP63019990A JP1999088A JPH01195992A JP H01195992 A JPH01195992 A JP H01195992A JP 63019990 A JP63019990 A JP 63019990A JP 1999088 A JP1999088 A JP 1999088A JP H01195992 A JPH01195992 A JP H01195992A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blades
- blade
- rotor blade
- molecular pump
- moving blade
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
- F04D29/324—Blades
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2250/00—Geometry
- F05D2250/70—Shape
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ターボ分子ポンプの動翼に関するものである
。
。
［従来の技衛］
従来のターボ分子ポンプの動χは、−段ごとに例えば放
電加工した羽根環を同軸上に多段に積み重ねて連結する
ことにより、一体止し、更に各羽根はその付根の部分か
ら傾胴かつけである。又、この動翼の圧縮部における螺
旋状のリブ（螺旋通路）は始め（上流）から糾り（下流
）まて同一の厚み（巾）で構成されている。
電加工した羽根環を同軸上に多段に積み重ねて連結する
ことにより、一体止し、更に各羽根はその付根の部分か
ら傾胴かつけである。又、この動翼の圧縮部における螺
旋状のリブ（螺旋通路）は始め（上流）から糾り（下流
）まて同一の厚み（巾）で構成されている。
［解決されるべき課題］
かかる構造のターボ分子ポンプの動翼においては、次の
ような問題があった。
ような問題があった。
ａ、一つ一つ羽根環を加工し、これを例えば１０段以上
に積み重ねて同軸上に一体化するため、加工に手間がか
かる。
に積み重ねて同軸上に一体化するため、加工に手間がか
かる。
ｂ、−・体止のために固定手段か複雑化すると共に全体
の重量か増し、更にバランスをとるのか難しい。
の重量か増し、更にバランスをとるのか難しい。
Ｃ０羽根は薄く、又傾斜をつけであるため、急激な圧力
変化時に曲ったり折損することかある。
変化時に曲ったり折損することかある。
ｄ６羽根の加工を放電により行った場合、加工表面に微
小な凹凸面か出来て粗くなり、分子の飛散が大きい。
小な凹凸面か出来て粗くなり、分子の飛散が大きい。
Ｃ６従来の動翼における圧縮部の螺旋流路は入側から出
側にかけて同−巾であるため、ここでは気体の圧縮効果
が無く、性能向上に限界がある。
側にかけて同−巾であるため、ここでは気体の圧縮効果
が無く、性能向上に限界がある。
本発明は、上記ａ〜ｅに記した問題を有しないターボ分
子ポンプの動翼及び羽根並びに圧縮部の構造を提案する
のか目的である。
子ポンプの動翼及び羽根並びに圧縮部の構造を提案する
のか目的である。
［課題を解決するための手段］
本発明は、上記目的を達成する手段として、次の如き構
成のターボ分子ポンプの動翼を提案する。
成のターボ分子ポンプの動翼を提案する。
１、回転軸から放射状に羽根を突出させると共にこの羽
根を多段に構成して成る動翼において、回転軸と羽根を
一体物から切削加工して構成したことを特徴とするター
ボ分子ポンプの動翼。
根を多段に構成して成る動翼において、回転軸と羽根を
一体物から切削加工して構成したことを特徴とするター
ボ分子ポンプの動翼。
２、動翼部に続く圧縮部に形成した螺旋状のリブを出側
に向けて徐々に厚みを増して螺旋流路を徐々に狭く形成
したことを特徴とするターボ分子ポンプの動翼における
圧縮部の構造。
に向けて徐々に厚みを増して螺旋流路を徐々に狭く形成
したことを特徴とするターボ分子ポンプの動翼における
圧縮部の構造。
３、付根の部分は回転軸に対して平行に近く、先端に行
くに従って角度をつけて成るターボ分子ポンプの動翼に
おける羽根の構造。
くに従って角度をつけて成るターボ分子ポンプの動翼に
おける羽根の構造。
４、 ＦＴ面を円弧状に形成して成るターボ分子ポン
プの動翼における羽根の構造。
プの動翼における羽根の構造。
上記動翼は、素材としてアルミ合金或いはチタン等か主
として使用される。この素材は円柱状に先ず形成され、
所定の寸法設定を行ったのち、羽根部の加工が行われる
。この加工には切削加工機か使用され、先ず各羽根の列
（段）ごとに溝加工を行い、次に各羽根が１本ごとに加
工される。この羽根の加工が終了したなら、次に圧縮部
の切削加工が行われる。このようにして製作された動翼
は全体が一体物である。
として使用される。この素材は円柱状に先ず形成され、
所定の寸法設定を行ったのち、羽根部の加工が行われる
。この加工には切削加工機か使用され、先ず各羽根の列
（段）ごとに溝加工を行い、次に各羽根が１本ごとに加
工される。この羽根の加工が終了したなら、次に圧縮部
の切削加工が行われる。このようにして製作された動翼
は全体が一体物である。
［作用］
上記動翼は、真空装置において、シリンダー（ケーシン
グ）内に組み込まれ、駆動装置により超高速で回転され
、本体内から気体（空気）を吸引する。
グ）内に組み込まれ、駆動装置により超高速で回転され
、本体内から気体（空気）を吸引する。
［実施例］
第１〜３図は本発明に係る動翼を示し、ｌは動翼部、２
は圧縮部にして、全体は一体物である。
は圧縮部にして、全体は一体物である。
動翼部ｌにおける各羽根３の基本的な構造は第３図に示
されている。羽根３は付根４の部分は動翼の回転軸方向
に平行に（又は平行に近く）そして、先端５側約１／３
に０〜９０″の範囲内の傾斜（ひねり）６がつけである
。なお、羽根３において傾斜６は約ｌ／３であるがもっ
と付根４側からつけてもよい。但し、この傾斜６の効果
は、遠心力から１７３位で十分であり、これ以上つけて
もあまり効果がない。又、羽根３における傾斜６の部分
は、第３図に示されているように円弧状に形成されてい
る。
されている。羽根３は付根４の部分は動翼の回転軸方向
に平行に（又は平行に近く）そして、先端５側約１／３
に０〜９０″の範囲内の傾斜（ひねり）６がつけである
。なお、羽根３において傾斜６は約ｌ／３であるがもっ
と付根４側からつけてもよい。但し、この傾斜６の効果
は、遠心力から１７３位で十分であり、これ以上つけて
もあまり効果がない。又、羽根３における傾斜６の部分
は、第３図に示されているように円弧状に形成されてい
る。
なお、動翼部ｌにおける羽根３の傾斜６は入側から出側
に向けて徐々に急になるように形成されている。
に向けて徐々に急になるように形成されている。
圧縮部２は螺旋状のリブ７によって同一ピッチの螺旋流
路８が形成されており、リブ７゛は第１．２図に示され
ているように入側から出側に向けてその肉厚が徐々に増
している。この結果、螺旋流路８の巾は入側から出側に
向けて徐々に狭くなる。
路８が形成されており、リブ７゛は第１．２図に示され
ているように入側から出側に向けてその肉厚が徐々に増
している。この結果、螺旋流路８の巾は入側から出側に
向けて徐々に狭くなる。
上記構成の動翼は、シリンダー内に組み込まれ、駆動装
置により超高速で回転され、気体を動翼部ｌ及び圧縮部
２て本体内から吸引し、本体内を超真空へと導く。
置により超高速で回転され、気体を動翼部ｌ及び圧縮部
２て本体内から吸引し、本体内を超真空へと導く。
［本発明の効果］
本発明は以上の如き構成と作用から成り、次の如き効果
を奏するものである。
を奏するものである。
ａ、動翼は、全体が切削加工により一体に構成されてい
るため、従来のように羽根環を重ね合せたり、固定した
りする必要がなく、よって固定手段により動翼が複雑化
したりその分重峻が増したりすることがない。
るため、従来のように羽根環を重ね合せたり、固定した
りする必要がなく、よって固定手段により動翼が複雑化
したりその分重峻が増したりすることがない。
この結果、更に回転数のアップが可能であると共にバラ
ンスが良いので振動、騒音も小さくなる。
ンスが良いので振動、騒音も小さくなる。
ｂ、刃物で切削加工したため、羽根の表面は平滑となり
、分子の飛散か少なく、性能アップか図れる。
、分子の飛散か少なく、性能アップか図れる。
七 羽根は付根側を回転軸に対して平行又は平行に近く
形成し、先に行くに従って０〜９０″の範囲で傾斜（ひ
ねり）をつけたので、回転軸方向における強度が増し、
操作ミス等により急激な圧力変動を受けた場合でも曲っ
たり折損等の事故を招く率が低下する。
形成し、先に行くに従って０〜９０″の範囲で傾斜（ひ
ねり）をつけたので、回転軸方向における強度が増し、
操作ミス等により急激な圧力変動を受けた場合でも曲っ
たり折損等の事故を招く率が低下する。
この点は、羽根の断面を円弧状に形成することにより更
に期待てきる。
に期待てきる。
ｄ、螺旋流路を徐々に狭く形成したことにより、圧縮効
果が高まり、この分動率が向上する。
果が高まり、この分動率が向上する。
００以上の効果により、従来の動翼に比較して２０〜３
０％の性情アップが期待できると共に従来例と同等の効
果を発揮させる場合には、羽根の段数を減じて小型化が
可能である。
０％の性情アップが期待できると共に従来例と同等の効
果を発揮させる場合には、羽根の段数を減じて小型化が
可能である。
第１図は本発明に係る動翼の正面図、第２図は羽根と螺
旋リブ（螺旋流路）の一部を示す断面図、第３図は羽根
の形状を示す斜視図である。 ｌ・・・・・・動完部 ２・・・・・・圧縮部
３・・・・・・羽根 ６・・・・・・傾斜（
ひねり）７・・・・・・螺旋リブ ８・・・・・
・螺旋流路実用新案登録出願人 茨 １） 直 大筒２
図 第３図
旋リブ（螺旋流路）の一部を示す断面図、第３図は羽根
の形状を示す斜視図である。 ｌ・・・・・・動完部 ２・・・・・・圧縮部
３・・・・・・羽根 ６・・・・・・傾斜（
ひねり）７・・・・・・螺旋リブ ８・・・・・
・螺旋流路実用新案登録出願人 茨 １） 直 大筒２
図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転軸から放射状に羽根を突出させると共にこの羽
根を多段に構成して成る動翼において、回転軸と羽根を
一体物から切削加工して構成したことを特徴とするター
ボ分子ポンプの動翼。 ２、動翼部に続く圧縮部に形成した螺旋状のリブを出側
に向けて徐々に厚みを増して螺旋流路を徐々に狭く構成
したことを特徴とするターボ分子ポンプの動翼における
圧縮部の構造。 ３、付根の部分は回転軸に対して平行又は平行に近く、
先端側に角度をつけて成るターボ分子ポンプの動翼にお
ける羽根の構造。 ４、断面を円弧状に形成して成るターボ分子ポンプの動
翼における羽根の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019990A JPH01195992A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | ターボ分子ポンプの動翼 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019990A JPH01195992A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | ターボ分子ポンプの動翼 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01195992A true JPH01195992A (ja) | 1989-08-07 |
Family
ID=12014609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63019990A Pending JPH01195992A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | ターボ分子ポンプの動翼 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01195992A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001248587A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | 複合型真空ポンプ |
| WO2003076809A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur herstellung des rotors einer reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem verfahren hergestellter rotor |
| WO2008136084A1 (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-13 | Shimadzu Corporation | ターボ分子ポンプ |
| WO2023214169A1 (en) * | 2022-05-04 | 2023-11-09 | Edwards Limited | Rotor blade for a turbomolecular vacuum pump |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56593A (en) * | 1979-06-11 | 1981-01-07 | Leybold Heraeus Verwaltung | Rotor of turbomolecule pump and its manufacture |
| JPS58202396A (ja) * | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS61210293A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-18 | バルツェルスープファイファー・ゲーエムベーハー | 翼羽を有する円板およびその製造方法および装置 |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP63019990A patent/JPH01195992A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56593A (en) * | 1979-06-11 | 1981-01-07 | Leybold Heraeus Verwaltung | Rotor of turbomolecule pump and its manufacture |
| JPS58202396A (ja) * | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS61210293A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-18 | バルツェルスープファイファー・ゲーエムベーハー | 翼羽を有する円板およびその製造方法および装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001248587A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | 複合型真空ポンプ |
| WO2003076809A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur herstellung des rotors einer reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem verfahren hergestellter rotor |
| WO2008136084A1 (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-13 | Shimadzu Corporation | ターボ分子ポンプ |
| WO2023214169A1 (en) * | 2022-05-04 | 2023-11-09 | Edwards Limited | Rotor blade for a turbomolecular vacuum pump |
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