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FR1348368A - Dispositif de réglage pour corriger des défauts d'image dans un système d'optique électronique - Google Patents

Dispositif de réglage pour corriger des défauts d'image dans un système d'optique électronique

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Publication number
FR1348368A
FR1348368A FR903385A FR903385A FR1348368A FR 1348368 A FR1348368 A FR 1348368A FR 903385 A FR903385 A FR 903385A FR 903385 A FR903385 A FR 903385A FR 1348368 A FR1348368 A FR 1348368A
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FR
France
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optical system
adjustment device
image defects
correcting image
electronic optical
Prior art date
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Expired
Application number
FR903385A
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority to FR903385A priority Critical patent/FR1348368A/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR1348368A publication Critical patent/FR1348368A/fr
Expired legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
FR903385A 1961-07-10 1962-07-09 Dispositif de réglage pour corriger des défauts d'image dans un système d'optique électronique Expired FR1348368A (fr)

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FR903385A FR1348368A (fr) 1961-07-10 1962-07-09 Dispositif de réglage pour corriger des défauts d'image dans un système d'optique électronique

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NL266898 1961-07-10
FR903385A FR1348368A (fr) 1961-07-10 1962-07-09 Dispositif de réglage pour corriger des défauts d'image dans un système d'optique électronique

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FR1348368A true FR1348368A (fr) 1964-01-10

Family

ID=26196557

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2423859A1 (fr) * 1978-04-17 1979-11-16 Philips Nv Perfectionnements au microscope electronique

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2423859A1 (fr) * 1978-04-17 1979-11-16 Philips Nv Perfectionnements au microscope electronique

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