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EP1903157A2 - Ambient noise shielding device - Google Patents

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Publication number
EP1903157A2
EP1903157A2 EP06022659A EP06022659A EP1903157A2 EP 1903157 A2 EP1903157 A2 EP 1903157A2 EP 06022659 A EP06022659 A EP 06022659A EP 06022659 A EP06022659 A EP 06022659A EP 1903157 A2 EP1903157 A2 EP 1903157A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
housing
environmental noise
noise shielding
cooling element
space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP06022659A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP1903157A3 (en
Inventor
Peter Heiland
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Integrated Dynamics Engineering GmbH
Original Assignee
Integrated Dynamics Engineering GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Integrated Dynamics Engineering GmbH filed Critical Integrated Dynamics Engineering GmbH
Priority to EP06022659A priority Critical patent/EP1903157A3/en
Priority to US11/855,057 priority patent/US10513846B2/en
Priority to JP2007241707A priority patent/JP4680970B2/en
Publication of EP1903157A2 publication Critical patent/EP1903157A2/en
Publication of EP1903157A3 publication Critical patent/EP1903157A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B1/00—Constructions in general; Structures which are not restricted either to walls, e.g. partitions, or floors or ceilings or roofs
    • E04B1/62—Insulation or other protection; Elements or use of specified material therefor
    • E04B1/74—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls
    • E04B1/82—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only
    • E04B1/8218—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only soundproof enclosures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise

Definitions

  • the invention relates to an environmental noise shielding device and a method for shielding a device from environmental noise.
  • acoustic shielding of sensitive devices In practice, devices for acoustic shielding of sensitive devices are known. Especially in the semiconductor industry so-called acoustic hoods are used to shield sensitive inspection machines.
  • Such a sound-absorbing housing usually acts at the same time also insulating against heat. Therefore, especially when a device is introduced into the housing, which produces waste heat, it can lead to significant temperature increases of the interior of the housing. Such a temperature increase is undesirable in many cases.
  • the interior of the soundproof hood has substantially the same temperature as the outdoor area, so that, for example, wafers, which are introduced into the interior, are not subject to temperature fluctuations.
  • vents are constructed sound absorbing in a special way, usually still a passage opening is created for sound, whereby the soundproofing effect of the housing is reduced.
  • the invention is based on the object to provide a device for protecting a sensitive device from environmental noise, in which the mentioned disadvantages of the prior art are reduced.
  • object of the invention to provide a device with which the soundproofing effect is improved.
  • Another object of the invention to provide a soundproofing device, wherein the internal temperature can be maintained at the level of the outside temperature.
  • the object of the invention is already achieved by a Scholärmabtubvorraum and by a method for shielding a device from ambient sound according to one of the independent claims.
  • an environmental noise shielding device which includes a housing defining a space for housing an insulating device.
  • An ambient noise shielding device is understood to mean a device in which a device to be insulated can be arranged, and in which the volume is reduced by the housing of the device, the sound level is therefore lower in the space for receiving a device to be insulated than in the environment.
  • At least one cooling element is arranged in the space.
  • a cooling element is understood to be any device with which the space for receiving the device to be insulated can be cooled.
  • the cooling element is coupled in a preferred embodiment of the invention with at least one supply device, which is arranged outside of the device.
  • the supply device is preferably substantially decoupled from the housing, that is to say vibrations of the supply device are not transmitted to the housing of the device to be insulated.
  • compressor cooling elements for cooling, for example, compressor cooling elements, Peltier elements or cooling coil circuits may be used, which may be attached to one or more locations of the inner wall of the housing or may be part of the walls or ceilings.
  • the choice of the cooling element depends primarily on the requirements of the cooling capacity. Since the waste heat, in particular of inspection devices in the semiconductor industry, is often quite small, Peltier elements or cooling coil circuits in which the heat is dissipated via a fluid, in particular water, are sufficient for many applications. For applications with higher cooling capacity, a refrigerant compressor can also be used.
  • the cooling element in the housing of the environmental noise shielding device is preferably designed to produce a sound level of less than 30 dB, preferably less than 20 dB, and more preferably less than 15 dB.
  • cooling elements are used which generate little, preferably no noise inside the housing.
  • cooling elements are used which even emit no measurable sound level in the housing. This is easy to realize, especially with cooling coils.
  • a supply means arranged outside the environmental noise shielding apparatus for example, a heat exchanger, can emit sound without appreciably affecting the sound level in the environmental noise shielding apparatus.
  • a supply device arranged outside the ambient noise shielding device is shown in FIG In many cases not necessary and therefore can be omitted.
  • the one or more cooling elements are preferably integrated in the wall or ceiling of the housing, in particular it is provided to accommodate a cooling element substantially in the ceiling of the housing.
  • a temperature sensor is arranged in the space, which is designed to control a supply device for refrigerant.
  • the temperature can be kept constant inside the housing.
  • a further temperature sensor is arranged outside the room, with which the temperature outside the housing can be measured.
  • the temperature of the room in the housing can be adapted to the outside temperature. Temperature fluctuations when moving sensitive devices or components to be examined in the ambient noise shield largely avoided.
  • the environmental noise screening device has at least one opening flap which, as provided in a preferred embodiment of the invention, can be actuated automatically.
  • the environmental noise shielding device can be integrated in an automatic transport system in which, for example, samples to be examined are brought into the housing of the environmental noise shielding device via an automation device.
  • the space of the environmental noise shielding device is preferably substantially fluid-tight lockable.
  • the sound-insulating effect is increased and it is a more accurate temperature control possible.
  • the space preferably occupies between 0.2 and 7 and more preferably between 0.5 and 1.5 m 3 of space.
  • the Schalldämmconnect is at a frequency of 250 Hz over 3 dB, preferably above 8 dB and more preferably above 30 dB.
  • the sound reduction index is more than 15 dB, preferably more than 30 dB and particularly preferably more than 50 dB.
  • the invention further relates to a vibration isolation system comprising an environmental noise shielding device according to the invention.
  • the ambient noise shielding device is preferably mounted vibration-isolated, in particular it is provided to arrange the Processdärmabtubvortechnisch on a vibration-isolated plate.
  • the invention relates to a method for shielding a device from ambient sound, wherein a device to be shielded is introduced into a housing, the housing is closed and a cooling device arranged in the housing is controlled by a sensor also arranged in the housing.
  • the temperature in the housing is adapted outside the housing via a further sensor, which is arranged outside the housing.
  • the environmental noise shielding device 1 has a housing 2 to be insulated, which defines a space 3 for receiving a device 4 to be insulated.
  • a cooling element 5 is arranged, which is connected via a flexible supply line 7 with a supply device 6, designed here as a refrigerant compressor. Via the supply device 6, the cooling element 5 is cooled and so the space 3, within which the device to be insulated is arranged, cooled.
  • FIG. 2 shows an alternative embodiment of an environmental noise shielding device 1, in which a temperature sensor 8 is arranged in the housing 2.
  • the temperature sensor 8 is located in the vicinity of the device 4 to be insulated.
  • the temperature sensor 8 is connected to a control device 9, which controls the supply device 6. About the control device 9, the temperature of the space 3 can be kept substantially constant.
  • the housing 2 of the environmental noise shielding device 1 is provided with a Sample transport device 10 is coupled.
  • samples (not shown) can be introduced into the space 3 of the environmental noise shielding device 1 via an automatic door 11 and fed to the device 4 to be insulated.
  • a sensor 8 is arranged, which is connected to a control device 9.
  • Another sensor 12 is disposed outside of the housing 2. About this sensor 12, the outside temperature is measured.
  • the control device 9 controls the supply device, which is connected to the cooling element 5.
  • the control device 9 is designed such that it adjusts the temperature in the space 3 of the ambient noise shielding device 1 of the outside temperature, which is measured with the sensor 12.
  • the housing 2 has a flap 13, which is struck by gas springs 14 on the housing 2. Via the flap 13, the space 3 of the housing 2 can be closed substantially airtight.
  • Fig. 5 shows another view of the housing 2 of the environmental noise shielding device 1.
  • detachable handles 15 are attached, with which the environmental noise shielding device can be carried.
  • the environmental noise shielding device 1 has a receptacle 24 for lifting, for example by means of a forklift. Also, the receptacle 24 is removable.
  • Fig. 6 shows a detailed view of the area A of Fig. 5.
  • the housing walls are designed as a multilayer composite material.
  • the walls have an outer laminate film 16, which is glued to a chipboard 17.
  • Behind the chipboard is an insulation made of mineral wool 18.
  • a sound insulation mat 19 is glued to a further chipboard 20.
  • the sound insulation mat 19 is filled with steel shot.
  • On the other chipboard 20, a film 21 is also glued.
  • the wall elements are connected to each other by means of screws 23. Between the individual wall elements are located for noise shielding and fluid-tight design of the housing seals 22, designed here as silicone gaskets.

Landscapes

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  • Casings For Electric Apparatus (AREA)
  • Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
  • Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)

Abstract

The environmental noise shielding apparatus (1) includes a housing (2) which defines a predetermined area (3) for holding a sensitive inspection appliance (4) to be isolated, and at least one cooling element (5) arranged in the predetermined area. A supply device (6), arranged outside the housing, is connected to the cooling element via a flexible supply line. An independent claim is also included for an appliance shielding method.

Description

Gebiet der ErfindungField of the invention

Die Erfindung betrifft eine Umgebungslärmabschirmvorrichtung sowie ein Verfahren zur Abschirmung eines Gerätes vor Umgebungslärm.The invention relates to an environmental noise shielding device and a method for shielding a device from environmental noise.

Hintergrund der ErfindungBackground of the invention

Aus der Praxis sind Vorrichtungen zur akustischen Abschirmung von empfindlichen Geräten bekannt. Besonders in der Halbleiterindustrie werden sogenannte akustische Hauben zur Abschirmung von empfindlichen Inspektionsmaschinen verwendet.In practice, devices for acoustic shielding of sensitive devices are known. Especially in the semiconductor industry so-called acoustic hoods are used to shield sensitive inspection machines.

Ein derartiges schallschluckend ausgebildetes Gehäuse wirkt zumeist zugleich auch isolierend gegenüber Wärme. Daher kann es, insbesondere, wenn ein Gerät in das Gehäuse eingebracht wird, welches Abwärme produziert, zu signifikanten Temperaturerhöhungen des Innenraumes des Gehäuses kommen. Eine derartige Temperaturerhöhung ist in vielen Fällen unerwünscht. Besonders bei Verwendung eines Gehäuses zur Isolierung von Inspektionsgeräten in der Halbleiterindustrie ist es erwünscht, dass der Innenraum der Schallschutzhaube im Wesentlichen dieselbe Temperatur wie der Außenbereich aufweist, damit beispielsweise Wafer, welche in den Innenraum eingebracht werden, keinen Temperaturschwankungen unterworfen sind.Such a sound-absorbing housing usually acts at the same time also insulating against heat. Therefore, especially when a device is introduced into the housing, which produces waste heat, it can lead to significant temperature increases of the interior of the housing. Such a temperature increase is undesirable in many cases. Especially when using a housing for the insulation of inspection equipment in the semiconductor industry, it is desirable that the interior of the soundproof hood has substantially the same temperature as the outdoor area, so that, for example, wafers, which are introduced into the interior, are not subject to temperature fluctuations.

Man hat in der Praxis versucht, die Erwärmung derartiger Schallschutzhauben durch Belüftungen zu reduzieren.Attempts have been made in practice to reduce the heating of such soundproof hoods by venting.

Nachteilig an derartigen Belüftungen ist, dass auch wenn diese in besonderer Weise schallschluckend aufgebaut sind, zumeist immer noch auch eine Durchtrittsöffnung auch für Schall geschaffen wird, wodurch die Schallisolationswirkung des Gehäuses verringert wird.A disadvantage of such vents is that even if they are constructed sound absorbing in a special way, usually still a passage opening is created for sound, whereby the soundproofing effect of the housing is reduced.

Aufgabe der ErfindungObject of the invention

Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Schutz eines empfindlichen Gerätes vor Umgebungslärm bereitzustellen, bei welcher die genannten Nachteile des Standes der Technik reduziert sind.The invention is based on the object to provide a device for protecting a sensitive device from environmental noise, in which the mentioned disadvantages of the prior art are reduced.

Insbesondere ist Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit welcher die Schallschutzwirkung verbessert wird.In particular, object of the invention to provide a device with which the soundproofing effect is improved.

Weiter ist Aufgabe der Erfindung, eine Schallschutzvorrichtung bereitzustellen, bei welcher die Innentemperatur auf dem Niveau der Außentemperatur gehalten werden kann.Another object of the invention to provide a soundproofing device, wherein the internal temperature can be maintained at the level of the outside temperature.

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Die Aufgabe der Erfindung wird bereits durch eine Umgebungslärmabschirmvorrichtung sowie durch ein Verfahren zur Abschirmung eines Gerätes vor Umgebungsschall nach einem der unabhängigen Ansprüche gelöst.The object of the invention is already achieved by a Umweltlärmabschirmvorrichtung and by a method for shielding a device from ambient sound according to one of the independent claims.

Bevorzugte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfindung sind den jeweiligen Unteransprüchen zu entnehmen.Preferred embodiments and further developments of the invention are to be taken from the respective subclaims.

Danach ist eine Umgebungslärmabschirmvorrichtung vorgesehen, welche ein Gehäuse umfasst, das einen Raum zur Aufnahme eines isolierenden Gerätes definiert.Thereafter, an environmental noise shielding device is provided which includes a housing defining a space for housing an insulating device.

Unter einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung wird eine Vorrichtung verstanden, in welcher ein zu isolierendes Gerät angeordnet werden kann, und bei welcher die Lautstärke durch das Gehäuse der Vorrichtung reduziert wird, der Schallpegel also in dem Raum zur Aufnahme eines zu isolierenden Gerätes geringer ist als in der Umgebung.An ambient noise shielding device is understood to mean a device in which a device to be insulated can be arranged, and in which the volume is reduced by the housing of the device, the sound level is therefore lower in the space for receiving a device to be insulated than in the environment.

Gemäß der Erfindung ist in dem Raum zumindest ein Kühlelement angeordnet. Unter einem Kühlelement wird jegliche Vorrichtung verstanden, mit der der Raum zur Aufnahme des zu isolierenden Gerätes abgekühlt werden kann.According to the invention, at least one cooling element is arranged in the space. A cooling element is understood to be any device with which the space for receiving the device to be insulated can be cooled.

Das Kühlelement ist bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit zumindest einer Versorgungseinrichtung gekoppelt, welche außerhalb des Gerätes angeordnet ist. Die Versorgungseinrichtung ist vorzugsweise im Wesentlichen von dem Gehäuse entkoppelt, das heißt Schwingungen der Versorgungseinrichtung werden nicht auf das Gehäuse des zu isolierenden Gerätes übertragen.The cooling element is coupled in a preferred embodiment of the invention with at least one supply device, which is arranged outside of the device. The supply device is preferably substantially decoupled from the housing, that is to say vibrations of the supply device are not transmitted to the housing of the device to be insulated.

Zur Kühlung können beispielsweise Kompressorkühlelemente, Peltier-Elemente oder Kühlschlangenkreisläufe verwendet werden, welche an eine oder mehrere Stellen der Innenwand des Gehäuses angebracht werden oder Teil der Wände oder der Decken sein können.For cooling, for example, compressor cooling elements, Peltier elements or cooling coil circuits may be used, which may be attached to one or more locations of the inner wall of the housing or may be part of the walls or ceilings.

Die Wahl des Kühlelementes richtet sich dabei in erster Linie nach den Anforderungen an die Kühlleistung. Da die Abwärme insbesondere von Inspektionsgeräten in der Halbleiterindustrie oft recht gering ist, reichen für viele Anwendungen Peltier-Elemente oder Kühlschlangenkreisläufe, in denen die Wärme über ein Fluid, insbesondere Wasser abgeführt wird. Für Anwendungen mit höherer Kühlleistung kann auch ein Kältemittelkompressor eingesetzt werden.The choice of the cooling element depends primarily on the requirements of the cooling capacity. Since the waste heat, in particular of inspection devices in the semiconductor industry, is often quite small, Peltier elements or cooling coil circuits in which the heat is dissipated via a fluid, in particular water, are sufficient for many applications. For applications with higher cooling capacity, a refrigerant compressor can also be used.

Flexible Leitungen sorgen dabei, wie es bei einer besonderen Ausführungsform der Erfindung vorgesehen ist, dass Schwingungen der Versorgungseinrichtung, insbesondere Schwingungen eines Kühlkompressors nicht oder nur in geringem Maße an das Gehäuse der Umgebungslärmabschirmvorrichtung weitergegeben werden.Flexible lines ensure, as is provided in a particular embodiment of the invention that vibrations of the supply device, in particular vibrations of a refrigerant compressor are not or only to a small extent to the housing of the ambient noise shielding device passed.

Das Kühlelement in dem Gehäuse der Umgebungslärmabschirmvorrichtung ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass es einen Schallpegel von weniger als 30 dB, vorzugsweise von weniger als 20 dB und besonders bevorzugt von weniger als 15 dB erzeugt. Es werden also Kühlelemente verwendet, welche wenig, bevorzugt keinen Lärm im Inneren des Gehäuses erzeugen.The cooling element in the housing of the environmental noise shielding device is preferably designed to produce a sound level of less than 30 dB, preferably less than 20 dB, and more preferably less than 15 dB. Thus, cooling elements are used which generate little, preferably no noise inside the housing.

Idealerweise werden Kühlelemente verwendet, welche sogar keinen messbaren Schallpegel im Gehäuse emittieren. Dies ist besonders mit Kühlschlangen gut zu realisieren. Ein außerhalb der Umgebungslärmabschirmvorrichtung anordnete Versorgungseinrichtung, beispielsweise ein Wärmetauscher, kann dagegen Schall emittieren, ohne den Schallpegel in der Umgebungslärmabschirmvorrichtung nennenswert zu beinflussen. Eine außerhalb der Umgebungslärmabschirmvorrichtung angeordnete Versorgungseinrichtung ist in vielen Fällen auch gar nicht nötig und kann daher entfallen.Ideally, cooling elements are used which even emit no measurable sound level in the housing. This is easy to realize, especially with cooling coils. On the other hand, a supply means arranged outside the environmental noise shielding apparatus, for example, a heat exchanger, can emit sound without appreciably affecting the sound level in the environmental noise shielding apparatus. A supply device arranged outside the ambient noise shielding device is shown in FIG In many cases not necessary and therefore can be omitted.

Das oder die Kühlelemente sind vorzugsweise in die Wand oder Decke des Gehäuses integriert, insbesondere ist vorgesehen, ein Kühlelement im Wesentlichen in der Decke des Gehäuses unterzubringen.The one or more cooling elements are preferably integrated in the wall or ceiling of the housing, in particular it is provided to accommodate a cooling element substantially in the ceiling of the housing.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist in dem Raum ein Temperatursensor angeordnet, welcher zur Regelung einer Versorgungseinrichtung für Kältemittel ausgebildet ist. Über einen derartigen Temperatursensor kann die Temperatur im Inneren des Gehäuses konstant gehalten werden.In one embodiment of the invention, a temperature sensor is arranged in the space, which is designed to control a supply device for refrigerant. About such a temperature sensor, the temperature can be kept constant inside the housing.

Bei einer alternativen Ausführungsform, wie es gemäß einer Weiterbildung der Erfindung vorgesehen ist, ist ein weiterer Temperatursensor außerhalb des Raumes angeordnet, mit welchem die Temperatur außerhalb des Gehäuses gemessen werden kann. So kann die Temperatur des Raumes im Gehäuse an die Außentemperatur angepasst werden. Temperaturschwankungen beim Verbringen von empfindlichen Geräten oder zu untersuchenden Bauteilen in die Umgebungslärmabschirmvorrichtung weitgehend vermieden.In an alternative embodiment, as provided according to a development of the invention, a further temperature sensor is arranged outside the room, with which the temperature outside the housing can be measured. Thus, the temperature of the room in the housing can be adapted to the outside temperature. Temperature fluctuations when moving sensitive devices or components to be examined in the ambient noise shield largely avoided.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung weist die Umgebungslärmabschirmvorrichtung zumindest eine Öffnungsklappe auf, welche, wie bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, automatisch betätigbar ist. So kann die Umgebungslärmabschirmvorrichtung in einem automatischen Transportsystem integriert werden, bei welchem beispielsweise zu untersuchende Proben über eine Automatisierungseinrichtung in das Gehäuse der Umgebungslärmabschirmvorrichtung verbracht werden.In a development of the invention, the environmental noise screening device has at least one opening flap which, as provided in a preferred embodiment of the invention, can be actuated automatically. Thus, the environmental noise shielding device can be integrated in an automatic transport system in which, for example, samples to be examined are brought into the housing of the environmental noise shielding device via an automation device.

Der Raum der Umgebungslärmabschirmvorrichtung ist vorzugsweise im Wesentlichen fluiddicht abschließbar. So wird die schallisolierende Wirkung erhöht und es ist eine genauere Temperaturregelung möglich.The space of the environmental noise shielding device is preferably substantially fluid-tight lockable. Thus, the sound-insulating effect is increased and it is a more accurate temperature control possible.

Der Raum nimmt vorzugsweise zwischen 0,2 und 7 und besonders bevorzugt zwischen 0,5 und 1,5 m3 Raum ein.The space preferably occupies between 0.2 and 7 and more preferably between 0.5 and 1.5 m 3 of space.

Durch die Erfindung lassen sich Umgebungslärmabschirmvorrichtungen bereitstellen, welche ein Schalldämmmaß bei einer Frequenz von 500 Hz und einem im Wesentlichen zu einer Gehäusewand verlaufenden senkrechten Einfallswinkel von über 5 dB, vorzugsweise über 10 dB und besonders bevorzugt über 40 dB aufweisen.By means of the invention, it is possible to provide environmental noise shielding devices which have a sound reduction index at a frequency of 500 Hz and a vertical angle of incidence substantially above a housing wall of more than 5 dB, preferably more than 10 dB and particularly preferably more than 40 dB.

Das Schalldämmmaß beträgt bei einer Frequenz von 250 Hz über 3 dB, bevorzugt über 8 dB und besonders bevorzugt über 30 dB.The Schalldämmmaß is at a frequency of 250 Hz over 3 dB, preferably above 8 dB and more preferably above 30 dB.

Bei einer Frequenz von 100 Hz beträgt das Schalldämmmaß über 15 dB, bevorzugt über 30 dB und besonders bevorzugt über 50 dB.At a frequency of 100 Hz, the sound reduction index is more than 15 dB, preferably more than 30 dB and particularly preferably more than 50 dB.

Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Schwingungsisolationssystem, welches eine erfindungsgemäße Umgebungslärmabschirmvorrichtung umfasst.The invention further relates to a vibration isolation system comprising an environmental noise shielding device according to the invention.

Die Umgebungslärmabschirmvorrichtung ist dabei vorzugsweise schwingungsisoliert gelagert, insbesondere ist vorgesehen, die Umgebungslärmabschirmvorrichtung auf einer schwingungsisolierten Platte anzuordnen.The ambient noise shielding device is preferably mounted vibration-isolated, in particular it is provided to arrange the Umweltdärmabschirmvorrichtung on a vibration-isolated plate.

Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Abschirmung eines Gerätes vor Umgebungsschall, wobei ein abzuschirmendes Gerät in ein Gehäuse eingebracht wird, das Gehäuse verschlossen wird und eine in dem Gehäuse angeordnete Kühlvorrichtung über ein ebenfalls in dem Gehäuse angeordneten Sensor geregelt wird.Furthermore, the invention relates to a method for shielding a device from ambient sound, wherein a device to be shielded is introduced into a housing, the housing is closed and a cooling device arranged in the housing is controlled by a sensor also arranged in the housing.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung wird über einen weiteren Sensor, welcher außerhalb des Gehäuses angeordnet ist, die Temperatur im Gehäuse der Temperatur außerhalb des Gehäuses angepasst.In a development of the invention, the temperature in the housing is adapted outside the housing via a further sensor, which is arranged outside the housing.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Die Erfindung soll im Folgenden anhand der Zeichnungen Fig. 1 bis Fig. 6 näher erläutert werden.

Fig. 1
zeigt schematisch die wesentlichen Bestandteile einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung,
Fig. 2
zeigt schematisch eine alternative Ausführungsform einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung,
Fig. 3
zeigt eine schematische Ansicht einer weiteren alternativen Ausführungsform einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung,
Fig. 4
zeigt eine schematische Darstellung, auf die bezugnehmend das Gehäuse einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung erläutert wird,
Fig. 5
zeigt eine weitere Ansicht einer erfindungsgemäßen Umgebungslärmabschirmvorrichtung,
Fig. 6
zeigt eine Detaildarstellung des Bereiches A der Fig. 5.
The invention will be explained in more detail below with reference to the drawings Fig. 1 to Fig. 6.
Fig. 1
schematically shows the essential components of an environmental noise shielding device,
Fig. 2
schematically shows an alternative embodiment of an environmental noise shielding device,
Fig. 3
shows a schematic view of another alternative embodiment of an environmental noise shielding device,
Fig. 4
shows a schematic, with reference to which the housing of an environmental noise shielding device is explained,
Fig. 5
shows a further view of an inventive Umgebungslärmabschirmvorrichtung,
Fig. 6
shows a detailed representation of the area A of FIG. 5.

Bezug nehmend auf Fig. 1 sollen die wesentlichen Bestandteile einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 näher erläutert werden. Die Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 weist ein zu isolierendes Gehäuse 2 auf, welches einen Raum 3 zur Aufnahme eines zu isolierenden Gerätes 4 definiert. In dem Raum 3 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 ist ein Kühlelement 5 angeordnet, welches über eine flexible Versorgungsleitung 7 mit einer Versorgungseinrichtung 6, hier ausgebildet als Kältemittelkompressor verbunden ist. Über die Versorgungseinrichtung 6 wird das Kühlelement 5 gekühlt und so der Raum 3, innerhalb dessen das zu isolierende Gerät angeordnet ist, gekühlt.Referring to Fig. 1, the essential components of an environmental noise shielding device 1 will be explained in more detail. The environmental noise shielding device 1 has a housing 2 to be insulated, which defines a space 3 for receiving a device 4 to be insulated. In the space 3 of the ambient noise shielding device 1, a cooling element 5 is arranged, which is connected via a flexible supply line 7 with a supply device 6, designed here as a refrigerant compressor. Via the supply device 6, the cooling element 5 is cooled and so the space 3, within which the device to be insulated is arranged, cooled.

Fig. 2 zeigt eine alternative Ausführungsform einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1, bei welcher in dem Gehäuse 2 ein Temperatursensor 8 angeordnet ist. Der Temperatursensor 8 befindet sich in der Nähe des zu isolierenden Gerätes 4.FIG. 2 shows an alternative embodiment of an environmental noise shielding device 1, in which a temperature sensor 8 is arranged in the housing 2. The temperature sensor 8 is located in the vicinity of the device 4 to be insulated.

Der Temperatursensor 8 ist mit einer Regeleinrichtung 9 verbunden, welche die Versorgungseinrichtung 6 ansteuert. Über die Regeleinrichtung 9 kann die Temperatur des Raumes 3 im Wesentlichen konstant gehalten werden.The temperature sensor 8 is connected to a control device 9, which controls the supply device 6. About the control device 9, the temperature of the space 3 can be kept substantially constant.

Bezug nehmend auf Fig. 3 soll eine weitere Ausführungsform einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung näher erläutert werden. Bei dieser Ausführungsform ist das Gehäuse 2 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 mit einer Probentransportvorrichtung 10 gekoppelt. Mittels der Probentransportvorrichtung 10 können über eine automatische Tür 11 Proben (nicht dargestellt) in den Raum 3 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 eingebracht werden und dem zu isolierenden Gerät 4 zugeführt werden.Referring to Fig. 3, another embodiment of an environmental noise shielding device will be explained in more detail. In this embodiment, the housing 2 of the environmental noise shielding device 1 is provided with a Sample transport device 10 is coupled. By means of the sample transport device 10, samples (not shown) can be introduced into the space 3 of the environmental noise shielding device 1 via an automatic door 11 and fed to the device 4 to be insulated.

Im Raum 3 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 ist ein Sensor 8 angeordnet, welcher mit einer Regeleinrichtung 9 verbunden ist.In the space 3 of the ambient noise shielding device 1, a sensor 8 is arranged, which is connected to a control device 9.

Ein weiterer Sensor 12 ist außerhalb des Gehäuses 2 angeordnet. Über diesen Sensor 12 wird die Außentemperatur gemessen.Another sensor 12 is disposed outside of the housing 2. About this sensor 12, the outside temperature is measured.

Die Regeleinrichtung 9 steuert die Versorgungseinrichtung an, welche mit dem Kühlelement 5 verbunden ist. Die Regeleinrichtung 9 ist dabei derart ausgebildet, dass sie die Temperatur im Raum 3 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 der Außentemperatur, welche mit dem Sensor 12 gemessen wird, anpasst.The control device 9 controls the supply device, which is connected to the cooling element 5. The control device 9 is designed such that it adjusts the temperature in the space 3 of the ambient noise shielding device 1 of the outside temperature, which is measured with the sensor 12.

Bezug nehmend auf Fig. 4 sollen die wesentlichen Bestandteile eines Gehäuses 2 einer weiteren Ausführungsform einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 näher erläutert werden. Das Gehäuse 2 weist ein Klappe 13 auf, welche über Gasfedern 14 an dem Gehäuse 2 angeschlagen ist. Über die Klappe 13 kann der Raum 3 des Gehäuses 2 im Wesentlichen luftdicht verschlossen werden.Referring to FIG. 4, the essential components of a housing 2 of another embodiment of an environmental noise shielding device 1 will be explained in more detail. The housing 2 has a flap 13, which is struck by gas springs 14 on the housing 2. Via the flap 13, the space 3 of the housing 2 can be closed substantially airtight.

Fig. 5 zeigt eine weitere Ansicht des Gehäuses 2 der Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1. An das Gehäuse 2 sind abnehmbare Griffe 15 angebracht, mit welchen die Umgebungslärmabschirmvorrichtung getragen werden kann.Fig. 5 shows another view of the housing 2 of the environmental noise shielding device 1. To the housing 2, detachable handles 15 are attached, with which the environmental noise shielding device can be carried.

Weiter weist die Umgebungslärmabschirmvorrichtung 1 eine Aufnahme 24 zum Anheben auf, beispielsweise mittels eines Gabelstaplers. Auch die Aufnahme 24 ist abnehmbar ausgebildet.Furthermore, the environmental noise shielding device 1 has a receptacle 24 for lifting, for example by means of a forklift. Also, the receptacle 24 is removable.

Fig. 6 zeigt eine Detaildarstellung des Bereiches A der Fig. 5. Anhand der Detaildarstellung soll die Ausbildung des Gehäuses näher erläutert werden. Die Gehäusewände sind mehrschichtig als Verbundmaterial ausgestaltet. In diesem Ausführungsbeispiel weisen die Wände eine äußere Laminatfolie 16 auf, welche auf eine Spanplatte 17 aufgeklebt ist. Hinter der Spanplatte befindet sich eine Dämmung aus Mineralwolle 18. In dem sich anschließenden Hohlraum ist eine Schalldämmmatte 19 auf eine weitere Spanplatte 20 aufgeklebt. Die Schalldämmmatte 19 ist mit Stahlschrot gefüllt. Auf die weitere Spanplatte 20 ist ebenfalls eine Folie 21 aufgeklebt. Die Wandelemente sind mittels Schrauben 23 miteinander verbunden. Zwischen den einzelnen Wandelementen befinden sich zur Lärmabschirmung und fluiddichten Ausgestaltung des Gehäuses Dichtungen 22, hier ausgebildet als Silikondichtungen.Fig. 6 shows a detailed view of the area A of Fig. 5. On the basis of the detailed representation of the design of the housing will be explained in more detail. The housing walls are designed as a multilayer composite material. In this embodiment, the walls have an outer laminate film 16, which is glued to a chipboard 17. Behind the chipboard is an insulation made of mineral wool 18. In the adjoining cavity a sound insulation mat 19 is glued to a further chipboard 20. The sound insulation mat 19 is filled with steel shot. On the other chipboard 20, a film 21 is also glued. The wall elements are connected to each other by means of screws 23. Between the individual wall elements are located for noise shielding and fluid-tight design of the housing seals 22, designed here as silicone gaskets.

Es versteht sich, dass die Erfindung nicht auf eine Kombination vorstehend beschriebener Merkmale beschränkt ist, sondern dass der Fachmann sämtliche beschriebenen Merkmale, soweit sinnvoll, kombinieren wird.It is understood that the invention is not limited to a combination of the features described above, but that the person skilled in the art will combine all the features described, if appropriate.

Claims (16)

Umgebungslärmabschirmvorrichtung mit einem Gehäuse, das einen Raum zur Aufnahme eines zu isolierenden Gerätes definiert, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Raum zumindest ein Kühlelement angeordnet ist.Environmental noise shielding device having a housing defining a space for receiving a device to be insulated, characterized in that in the space at least one cooling element is arranged. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass für das zumindest eine Kühlelement eine Versorgungsvorrichtung vorgesehen ist, wobei die Versorgungseinrichtung außerhalb des Gehäuses angeordnet ist.Environmental noise shield according to the preceding claim, characterized in that for the at least one cooling element, a supply device is provided, wherein the supply device is arranged outside of the housing. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Versorgungseinrichtung mit flexiblen Leitungen und/oder Kabeln mit dem zumindest einen Kühlelement verbunden ist.Environmental noise shield according to the preceding claim, characterized in that the supply device is connected to the at least one cooling element with flexible lines and / or cables. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement in dem Gehäuse einen Schallpegel von unter 30 dB, vorzugsweise von unter 20 dB und besonders bevorzugt unter 15 dB erzeugt.Environmental noise shield according to one of the preceding claims, characterized in that the cooling element in the housing generates a sound level of less than 30 dB, preferably of less than 20 dB and more preferably less than 15 dB. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Kühlelement in eine Wand und/oder Decke des Gehäuses integriert ist.Umweltlärmabschirmvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that at least one cooling element is integrated in a wall and / or ceiling of the housing. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Raum zumindest ein Temperatursensor, welcher insbesondere zur Regelung einer Versorgungseinrichtung für das Kühlelement ausgebildet ist, angeordnet ist.Umweltlärmabschirmvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that in the space at least one temperature sensor, which in particular for controlling a supply device is designed for the cooling element is arranged. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Temperatursensor außerhalb des Raumes angeordnet ist.Environmental noise shield according to one of the preceding claims, characterized in that at least one temperature sensor is arranged outside the room. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Umgebungslärmabschirmvorrichtung zumindest eine Öffnungsklappe aufweist.Environmental noise shielding device according to one of the preceding claims, characterized in that the ambient noise shielding device has at least one opening flap. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungsklappe automatisch betätigbar ist.Environmental noise shield according to the preceding claim, characterized in that the opening flap is automatically actuated. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Raum im Wesentlichen fluiddicht verschließbar ist.Umweltlärmabschirmvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that the space is substantially fluid-tight manner. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Raum zwischen 0,2 und 7, vorzugsweise zwischen 0,4 und 5 und besonders bevorzugt zwischen 0,5 und 1,5 m3 groß ist.Environmental noise shield according to one of the preceding claims, characterized in that the space between 0.2 and 7, preferably between 0.4 and 5 and particularly preferably between 0.5 and 1.5 m 3 is large. Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Schalldämmmaß von außen nach innen bei im Wesentlichen senkrecht zu einer Wand des Gehäuse verlaufenden Einfallswinkel und einer Frequenz von 500 Hz über 5 dB, vorzugsweise über 10 dB und besonders bevorzugt über 40 dB beträgt.Environmental noise shield according to one of the preceding claims, characterized in that the Schalldämmmaß from outside to inside at substantially perpendicular to a wall of the housing extending angle of incidence and a frequency of 500 Hz over 5 dB, preferably above 10 dB and more preferably above 40 dB. Schwingungsisolationssystem, umfassend zumindest eine Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche.A vibration isolation system comprising at least one environmental noise shielding device according to any one of the preceding claims. Schwingungsisolationssystem nach dem vorstehenden Anspruch, umfassend eine schwingungsisoliert gelagerte Platte, wobei die Umgebungslärmabschirmvorrichtung auf der Platte angeordnet ist.A vibration isolation system according to the preceding claim, comprising a vibration isolated mounted plate, wherein the environmental noise shielding device is disposed on the plate. Verfahren zur Abschirmung eines Gerätes vor Umgebungsschall, insbesondere mittels einer Umgebungslärmabschirmvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, umfassend die Schritte - Einbringen des abzuschirmenden Gerätes in Gehäuse, - Verschließen des Gehäuses, - Regeln einer in dem Gehäuse angeordneten Kühlvorrichtung über einen im Gehäuse angeordneten Sensor. Method for shielding a device from ambient sound, in particular by means of an environmental noise shielding device according to one of the preceding claims, comprising the steps Inserting the device to be shielded into housings, Closing the housing, - Rules a arranged in the housing cooling device via a sensor disposed in the housing. Verfahren zur Abschirmung eines Gerätes vor Umgebungsschall nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Temperatur in Gehäuse als auch eine Temperatur außerhalb des Gehäuses gemessen wird und über eine Regelung der Kühlvorrichtung die Temperatur im Gehäuse im Wesentlichen der Temperatur außerhalb des Gehäuses angepasst wird.A method of shielding a device from ambient sound according to the preceding claim, characterized in that both the temperature in the housing and a temperature outside the housing is measured and is adjusted by a control of the cooling device, the temperature in the housing substantially the temperature outside the housing.
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