DE9321274U1

DE9321274U1 - Position measuring device

Info

Publication number: DE9321274U1
Application number: DE9321274U
Authority: DE
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 1992-02-14
Filing date: 1993-01-26
Publication date: 1996-12-12
Anticipated expiration: 2003-01-27

Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 6. Februar 1992DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 6 February 1992

WegmeßeinrichtpngPosition measuring device

Die Erfindung bezieht sich auf eine Wegmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. Derartige Wegmeßeinrichtungen sind aus einer Vielzahl von Druckschriften bekannt. Sie dienen der Messung von Längen oder Winkeln bei Maschinen und Einrichtungen. The invention relates to a position measuring device according to the preamble of claim 1. Such position measuring devices are known from a large number of publications. They are used to measure lengths or angles in machines and equipment.

Die Messungen können fehlerhaft sein, wenn die Maschinenführungen ungenau sind. Um Führungsfehler ^von Maschinen zu erfassen und/oder zu kompensieren, sind eine Reihe von Vorschlägen bekannt geworden. Sp wird in der US-PS 2,866,946 eine Maschine beschrieben, die zwei parallel zueinander angeordnete lineare Meßumformer aufweist, bei denen durch Differenzbildung der Maschinenführungsfehler kompensiert wird.The measurements can be inaccurate if the machine guides are inaccurate. A number of proposals have been made to detect and/or compensate for ^machine guide errors. For example, US Patent 2,866,946 describes a machine that has two linear measuring transducers arranged parallel to one another, in which the machine guide errors are compensated by forming the difference.

In der EP-Bl-82 441 werden ein Verfahren und Einrichtungen zur Ermittlung und Korrektur von Führungsfehlern beschrieben. Darin werden beispielsweise durch zusätzliche Meßeinrichtungen, derenEP-Bl-82 441 describes a method and devices for determining and correcting guidance errors. For example, additional measuring devices, whose

Abtasteinrichtungen in Meßrichtung hintereinander angeordnet sind, Abstandsänderungen zwischen Abtasteinrichtung und Maßverkörperung erfaßt und in einem Korrekturrechner mit den Koordinatenwerten verrechnet.Scanning devices are arranged one behind the other in the measuring direction, changes in the distance between the scanning device and the measuring standard are recorded and calculated with the coordinate values in a correction computer.

Um Wegmeßeinrichtungen von der Güte der Maschinenführungen der zu messenden Maschinen oder Einrichtungen unabhängig zu machen, sind Kupplungen vorgeschlagen, mit deren Hilfe die Wegmeßeinrichtungen gewissermaßen gelenkig mit der zu vermessenden Maschine oder Einrichtung verbunden sind. Als Beispiele seien dafür die US-PS 3,833,303 und US-PS 3,910,703 genannt.In order to make position measuring devices independent of the quality of the machine guides of the machines or devices to be measured, couplings are proposed with the help of which the position measuring devices are connected in a sort of articulated manner to the machine or device to be measured. Examples of this are US-PS 3,833,303 and US-PS 3,910,703.

Derartige Lösungen erfordern eine Eigenführung der relativ zueinander beweglichen Elemente der Wegmeßeinrichtung, das sind die Abtasteinrichtung und die Maßverkörperung.Such solutions require self-guidance of the elements of the position measuring device that are movable relative to one another, i.e. the scanning device and the measuring embodiment.

Bei Längenmeßgeräten muß die Winkellage der Abtasteinrichtung zu der Teilung des Maßstabs über die gesamte Meßlänge in sehr engen Grenzen konstant gehalten werden, um Meßfehler zu vermeiden. Die Winkellage des Abtastgitters zum Maßstab hängt dann, wenn die Abtasteinrichtung auf einer besonderen Fläche, z.B. einer seitlichen Maßstabfläche geführt wird, von der Geradheit dieser Lauffläche ab.In length measuring devices, the angular position of the scanning device to the graduation of the scale must be kept constant within very narrow limits over the entire measuring length in order to avoid measuring errors. The angular position of the scanning grid to the scale depends on the straightness of this running surface when the scanning device is guided on a special surface, e.g. a lateral scale surface.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Wegmeßeinrichtung zu schaffen, bei der die Führungsgenauigkeit bzw. die Geradheit nicht unnötig eng toleriert werden muß. Diese Aufgabe wird von einer Wegmeßeinrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst, vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in denThe object of the invention is to create a position measuring device in which the guidance accuracy or the straightness does not have to be unnecessarily tight tolerances. This object is achieved by a position measuring device with the features of claim 1, advantageous embodiments can be found in the

• · • ·• · • ·

t ·t ·

Unteransprüchen.subclaims.

Die Vorteile der erfindungsgemäßen Wegmeßeinrichtung bestehen darin, daß an jeder Maßstabstelle die Winkellage des Abtastgitters relativ zu den Teilungsstrichen des Maßstabs gemessen und bei Abweichungen vom Sollwinkel eine entsprechende Korrektur des ermittelten Meßwertes vorgenommen werden kann.
10The advantages of the position measuring device according to the invention are that the angular position of the scanning grid relative to the graduation lines of the scale can be measured at each scale point and, in the event of deviations from the target angle, a corresponding correction of the determined measured value can be made.
10

Mit Hilfe der Zeichnungen soll anhand einiger Ausführungsbeispiele die Erfindung noch näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail using some embodiments in the drawings.

Es zeigtIt shows

Figur 1 eine Längenmeßeinrichtung mit zwei transversal angeordneten Abtastbereichen;
20Figure 1 shows a length measuring device with two transversely arranged scanning areas;
20

Figur 2 eine Längenmeßeinrichtung mit mehreren Codespuren;Figure 2 shows a length measuring device with several code tracks;

Figur 3 eine Längenmeßeinrichtung mit mehreren Codespuren und zusätzlicher InFigure 3 shows a length measuring device with several code tracks and additional in

kremental spur;incremental track;

Figur 4 eine Längenmeßeinrichtung mit mehreren Codespuren und zwei zusätzlichen Inkrementalspuren undFigure 4 a length measuring device with several code tracks and two additional incremental tracks and

Figur 5 eine Codeteilung mit mehreren Inkrementalspuren. Figure 5 shows a code division with several incremental tracks.

In Figur 1 ist eine Längenmeßeinrichtung 1 bzw. die hier relevanten Bestandteile nämlich eine Maßverkör-In Figure 1, a length measuring device 1 or the relevant components, namely a measuring device

perung 11 und eine Abtasteinrichtung 21 dargestellt. Die Maßverkörperung 11 weist eine Teilungsspur 31 auf, deren einzelne Gitterstriche in bekannter Weise quer zur Meßrichtung X verlaufen. Die Abtasteinrichtung 21 wird in nicht näher gezeigter Weise parallel zur Maßverkörperung 11 geführt. Die Abtasteinrichtung 21 weist Abtastfelder 41, 51, 61, 71 auf, die Teilungen aufweisen, die der Teilung der Teilungsspur 31 entsprechen und die in einem vorbestimmten Winkel &THgr; zu dieser ausgerichtet sind. Dieser Winkel &THgr; kann 0° sein, oder aber auch davon abweichen. Der einmal eingestellte Winkel &THgr; sollte im Idealfall über die gesamte Meßlänge konstant sein. Die Ideallage ist im linken Teil der Figur 1 gezeigt, die Abtasteinrichtung 21 ist mit gestrichelten Linien dargestellt.11 and a scanning device 21 are shown. The measuring embodiment 11 has a graduation track 31, whose individual grating lines run in a known manner transverse to the measuring direction X. The scanning device 21 is guided parallel to the measuring embodiment 11 in a manner not shown in detail. The scanning device 21 has scanning fields 41, 51, 61, 71, which have graduations that correspond to the graduation of the graduation track 31 and that are aligned at a predetermined angle Θ to it. This angle Θ can be 0°, or can deviate from it. The angle Θ once set should ideally be constant over the entire measuring length. The ideal position is shown in the left part of Figure 1, the scanning device 21 is shown with dashed lines.

Die Beibehaltung des konstanten Winkels &thgr; zwischen der Abtasteinrichtung 21 und der Maßverkörperung 11 ist direkt von der Qualität der Führung der Abtasteinrichtung 21 an der Maßverkörperung 11 abhängig. Sobald die Führung bzw. deren Geradheit nicht mehr ganz engen Toleranzen unterliegt, kann es zu Verkippungen zwischen der Maßverkörperung 11 und der Abtasteinrichtung 21 kommen, so daß sich der Winkel &THgr; um den Betrag &Lgr; &THgr; verändert.Maintaining the constant angle θ between the scanning device 21 and the measuring body 11 is directly dependent on the quality of the guidance of the scanning device 21 on the measuring body 11. As soon as the guidance or its straightness is no longer subject to very tight tolerances, tilting can occur between the measuring body 11 and the scanning device 21, so that the angle θ changes by the amount Λθ.

Diese Situation ist in übertriebener Darstellung in dem rechten Bereich der Figur 1 gezeigt. Durch die Verkippung der Abtasteinrichtung 21 um den Winkelbetrag 4Q gegenüber der Maßverkörperung 11 kommt es zu Meßfehlern, denn die Abtastfelder 41 und 61 tasten in Meßrichtung X betrachtet einen anderen Bereich der Teilungsspur 31 ab, als die Abtastfelder 51 und 71. Die je zwei Abtastfelder 41, 61 bzw. 51, 71, die in Meßrichtung X hintereinander liegen,This situation is shown in an exaggerated representation in the right-hand area of Figure 1. Due to the tilting of the scanning device 21 by the angle 4Q relative to the measuring standard 11, measurement errors occur, because the scanning fields 41 and 61 scan a different area of the graduation track 31 in the measuring direction X than the scanning fields 51 and 71. The two scanning fields 41, 61 and 51, 71, which are located one behind the other in the measuring direction X,

dienen zur Erfassung der Verschieberichtung, was aus dem Stand der Technik hinlänglich bekannt ist.are used to detect the direction of displacement, which is well known from the state of the art.

Durch die Verschiebung der Abtasteinrichtung 21 entlang der Maßverkörperung 11 verändert sich der genannte Kippwinkel &THgr; ständig in Abhängigkeit von der Geradheit der Führung. Die im transversalen Abstand a angeordneten Abtastfeider 41, 61 bzw. 51, 71 ermöglichen eine Ermittlung der Winkeländerung
&Dgr; &THgr; und somit letztlich eine kippwinkelabhangige Korrektur des Meßwertes.By moving the scanning device 21 along the measuring scale 11, the tilt angle Θ changes constantly depending on the straightness of the guide. The scanning fields 41, 61 and 51, 71 arranged at the transverse distance a enable the angle change to be determined.
Δ Θ and thus ultimately a tilt angle dependent correction of the measured value.

Besondere Bedeutung kommt der erfindungsgemäßen Ermittlung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; zu, wenn die Maßverkörperung eine Codeteilung mit mehreren Teilungsspuren aufweist. Derartige Ausführungsbeispiele sind in den Figuren 2 bis 5 dargestellt und sollen unter Bezug auf die vorangegangenen grundsätzlichen Erläuterungen nachstehend näher beschrieben werden.The determination of the angle change Δθ according to the invention is particularly important when the measuring embodiment has a code division with several division tracks. Such embodiments are shown in Figures 2 to 5 and will be described in more detail below with reference to the previous basic explanations.

Figur 2 zeigt eine Maßverkörperung 12 mit einer Teilung 32, die aus vier Teilungsspuren 32a, 32b, 32c und 32d gebildet wird. Diese Teilung 32 ist als Dual-Code aufgebaut. Selbstverständlich ist die Erfindung auch bei beliebigen anderen Codes mit Erfolg einsetzbar.Figure 2 shows a measuring embodiment 12 with a graduation 32, which is formed from four graduation tracks 32a, 32b, 32c and 32d. This graduation 32 is constructed as a dual code. Of course, the invention can also be used successfully with any other codes.

Die vier Teilungsspuren 32a, 32b, 32c, 32d der Teilung 32 werden von einer Abtasteinrichtung 22 abgetastet, die dazu vier Codeteilungs-Abtastfelder 22a, 22b, 22c, 22d aufweist, die in diesem Beispiel eine Ableselinie bilden, die genau senkrecht zur Meßrichtung verläuft (gestrichelte Darstellung im linken Figurenteil).The four graduation tracks 32a, 32b, 32c, 32d of the graduation 32 are scanned by a scanning device 22, which has four code graduation scanning fields 22a, 22b, 22c, 22d, which in this example form a reading line that runs exactly perpendicular to the measuring direction (dashed representation in the left part of the figure).

Es versteht sich, daß auch andere Abtastmethoden bei der Erfindung angewendet werden können, beispielsweise die hinlänglich bekannten U- und' V-Abtastungen für Codemeßeinrichtungen. Bei dieser Gelegenheit soll auch darauf hingewiesen werden, daß das gewählte physikalische Abtastprinzip ebenfalls von untergeordneter Bedeutung ist. Es sind optische, magnetische, induktive oder auch kapazitive Abtastprinzipien einsetzbar.
10It is understood that other scanning methods can also be used in the invention, for example the well-known U and V scanning for code measuring devices. It should also be noted at this point that the physical scanning principle chosen is also of secondary importance. Optical, magnetic, inductive or capacitive scanning principles can be used.
10

Die von den Codeteilungs-Abtastfeldern 22a, 22b, 22c, 22d abgelesenen Signale werden in einer Auswerteschaltung zum codierten Positionswert zusammengefaßt.
15The signals read from the code division scanning fields 22a, 22b, 22c, 22d are combined in an evaluation circuit to form the coded position value.
15

Wenn, wie beim Beispiel gemäß Figur 1, die Abtasteinrichtung 22 durch Führungsfehler verkippt wird, ändert sich der Winkel &THgr; der Ableselinie. Dies hat zur Folge, daß die von den Codeteilungs-Abtastfeldern 22a, 22b, 22c, 22d gewonnenen Signale zu einer fehlerhaften Signalkombination führen, was in der Auswerteschaltung zu einem falschen Positionswert führt.If, as in the example according to Figure 1, the scanning device 22 is tilted due to guidance errors, the angle Θ of the reading line changes. This means that the signals obtained from the code division scanning fields 22a, 22b, 22c, 22d lead to an incorrect signal combination, which leads to an incorrect position value in the evaluation circuit.

Erfindungsgemäß sind daher weitere Abtastfelder 42, 52, 62 und 72 vorgesehen, die Analogsignale aus den von ihnen abgetasteten Teilungsspuren 32a und 32d liefern. Aus den einzelnen Spuren 32a und 32d werden dabei Analogsignale gewonnen, die jeweils einer Abtastung einer Inkrementalspur mit entsprechender Gitterkonstante entsprechen. Pro Spur sind zwei Abtastfelder 42, 62 bzw. 52, 72 vorgesehen, um, wie bereits bekannt und auch in Figur 1 gezeigt, eine Erkennung der Bewegungsrichtung zu ermöglichen.According to the invention, further scanning fields 42, 52, 62 and 72 are therefore provided, which supply analog signals from the graduation tracks 32a and 32d scanned by them. Analog signals are obtained from the individual tracks 32a and 32d, each of which corresponds to a scan of an incremental track with a corresponding grating constant. Two scanning fields 42, 62 and 52, 72 are provided per track in order to enable detection of the direction of movement, as is already known and also shown in Figure 1.

• ·&diams;·•·&diams;·

Im rechten Figurenteil ist wieder eine verkippte Abtasteinrichtung 22 gezeigt, bei der der Winkel &THgr; der Ableselinie um den Betrag &Dgr; &THgr; verändert ist. Durch die Auswertung der von den Abtastfeldern 42, 52 bzw. 62, 72 erzeugten Analogsignale kann die Änderung des Winkels A &THgr; ermittelt werden. Wenn diese Winkeländerung &Lgr; &THgr; bekannt ist, kann der falsche Positionswert korrigiert werden.The right-hand part of the figure again shows a tilted scanning device 22 in which the angle Θ of the reading line is changed by the amount ΔΘ. The change in the angle AΘ can be determined by evaluating the analog signals generated by the scanning fields 42, 52 and 62, 72. If this angle change ΛΘ is known, the incorrect position value can be corrected.

Je größer der Abstand a der Abtastfelder 42, 62 und 52, 72 ist, desto exakter läßt sich die Winkeländerung &Dgr; © bestimmen.The greater the distance a between the scanning fields 42, 62 and 52, 72, the more precisely the angle change Δ © can be determined.

Bei dem gezeigten Beispiel sind zur Bestimmung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; jeweils die beiden äußeren Teilungsspuren 32a und 32d herangezogen. Ebenso ist die Auswertung anderer Teilungsspuren möglich. Die unterschiedlichen Teilungsperioden in den einzelnen Teilungsspuren sind bei der Auswertung zu berücksichtigen. Beispielsweise kann für die gröbste Teilungsspur 32a eine Interpolation durchgeführt werden, die - Fehlerfreiheit vorausgesetzt - zur gleichen Auflösung wie die der feinsten Teilungsspur 32d führt. Dieses Ausführungsbeispiel ist besonders vorteilhaft, weil außer der Codeteilung 32 keine weiteren Teilungsspuren erforderlich sind, um die Winkeländerung 4 &THgr; zu ermitteln und somit die Positionswertkorrektur durchführen zu können.In the example shown, the two outer graduation tracks 32a and 32d are used to determine the angle change ΔΘ. It is also possible to evaluate other graduation tracks. The different graduation periods in the individual graduation tracks must be taken into account in the evaluation. For example, an interpolation can be carried out for the coarsest graduation track 32a, which - assuming there are no errors - leads to the same resolution as that of the finest graduation track 32d. This embodiment is particularly advantageous because, apart from the code graduation 32, no other graduation tracks are required to determine the angle change 4Θ and thus to be able to carry out the position value correction.

Wenn der Aufwand für eine elektronische Interpolation der gröbsten Spur nicht erwünscht ist, oder deren Fehlerfreiheit nicht gesichert ist, kann gemäß Figur 3 eine weitere Teilungsspur 331 vorgesehen sein, die als Inkremental-Teilung ausgebildet ist und die gleiche Auflösung hat, wie die feinste Teilungsspur 33d der Codeteilung 33.If the effort for electronic interpolation of the coarsest track is not desired, or its error-free nature cannot be ensured, a further graduation track 331 can be provided according to Figure 3, which is designed as an incremental graduation and has the same resolution as the finest graduation track 33d of the code graduation 33.

Die Ermittlung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; erfolgt dann anhand der Abtastung der beiden äußeren Teilungsspuren 33d und 331 sinngemäß wie bei den vorausgegangenen Ausführungsbeispielen. Zur genaueren Ermittlung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; können die Signale der Teilungsspuren 33d und 331 noch elektronisch interpoliert werden.The angle change Δ &THgr; is then determined by scanning the two outer graduation tracks 33d and 331 in the same way as in the previous embodiments. To determine the angle change Δ &THgr; more precisely, the signals of the graduation tracks 33d and 331 can be electronically interpolated.

Um substantielle Wiederholungen zu vermeiden, wird ausdrücklich auf die Analogie der Ausführungsbeispiele verwiesen. Diese drückt sich auch darin aus, daß gleichwirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, denen als Index die jeweilige Figurenbezifferung hinzugefügt worden ist.In order to avoid substantial repetitions, explicit reference is made to the analogy of the embodiments. This is also expressed in the fact that elements with the same effect are provided with the same reference symbols, to which the respective figure number has been added as an index.

Eine weitere Variante ist in Figur 4 dargestellt. Dort sind neben der Codeteilung 34 noch zwei separate Inkremental-Teilungsspuren 341 und 3411 vorgesehen, die bevorzugt die gleiche Teilungsperiode aufweisen. Die Ermittlung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; erfolgt sinngemäß wieder in der vorbeschriebenen Weise mit separaten Abtastfeldern 44, 54, 64 und 74, durch deren Abtastsignale die Winkeländerungen £Q örtlich erfaßt werden und zur Korrektur der von den Codeteilungs-Abtastfeldern 24a, 24b, 24c, 24d abgelesenen Position dienen können.A further variant is shown in Figure 4. In addition to the code division 34, two separate incremental graduation tracks 341 and 3411 are provided, which preferably have the same graduation period. The determination of the angle change Δ Θ is again carried out in the manner described above with separate scanning fields 44, 54, 64 and 74, by whose scanning signals the angle changes ΣQ are locally detected and can be used to correct the position read from the code division scanning fields 24a, 24b, 24c, 24d.

Bei Codemeßeinrichtungen, deren Codeteilung nicht aus einem zyklischen Code besteht, sondern aus einer Anzahl von Inkrementalspuren, deren Teilungsperioden geringfügig voneinander abweichen, läßt sich die Erfindung in besonders vorteilhafter Weise einsetzen. Eine derartige Codeteilung 35 mit den Teilungsspuren 35a, 35b, 35c und 35d ist schematisch in Figur 5 dargestellt. Ihnen liegen Inkrementalspuren 351, 3511 gleicher TeilungsperiodeThe invention can be used particularly advantageously in code measuring devices whose code division does not consist of a cyclic code, but of a number of incremental tracks whose division periods differ slightly from one another. Such a code division 35 with the division tracks 35a, 35b, 35c and 35d is shown schematically in Figure 5. They are based on incremental tracks 351, 3511 with the same division period.

• *• *

parallel. Die Spuren werden von einer Abtasteinrichtung 25 abgelesen.parallel. The tracks are read by a scanning device 25.

Aus all dem ergibt sich, daß es bei der Erfindung unwesentlich ist, in welcher Phase der Messung die Korrektur erfolgt, sie kann während der Ablesung der Spuren, unmittelbar bei der Meßwertbildung oder auch anschließend vorgenommen werden. Entscheidend ist lediglich die korrekte Erfassung der Winkeländerung &Dgr; &THgr; und deren Verrechnung mit dem Meßwert in irgendeinem Stadium der Messung.From all this it follows that with the invention it is unimportant in which phase of the measurement the correction is made; it can be carried out while reading the tracks, immediately when the measured value is formed or afterwards. The only decisive factor is the correct recording of the angle change Δ Θ and its calculation with the measured value at any stage of the measurement.

Claims

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 6 February 1992 Claims

1. Position measuring device with at least one graduation track on a measuring embodiment, which is read by a scanning device movable in the measuring direction relative to the measuring embodiment, characterized in that means (4I _x 51, 61, 71; 42, 52, 62, 72; 43, 53, 63, 73; 44, 54, 64, 74) are integrated in the measuring device (1; 2; 3; 4) which determine angular changes (4 Q) between the scanning device (21; 22; 23; 24) and the measuring embodiment (11; 12; 13; 14) during the relative movement, and that a correction value for the measured value can be formed from the determined angular change { /XQ) .

2. Distance measuring device according to claim 1, characterized in that the scanning device (21; 22; 23; 24) has a plurality of scanning areas (41...74) perpendicular to the measuring direction (X).

3. Distance measuring device according to claim 2, characterized in that the measuring embodiment (12; 13; 14; 15) has a plurality of graduation tracks (32a...d; 331, 33a...d; 341, 34II, 34a...d; 351, 35II, 35a...d) running parallel to one another in the measuring direction (X).

4. Distance measuring device according to claim 3, characterized in that the graduation tracks (32a...d; 33a...d; 34a...d; 35a...d) form a code division.

! &iacgr;*&iacgr;&bgr;&idgr; * * · &diams; ·«·

5. Distance measuring device according to claim 4, characterized in that two of the graduation tracks (32a, 32d; 331, 33d; 341, 34II; 351, 35 II) serve as reference tracks from which the angle change (A Θ) of the scanning device (22; 23; 24; 25) is determined by forming the difference between the measured values read.

6. Distance measuring device according to claim 5, characterized in that the two outer graduation tracks (32a, 32d; 331, 33d; 341, 34II; 351, 3511) serve as reference tracks.

7. Distance measuring device according to claim 4, characterized in that on both sides of the code division

(34; 35) an additional incremental graduation track (341, 34II; 351, 35II) is provided as reference tracks.

8. Distance measuring device according to claim 4, characterized in that the track (33d) with the finest code division simultaneously forms one of the reference tracks and a further incremental division track (331) is provided in addition to the code division track (33a) with the coarsest division as a second reference track.

9. Distance measuring device according to claim 4, characterized in that the code division (35) is formed by a number of non-cyclic incremental division tracks (35a, 35b, 35c, 35d) whose division periods differ slightly from one another.