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DE7821509U1 - Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen - Google Patents

Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen

Info

Publication number
DE7821509U1
DE7821509U1 DE19787821509 DE7821509U DE7821509U1 DE 7821509 U1 DE7821509 U1 DE 7821509U1 DE 19787821509 DE19787821509 DE 19787821509 DE 7821509 U DE7821509 U DE 7821509U DE 7821509 U1 DE7821509 U1 DE 7821509U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
base plate
cooling device
pin
pins
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19787821509
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19787821509 priority Critical patent/DE7821509U1/de
Publication of DE7821509U1 publication Critical patent/DE7821509U1/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA TgQ 2038 9RD
Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen
Die Neuerung betrifft eine Kühlvorrichtung für auf einer aus einem isolierenden Werkstoff bestehenden Grundplatte angeordneten, integrierten Schaltkreisen. 10
Ε-si Schaltkreisen mit hoher Integrationsdichte, die in einer schnellen aber verlustreichen Schaltkreistechnik, wie sie z.B. die ECL-Technik darstellt, treten hohe Sperrschichttemperaturen auf. Um der Forderung nach !ιοί 5 her Lebensdauer der Schalxkreise nachzukommen, muß während des Betriebes die zulässig maximale Sperrschichttemperatur möglichst niedrig sein. Damit ist es notwendig, diesen Baustein effizient zu kühlen.
Da sich die Wirkung des auf den Baustein Einfluß nehmenden Kühlsystems im allgemeinen Luft mit hoher Geschwindigkeit, sich nur in engen Grenzen wirtschaftlich vertretbar steigern läßt, sind am Gehäuse des einzeln gepackten LSI-Chips zusätzliche Einrichtungen notwendig, die eine optimale Wärmeabfuhr ermöglichen.
MM 1 Sur / 14.7.1978
7821509 26.10.78
- 2 - VPA 78 G 2 O 3 8 BRO
Zur Verbesserung der Wärmeabfuhr an den einzeln gepackten integrierten Schaltkreisen ist es bekannt, auf diese Schaltkreise verrippte oder mit Stiften besetzte Kühlkörper, die den Träger ganz oder teilweise überdecken, aufzukleben.
Die Klebeschicht bildet Jedoch einen Wärmewiderstana, der sehr abhängig von der Qualität des Klebers ist und der eine effektive Wärmeabfuhr behindert.
Aus der DE-OS 2 334 427 ist eine Baugruppe für ein LSI-Plättchen und ein Herstellungsverfahren bekannt, bei der auf der das ISI-Plättchen tragenden Grundplatte ein einzelner Kühlstift aufgelötet ist. Wegen der Größe des Kühlstiftes ist auf der Grundplatte eine kreisförmige Metallschicht aufgedampft, auf der der Kühlstift aufgelötet wird.
Die Effektivität eines derartigen Kühlstiftes ist jedoch wesentlich abhängig von seiner Bauhöhe. Diese Bauhöhe ist aber infolge der heute üblichen hohen Packungsdichte sehr beschränkt (Größenordnung 8 mm).
Außerdem wird bei der Verwendung von einem einzelnen Stift die Verbindungsstelle zwischen Stift und Träger aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten von Keramik und Metall sehr stark beansprucht, was unter Uliständen zu einer Ablösung des Kühlstiftes und einer damit verbundenen thermischen Zerstörung des Schaltkreises führen kann.
Aufgabe der Neuerung ist es, für integrierte Schaltkreise eine Kühlvorrichtung bereitzustellen, die einfach und kostengünstig herstellbar ist und die es bei einer beschränkten Bauhöhe der Kühlkörper ermöglicht, die im Betriebszustand entstehende Verlustwärme möglichst optimal
?8?15Ö9 26.10.78
78 G 2 O 3 8 BRD
abzuführen.
Diese Aufgabe wird gemäß der Neuerung dadurch gelöst,
daß die Grundplatte auf der dem integrierten Schaltkreis abgewandten Seite eine Mehrzahl von direkt mit dem isolierenden Werkstoff verbundenen, stiftenförmigen Kühlkörpern aufweist.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Neuerung bestehen die Kühlkörper aus mit der Grundplatte verlöteten Metallstiften.
Durch die Auflösung der Kühleinrichtung in einzelne Kühlstifte mit geringer Bauhöhe und ihre direkte Verlötung
mit der Grundplatte kann die im Schal«, "eis entstehende * Wärme optimal abgeführt werden. Durch die Verwendung von einzelnen Stiften auf der Grundplatte reduziert sich die Beanspruchung der Verbindungsstelle von Stift und Träger aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten auf den Durchmesser eines Stiftes. Damit lassen sich die Stifte direkt auf die Grundplatte auflöten.
Eine Ausführungsform der Neuerung ist in der Zeichnung
dargestellt und wird im folgenden beispielsweise näher
beschrieben.
Die Figur zeigt eine schematische Schnittdarstellung der Neuerung.
Auf einer aus Keramik bestehenden Grundplatte 1 ist ein integrierter Schaltkreis (LSI) 2 angeordnet. Dieser
Schaltkreis 2 ist mit Anschlußstiften 3 über auf der
Grundplatte 1 angeordnete elektrische Leitungen 4 und
dünne Drähte 5 verbunden. Die aus Kupfer bestehenden Anschlußstifte 3 sind stumpf auf die Grundplatte 1 gelötet. Zum Schutz des Schaltkreises 2 und seiner Anschlußdrähte
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- k - VPA 78 G 2 O 3 8 BRD
ist Über den Schaltkreis 2 auf die Grundplatte ein Dekkel 6 geklebt.
Auf der dem integrierten Schaltkreis 2 abgewandten Seite der Grundplatte 1, die z.B. quadratisch mit einer Größe von 25 x 25 mm ausgebildet sein kann, sind einzelne, aus Kupfer bestehende, stiftenförmige Kühlkörper 7 angeordnet. Diese stiftenförmigen Kühlkörper 7 verteilen sich schachbrettförmig über der Oberfläche der Grundplatte.
Sie sind einzeln mit der aus Keramik bestehenden Grundplatte verlötet. Durch die geringe durchschnittliche Größe (Durchmesser ca. mm, Höhe ca. 5 mm) reduziert sich die Beanspruchung der Verbindungsstelle von Stift 7 und Grundplatte 1 aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten von Keramik und Kupfer auf den Durchmesser eines Stiftes. Dies ermöglicht, diese Stifte hart oder weich auf die Grundplatte 1 anzulöten. Die entstehende große Oberfläche aller Stifte 7 bewirkt eine optimale Kühlung des gesamten Moduls mit Hilfe von umströmender Luft.
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78 G 2 O 3 8 3RO Zusammenfassung
Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen
£ie Erfindung bezieht sich auf eine Kühlvorrichtung für auf einer aus einem isolierenden Werkstoff bestehenden Grundplatte angeordneten integrierten Schaltkreis, wotei die Grundplatte (1) auf der dem integrierten Schaltkreis (2) angewandten Seite eine Mehrzahl von direkt mit dem isolierenden Werkstoff verbundenen, stiftefönnigen Kühlkörpern (7) aufweist.
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VPA 78 G 2 O 3 8 BRD
Bezugszeichenliste
1 Grundplatte
2 LSI (Schaltkreis)
3 Anschlußstifte
4 Elektrische Leitungen
5 Anschlußdrähte
6 Deckel
7 Stifteförmiger Kühlkörper
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Claims (2)

- ι - VPA 78 6 2 O 3 8 BRD Schutzansprüche
1. Kühlvorrichtung für auf einer aus einem isolierenden Werkstoff bestehenden Grundplatte angeordneten integrierten Schaltkreis, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) auf der dem integrierten Schaltkreis (2) abgewandten Seite eine Mehrzahl von direkt mit dem isolierenden Werkstoff verbundenen, stifteförmigen Kühlkörpern (7) aufweist. 10
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Kühlkörper (7) aus mit der Grundplatte (1) verlöteten Metallstiften (7) bestehen.
7821509 26.10.78
DE19787821509 1978-07-18 1978-07-18 Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen Expired DE7821509U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19787821509 DE7821509U1 (de) 1978-07-18 1978-07-18 Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19787821509 DE7821509U1 (de) 1978-07-18 1978-07-18 Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE7821509U1 true DE7821509U1 (de) 1978-10-26

Family

ID=6693409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19787821509 Expired DE7821509U1 (de) 1978-07-18 1978-07-18 Kühlvorrichtung für LSI-Plättchen

Country Status (1)

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DE (1) DE7821509U1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3500805A1 (de) * 1984-01-13 1985-07-25 Nihon Radiator Co., Ltd., Tokio/Tokyo Kuehlkoerper fuer einen transistor
DE3531729A1 (de) * 1984-10-11 1986-04-17 Teradyne Inc., Boston, Mass. Waermeableitvorrichtung fuer elektronik-bauteile auf keramiksubstrat
DE3716196A1 (de) * 1986-09-09 1988-03-17 Teradyne Inc Anordnung aus einem elektronische bauelemente tragenden keramiksubstrat und einer waermeabfuehreinrichtung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3500805A1 (de) * 1984-01-13 1985-07-25 Nihon Radiator Co., Ltd., Tokio/Tokyo Kuehlkoerper fuer einen transistor
DE3531729A1 (de) * 1984-10-11 1986-04-17 Teradyne Inc., Boston, Mass. Waermeableitvorrichtung fuer elektronik-bauteile auf keramiksubstrat
DE3716196A1 (de) * 1986-09-09 1988-03-17 Teradyne Inc Anordnung aus einem elektronische bauelemente tragenden keramiksubstrat und einer waermeabfuehreinrichtung

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