DE760949C - Zur Untersuchung von Objekten dienender, an eine Vakuumpumpe angeschlossener Korpuskularstrahlapparat, insbesondere ein Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

Bei Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, ist es bekannt, das Vakuumgefäß mehrteilig auszuführen und die Einzelteile durch Abdichtungskonusse auseinanderzusetzen. Hierdurch ist es möglich, solche Apparate leicht auseinanderzunehmen und in das Innere eingebaute Einzelteile zu prüfen, auszuwechseln u. dgl. Bisher hat man bei Elektronenmikroskopen dieser Art besondere Objektschleuseinrichtungen verwendet, die so ausgestaltet sind, daß ein Einbringen und Entnehmen des Objektträgers (Patrone) ohne Unterbrechung des Vakuums im Apparat möglich ist. Die hierzu benötigten

Schleuseinrichtungen erfordern einen verhältnismäßig großen Aufwand an baulichen Einzelteilen. Sie bringen aber den Vorteil, daß man die Objektträger sehr rasch und ohne erhebliche Betriebsunterbrechungen auswechseln kann.

Die Erfindung bezieht sich auf einen zur Untersuchung von Objekten dienenden, an eine Vakuumpumpe angeschlossenen Korpuskularstrahlapparat, bei dem zwischen dem Strahlerzeuger und dem die abbildenden Linsen aufnehmenden Teil ein als Objektschleuse dienender, mit einer konischen Schlifffläche abgedichteter, drehbarer Absperrhahn

vorgesehen ist. Erfindungsgemäß ist der die Schleuse bildende drehbare Hahn so angeordnet und ausgebildet, daß er bei nach außen geöffnetem Schleusenraum zum Absperren der Vakuumpumpe dient. Hierdurch ist es möglich, die Vorrichtung zum Einbringen und Entnehmen der Objekte sehr einfach auszugestalten. Diese Vorrichtung bildet nämlich nunmehr gleichzeitig einen Absperrhahn der ίο Vakuumpumpe und dient auch dazu, den gesamten oberen den Strahlerzeuger aufnehmenden Teil des Apparates genau zentriert auf den die Abbildungslinsen enthaltenden Unterteil aufzusetzen, wodurch auch der obere und iS untere Teil des Gerätes, die voneinander lösbar sind, durch die Schlifffläche des Hahnes einwandfrei gegeneinander abgedichtet werden. Bei der neuen Schleuseinrichtung ist bewußt in Kauf genommen, daß das Vakuum in einem Teil des Gerätes beim Schleusvorgang unterbrochen wird. Man wird z. B. an dem mit einem konischen Außenschliff versehenen oberen Stück des die Objektpatrone und die Abbildungslinsen bildenden Apparatteils eine as seitliche Einschleusöffnung anordnen, der eine entsprechende Öffnung in dem mit einem Innenschliff versehenen unteren als drehbares Hahnküken ausgebildeten Stück des Bestrahlungsapparates zugeordnet ist; die zur Vakuumpumpe führende Leitung kann man dann ebenfalls an eine zweite Öffnung des oberen Stückes des Abbildungsteils anschließen.

Als Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Figur ein Querschnitt durch den oberen Teil eines Elektronenmikroskops dargestellt. Das Strahlerzeugungssystem besteht aus einer Kathode und einem sie umschließenden Wehneltzylinder i. Der Kathodenschaf12 ist mit Hilfe einer Kappe 3 oben auf einen Isolator 4 4.0 aufgesetzt, die Konusse 5 dienen zur guten Abdichtung zwischen Kappe und Isolator. Mit 6 ist die Anodenblende des Systems bezeichnet. Diese sitzt in einem Halter 7 und ist diesem gegenüber durch Konusse 8 abgedichtet. Mit 9 ist ein Trägerkörper für das Strahlerzeugungssystem bezeichnet. Relativ zu diesem Körper kann das Strahlerzeugungssystem mit Hilfe von Einstellschrauben 10, 11, die in an sich bekannter Weise mit Gegenfedern 12, 13 zusammenarbeiten, quer zur Achsrichtung des Strahles verschoben und auch verkantet werden. Der untere Teil 14 des Trägers 9 ist als Hahnküken ausgebildet. Er hat einen Innenschliff 15, der mit einem entsprechenden Außenschliff 16 des oberen Stücks

17 der Objektivlinse zusammenarbeitet. In den Teilen 14 und 17 befinden sich Öffnungen

18 und 19, die bei der dargestellten Betriebslage einander gegenüberstehen, so daß der Innenraum 20 des Mikroskops nach außen hin zum Einsetzen und Entnehmen einer Objektpatrone 21 geöffnet ist. Mit 22 ist eine zur Vakuumpumpe führende Rohrleitung bezeichnet, die an eine Öffnung 23 des Teiles 17 angeschlossen ist. In der dargestellten Betriebslage ist somit die Vakuumleitung 22 abgesperrt; mit 24 ist eine Einstellschraube für den Objektpatronenhalter 25 bezeichnet, die mit einer Gegenfeder 26 zusammenarbeitet. Diese Einstellvorrichtung dient dazu, kleine Querverschiebungen der Objektpatrone zum Strahl zwecks Einstellung des gewünschten Bildausschnittes durchzuführen.

Nach dem Einsetzen der Patrone in die dargestellte Lage wird das Strahlerzeugungssystem mit Hilfe des drehbaren Teiles 14 um i8o° gedreht, so daß nunmehr die öffnung 19 nach außen hin verschlossen ist und dafür die Vakuumpumpenleitung 22 über die öffnung im Hahnküken 14 nunmehr mit dem Mikroskopinnern in Verbindung steht.

Claims (3)

1. Patentansprüche-.

   i. Zur Untersuchung von Objekten dienender, an eine Vakuumpumpe angeschlossener Korpuskularstrahlapparat, bei dem zwischen dem Strahlerzeuger und dem die abbildenden Linsen aufnehmenden Teil ein als Objektschleuse dienender, mit einer konischen Schlifffläche abgedichteter, drehbarer Absperrhahn vorgesehen ist, insbesondere ein Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß der die Schleuse bildende drehbare Hahn so angeordnet und ausgebildet ist, daß er bei nach außen geöffnetem Schleusenraum zum Absperren der Vakuumpumpe dient.
2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mit einem konischen Außenschliff versehenen oberen Stück des Abbildungsteiles eine seitliche Einschleusöffnung vorgesehen ist, der eine entsprechende Öffnung in dem als konischer Innenschliff ausgebildeten unteren drehbaren Stück des Strahlerzeugungssystems zugeordnet ist.
3. 3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Vakuumpumpe führende Leitung an eine zweite Öffnung des oberen Stückes des Abbildungsteiles angeschlossen ist.

   Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht •ezogen worden:

   Deutsche Patentschrift Nr. 842 484.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen