DE7602482U1 - DurchfUhrungselektrode - Google Patents

Description

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Patentanwälte ■

Dipl.-Ing. Dipl.-Chem. Dipl.-Ing.

E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser

Ernsbergerstrasse 19

8 München 60

8. Juni 1978

Endresa u. Hauser ...

Unser Zeichen: E 862x

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Durchführungselektrode~

Sie Erfindung bezieht sioh auf eine Durchführungselektrode, die für das Einsetzen in eine öffnung in einen Wandteil bestimmt ist, mit einer der Innenfläche der Öffnung angepaßten Durohführungsfläche, wobei Wandteil und Durchführungselektrode aus elektrisch leitenden Materialen mit im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen.

Durohführungselektroden dieser Art werden insbesondere für den Zweck benötigt, elektrische Leiter für die Stromversorgung oder Signalübertragung isoliert durch leitende Wände von abgeschlossenen Räumen hindurehzufUhren. Dabei können in dem abgeschlossenen Raum sehr unterschiedliche und zum Teil extreme Bedingungen herrschen, wie sehr hohe, sehr tiefe oder wechselnde Temperaturen, Hoohdruok oder Hochvakuum, chemisch aggressive Umgebung usw. Die Durch- ' führungselektrode sollte daher bei guter Isolation des

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Leiters gegenüber der Wand temperaturbeständig, gasdicht, druckfest und gegen chemische Einwirkung beständig sein und sie soll möglichst wenig Feuchtigkeit aufnehmen und speichern; sie sollte außerdem wechseltemperaturfest sein, d.h. die angegebenen Eigenschaften auch dann beibehalten, wenn sie wechselnden Temperaturen ausgesetzt ist,

Bekannte Durohführungselektroden erfüllen jeweils nur einen Teil der gestellten Forderungen, wobei die Auswahl der verwendbaren Werkstoffe stark begrenzt ist. Dabei bringt die Erzielung einer ausreichenden Wechseltemperaturfestigkeit die größten Probleme mit sich. Bei den am weitesten verbreiteten Durchführungen ist die Durohführungselektrode mit Glas in die Öffnung der Wand eingeschmolzen. Dieses Fertigungsverfahren setzt aber voraus, daß Durchführungselektrode und Wand aus einem Werkstoff bestehen, der die Schmelztemperatur von Glas aushalten kann und außerdem etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient wie Glas hat, da sonst beim Abkühlen und Erstarren des Glases mechanische Spannungen auftreten, die zu Rissen und Sprüngen in der Isolation führen. Diesen Anforderungen entsprechen bei den verwendbaren Glassorten im allgemeinen nur bestimmte ausgewählte Metalle und Legierungen, z.B. Platin und Eisen-Nickel-Kobalt-Legierungen. Zwar ist dann auch die Bedingung der Wechseltemperaturfestigkeit erfüllt; die Verwendung von äiesen Metallen ist jedoch für viele Anwendungsfälle unerwünscht oder sogar unmöglich, besonders dort, wo erhöhte Anforderungen an die elektrische Leitfähigkeit der Durchführungselektrode gestellt werden oder wo diese Metalle aus Kostengründen ausscheiden. Beide Forderungen könnten beispielsweise mit Aluminium erfüllt werden, doch kann Aluminium wegen seines großen

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Wärmeausdehnungskoeffizienten und seines niedrigen Schmelzpunktes nicht mit Glas verschmolzen werden.

Die Verwendung einer Kunststoffisolation ist für viele Anwendungsgebiete niotit möglich; beispielsweise wäre eine solche Durchführung wegen der großen Feuchtigkeitsspeicherung und der zu großen Leckrate für Hochvakuumanlagen nicht geeignet.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Durchführungselektrode, die einfach herstellbar ist und auch bei Verwendung von Aluminium und ähnlichen Metallen mit großem Wärmeausdehnungskoeffizient eine ausgezeichnete Wechseltemperaturfestigkeit ergibt.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß auf der Durchführungsfläche der Durchführungselektrode eine dünne Isolierschicht aus elektrisch isolierendem Material festhaftend gebildet ist.

Bei der Durchführungselektrode nach der Erfindung ist infolge der Voraussetzung, daß Durchführungselektrode und Wandteil aus Materialien mit im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen, der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials der Isolierschicht praktisch ohne Einfluß auf die Wechseltemperaturfestigkeit, selbst wenn dieser Wärmeausdehnungskoeffizient von demjenigen der Durchführungselektrode sehr verschieden ist; infolge ihrer geringen Dicke (die vorzugsweise zwischen 10 und 100 um beträgt) und ihrer festen Haftung kann die Isolierschicht den Ausdehnungen und Zusammenziehungen bei Temperaturänderungen ohne Gefahr eines Springens oder Abplatzens folgen.

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Datier kanu für a ie Isolierschicht ohne Rücksicht auf den Wärmeausdehnungskoeffizient ein Material gewählt werden, das die für die Durohführungsisolation. gestellten Bedingungen gut erfüllt. Dieses Material sollte vorzugsweise ein guter Isolator sein, eine geringe Feuchtigkeit sauf na tune zeigen, d.h. nicht hygroskopisch und nicht porös sein, eine gute chemische Beständigkeit zeigen und gute mechanische Eigenschaften, insbesondere gute Haftung auf dem Untergrund und gute Elastizität aufweisen.

Diesen Anforderungen, genügen einige Materialien, die in der Dünnfilmtechnik angewendet werden, wie bestimmte Glassorten, Siliciumoxid und Aluminiumoxid. Aus diesen Materialien kann die Isolierschicht beispielsweise durch Aufstäuben im Vakuum aufgebracht werden, doch sind auch andere Verfahren zum Aufbringen festheftender Schichten bekannt und anwendbar.

Es ist auf diese Weise möglich, elektrisch isolierte Durchführungen mit großer Temperaturfestigkeit und chemischer Beständigkeit herzustellen, die eine Druckfestigkeit von 200 Bar oder mehr und eine Gasdichtigkeit mit einer Heliumleckrate von 10 mbar»l/s oder weniger aufweisen und diese Eigenschaften auch bei wechselnden Temperaturen in einem größen Temperaturbereich behalten.

Besondere Vorteile hinsichtlich der Fertigung und der Eigenschaften der Durchführung werden dann erzielt, wenn als Material für die Isolierschicht das Oxid des Metalls der Durchführungselektrode verwendet wird; in diesem Fall kann eine besonders gut haftende Isolierschicht auf einfache Weise durch Oberflächenoxidation des Metalls gebildet werden.

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Diese Ausführungsform eignet sioti besonders für aolohe Fälle, In denen die Durohführungselektrode aus Aluminium besteht, da Aluminiumoxid ein für den beabsichtigten Zweok hervorragend geeignetes Material ist.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung besteht daher darin, daß die Durohführungselektrode wenigstens Im Durohführungsbereioh aus Aluminium besteht und daß die Isolierschicht eine durch Oxidation des Aluminiums gebildete Schicht aus Aluminiumoxid ist.

Vorzugsweise wird das Aluminiumoxid durch anodische Oxidation gebildet.

Die anodische Oxidation ergibt eine dünne Aluminiumoxidschioht, die genügend elastisch ist und so gut auf dem Aluminium haftet, daß sie trotz der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Aluminium und Aluminiumoxid den Ausdehnungen und ZusammenZiehungen bei Temperaturänderungen ohne Gefahr des Springens oder Abplatzens folgen kann.

Infolge seiner bekannten Eigenschaften der großen Temperaturfestigkeit und chemischen Beständigkeit erfüllt Aluminiumoxid in hervorragender Weise die an eine Durchführungsisolation gestellten Anforderungen. Es muß allerdings darauf geachtet werden, daß die durch anodisohe Oxidation gebildete Aluminiumoxidschicht dicht und porenfrei ist, damit sie keine Feuchtigkeit aufnimmt und speichert. Die normalerweise durch anodische Oxidation erhaltenen Überzüge aus Aluminiumoxid sind zwar im allgemeinen porös, was für viele Anwendungsfälle sogar erwünscht ist; es ist aber beim gegenwärtigen Stand der

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Teohnik bekannt und mb'glioh, äuroh anodisohe Oxidation Alumlniumoxidsohichten zu erzeugen, die vollkommen dicht und porenfrei sind.

Diese Ausführungsform der Erfindung ist nicht nur dann anwendbar, wenn die Durchführungselektrode aus Aluminium "besteht. Wenn die Durohführungselektrode aus einem anderen Material als Aluminium besteht, ist naoh einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung auf die Durohführungselektrode im Bereich der Durchführungsfläohe eine Schicht aus Aluminium aufgebraoht, und die Isolierschicht ist durch Oxidation der Oberfläche der Aluminiumschicht gebildet. Die Aluminiumschicht kanu beispielsweise durch Metallspritzen, Aufdampfen oder galvanisch aufgebracht sein.

Auch bei dieser Ausführungsform der Durchführungselektrode werden die zuvor angegebenen vorteilhaften Eigenschaften erhalten. Zur Erzielung einer guten Wechseltemperaturfestigkeit ist es nur erforderlich, daß die Durchführungselektrode aus dem gleichen Werkstoff wie das Wandteil oder aus einem Werkstoff mit annähernd gleichem Wärmeausdehnungskoeffizient besteht; die Weohseltemperaturfestigkeit der Durchführung wird nicht beeinträchtigt, wenn dieser Wärmeausdehnungskoeffizient von den Wärmeausdehnungskoeffizienten von Aluminium und Aluminiumoxid verschieden ist, denn die Schichten aus Aluminium und Aluminiumoxid können wegen ihrer geringen Dicken den durch Temperaturänderungen verursachten Ausdehnungen und Zusammenziehungen ohne Gefahr einer Beschädigung folgen.

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AusfUhrungsbe!spiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigen:

Pig, 1 die Schnittansicht einer Ausführungsform einer Durohführungselektrode nach der Erfindung nach dem Einbau in ein Wandteil,

Fig. 2 die Durchführungselektrode von Pig. 1 vor dem Einbau,

Fig. 3 die Schnittansicht einer anderen Ausführungsform der Durchführungselektrode nach der Erfindung und

Fig. 4 die Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform der Durchführungselektrode nach der Erfindung.

Bei der in Fig, 1 gezeigten Ausführungsform ist die Durchführungselektrode 1 ein stabförmiger Leiter, der isoliert durch eine leitende Platte oder Wand 2 geführt ist. In der Wand 2 ist eine konische Öffnung 5 angebracht, und die Durchführimgselektrode 1 ist mit einem in diese Öffnung 5 passenden schlanken konischen Abschnitt 4 versehen. Zwischen den einander zugewandten Durchführungsflächen, nämlich der konischen Umfangsfläche der Öffnung 3 und der Oberfläche des konischen Abschnitts 4, ist eine Isolierschicht 5 gebildet, die den Leiter 1 gegenüber der Wand 2 isoliert.

Fig. 2 zeigt die Durchführungselektrode 1 von Fig. 1 vor dem Einsetzen in die Öffnung 3. Die Durchführungselektrode 1 und die Wand 2 bestehen entweder aus dem gleichen Material oder aus Materialien mit im wesentlichen gleichem Wärmeausdehnungskoeffizienten. Auf der

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Durchführungselektrode 1 ist die Isolierschicht 5 so gebildet, daß sie die ganze Umfangsfläche des konischen Abschnitts 4 und die benachbarten Randbereiche der sich anschließenden zylindrischen Abschnitte der Durchführungselektrode 1 bedeckt. Wie Fig. 1 zeigt, ergeben sich dadurch nach dem Einbau der Durchführungselektrode nach außen überstehende ringförmige Teile der Isolierschicht, die Kurzschlüsse oder Kriechströme über den Rand der Durchführung verhindern.

Für die Isolierschicht 5 kann jedes Material verwendet werden, das ein gutes elektrisches Isolationsvermögen aufweist, in Form dünner Schichten festheftend auf das Material der Durchführungselektrode 1 aufgebracht werden kann und in dieser Form eine gute Elastizität aufweist. Das Material soll ferner gegen chemische Einwirkungen beständig sein und eine geringe Feuchtigkeitsaufnahme zeigen, also nicht hygroskopisch und nicht porös sein. Dagegen kann die Auswahl des Materials ohne Rücksicht auf den Wärmeausdehnungskoeffizient erfolgen.

Diesen Anforderungen genügen beispielsweise verschiedene Materialien, die in der Dünnfilmtechnik angewendet werden, wie bestimmte Glassorten, Siliciumoxid und Aluminiumoxid.

Die Dicke der Isolierschicht 5 hängt von der Art des verwendeten Isoliermaterials und der geforderten Spannungsfestigkeit der Isolation ab. Für die Erzielung der Wechselteraperaturfestigkeit bei unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffiezienten iut es umso günstiger, je dünner die Isolierschicht ist. Normalerweise wird ihre Dicke in der Größenordnung von 10 bis 100 um liegen, doch können

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auch noch dünnere Isolierschichten angewendet werden, wenn beispielsweise nur sehr kleine Signalspannungen über die Durchführungselektrode 1 übertragen werden. Die Dicke der Isolierschicht 5 ist in der Zeichnung der Deutlichkeit wegen übertrieben dargestellt.

Die Isolierschicht 5 kanu dadurch gebildet werden, daß ihr Material auf die Durchführungselektrode 1 nach irgendeinem an sich bekannten Verfahren aufgetragen wird, das eine gute Haftung der Schicht auf dem Untergrund gewährleistet. Dies gilt beispielsweise für das Aufstäuben im Vakuum.

Eine andere Möglichkeit zur Bildung der Isolierschicht besteht darin, daß sie durch chemische Umwandlung, insbesondere Oxidation des Materials der Durchführungselektrode 1 an deren Oberfläche erzeugt wird. Diese Ausführungsform ist besonders dann vorteilhaft, wenn die Durchführungselektrode 1 aus Aluminium besteht. In diesem Fall wird die Isolierschicht 5 vorzugsweise durch anodische Oxidation der Aluminiumoberfläche gebildet.

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Durch die anodische Oxidation entsteht auf der Aluminiumoberfläche eine Schicht aus Aluminiumoxid (A^O.,), also einem sehr harten Material von großer Temperaturfestigkeit, das ein ausgezeichneter elektrischer Isolator und gegenüber chemischen Einflüssen sehr beständig ist. Das durch anodische Oxidation gebildete Aluminiumoxid haftet sehr gut auf dem Aluminium und ist genügend elastisch, um ein Abplatzen zu verhindern.

Es ist aber wichtig, daß bei der anodischen Oxidation ! darauf geachtet wird, daß die Aluminiumoxidschicht dicht i

und porenfrei hergestellt wird. Die normalerweise durch anodisohe Oxidation erhaltenen Aluminiumoxid schichten bestehen aus einer dichten Sperrschicht und einer porösen Deckschicht, die beispielsweise für eine Anfärbung erwünscht ist. Pur die Verwendung als Durchführungsisolation wäre dagegen die poröse Deckschicht ungünstig, weil sie Feuchtigkeit aufnehmen und speichern würde. Es ist jedoch nach dem gegenwärtigen Stand der Technik bekannt und möglich, durch anodische Oxidation Aluminiumoxidschichten herzustellen, die nur aus einer dichten unä porenfreien Sperrschicht bestehen und für den beabsichtigten Zweck gut geeignet sind.

Nach dem Aufbringen der Isolierschicht 5 wird die Durchführungselektrode 1 so in der öffnung 3 der Wand 2 befestigt, daß zwischen der Isolierschicht und der Umfangsfläche der Öffnung kein Spalt besteht. Vorzugsweise wird die Durchführungselektrode 1 im Preßsitz in der öffnung befestigt. Dies könnte bei der in Fig. 1 und 2 gezeigten konischen Form der Öffnung 3 dadurch geschehen, daß die Durchführungselektrode 1 in der Längsrichtung in die Öffnung 3 eingepreßt oder mit leichten Hammerschlägen eingetrieben wird. Vorzugsweise wird der Preßsitz jedoch durch ein Wärmeschrumpfverfahren erzielt. Hierzu wird die Wand 2 erhitzt, so daß sie sich ausdehnt und die Öffnung 3 erweitert; dann wird die Durchführungselektrode 1 in die Öffnung 3 eingesetzt, und beim Abkühlen der Wand 2 schrumpft diese auf die Durohführungselektrode. Überschüssiges Material fließt dabei längs der sich berührenden Flächen weg, und mikroskopische Unebenheiten an den Oberflächen werden plattgedrückt, so daß kein Spalt zurückbleibt. Um die Erzielung einer vollkommenen Abdichtung mit noch größerer Sicherheit zu gewährleisten,

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kanu vor dem Einsetzen des Leiters in die Öffnung noch ein Klebstoff, "beispielsweise ein Epoxydharz, auf eine der in Berührung kommenden Flächen aufgebracht werden; dies ist im allgemeinen jedoch nioht erforderlich. Auf jeden EaIl sollte aber die Oberfläche der Öffnung 3 möglichst glatt bearbeitet sein.

Wenn bei der Ausführungsform von Fig. 1 und 2 die Durchführungselektrode 1 aus Aluminium besteht, kann die Wand 2 aus einem beliebigen Material bestehen, das etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizent wie Aluminium hat und natürlich ebenfalls Aluminium sein kann.

Eine auf diese Weise ausgebildete Durchführungselektrode, bei der die Isolierschicht 5 aus Aluminiumoxid besteht, das durch anodische Oxidation gebildet worden ist, ergibt eine ausgezeichnete elektrische Isolierung der Durchführungselektrode 1 gegenüber der Wand 2. Die Durchführung ist gasdicht mit einer Heliumleckrate von weniger als 10" mbar . l/s. Sie ist druckfest für Drücke bis mindestens 200 Bar und daher für Druckanlagen geeignet. Die Isolation ist hochtemperaturfest und gegen chemische Einwirkungen äußerst beständig. Da die Isolation ferner sehr wenig Feuchtigkeit aufnimmt, ist die Durchführung auch für Hochvakuumanlagen geeignet. Von besonderem Vorteil ist die Tatsache, daß die Durchführung alle diese Eigenschaften trotz des großen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Aluminium bei wechselnden Temperaturen beibehält, wenn Durchführungselektrode und Wand etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient haben, da sich der unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizient von Aluminiumoxid wegen der geringen Dicke und der guten Haftung der Aluminiumoxidschicht nicht auswirkt.

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Die "beschriebene Ausbildung eignet sich für jede beliebige Art und Form der Durohführungselektrode. Als Beispiel zeigt Fig. 3 eine Durchführungselektrcde 1a in Form eines zylindrischen Leiters, wobei natürlich auch die Bohrung 3a zylindrisch ist. Dabei ist die Isolierschicht 5a auf der Durchführungselektrode 1a gebildet, beispielsweise durch anodisohe Oxidation, wenn die Durchfuhr ungselektr ode 1a aus Aluminium besteht. Die Wand 2a kann aus dem gleiohen Material wie dia Durchfuhrungselektrode 1a bestehen, oder aus einem beliebigen Material, das etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient wie das Material der Durchführungselektrode 1a hat. Die AUsführungsform von Fig. 3 eignet sich besonders für eine Befestigung der Durchführungselektrode durch das zuvor beschriebene Aufschrumpfverfahren; die Öffnung 3a wird zu diesem Zweck mit entsprechend enger Passung ausgebildet.

Die Bildung der Isolierschicht 5 durch anodische Oxidation von Aluminium ist nicht auf den Fall beschränkt, daß die Durchführungselektrode aus Aluminium besteht. Dieses Prinzip läßt sich vielmehr auch dann anwenden, wenn die Durchführungselektrode aus einem anderrm Material als Aluminium besteht, wie in Fig. 4 gezeigt ist. Als Beispiel ist in Fig. 4 wieder die Form der Durchführungselektrode 1 von Fig. 1 dargestellt, doch besteht die Durchführungselektrode 1 nicht aus Aluminium; sie kann aus einem beliebigen Material bestehen, das etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient wie das Material des Wandteils 2 hat.

Auf den ganzen konischen Abschnitt 4 und die anschließenden Randbereiche der zylindrischen Abschnitte der Durchführungselektrode 1 ist eine Aluminiumschicht 7 aufgebracht, und ein Aluminiumoxidschicht 8 ist durch anodische

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Oxidation der Oberfläche äieser Aluminiurasohicht 7 gebildet. Die Aluminiumsohioht 7 kann z.B. durch Metallspritzen, Aufdampfen im Vakuum oder galvanisches Auftragen, von Aluminium aus alurainiumorganischen aprotischen Elektrolyten aufgebracht werden.

Nach der Bildung der Aluminiumoxidschicht kann dann die Durchführungselektrode in einer der zuvor beschriebenen Weisen eingebaut werden. Infolge der geringen Dicken, der Aluminiumschicht 7 und der Aluminiumoxidsohicht 8 werden die vorteilhaften Eigenschaften der Durchführungselektrode einschließlich der Wechseltemperaturfestigkeit auoh dann erhalten, wenn der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials der Durchführungselektrode 1 und der Wand 2 von den Wärmeausdehnungskoeffizienten von Aluminium und Aluminiumoxid verschieden ist.

In allen Fällen ist unter "Aluminium" nicht nur reines Aluminium zu verstehen, sondern, auch jede Aluminiumlegierung, auf der durch Oberflächenoxidation, insbesondere anodische Oxidation, eine Aluminiumoxidschicht gebildet werden kann.

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Claims (1)

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   E. Prinz * .Patentanwälte'. '..' E 862x Dlpl.-lng.
   G. Leiser Dlpl.-Ohem.
   Dr. G. Hauser Ernsbergerelraese 1Θ G 76 02 482.3 8 München 60 8. Endress u. Häuser ... Unser Zeichen:

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   1. Durohführungaelektrode, die für das Einsetzen in eine öffnung in einen Wandteil bestimmt ist, mit einer der Innenfläche der öffnung angepaßten Durohführungsfläche, wobei Wandteil und Durohführungselektrode aus elektrisch leitenden Materialien mit im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Durchführungsfläche (4) der Durchführungselektrode (1) eine dünne Isolierschicht (5; 5a; 8) aus elektrisch isolierendem Material festheftend gebildet ist.

   2. Durchführungselektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a; 8) eine Dicke in der Größenordnung von 100 um oder weniger hat.

   3. Durohführungselektrode nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a; 8) eine Dicke zwischen 10 und 100 um hat.

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   4. Durohführungselektrode naoh einem der Ansprüche 1 Ms 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a; 8) die sich an die Durchführungsfläche (4) anschließenden Randbereiche der Oberfläche der Durchführungselektrode (1) bedeckt.

   5. Durchführungselektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 4» daduroh gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a) aus Glas, Siliciumoxid oder Aluminiumoxid besteht.

   6. Durchführungselektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 5, daduroh gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a) durch Aufstäuben aufgebracht ist.

   7. Durchführungselektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (5; 5a; 8) durch Oberflächenoxidation gebildet ist.

   8. Durchführungselektrode nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführungselektrode (1) wenigstens im Durchführungsbereich aus Aluminium besteht und daß die Isolierschicht (5; 5a; 8) eine durch Oxidation des Aluminiums gebildete Schicht aus Aluminiumoxid ist.

   9. Durchführungselektrode nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Aluminiumoxid (5; 5a; 8) durch anodische Oxidation gebildet ist.

   10. Durchführungselektrode nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführungselektrode (1) aus einem anderen Material als Aluminium besteht, daß auf die Durchführungselektrode (1) im Bereich der Durchführungsfläche

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   eine Schicht (7) aus Aluminium aufgebracht ist, und daß die Isolierschicht (8) durch Oxidation der Oberfläche der Aluminiumschicht (7) gebildet ist (Fig. 4).

   11. Durchführungselektrode nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumschicht (7) durch Metallspritzen aufgebracht ist.

   12. Durchführungselektrode nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumschicht (7) durch Aufdampfen aufgebracht ist.

   13. Durchführungselektrode nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumschicht (7) galvanisch aufgebracht ist.

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