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DE69924098T2 - Bestückungsautomat für bauelemente - Google Patents

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DE69924098T2
DE69924098T2 DE69924098T DE69924098T DE69924098T2 DE 69924098 T2 DE69924098 T2 DE 69924098T2 DE 69924098 T DE69924098 T DE 69924098T DE 69924098 T DE69924098 T DE 69924098T DE 69924098 T2 DE69924098 T2 DE 69924098T2
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    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0406Drive mechanisms for pick-and-place heads, e.g. details relating to power transmission, motors or vibration damping
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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Bauelementbestückungsmaschine mit
    • – einem Maschinenrahmen, über den Leiterplatten transportiert werden können und auf dem die Leiterplatten fixiert werden können, wobei der Maschinenrahmen mit einem Führungsteil versehen ist, längs welchem ein Schlitten bewegt werden kann,
    • – einem Bestückungskopf zum Platzieren von Bauelementen auf den Leiterplatten, wobei der Bestückungskopf mit dem Schlitten gekoppelt ist,
    • – einem Linearmotor zum Antreiben des Schlittens längs des Führungsteils in einer Antriebsrichtung, wobei der Motor einen stationären Teil und einen beweglichen Teil hat und wobei der bewegliche Teil mit dem Schlitten verbunden ist.
  • Eine derartige Bauelementbestückungsmaschine ist aus der WO-A1-97/38567 bekannt. Das Prinzip einer solchen Maschine ist in den 5 und 6 schematisch dargestellt, welche die Maschine in Draufsicht bzw. in Seitenansicht zeigen. Der stationäre Teil 7 des Linearmotors 5, d. h. eine magnetische Spannplatte ist an dem Maschinenrahmen 1 starr befestigt. Während des Betriebes werden die Spulen, welche den beweglichen Teil 6 des Linearmotors bilden und auf dem Schlitten angeordnet sind, erregt, um den Schlitten 2 längs des Führungsteils 3 anzutreiben. Infolge dessen wird eine Reaktionskraft auf die magnetische Spannplatte ausgeübt, die auf den Maschinenrahmen übertragen wird. Diese Kräfte sind während des Anfahrens und Stoppens des Schlittens am größten. Der Maschinenrahmen beginnt zu schwingen, was folglich auch für die Leiterplatte 8 gilt, die auf dem Maschinenrahmen fixiert ist. Die Größe der Frequenz der Schwingung und die Amplitude der Schwingung werden bis zu einem wesentlichen Grad durch die Größe der Reaktionskräfte und durch die Steifigkeiten und Massen der verschiedenen Maschinenteile bestimmt. Die Maschinenteile dienen als ein Massenfederungssystem. Wenn die Schwingungen der Eigenfrequenz eines solchen Massenfederungssystems nahe kommen, können sich in dem Maschinenrahmen unakzeptable Schwingungen ausbilden, die große Amplituden haben. Die Position, wo ein Bauelement 9 auf einer Leiterplatte mittels des Bestückungskopfes 4 platziert werden muss, der an dem Schlitten 2 befestigt ist, wird mit Hilfe eines Sichtsystems (nicht gezeigt) bestimmt. Das Sichtsystem kann aber nicht die Schwingungen der Leiterplatte berücksichtigen. Die Platzierung eines Bauelements erfolgt unmittelbar, nachdem der Schlitten gestoppt hat, d. h. beispielsweise innerhalb von etwa 10 μm. Da solche Schwingungen innerhalb dieses Zeitintervalls weder abgedämpft werden noch wenigstens auf eine Amplitude von einigen wenigen μm gedämpft werden, tritt während der Platzierung des Bauelements eine Ungenauigkeit auf. Das Verzögern der Platzierung, bis die Schwingungen sich auf einen akzeptablen Wert verringert haben, ist unakzeptabel, weil es zu einem unakzeptablen Anstieg der Prozesszeit führt.
  • Es ist ein Ziel der Erfindung, den Einfluss der Reaktionskräfte, die durch den Antrieb des Schlittens hervorgerufen werden, auf den Maschinenrahmen zu minimieren.
  • Um das zu erreichen, ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass der stationäre Teil des Motors an einem Kraftrahmen befestigt ist, der von dem Maschinenrahmen dynamisch getrennt ist. Die Reaktionskräfte werden nun überwiegend von dem Kraftrahmen statt von dem Maschinenrahmen wie im Stand der Technik aufgenommen. Das ist wichtig, weil die Position des Schlittens in Bezug auf den Maschinenrahmen, nicht in Bezug auf den Kraftrahmen gemessen wird. Aufgrund der dynamischen Trennung werden die Schwingungen, die dadurch in dem Kraftrahmen verursacht werden, nicht länger oder nur bis zu einem sehr begrenzten Grad auf den Maschinenrahmen übertragen. Insbesondere die Schwingungen mit einer Frequenz nahe bei der Eigenfrequenz der Gesamtheit der Maschinenteile, die als das Massenfederungssystem dienen, werden nicht oder kaum auf den Maschinenrahmen übertragen. Infolgedessen hat der Antrieb des Schlittens keinen oder kaum einen Einfluss auf die Position der Leiterplatte. Das führt zu einer Steigerung der Genauigkeit, mit welcher die Bauelemente auf der Leiterplatte platziert werden.
  • Die Trennung zwischen den Rahmen könnte erreicht werden, beispielsweise, durch Platzieren beider Rahmen separat auf dem Werkstattboden derart, dass sie getrennt sind. In diesem Fall könnten die Schwingungen in dem Kraftrahmen noch über den Boden auf den Maschinenrahmen übertragen werden. Die Schwingungen sind dann jedoch in einem derartigen Ausmaß gedämpft, dass der Einfluss derselben auf den Maschinenrahmen vernachlässigbar ist. In der Praxis ist eine solche Trennung jedoch fast nicht machbar, dank u. a. der Handhabung der Maschine, der Toleranzen und Eichungen.
  • Vorzugsweise ist der Kraftrahmen von dem Maschinenrahmen nur in der Antriebsrichtung des Schlittens dynamisch getrennt. In anderen Richtungen kann der Kraftrahmen mit dem Maschinenrahmen gekoppelt sein. Der Grund dafür ist, dass sich die Reaktionskräfte in einem Linearmotor im Wesentlichen in der Richtung des Antriebs des Schlittens erstrecken. Daher sind die Schwingungen des Kraftrahmens im Wesentlichen in dieser Antriebsrichtung orientiert. Infolgedessen ist es möglich, den Kraftrahmen mechanisch mit dem Maschinenrahmen zu verbinden, so dass ein zusammenhängendes Rahmenwerk erzielt wird.
  • Eine Ausführungsform desselben ist dadurch gekennzeichnet, dass der Kraftrahmen mit dem Maschinenrahmen mittels Blattfedern derart gekoppelt ist, dass die Blattfedern eine geringe Steifigkeit in der Antriebsrichtung des Schlittens und eine große Steifigkeit in den anderen Richtungen aufweisen. Eine Blattfeder hat eine sehr kleine Masse und, in einer Richtung, eine sehr kleine Steifigkeit.
  • Eine weitere Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Schlitten vorhanden ist, auf dem der Bestückungskopf befestigt ist und der längs eines Führungsteils des ersten Schlittens in einer zweiten Antriebsrichtung rechtwinkelig zu der ersten Antriebsrichtung des ersten Schlittens mit Hilfe eines zweiten Linearmotors angetrieben werden kann, wobei ein beweglicher Teil des zweiten Linearmotors mit dem zweiten Schlitten verbunden ist und ein stationärer Teil des zweiten Linearmotors von dem ersten Schlitten dynamisch getrennt ist. Das ermöglicht, den Bestückungskopf in zwei zueinander rechtwinkeligen Richtungen in Bezug auf den Maschinenrahmen und daher in Bezug auf die Leiterplatte zu positionieren, wobei die Reaktionskräfte der Motoren keine oder fast keine Schwingungen in diesen Richtungen verursachen. Vorzugsweise ist der stationäre Teil von dem ersten Schlitten nur in der Antriebsrichtung des zweiten Schlittens dynamisch getrennt. Das kann auf dieselbe Art und Weise wie bei dem ersten Kraftrahmen erreicht werden durch Koppeln des stationären Teils des zweiten Linearmotors mit dem ersten Schlitten mit Hilfe von Blattfedern derart, dass der stationäre Teil eine kleine Steifigkeit in Bezug auf den ersten Schlitten in der Antriebsrichtung des zweiten Schlittens und eine große Steifigkeit in den anderen Richtungen hat.
  • Diese und andere Aspekte der Erfindung werden unter Bezugnahme auf die im Folgenden beschriebenen Ausführungsformen deutlich und erhellt werden.
  • In den Zeichnungen:
  • 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine Bauelementbestückungsmaschine, in welcher das Prinzip des dynamischen Trennens des Maschinenrahmens von dem Kraftrahmen dargestellt ist,
  • 2 ist eine schematische Draufsicht auf eine Bauelementbestückungsmaschine, wobei der Maschinenrahmen und der Kraftrahmen nur in der Antriebsrichtung des Schlittens getrennt sind,
  • 3 ist eine schematische Draufsicht auf eine komplexere Bauelementbestückungsmaschine mit einer Vielzahl von Schlitten und dynamischen Trennungen gemäß der Erfindung,
  • 4 ist eine perspektivische Ansicht der Bauelementbestückungsmaschine, die in 3 gezeigt ist,
  • 5 ist eine schematische Draufsicht auf eine herkömmliche Bauelementbestückungsmaschine und
  • 6 ist eine schematische Seitenansicht der herkömmlichen Bauelementbestückungsmaschine, die in 5 gezeigt ist.
  • In der vereinfachten schematischen Darstellung, die in 1 gezeigt ist, bezeichnet die Bezugszahl 1 einen Maschinenrahmen. Längs einer Führungsstange 3 des Maschinenrahmens kann sich ein Schlitten 2 in der durch den Pfeil P gezeigten Richtung hin- und herbewegen. Auf dem Schlitten befindet sich ein Bestückungskopf 4, mittels welchem Bauelemente 9 aus einem Lager von Bauelementen aufgenommen werden können. Leiterplatten 8 können auf bekannte Art und Weise über den Maschinenrahmen 1 transportiert werden und können anschließend auf dem Maschinenrahmen fixiert werden. Mit Hilfe des Bestückungskopfes 4 können die aufgenommenen Bauelemente 9 auf der Leiterplatte 8 positioniert werden. Der Antrieb des Schlittens 2 erfolgt mit Hilfe eines Linearmotors 5. Dieser Linearmotor hat einen beweglichen Teil, der durch einen Block von Spulen 6 gebildet und auf dem Schlitten befestigt ist, und einen stationären Teil, der durch eine magnetische Spannplatte 7 gebildet ist. Die magnetische Spannplatte ist auf einem separaten Rahmen befestigt, welcher als Kraftrahmen 10 bezeichnet wird. Dieser Kraftrahmen 10 ist von dem Maschinenrahmen 1 dynamisch getrennt, d. h. die Kräfte, die auf den Kraftrahmen ausgeübt werden, werden nicht auf den Maschinenrahmen übertragen. Der Maschinenrahmen 1 und der Kraftrahmen 10 sind auf dem Werkstattboden individuell platziert, ohne miteinander gekoppelt zu sein. Während des Antreibens des Schlittens 2 werden die Spulen erregt, um den Schlitten zu beschleunigen oder zu verlangsamen. Das ruft Reaktionskräfte an der magnetischen Spannplatte 7 und somit an dem Kraftrahmen 10 hervor. Der Kraftrahmen wird kontaktiert und beginnt zu schwingen. Durch Trennen der Rahmen werden diese Schwingungen nicht oder nur bis zu einem sehr begrenzten Ausmaß auf den Maschinenrahmen 1 übertragen. Die Schwingungen können allenfalls über den Werkstattboden auf den Maschinenrahmen übertragen werden. Dann sind jedoch die Schwingungen bereits so weit gedämpft, dass der Einfluss, den sie ausüben, sehr gering ist.
  • 2 zeigt schematisch die Situation, in welcher der Kraftrahmen 10 von dem Maschinenrahmen 1 nur in der Antriebsrichtung P des Schlittens 2 getrennt ist. Um das zu erreichen, sind Blattfedern 11 zwischen der magnetischen Spannplatte 7 und dem Maschinenrahmen 1 angebracht. In der Antriebsrichtung P weisen diese Blattfedern eine geringe Steifigkeit auf, und in den anderen Richtungen weisen Sie eine große Steifigkeit auf. Die magnetische Spannplatte 7 ist mit dem Kraftrahmen 10 in der Antriebsrichtung verbunden, wie es mittels der Linie 12 gezeigt ist. Die Reaktionskräfte an der magnetischen Spannplatte 7 und somit an dem Kraftrahmen 10 wirken im Wesentlichen in der Antriebsrichtung P. Die Schwingungen des Kraftrahmens 10, die so hervorgerufen werden, werden kaum auf den Maschinenrahmen 1 übertragen.
  • 3 zeigt schematisch eine Bauelementbestückungsmaschine, bei der sich der Bestückungskopf in einer X-Richtung sowie in einer Y-Richtung bewegen kann und bei der die Reaktionskräfte der Motoren, die auf den Maschinenrahmen und somit auf die Position der Leiterplatte ausgeübt werden, minimiert sind. Eine Y1-Führungsschiene 21 ist an dem Maschinenrahmen 20 befestigt. Längs der Führungsschiene 21 kann sich ein erster Schlitten 22 in der Y-Richtung bewegen. Der Schlitten 22 wird durch einen ersten Linearmotor 23 angetrieben. Der Motor ist durch einen Block von Spulen 24 gebildet, welcher auf dem Schlitten 22 befestigt ist, und durch eine magnetische Spannplatte 25. Die magnetische Spannplatte ist mit der Y1-Führungsschiene 21 mittels Blattfedern 26 verbunden. In der Antriebsrichtung des Schlittens 22, d. h. in der X-Richtung weisen diese Blattfedern eine geringe Steifigkeit auf. Die magnetische Spannplatte 25 ist mit einem Kraftrahmen 27 in der Y-Richtung starr verbunden. Das ist mittels der Linie 28 gezeigt. Eine X-Führungsschiene 29 ist an dem ersten Schlitten 22 befestigt und quer zu der Y1-Führungsschiene 21 orientiert. Die X-Führungsschiene erstreckt sich über die Arbeitsfläche 30 des Maschinenrahmens 20. Längs der X-Führungsschiene 29 kann sich ein zweiter Schlitten 31 in der X-Richtung bewegen. Der zweite Schlitten wird durch einen zweiten Linearmotor 32 angetrieben. Der Motor ist durch einen Block von Spulen 33 gebildet, der auf dem zweiten Schlitten befestigt ist, und durch eine magnetische Spannplatte 34. Die magnetische Spannplatte 34 ist mit der X-Führungsschiene 29 mittels Blattfedern 35 verbunden. In der Antriebsrichtung des Schlittens 31, d. h. in der X-Richtung weisen diese Blattfedern eine geringe Steifigkeit auf. Auf dem Schlitten befindet sich ein Bestückungskopf 36. Mittels dieses Bestückungskopfes können Bauelemente 37 auf einer Leiterplatte 38 platziert werden. Die Leiterplatte befindet sich auf der Arbeitsfläche 30 des Maschinenrahmens 20 und kann über diesen Rahmen transportiert werden. Während des Platzierens der Bauelemente ist die Leiterplatte auf der Arbeitsfläche fixiert. Eine Y2-Führungsschiene 39 ist auf dem Kraftrahmen 27 befestigt. Diese Führungsschiene befindet sich entgegengesetzt zu der Y1-Führungsschiene 21 auf der anderen Seite des Maschinenrahmens 20. Ein dritter Schlitten 40 kann sich längs der Führungsschiene 39 bewegen. Der Schlitten 40 wird durch einen dritten Linearmotor 41 angetrieben. Der Motor ist durch einen Block von Spulen 42 gebildet, der auf dem Schlitten 40 befestigt ist, und durch eine magnetische Spannplatte 43, die auf dem Kraftrahmen starr befestigt ist. Die X-Führungsschiene 29 ist mit dem Schlitten 40 verbunden. Das ist mittels der Line 44 gezeigt. Diese Verbindung hat eine geringe Steifigkeit in der X-Richtung und eine große Steifigkeit in der Y-Richtung. Die magnetische Spannplatte 34 des zweiten Linearmotors ist auch mit dem Schlitten 40 verbunden. Das ist mittels der Linie 45 gezeigt. Diese Verbindung hat eine große Steifigkeit in der X-Richtung.
  • 4 zeigt in einer realistischeren Anordnung die schematische Situation, die in 3 gezeigt ist. Die Bezugszahlen, die in 3 benutzt werden, werden auch in 4 benutzt. Der Maschinenrahmen 20 ist mit Beinen 20a, b, c, d versehen. Der Kraftrahmen 27 ist durch zwei horizontale Schienen 27a, 27b gebildet, auf denen zwei U-Schienen 27c, 27d in der vertikalen Richtung befestigt sind. Die vier aufrechten Schienen 27c1, 27c2, 27d1, 27d2 der U-Schienen befinden sich in den Eckpunkten eines Rechtecks, zwischen denen sich der Maschinenrahmen 20 befindet. Die vier Beine 20a, b, c, d des Maschinenrahmens sind auf den horizontalen Schienen 27a, 27b des Kraftrahmens befestigt. Die Y1-Führungsschiene 21 ist auf dem Maschinenrahmen 20 befestigt. Die magnetische Spannplatte 25 des ersten Linearmotors 23 ist mittels dünner Streifen 28 mit den beiden vertikalen Schienen 27c1, 27cd1 des Kraftrahmens verbunden. Die Streifen haben eine geringe Steifigkeit in der X-Richtung und eine große Steifigkeit in der Y-Richtung. In 4 sind die Blattfedern 26 nicht gezeigt. Sie befinden sich zwischen der magnetischen Spannplatte 25 und der Y1-Führungsschiene 21. Die Y2-Führungsschine 39 ist zwischen den anderen beiden vertikalen Schienen 27c2, 27d2 des Kraftrahmens befestigt. Zwischen dem ersten Schlitten 22 und dem dritten Schlitten 40 befindet sich die X-Führungsschiene 29, auf der der zweite Schlitten 31 mit dem Bestückungskopf 36 vorgesehen ist. 4 zeigt, dass es auch möglich ist, eine zweite X-Führungsschiene 29a mit einem Schlitten 31a und einem Bestückungskopf 36a zwischen den beiden Y-Führungsschienen anzuordnen. In diesem Fall können zwei Bauelemente gleichzeitig platziert werden. Die magnetische Spannplatte 34a und der Block von Spulen 33a des zweiten Linearmotors 32 sind an dem Ort der zweiten X-Führungsschiene 29a sichtbar.
  • Mit Bezug auf die 4 und 5 wird erläutert, dass Reaktionskräfte, die auf die magnetischen Spannplatten der Linearmotoren einwirken, den Maschinenrahmen 20 nicht oder kaum beeinflussen. Zum Bewegen des Bestückungskopfes 36 in eine gewisse Y-Position oberhalb der Arbeitsfläche 30 ist es notwendig, die Motoren 23 und 41 zu aktivieren. Die Reaktionskräfte Fy1, die auf die magnetische Spannplatte 25 in Folge des Erregens der Spulen 24 des ersten Linearmotors 23 ausgeübt werden, werden aufgrund der Blattfedern 26 in der Y-Richtung nicht oder kaum auf die Y1-Führungschiene 21 übertragen. Das kann zum Teil selbstverständlich auf die Steifigkeit der Blattfedern zurückgeführt werden. Die Steifigkeit der Blattfedern sollte so gewählt werden, dass die verursachten Schwingungen eine Frequenz haben, die wenigstens außerhalb des Bereiches der Eigenfrequenz der Maschinenteile ist, die als ein Massenfederungssystem wirken. Die Schwingungen niedriger Frequenz werden durch den Werkstattboden nicht übertragen. Die Schwingungen hoher Frequenz haben eine kleine Amplitude und stellen kein Problem dar. Diese Reaktionskräfte können die vertikalen Schienen 27c1 und 27d1 des Kraftrahmens 27 in der Y-Richtung über den Streifen 28 kontaktieren, was aber den Maschinenrahmen 20 nicht oder kaum beeinflusst. Die vertikalen Schienen 27c1 und 27d1 des Kraftrahmens und die Beine 20a und 20b des Maschinenrahmens sind zwar auf der horizontalen Schiene 27a befestigt, Schwingungen, die durch die Reaktionskräfte Fy1 auf die vertikalen Schienen 27c1 und 27d1 ausgeübt werden, werden jedoch kaum auf den Maschinenrahmen 20 übertragen, weil die horizontale Schiene 27a auf dem Werkstattboden befestigt ist. Die Reaktionskräfte Fy2, die auf die magnetische Spannplatte 43 in Folge des Erregens der Spulen 42 des dritten Linearmotors 41 ausgeübt werden, werden in der Y-Richtung auf den Kraftrahmen 20 übertragen, der Einfluss derselben ist aber auch sehr gering. Auf dieselbe Art und Weise, wie es oben beschrieben ist, beeinflussen die vertikalen Schienen 27c2 und 27d2 den Maschinenrahmen kaum, weil diese vertikalen Schienen auf der horizontalen Schiene 27b befestigt sind, die ihrerseits auf dem Werkstattboden befestigt ist. Zum Bewegen des Bestückungskopfes 36 in der X-Richtung mittels des zweiten Linearmotors 32 werden Reaktionskräfte Fx auf die magnetische Spannplatte 34 ausgeübt, wobei diese Kräfte durch das Erregen der Spulen 33 verursacht werden. Dank der Blattfedern 35 werden diese Kräfte jedoch nicht oder kaum in der X-Richtung auf die horizontale X-Führungsschiene 29 übertragen. Die Reaktionskräfte Fx können den dritten Schlitten 40 in der X-Richtung berühren (gezeigt mittels der Linie 45 in 3) und somit bewirken, dass der Kraftrahmen 27 in der X-Richtung schwingt. Dank der oben erwähnten Befestigung der horizontalen Schienen 27a, 27b des Kraftrahmens auf dem Werkstattboden werden diese Schwingungen jedoch nicht oder kaum auf den Maschinenrahmen übertragen.
  • Ein Linearmotor hat einen stationären Teil und einen beweglichen Teil, wobei der stationäre Teil im Allgemein die magnetische Spannplatte ist und der bewegliche Teil im Allgemeinen der Block von Spulen ist. Selbstverständlich kann das auch umgekehrt sein.
  • Es ist auch möglich, mehr als einen Schlitten mit einem Bestückungskopf auf einer X-Führungsschiene zu platzieren und/oder, wie oben gezeigt, eine zweite X-Führungsschiene mit einem Schlitten und einem Bestückungskopf vorzusehen. Aufgrund der dynamischen Trennung in der Antriebsrichtung der Schlitten ist die dynamische Störung, die auftritt, wenn eine Vielzahl von Schlitten gleichzeitig angetrieben werden, nur gering.

Claims (8)

  1. Bauelementbestückungsmaschine mit – einem Maschinenrahmen (1, 20), über den Leiterplatten (8, 38) transportiert werden können und auf dem die Leitplatten fixiert werden können, wobei der Maschinenrahmen (1, 20) mit einem Führungsteil (3, 21) versehen ist, längs welchem ein Schlitten (2, 22) bewegt werden kann, – einem Bestückungskopf (4, 36) zum Platzieren von Bauelementen (9, 37) auf den Leiterplatten, wobei der Bestückungskopf mit dem Schlitten gekoppelt ist, – einem Linearmotor (5, 31) zum Antreiben des Schlittens (2, 22) längs des Führungsteils (3, 21) in einer Antriebsrichtung (P, Y), wobei der Motor einen stationären Teil (7, 25) und einen beweglichen Teil (6, 24) hat und wobei der bewegliche Teil mit dem Schlitten verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der stationäre Teil (7, 25) des Motors (5, 33) an einem Kraftrahmen (10, 27) befestigt ist, der von dem Maschinenrahmen (1, 20) dynamisch getrennt ist.
  2. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kraftrahmen (10, 27) von dem Maschinenrahmen (1, 20) nur in der Antriebsrichtung (P, Y) des Schlittens (2, 22) dynamisch getrennt ist.
  3. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Kraftrahmen (10, 27) mit dem Maschinenrahmen mittels Blattfedern (11, 26) derart gekoppelt ist, dass die Blattfedern (11, 26) eine geringe Steifigkeit in der Antriebsrichtung (P, Y) des Schlittens (2, 22) und eine große Steifigkeit in den anderen Richtungen aufweisen.
  4. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Schlitten (31) vorhanden ist, auf dem der Bestückungskopf (36) befestigt ist und der längs eines X-Führungsteils (21) des ersten Schlittens (22) in einer zweiten Antriebsrichtung (X) rechtwinkelig zu der ersten Antriebsrichtung (Y) des ersten Schlittens mit Hilfe eines zweiten Linearmotors (32) angetrieben werden kann, wobei ein beweglicher Teil (33) des zweiten Linearmotors mit dem zweiten Schlitten (31) verbunden ist und ein sta tionärer Teil (34) des zweiten Linearmotors von dem ersten Schlitten (22) dynamisch getrennt ist.
  5. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der stationäre Teil (34) von dem ersten Schlitten (22) nur in der Antriebsrichtung (X) des zweiten Schlittens (31) dynamisch getrennt ist.
  6. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der stationäre Teil (34) des zweiten Linearmotors (32) mit dem ersten Schlitten (22) mittels Blattfedern (35) derart gekoppelt ist, dass die Blattfedern (35) in der Antriebsrichtung (X) des zweiten Schlittens (31) eine geringe Steifigkeit und in den anderen Richtungen eine große Steifigkeit haben.
  7. Bauelementbestückungsmaschine nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein dritter Schlitten (40) vorhanden ist, der sich längs eines Führungsteils (39) des Kraftrahmens (27) in einer zu der Bewegungsrichtung (X) des ersten Schlittens (22) parallelen Richtung bewegen kann, wobei der erste und der dritte Schlitten mittels des X-Führungsteils (29) miteinander verbunden sind, wobei der dritte Schlitten (40) mittels eines dritten Linearmotors (41) antreibbar ist, dessen stationärer Teil (43) an dem Kraftrahmen (27) befestigt ist, und wobei die Verbindung zwischen dem dritten Schlitten (40) und dem X-Führungsteil (29) eine geringe Steifigkeit in der Bewegungsrichtung (X) des zweiten Schlittens (22) hat.
  8. Bauelementbestückungsmaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung zwischen dem dritten Schlitten (40) und dem X-Führungsteil (29) durch eine Blattfeder (44) gebildet ist, die eine geringe Steifigkeit in der X-Richtung und eine hohe Steifigkeit in der Y-Richtung hat.
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