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DE69915374T2 - Verfahren und vorrichtung zur regelung des druckes eines gasstromes - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur regelung des druckes eines gasstromes Download PDF

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DE69915374T2
DE69915374T2 DE1999615374 DE69915374T DE69915374T2 DE 69915374 T2 DE69915374 T2 DE 69915374T2 DE 1999615374 DE1999615374 DE 1999615374 DE 69915374 T DE69915374 T DE 69915374T DE 69915374 T2 DE69915374 T2 DE 69915374T2
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pressure
chamber
gas
membrane
control
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DE1999615374
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Ronald Best
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Varian BV
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00Control of fluid pressure
    • G05D16/20Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2093Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
    • G05D16/2095Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using membranes within the main valve
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Regelung des Druckes und/oder des Flusses eines Gasstromes, wobei die Vorrichtung ein Gehäuse aufweist, das mit einer Druckregelungskammer versehen ist, wobei zumindest ein Teil deren Wand eine Membran aufweist, wobei die Membran auf der von der Druckregelungskammer entfernten Seite einer einstellbaren Vorspannkraft unterworfen wird, wobei die Druckregelungskammer eine Einlaßöffnung für ein Gas und eine Auslaßöffnung für ein Gas aufweist, wobei es möglich ist, daß mindestens eine der Öffnungen mit Hilfe eines verschiebbaren Verschlußelements, das mit der Membran in einer derartigen Weise verbunden ist, daß die Position des Verschlußelements von der Verschiebung der Membran abhängt, vollständig oder teilweise vergesperrt wird. Dies bedeutet, daß das Ausmaß, in dem die Membran gebogen wird, einerseits von dem momentanen Druck in der Druckregelungskammer und andererseits von der Spannung abhängt, die mit Hilfe der Vorspanneinrichtung an die Membran angelegt wird, wobei die Membran aktiv mit einer Druckkammer für ein Gas verbunden wird, wobei diese Druckkammer mit einer Einlaßöffnung für ein Gas und einer Auslaßöffnung für ein Gas versehen ist, um den Druck in der Druckkammer mit dem Ziel einzustellen, eine Vorspannkraft anzuwenden.
  • Eine Vorrichtung der weiter oben erwähnten Art ist nach bisherigem Stand der Technik bekannt. Die Vorrichtung kann zum Beispiel verwendet werden, um einen Gasstrom, der sich unter einem relativ hohen Druck befindet, in einen Gasstrom mit einem niedrigeren Druck herunter zu regeln. Die Position des Verschlußelements ist mit der Biegung der Membran verknüpft. Folglich wird der Druck des Gasstromes, der die Druckregelungskammer über die Auslaßöffnung verläßt, in einer Anfangsposition durch die Position der Membran bestimmt. Die bekannte Vorrichtung kann verwendet werden, um den Druck eines Gasstromes auf ein gewünschtes Niveau zu verringern. Der Druck des Gasstromes, der die Druckregelungskammer an der Auslaßöffnung verläßt, hängt von der Größe der Einlaßöffnung ab, welche von dem Verschlußelement offen gelassen wird. Je weiter das Verschlußelement die Einlaßöffnung verschließt, desto niedriger ist der aus der Auslaßöffnung der Druckregelungskammer fließende Druck.
  • Die weiter oben erwähnte Vorrichtung ist (u. a.) aus US-A-4 798 521 bekannt. Aus dieser Akte ist eine Vorrichtung zur Regelung des Druckes in einem Behälter bekannt. Neben den erwähnten Elementen weist die bekannte Vorrichtung Einrichtungen zur Messung möglicher Druckdifferenzen in der Druckkammer und der Auslaßöffnung der Vorrichtung auf, wobei diese Differenzen verwendet werden können, um den Druck in der Druckkammer zu regeln.
  • Ein wichtiger Nachteil, der mit Vorrichtungen, die nach bisherigem Stand der Technik bekannt sind, verbunden ist, ist, daß es immer noch unmöglich ist, die Position der Membran genau einzustellen. In der Praxis ist die Schaltzeit der Ventile in der Einlaßöffnung und der Auslaßöffnung nicht infinitesimal. Es wird immer eine physikalische Grenze geben, welche die Genauigkeit der Steuerung begrenzt.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der in der Einleitung erwähnten Art zur Verfügung zu stellen, mit welcher es möglich ist, die Position der Membran genau einzustellen. Es ist für sie auch wünschenswert, daß es möglich ist, die Position der Membran, wenn sie einmal eingestellt wurde, auf relativ einfache Weise zu justieren.
  • Diese Aufgaben werden in der vorliegenden Erfindung dadurch gelöst, daß die Einlaßöffnung mit einer Flußdrosselung versehen ist. Damit ist es möglich, daß die Auslaßöffnung mit einer Flußdrosselung versehen wird.
  • Die Verwendung einer Druckkammer, in der ein Gas unter Druck gehalten wird, ermöglicht, daß die Position der Membran in der Anfangsposition und daher die Position des Verschlußelements in der Einlaßöffnung der Druckregelungskammer mit Hilfe eines Gasdruckes eingestellt werden. Durch Erhöhen oder Verringern des Druckes in der Druckkammer kann die Position der Membran nach Wunsch bestimmt werden.
  • Aufgrund der sowohl an der Einlaßöffnung als auch der Auslaßöffnung vorhandenen Drosseln ist es möglich, den Fluß zu und aus der Druckkammer mit einer viel höheren Genauigkeit als bisher zu steuern.
  • Gemäß der Erfindung ist es ferner möglich, daß die von der Druckregelungskammer entfernte Seite an die Druckkammer angrenzt. Damit ist es möglich, daß die Einlaßöffnung und die Auslaßöffnung der Druckkammer mit einem fernsteuerbaren Absperrventil versehen werden.
  • Damit kann die Position der Membran verändert werden, indem der Druck in der Druckregelungskammer verändert wird.
  • Diese Maßnahmen stellen auf sehr einfache Weise sicher, daß der Druck in der Druckkammer erhöht oder verringert werden kann. Die fernsteuerbaren Absperrventile ermöglichen, daß die Einstellung des Druckes in der Druckregelungskammer zum Beispiel mit Meßeinrichtungen gekoppelt werden kann, die anderswo in der Vorrichtung untergebracht sind.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, daß die Vorrichtung mit Einrichtungen zum Messen des Druckes des Gasstromes versehen wird, wobei diese Meßeinrichtungen in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung der Druckregelungskammer angeordnet werden. Es ist auch möglich, daß die Vorrichtung mit Einrichtungen zum Messen des Druckes des Gasstromes versehen wird, wobei diese Meßeinrichtungen in der Nachbarschaft der Einlaßöffnung der Druckregelungskammer angeordnet werden. In diesem Fall ist es vorteilhaft, wenn die Vorrichtung mit Regelungseinrichtungen versehen wird, die einerseits mit den Einrichtungen zum Messen des Gasdruckes und andererseits mit den fernsteuerbaren Absperrventilen der Druckkammer aktiv verbunden sind.
  • Diese Maßnahmen stellen sicher, daß der Druck oder der Fluß des Gasstromes, der die Druckregelungskammer verläßt oder in sie hinein fließt, überwacht werden kann. Durch zusätzliches Koppeln dieser Druckmessungen mit den fernsteuerbaren Absperrventilen ist es möglich, daß jegliche Abweichungen des gemessenen Druckes des Gasstromes direkt in eine Änderung der Position der Membran übersetzt werden.
  • Gemäß der Erfindung ist es auch möglich, daß die Membran über ein Kopplungselement mit einer zweiten Membran verbunden wird, wobei diese zweite Membran an die Druckkammer angrenzt, und daß die von der Druckregelungskammer entfernte Seite der Membran an eine zweite Druckkammer angrenzt, wobei die Druckregelungskammer über eine Drossel mit einer Zuleitung für ein Gas verbunden ist und die zweite Druckregelungskammer in offener Verbindung mit dieser Zuleitung steht.
  • Diese Maßnahme ermöglicht, daß die vorliegende Erfindung zum Einstellen einer Membran verwendet wird, wobei ihre beiden Seiten an eine Zuleitung für einen Gasstrom angrenzen. Die erste Seite der Membran grenzt an einen geschlossenen Raum, der eine Auslaßöffnung enthält und über eine Drossel mit der Zuleitung verbunden ist. Die andere Seite der Membran grenzt an einen geschlossenen Raum, der in freier Verbindung mit der Zuleitung ist. Wenn ein Fluß von der Zuleitung über die Drossel zu der Auslaßöffnung des geschlossenen Raums auf der ersten Seite der Membran stattfindet, bewirkt das Vorhandensein der Drossel, daß eine Druckdifferenz an der Membran ist. Diese Druckdifferenz bestimmt die Position der Membran und folglich das Ausmaß, in dem die Auslaßöffnung versperrt wird. Die Gleichgewichtsposition, um die sich die Membran bewegt, kann mit Hilfe der weiter oben beschriebenen Maßnahmen mit Hilfe der genannten Druckkammer eingestellt werden, wobei es möglich ist, den Druck in der Druckkammer zu ändern. Mindestens eine Wand der Druckkammer wird durch eine zweite Membran gebildet, die über ein Kopp lungselement mit der Membran verbunden ist, welche auf beiden Seiten mit der Zuleitung verbunden ist.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft auch einen Gaschromatographen, der mit der weiter oben erwähnten Vorrichtung versehen ist.
  • Die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist besonders darauf zugeschnitten, in einem Gaschromatographen verwendet zu werden. Erstens wird, da auf beiden Seiten der Membran Gas vorhanden ist, die Diffusion durch das Material der Membran auf ein Minimum begrenzt. Ferner ist es möglich, sowohl die Einlaßöffnung der Druckregelungskammer als auch die Einlaßöffnung der Druckkammer mit ein und derselben Zuleitung zu verbinden. Dies bedeutet, daß auf beiden Seiten der Membran das gleiche Gas vorhanden ist. In dem Gaschromatographen ist es möglich, dem Gasfluß eine zu untersuchende Substanz zuzusetzen, wenn der Druck des Gasflusses von einem relativ hohen Druck auf einen relativ niedrigen Druck herbgesetzt wurde, d. h. stromabwärts von der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Das Ergebnis davon ist, daß ein möglicher Verlust von zu untersuchendem Material verhindert wird.
  • Nach einem zweiten Aspekt betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Regelung des Druckes oder eines Flusses eines Gasstromes, wobei der zu regelnde Gasstrom von einer Einlaßkammer über eine Einlaßöffnung in eine Druckregelungskammer zugeführt wird, wobei zumindest ein Teil deren Wand durch eine Membran gebildet wird, wobei der Druck in der Druckregelungskammer durch Einstellen der Größe der Einlaßöffnung der Druckregelungskammer mit Hilfe eines Verschlußelements geregelt wird, welches aktiv in einer derartigen Weise mit der Membran verbunden ist, daß eine Änderung des Verschiebungsniveaus der Membran eine Änderung des Ausmaßes bewirkt, in dem das Verschlußelement die Einlaßöffnung versperrt, wobei die Membran einer Vorspannkraft unterworfen wird, mit deren Hilfe der Membran eine bestimmte Positionierung auferlegt wird.
  • Das Verfahren gemäß dieser Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Vorspannkraft durch ein unter Druck stehendes Gas in der Druckkammer angewendet wird, wobei die Anfangsposition der Membran durch Einstellen des Druckes des Gases in der Druckkammer eingestellt wird.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, daß der Gasstrom aus einer Auslaßöffnung der Druckregelungskammer entlassen wird. In diesem Fall ist es vorteilhaft, wenn der Druck des Gasstromes mindestens regelmäßig in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung der Druckregelungskammer gemessen wird und daß der gemessene Wert mit einem gewünschten Wert, der von der Anfangsposition der Membran abhängt, verglichen wird und daß der Druck in der Druckkammer auf der Grundlage dieses Vergleichs durch Zuführen oder Ablassen von Gas in oder aus der Druckkammer erhöht oder verringert wird.
  • Diese Maßnahme ermöglicht, den Druck in dem Gasstrom, der die Druckregelungskammer verläßt, so nahe wie möglich an dem gewünschten Wert zu halten. Im Prinzip ist die Vorrichtung in einer derartigen Weise konstruiert, daß jegliche Abweichungen von dem gewünschten Druck in dem aus der Druckregelungskammer austretenden Gasstrom, welche durch Schwankungen in der Position der Membran verursacht werden, durch die Vorrichtung selbst beseitigt werden können. Jegliche unerwünschte Restschwankungen können mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens wirksam eliminiert werden.
  • Außerdem ist es gemäß der Erfindung möglich, daß ein Gasvolumen in die Druckkammer zugeführt wird, wobei während oder nach diesem Vorgang ein anderes Gasvolumen aus der Druckkammer entlassen wird.
  • Die Folge dieser Maßnahme ist, daß während der Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung kein Problem mit sogenannten Toträumen besteht. Wenn ein nicht ausreichendes Volumen von Gas in die Druckkammer zugeführt werden sollte, könnte die Membran auf diese Gaszugabe in einer nichtlinearen Weise reagieren. Durch Sicherstellen, daß das Volumen des zugeführten Gases immer größer als ein spezifischer Schwellwert ist und daß ein gewisses Gasvolumen während oder sofort, nachdem dieses Gasvolumen zugeführt wurde, entlassen wird, wird sichergestellt, daß per Saldo kleine Gasvolumen in die Druckkammer zugeführt werden können, mit anderen Worten, daß der Druck in der Druckkammer sehr genau eingestellt werden kann, ohne daß Probleme mit Toträumen bestünden.
  • Gemäß der Erfindung ist es vorteilhaft, wenn dem Druck in der Druckkammer ermöglicht wird, allmählich zuzunehmen oder abzunehmen.
  • Für gewisse Anwendungen kann es vorteilhaft sein, zu ermöglichen, daß der Druck des Gasstromes, der die Druckregelungskammer verläßt, allmählich zu- oder abnimmt. Zum Beispiel im Fall eines Gaschromatographen kann es sein, daß im Fall von Druckschwankungen verschiedene Elemente aus dem Gasstrom in einer Säule getrennt werden, die in einer Leitung positioniert sein kann, welche mit der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung verbunden ist. Wenn der Druck in der Druckkammer nun allmählich verändert wird, ändert sich der Druck des Gasstromes, der die Druckregelungskammer verläßt, ebenfalls. Diese Änderungen können das Trennungsvermögen der Säule begünstigen.
  • Die vorliegende Erfindung, wie durch die unabhängigen Ansprüche 1 und 11 definiert, wird unter Bezug auf die Figuren beschrieben, wobei:
  • 1 eine Vorrichtung zur Regelung des Druckes oder des Flusses des Gasstromes nach bisherigem Stand der Technik zeigt;
  • 2 eine Vorrichtung zur Regelung des Druckes in einem Gasstrom gemäß einer bevorzugten Konstruktion zeigt;
  • 3 einen schematischen Überblick über einen Gaschromatographen zeigt, in dem die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung angeordnet ist;
  • 5 die Zuführung eines Gasstromes in die Druckkammer schematisch zeigt;
  • 6 eine mögliche Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung in einer miniaturisierten Form zeigt;
  • 7 die vorliegende Erfindung in der Form eines „Gegendruck"-Reglers schematisch zeigt; und
  • 10 eine mögliche Konstruktionsvariante der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 1 zeigt eine Vorrichtung 1, mit deren Hilfe es möglich ist, den Druck eines Gasstromes zu regeln. Die Vorrichtung gemäß 1 ist nach bisherigem Stand der Technik bekannt.
  • Die Vorrichtung gemäß 1 weist eine Gaseinlaßkammer 2 auf, die über eine Einlaßöffnung 3 mit einer Druckregelungskammer 4 verbunden ist. Neben der Einlaßöffnung 3 weist diese Druckregelungskammer auch eine Auslaßöffnung 5 auf. Die Einlaßkammer 2 bildet einen Kanal, der mit Einrichtungen 6 versehen ist, um zum Beispiel eine Gasleitung anzuschließen. Die Einrichtungen 6 können zum Beispiel eine Schraubenmutter aufweisen. Die Auslaßöffnung 5 der Druckregelungskammer 4 ist mit einem Kanal 7 verbunden, der zum Beispiel mit Einrichtungen 8 zum Verbinden mit einer Gasleitung versehen ist.
  • Auf der Oberseite wird die Druckregelungskammer 4 in der in der Figur gezeigten Position mit Hilfe eines flexiblen Elements oder einer Membran 10 versperrt. Auf ihrer Oberseite ist die Membran 10 mit einer Feder 11 verbunden. Die Feder 11 kann verwendet werden, um eine Spannkraft an die Membran 10 anzulegen. Das Maß der durch die Feder 11 auf die Membran 10 ausgeübten Spannkraft hängt von der Einstellung der Stellschraube 12 ab, welche (in der in der Figur gezeigten Position) aktiv mit der Oberseite der Feder 11 verbunden ist.
  • Auf der Unterseite ist die Membran 10 mit einem Verschlußelement 15 verbunden. Das Verschlußelement 15 ist mit der Membran 10 in einer derartigen Weise verbunden, daß die Position des Verschlußelements 15 von der Biegung der Membran 10 abhängt.
  • Es ist in 1 zu sehen, daß das Verschlußelement 15 auf der Unterseite mit einer Feder 17 verbunden ist. Diese Feder 17 stellt sicher, daß das Verschlußelement 15 durch die Wechselwirkung zwischen der Membran 10 und der Feder 17 richtig in der Auslaßöffnung 3 der Druckregelungskammer positioniert ist.
  • Die Vorrichtung 1 nach dem bisherigen Stand der Technik arbeitet wie folgt:
  • Die Stellschraube 12 und die Feder 11 werden verwendet, um einen spezifischen Federdruck auf die Membran 10 einzustellen. Der auf die Membran 10 wirkende Federdruck stellt die Position des Verschlußelements 15 in der Zuleitungsöffnung 3 ein. Dann wird die Einlaßkammer 2 mit einer Leitung mit relativ hohem Druck verbunden. Über den Kanal 7 kann die Auslaßöffnung 5 mit einer Leitung verbunden werden, in der ein Gasstrom mit einem konstanten Druck erwünscht ist. Der Gasstrom von der Einlaßkammer 2 zu der Druckregelungskammer 4 übt einen Druck auf die Unterseite der Membran 10 aus. Der in der Druckregelungskammer 4 aufgebaute Druck einerseits und der durch die Feder 11 ausgeübte Druck andererseits bestimmen zusammen die Position der Membran 10. In diesem Fall wird der Abstand zwischen der Membran 10 und der Einlaßöffnung 3 der Druckregelungskammer 4 umso größer, je höher der Druck in der Druckregelungskammer 4 wird. Als eine Folge wird das Verschlußelement 15 nach oben gezogen, so daß die Einlaßöffnung 3 weiter verschlossen wird. Da der Kanal weiter geschlossen wird, nimmt der Gasstrom von der Einlaßkammer 2 zu der Druckregelungskammer 4 ab. Als eine Folge fällt der Druck in der Druckregelungskammer 4 mit dem Ergebnis ab, daß sich die Membran 10 ein wenig nach unten bewegt. Als ein Ergebnis nimmt die Größe der in der Zuleitungsöffnung 3 gebildeten Öffnung wieder zu, so daß der Druck in Druckregelungskammer 4 wieder zunehmen kann. Es wird deutlich, daß das Verbinden der Membran 10 mit dem Verschlußelement 15 in der Druckregelungskammer 4 zu einem automatisch hergestellten Gleichgewicht führt. Das Niveau dieses Gleichgewichtsdruckes in der Druckregelungskammer 4 und folglich das Niveau des Flusses aus der Kammer 4, können mit Hilfe der Stellschraube und der Feder 11 eingestellt werden. Der in der Druckregelungskammer 4 vorherrschende Gleichgewichts druck stellt einen Gasfluß durch die Auslaßöffnung 5 und den angrenzenden Kanal 7 sicher, der ein im wesentlichen konstanter Druck ist.
  • Die Vorrichtung 1 zur Regelung des Druckes eines Gasstromes gemäß des bisherigen Stands der Technik kann in einem Gaschromatographen verwendet werden. Damit ein Chromatograph dieser Art richtig arbeitet, ist es wichtig, daß es für den zu analysierenden Gasstrom möglich ist, daß er zum Beispiel bei einem Druck, der leicht einzustellen und konstant ist, durch eine Säule gezwungen wird. Die Vorrichtung 1 gemäß des bisherigen Stands der Technik wird daher in der Zuleitung einer Säule dieser Art installiert.
  • Ein erheblicher Nachteil der Vorrichtung 1 nach bisherigem Stand der Technik ist, daß es notwendig ist, daß mit Hilfe der Feder 11 dauernd ein Druck auf die Membran 10 ausgeübt wird. Außerdem kann die Membran 10 mit Hilfe der Feder 11 und der Stellschraube 12 nicht genau eingestellt werden. Ein weiterer Nachteil ist, daß die Membran 10 bewirken kann, daß eine Diffusion stattfindet. In der Druckregelungskammer 4 ist unter Druck stehendes Gas vorhanden. Abhängig vom Material der Membran 10, ist es möglich, daß gewisse Bestandteile des Gases in der Druckregelungskammer 4 durch die Membran 10 diffundieren können. Dies bedeutet, daß diese Bestandteile aus dem Gasstrom verschwinden und die Druckregelungskammer nicht über die Auslaßöffnung 5 verlassen. Wenn die Vorrichtung 1 nach bisherigem Stand der Technik verwendet wird, kann das Auftreten einer Diffusion für einen Gaschromatographen bedeuten, daß die genommenen Messungen unzuverlässig sind.
  • 2 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform der Vorrichtung 20 zur Regelung des Druckes eines Gasstromes gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 20 weist ein Gehäuse 9 auf, in dem eine Einlaßkammer 2 enthalten ist. Über eine Einlaßöffnung 3 ist diese Einlaßkammer 2 mit der Druckregelungskammer 4 verbunden. Auf ihrer Oberseite wird die Druckregelungskammer 4 (in der in der Figur gezeigten Position) mit Hilfe eines flexiblen Elements 10 versperrt.
  • Die Druckregelungskammer 4 ist über eine Auslaßöffnung 5 mit einem Kanal 7 verbunden. Die Einlaßkammer 2 kann zum Beispiel mit Hilfe von Verbindungseinrichtungen 6 mit einer Verbindungsleitung für ein Gas verbunden werden. Mit Hilfe von Verbindungseinrichtungen 8 kann der Kanal 7 zum Beispiel mit einer Ablaßleitung für Gas verbunden werden. Auf der Oberseite der Membran 10 weist die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Druckkammer 21 auf. Diese Druckkammer 21 weist eine Einlaßöffnung 22 und eine Auslaßöffnung 23 auf. Die Einlaßöffnung 22 und die Auslaßöffnung 23 können jeweils mit einer Zuleitung 24 für Gas und einer Auslaßleitung 25 für ein Gas verbunden werden. Fernsteuerbare Verschlußelemente 26 und 27 können jeweils in den Leitungen 24 und 25 angeordnet werden. In der Vorrichtung 20 sind Meßeinrichtungen 30, die verwendet werden können, um den Druck des Gases in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung 5 zu messen, in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung 5 angeordnet. Diese Druckmeßeinrichtungen 30 sind aktiv mit einer Steuerungseinheit 31 verbunden. Diese Steuerungseinheit kann zum Beispiel Merkmale enthalten, welche die von den Einrichtungen 30 gemessenen Werte mit gewünschten oder Sollwerten vergleichen. Die Steuerungseinheit 31 ist ihrerseits aktiv mit den fernsteuerbaren Absperrventilen 26 und 27 verbunden.
  • Die Vorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Erfindung funktioniert wie folgt:
  • Mit Hilfe der Befestigungseinrichtung 6 kann eine Gasleitung, die ein Gas enthält, das einen relativ hohen Druck hat, mit der Einlaßkammer 2 verbunden werden. Unter Verwendung jeder der Befestigungseinrichtungen 6, 8 kann eine Auslaßleitung zum Ablassen eines Gases an dem Kanal 7 befestigt werden. In dieser Leitung ist es möglich, einen Gasstrom mit einem relativ konstanten Druck zu erzeugen. Das Gas fließt über die Einlaßkammer 2 und die Einlaßöffnung 3 in Richtung der Druckregelungskammer 4. Der Gasstrom verläßt dann die Druckregelungskammer 4 über die Auslaßöffnung 5 in dem Kanal 7. Genau wie in der Vorrichtung nach bisherigem Stand der Technik kann die Einlaßöffnung 3 mit Hilfe eines aktiv mit der Membran 10 verbundenen Verschlußelements 15 versperrt werden. In diesem Fall wird der freie Flußkanal für das Gas von der Einlaßkammer 2 über die Einlaßöffnung 3 in Richtung der Druckregelungskammer 4 umso kleiner, je höher der Druck in der Druckregelungskammer 4 wird und je weiter die Membran 10 verschoben wird. Genau wie beim bisherigen Stand der Technik wird in der Druckregelungskammer 4 automatisch ein Gleichgewichtsdruck und daher ein Gleichgewichtsfluß aufgebaut. Dies bedeutet, daß ein Gasstrom, der einen im wesentlichen konstanten Druck hat, die Druckregelungskammer 4 über die Auslaßöffnung 5 verläßt. In der erfindungsgemäßen Vorrichtung 20 ist das Gleichgewichtsniveau des Druckes, der in der Druckregelungskammer 4 eingestellt wird, nicht von einem Federdruck abhängig, sondern vielmehr von einem Druck, der in einer Druckkammer 21 auf der entgegengesetzten Seite der Membran 10 aufgebaut wird. Dies bedeutet, daß der Druck der Membran 10 einerseits im wesentlichen durch den Druck in der Druckregelungskammer 4 und andererseits durch den Druck in der Druckkammer 21 bestimmt wird. Wie die Druckregelungskammer 4 ist die Druckkammer 21 mit einer Einlaßöffnung 22 und einer Auslaßöffnung 23 versehen. Wie dargelegt wurde, kann die Einlaßöffnung 22 ebenso mit einer Gasleitung 24 verbunden werden. Ein Verschlußelement 26 kann in dieser Gasleitung 24 angeordnet werden. Eine ähnliche Anordnung findet in der Auslaßöffnung 23, an die eine Gasleitung 25 angeschlossen werden kann, Anwendung. In dieser Gasleitung 25 kann ein Verschlußelement 27 angeordnet werden.
  • Wenn es gewünscht wird, den Druck in der Druckkammer 21 einzustellen, können die Absperrventile 26 und 27 nach Wunsch geöffnet und geschlossen werden, und Gas kann mit Hilfe der Leitungen 24 und 25 in die Druckkammer 21 zugeführt oder aus ihr abgelassen werden.
  • In der Verwendung wird der Druck des Gases, der in dem Auslaßkanal 7 vorherrscht, mit Hilfe der Meßeinrichtungen 30 regelmäßig oder fortlaufend gemessen. Diese Meßinformationen werden an die Steuerungseinheit 31 übertragen. Die Steuerungseinheit 31 ist aktiv mit den Absperrventilen 26 und 27 in den Leitungen 24 und 25 verbunden. Wenn zum Beispiel von den Meßeinrichtungen 30 ermittelt wird, daß der Druck des aus der Druckregelungskammer 4 fließenden Gases zu hoch ist, kann der Druck in der Druckkammer 21 verringert werden, indem das Absperrventil 27 in der Leitung 25 für eine gewisse Zeit geöffnet wird. Als ein Ergebnis ist Gas in der Lage, aus der Druckkammer 21 zu entweichen, mit der Folge, daß in der Druckregelungskammer 4 ein neuer Gleichgewichtsdruck hergestellt werden kann.
  • Es sollte bemerkt werden, daß die Ablaßleitung 25 im allgemeinen fähig ist, frei in die Umwelt auszulaufen.
  • Der Vorteil der Vorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Erfindung ist, daß die Position der Membran 10 mit einem relativ hohen Genauigkeitsgrad justiert werden kann. Falls gewünscht, kann die Gaszuleitung über die Einlaßöffnung 22 der Druckkammer 21 verwendet werden, um Gas zuzuführen, bis der richtige Druck in der Druckregelungskammer 4 erreicht ist. In diesem Fall kann die regelmäßige Messung des Druckes in dem Auslaßkanal 7 als ein Eingangssignal zum Einstellen des Druckes in der Druckkammer 21 verwendet werden.
  • Ein weiterer Vorteil ist, daß der Druck in der Druckkammer 21 zum Beispiel periodisch oder allmählich geändert werden kann. Anwendungen, zum Beispiel im Fall von Gaschromatographen, bei denen es vorteilhaft ist, wenn der Druck des einem Gaschromatographen zugeführten Gasstromes zum Beispiel zu- oder abnimmt, sind bekannt. Im Fall eines schwankenden Druckes ist es möglich, verschiedene Bestandteile mit Hilfe der Detektionseinrichtungen, die im allgemeinen mit der Säule verbunden sind, welche in einem (nicht gezeigten) Chromatographen verwendet wird, zu trennen. Durch regelmäßiges Ändern dieses Druckes des in den Chromatographen zugeführten Gases ist es möglich, zahlreiche feinere Messungen durchzuführen.
  • 3 stellt die Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die in einem Gaschromatographen verwendet wird, schematisch dar. Von einer (nicht gezeigten) Quelle wird ein Gasstrom in Richtung der Einlaßkammer 2 zugeführt. Wie in 2 erklärt, kann die Einlaßkammer 2 mit Hilfe des Verschlußelements 15 von der Druckregelungskammer 4 abgeriegelt werden. Der in der Druckregelungskammer 4 auf der Unterseite der Membran 10 aufgebaute Druck und der in der Druckkammer 21 auf der Oberseite der Membran 10 aufgebaute Druck bestimmen zusammen die Position der Membran 10 und folglich die Position des Verschlußelements 15 in der Einlaßöffnung 3 zwischen der Einlaßkammer 2 und der Druckregelungskammer 4. Durch die Auslaßöffnung 5 fließt ein Gasstrom, der einen im wesentlichen konstanten Druck hat, durch den Kanal 7. Da ein konstanter Druck sichergestellt ist, ist das Volumen des Flusses ebenfalls konstant. Dieser Strom, der einen im wesentlichen konstanten Druck hat, wird von dem Kanal 7 in Richtung einer Düse 32 zugeführt. Mit Hilfe dieser Düse wird der Gasstrom zum Beispiel einem Säulenchromatographen zugeführt, der im Diagramm mit 33 bezeichnet ist. Dieser Säulenchromatograph kann zum Beispiel ein Trompetenglasrohr aufweisen, in dem ein Trennmedium angeordnet ist. Der aus der Säule hervorgehende Gasstrom wird dann Detektionseinrichtungen zugeführt, die im Diagramm mit 34 bezeichnet sind. Die Detektionseinrichtungen können mit einer Verarbeitungseinheit, wie etwa einem PC35, verbunden sein. Dieser PC kann zum Beispiel auch dazu dienen, die Temperaturregelung des Chromatographen zu steuern. Dies ist zeichnerisch durch die Linie T angedeutet. Der PC35 kann auch verwendet werden, um die Steuerungseinheit 31 zu steuern, welche verwendet wird, um den Druck in der Druckkammer 21 zu regeln. Der Druck in der Druckregelungskammer 20 wird wie unter Bezug auf 2 beschrieben geregelt.
  • 3 zeigt ferner, daß die Druckregelungskammer 4 mit einem Ventil zum Abbau des Druckes oder einem „Druckentlastungsventil" versehen ist. Der Weg an der Endseite der Druckregelungskammer zeigt manchmal eine hohe (Fluß-)Drosselung. Der Grund dafür liegt in dem Vorhandensein einer langen Säule mit einem kleinen Innendurchmesser. Aufgrund dieser hohen (Fluß-)Drosselung ist die Geschwindigkeit für die Regelung von einem relativ hohen Druck auf einen relativ niedrigen Druck begrenzt. Aufgrund des Vorhandenseins des „Druckentlastungsventils" ist es möglich, einen Teil des überflüssigen Gasflusses mit Hilfe einer anderen Drossel steuerbar abfließen zu lassen.
  • Das Druckentlastungsventil wird auch als ein Drucksicherheitsventil verwendet. Wenn der Druck in der Druckregelungskammer 4 aufgrund einer Störung oder eines Lecks zu hoch ist, reagiert die Steuerung durch Öffnen des Druckentlastungsventils. Daher können mögliche Schäden an dem System verhindert werden.
  • Außerdem zeigt 3, daß der Einlaß, der mit der Einlaßkammer 2 verbunden ist, der gleiche wie der Einlaß ist, der mit dem Ventil 26 verbunden ist. Das bedeutet, daß das zum Regeln der Drücke sowohl in der Kammer 4 als auch 21 verwendete Gas aus der gleichen Quelle kommt. Wenn er als ein Gaschromatograph verwendet wird, wird normalerweise ein stabiler Gasfluß hergestellt, bevor das zu untersuchende Medium dem Gasfluß stromaufwärts von der Säule zugesetzt wird.
  • Außerdem zeigt 3, daß zwischen dem jeweiligen Ventil 26 und 27 und der Druckkammer 21 Flußdrosseln 41, 42 vorhanden sind. Diese Ventile haben mindestens eine gewisse minimale Schaltzeit, daher ist es möglich, daß, wenn die Ventile geöffnet werden, eine Gasmenge durch das Ventil transportiert wird, die mit Bezug auf das Volumen der Druckkammer zu groß ist, um die bevorzugten Steuerungseigenschaften zu erzielen. Durch Hinzufügen der Drosselungen sowohl an der Einlaß- als auch der Auslaßöffnung der Druckkammer 21 kann eine genaue Steuerung eingerichtet werden.
  • Alternativ kann eine sogenannte (nicht gezeigte) „Polsterung" verwendet werden. Diese Polsterung kann in der Öffnung des Ventils positioniert werden, das mit der Einlaßöffnung oder der Auslaßöffnung der Druckkammer verbunden ist. Aufgrund des Vorhandenseins der Polsterung kann das Volumen zwischen der Ventildichtung und der Drossel teilweise gefüllt werden. Daher wird sogar eine noch kleinere Menge an Gas mit einem relativ hohen Druck durch das Ventil transpor tiert, wodurch die Genauigkeit der Drucksteuerung erhöht wird.
  • Wenn es gewünscht wird, den Druck in der Druckregelungskammer 4 und daher den Druck des Gasstromes, der aus dem Kanal 7 der Vorrichtung 20 herausgeführt wird, einzustellen, muß mit Hilfe der Absperrventile 26 und 27 Gas aus der Druckkammer 21 abgelassen oder in sie zugeführt werden. Wenn es gewünscht wird, den Druck in der Druckkammer 21 genau einzustellen, wird bevorzugt, kleine Gasvolumen zu verwenden, die der Druckkammer 21 zugeführt oder aus ihr abgelassen werden. Wegen des Volumens der Druckkammer 21 selbst wird es unausweichlich immer ein gewisses Volumen an Totraum geben. Dies bedeutet, daß das Zuführen oder Ablassen eines kleinen Gasvolumens aus der Druckkammer 21 keine Auswirkung auf die Position der Membran 10 und folglich den letztendlichen Druck in der Druckregelungskammer 4 hat. Die in 4 dargestellte Regelungsanordnung kann verwendet werden, um zu vermeiden, daß dieser „Totraum" gebildet wird. Wenn der Druck in der Druckkammer 21 erhöht werden soll, wird über das Absperrventil 26 ein relativ großes Gasvolumen in die Druckkammer zugeführt. Dies ist durch die Linie EIN angezeigt. Gleichzeitig wird über das Absperrventil 27 ein ein wenig kleineres Gasvolumen aus der Druckkammer 21 freigesetzt. Dies ist durch die Linie AUS angezeigt. Das Nettoergebnis ist, daß ein relativ kleines Gasvolumen in die Druckkammer 21 zugeführt wird. Dies ist durch die Linie EIN (Ergebnis) angezeigt.
  • Natürlich ist es auch möglich, zuerst über das Absperrventil 26 ein Gasvolumen einzuführen und über das Absperrventil 27 ein Gasvolumen nicht gleichzeitig, sondern vielmehr darauffolgend, zu entfernen. Auf diese Weise ist es möglich, die gleiche Wirkung zu erzielen wie mit dem in 5 dargestellten Kreislauf.
  • In der Praxis ist es beim Einstellen des Druckes in der Druckkammer 21 zum Beispiel möglich, sich zuerst für die Zuführung von Gas über das Absperrventil 26 in einigen großen Schritten zu entscheiden. Wenn die Nähe des gewünschten Sollwerts erreicht ist, kann die Einstellung des Druckes unter Verwendung des in 5 dargestellten Verfahrens verfeinert werden.
  • Es ist in 3 zu erkennen, daß eine Drosselung 41 zwischen dem Absperrventil 26 und der Einlaßöffnung der Druckkammer 21 angeordnet ist. Eine ähnliche Drosselung 42 ist auch zwischen der Auslaßöffnung der Druckkammer 21 und dem Absperrventil 27 angeordnet. Diese Drosselungen 41 und 42 sind als „Verzögerungseinrichtungen" für den Gasstrom zu betrachten. Um in der Lage zu sein, den in die Druckkammer 21 zugeführten Gasstrom und den aus der Druckkammer 21 abgelassenen Gasstrom richtig und genau zu regeln, ist es vorteilhaft, ein filterartiges Rückhaltelement in der Leitung von dem Absperrventil 26 und in der Leitung zu dem Absperrventil 27 zu positionieren. Dieses Rückhaltelement kann mit einem Widerstand in einer elektrischen Leitung verglichen werden. Die Drosselungen 41 und 42 können zum Beispiel aus gesintertem Material gebildet werden. Der Gasstrom wird durch eine poröse, schwammige Struktur aus dem gesinterten Material durchgelassen, aber verzögert.
  • In 4 ist dargestellt, welche Parameter in den in 3 gezeigten „Druckregelungscomputer" eingespeist werden. Die ankommenden Signale können u. a. für Flußeinstellung, die Gasviskosität, den Auswärtsdruck, den Umgebungsdruck, den Durchmesser und die Länge der mit der Druckregelungskammer 4 verbundenen Säule und/oder die eingestellte Ofentemperatur verwendet werden. Alle diese Parameter können an den „Drucksteuerungscomputer", der Signale an die Steuerventile sendet, um den erforderlichen Druck (Psoll) herzustellen, weitergeleitet werden.
  • Die Vorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Erfindung ist insbesondere für sehr kleine Anwendungen geeignet. Die Konstruktion der Vorrichtung 20 bedeutet, daß sie relativ leicht miniaturisiert werden kann. Eine beispielhafte Ausführungsform ist eine zum Beispiel unter Verwendung von Ätzverfahren aus Silizium hergestellte Vorrichtung 20.
  • In 6 ist die Einlaßkammer 2 auf der Oberseite der Membran 10 untergebracht. Die in der Figur dargestellten Leitungen haben in der Praxis eine Dicke von einigen μμm. Die Druckkammer 21 ist auf der Unterseite der Membran 10 in der Vorrichtung 20 untergebracht. Die Absperrventile 26 und 27 werden jeweils durch flexible Verschlußlippen gebildet, die links und rechts in der Figur gezeigt sind.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft immer die Verwendung der Vorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Erfindung für die Bildung eines Gasstromes mit einem im wesentlichen konstanten Druck aus einem Zuführungsgasstrom mit einem relativ hohen Druck. Die Struktur, die unter Bezug auf die weiter oben erwähnten Figuren bereits diskutiert wurde, kann jedoch mit einer geringfügigen Anpassung auch als ein „Gegendruck"-Regler verwendet werden. Dies bedeutet, daß in diesem Fall der Einlaß durch den Kanal 7 gebildet wird, welcher als der Zuführungskanal dient. Von dem Kanal 7 fließt der Gasstrom in die Druckregelungskammer 4. In diesem Fall wird die Position der Membran 10 ebenfalls durch den Druck bestimmt, der sowohl in der Druckregelungskammer 4 als auch in der Druckkammer 21 vorherrscht. Die Beschreibung der weiter oben erwähnten Figuren bezieht sich immer auf die Öffnung zwischen dem Kanal 2 und der Druckregelungskammer 4, deren Größe abnimmt, wenn der Druck in der Druckregelungskammer 4 erhöht wird. Es ist in 6 zu erkennen, daß die Größe der Auslaßöffnung 29 zwischen der Druckregelungskammer 4 und dem Kanal 2 in der Vorrichtung 60, die einen „Gegendruck-„Regler regeln soll, zunimmt, wenn der Druck in der Druckregelungskammer 4 zunimmt. In der Praxis bedeutet dies, daß, wenn ein Gasstrom über den Kanal 7 und die Auslaßöffnung 28 zugeführt wird, dieser Gasstrom mit einem im wesentlichen konstanten Druck und mit einem im wesentlichen konstanten Fluß in die Druckregelungskammer 4 zugeführt werden kann. Wie die weiter oben diskutierte Vorrichtung 20 ist die Vorrichtung 60 mit Meßeinrichtungen 30 ausgestattet, die verwendet werden können, um den Druck des Gasstromes in dem Kanal 7 zu messen.
  • Diese Meßeinrichtungen 30 sind aktiv mit der Steuerungseinrichtung 31 verbunden, mit deren Hilfe die Absperrventile 26, 27 betrieben werden können.
  • In 8 ist der Überblick über den Drucksteuerungscomputer schematisch gezeigt, welcher in der Vorrichtung und dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann. Der Drucksteuerungscomputer ist mit Elektronik, wie etwa einem Einchip-Mikrocontroller und einem hochauflösenden A-D-Wandler versehen. Der Mikrocontroller kann mit Hilfe einer seriellen Schnittstelle mit jedem anderen Gerät kommunizieren. Mit Hilfe dieser Schnittstelle können Parameter für die Drucksteuerung eingestellt werden, und der tatsächliche Wert des Druckes kann ermittelt werden. Jeder Drucksteuerungscomputer kann völlig unabhängig mehrere Drucksteuerungen überwachen. Außerdem hat jeder Drucksteuerungscomputer eine bekannte Adresse; daher können mit Hilfe der gleichen Schnittstelle mehrere Module parallel überwacht werden.
  • Während der Eichung der Vorrichtung können die Werte für die Eichung der Drucksensoren an den Drucksteuerungscomputer weitergeleitet werden, und die Wertabweichungen werden automatisch bestimmt. Diese Eichung kann unter Bezug auf jeden Referenzdruck durchgeführt werden. In der Software können diese Werte verwendet werden, um die Abweichung automatisch zu korrigieren und die richtigen Druckwerte zu berechnen.
  • Die in dem Drucksteuerungscomputer vorhandene Software weist einen Steuerungsalgorithmus auf, der auf der Verwendung von Fuzzy-Logik basiert. Als Eingabe für die Fuzzy-Drucksteuerung (FPC) können sowohl die absolute Schwankung des momentanen Druckes relativ zu dem genannten Punkt als auch die Geschwindigkeit der Druckänderung verwendet werden. Auch andere Eingaben, wie etwa die Umgebungstemperatur und der Umgebungsdruck, können als eine Eingabe verwendet werden. Die Ausgabe der Fuzzy-Drucksteuerung bestimmt, wie das Ventil gesteuert werden sollte.
  • Der Vorteil der Fuzzy-Drucksteuerung ist, daß es nicht notwendig ist, ein mathematisches Modell des Verhaltens der Vorrichtung und des Einflusses der Ventile in dem gesamten Druckbereich zu machen. Das Erstellen eines derartigen mathematischen Modells ist in der Praxis sehr schwierig, weil das Modell stark von den Umgebungsbedingungen, dem tatsächlichen Arbeitsdruck und den veränderbaren Drosselungen in dem System abhängt. Die Fuzzy-Drucksteuerung basiert auf der Tatsache, daß sowohl die gemessenen Werte als auch die Sollwerte durch Intervalle geteilt werden, die überlappen. Mit Hilfe einer Fuzzy-Regelbasis werden die gemessenen Werte untersucht, und der richtige Wert für die Korrektur wird erzeugt, wobei die Fuzzy-Drucksteuerung vollständig adaptiv arbeitet. Das bedeutet, daß die Umgebungsbedingungen, das nichtlineare Verhalten der Vorrichtung und der Ventile in der Fuzzy-Prozeßsteuerung automatisch kompensiert werden, wobei daher eine einfache Art und Weise eingeführt wird, um die erforderliche Leistung in dem gesamten Druckbereich zu erzielen. Dies ist schematisch in 9 gezeigt. In der Mitte von 9 ist die mit einer Fuzzy-Regelbasis verbundene Fuzzy-Drucksteuerung gezeigt. Als Eingangssignale der Fuzzy-Drucksteuerung werden der tatsächliche Druck und die Drucksollwerte verwendet. Überdies ist eine andere Eingabe ebenfalls möglich. Als Ausgabe der Fuzzy-Drucksteuerung wird eine Korrekturausgabe an eine Ventilsteuerung gesendet. Von dieser werden Ventilsignale weitergeleitet, um die Ventile richtig zu steuern.
  • In der Praxis zeigt sich, daß die Schaltzeit der Ventile nicht infinitesimal ist. Es wird immer eine physikalische Grenze geben, durch die die Genauigkeit der Steuerung begrenzt wird. Dies kann durch die kombinierte Steuerung der Ventile minimiert werden. Das wurde bereits unter Bezug auf 5 verdeutlicht.
  • Die Fuzzy-Prozeßsteuerung verwendet neben dem Eingangs- und Ausgangsventil auch ein sogenanntes Lüftungsventil oder Druckentlastungsventil. Dieses Lüftungsventil ist eine zusätzliche Auslaßöffnung und kann verwendet werden, um den Druck schnell zu verringern. Das Lüftungsventil wird durch die Fuzzy-Drucksteuerung gesteuert, wenn die Differenz der eingestellten Werte, dem Sollwert und dem tatsächlichen Druck einen bestimmten Wert überschreitet. Außerdem weist die Fuzzy-Prozeßsteuerung eine innere Sicherung auf, die verhindert, daß der Druck einen bestimmten kritischen Wert überschreitet. Sobald ein tatsächlicher Druck über dem maximal akzeptablen Druck detektiert wird, werden die Aulaßöffnung und das Lüftungsventil geöffnet, um den Druck schnell zu verringern. Dies ist notwendig, um das stromabwärts gelegene System zu schützen.
  • Das Drucksteuerungsmodul kann unabhängig arbeiten und für eine programmierte und konstante Flußregelung sorgen. Die mehreren Parameter für die Druckregelung können aus einem bekannten Speicher gelesen werden oder können mit Hilfe einer seriellen Schnittstelle eingebracht werden. Das erforderliche Druckprofil kann automatisch oder mit Hilfe einer externen Schnittstelle gestartet werden. Dies bedeutet, daß in Verbindung mit der Druckregelungsvorrichtung, wie weiter oben beschrieben, eine „unabhängige" Einheit erzeugt werden kann, die einen universell verwendbaren Druckflußregler bildet.
  • 10 zeigt eine Vorrichtung 100, die verwendet werden kann, um den Fluß eines Gasstromes zu regeln.
  • Entsprechend 10 sind zwei Membranen 110, 111 in der Vorrichtung 100 angeordnet. Die erste Membran 110 ist zwischen einer zweiten Druckkammer 112 und einer Druckregelungskammer oder Flußkammer 104 positioniert. Die Flußkammer 104 und die zweite Druckkammer 112 sind beide mit einer Zuleitung 107 für einen Gasstrom verbunden. Die zweite Druckkammer 112 ist in offener Verbindung mit dieser Zuleitung 107. Über eine Drossel 108 ist die Flußöffnung der Flußkammer 104 mit der Zuleitung 107 verbunden. Die Flußkammer 104 hat eine Auslaßöffnung 109, die mit Hilfe eines Elements 115 versperrt werden kann, und eine Einlaßöffnung 128. Wenn Gas aus der Auslaßöffnung 109 heraus fließt, herrscht in der zweiten Druckkammer 112 ein höherer Druck vor als in der Flußkammer 104. Der Grund dafür liegt darin, daß der Gasstrom in der Drossel 108 verzögert wird. Die Drücke, die jeweils in der zweiten Druckkammer 112 und der Flußkammer 104 vorherrschen, bestimmen zusammen die Position der Membran 110 und folglich die Position des Verschlußelements 115 relativ zu der Auslaßöffnung 102. In der gleichen Weise, wie weiter oben unter Bezug auf 1 bis 6 diskutiert, schwankt die Position des Elements 115 um eine Gleichgewichtsposition.
  • Die Gleichgewichtsposition des Elements 115, das über ein Kopplungsstück 116 mit der Membran 110 verbunden ist, kann mit Hilfe einer zweiten Membran 111 eingestellt werden. Diese zweite Membran ist mit Hilfe einer Feder 118 mit der Außenwand der zweiten Druckkammer 112 verbunden. Die zweite Membran 111 bildet eine Wand einer Druckkammer 121. Der Druck in dieser Druckkammer 121 kann geregelt werden, indem es Gas selektiv ermöglicht wird, über das Absperrventil 126 und die Einlaßöffnung 122 in die Druckkammer 121 zu fließen, oder indem es Gas ermöglicht wird, über die Auslaßöffnung 123 und das Absperrventil 127 aus der Druckkammer 121 zu entweichen. Die Gleichgewichtsposition des an der Membran 110 befestigten Elements 115 wird als eine Funktion des Druckes in der Druckkammer 121 bestimmt.
  • Die in 10 abgebildete Position ermöglicht, daß die Position des Elements 115 relativ zu der Auslaßöffnung 102 und folglich der Fluß durch diese Auslaßöffnung 102 sofort geregelt werden. Zu diesem Zweck ist in der Zuleitung 107 ein Druckmeßgerät 130 angeordnet. Dieses Druckmeßgerät 130 ist aktiv mit einer Steuerungseinheit 131 verbunden. Diese Steuerungseinheit 131 steuert ihrerseits die Absperrventile 126 und 127.
  • Die weiter oben diskutierten Vorrichtungen 20, 60, 100 sind insbesondere für tragbare Chromatographen geeignet. Der Grund dafür liegt darin, daß die Vorrichtungen nicht viel Energie erfordern. Energie wird lediglich benötigt, um den Sollwert der Vorrichtungen zu ändern, wobei in diesem Fall Energie benötigt wird, um in der Lage zu sein, Gas dazu zu bringen, in die Druckkammer 21 zu fließen oder daraus abgelassen zu werden. Daher besteht kein Bedarf an einem konstanten Strom, um die Membran 10 in ihrer Position zu halten.
  • Außerdem kann für viele Anwendungen das gleiche Gas zum Füllen der Druckkammer 21 verwendet werden wie das, welches in dem Chromatographen analysiert werden soll. Dies bedeutet, daß es keine Notwendigkeit gibt, daß zusätzliche Gaszuführungseinrichtungen vorhanden sind.
  • Ein weiterer Vorteil der weiter oben erwähnten Vorrichtung ist, daß die Ventile grundsätzlich geschlossen sind. Nur, wenn eine Regelung notwendig ist, d. h. wenn der Druck in der Druckkammer berichtigt werden muß, wird Energie benötigt, um die Ventile zu betätigen. Dies bedeutet, daß das System in der Lage ist, mit einem niedrigen Energieverbrauch zu arbeiten.
  • Die Vorrichtung 20, 60, 100 gemäß der vorliegenden Erfindung ist für Gasströme von 0,1 ml bis 100 ml pro Minute geeignet. Das Volumen des verwendeten eingeblasenen Gases kann 20 Mikroliter pro Minute sein.
  • Es wird aus der obigen Beschreibung deutlich, daß die Vorrichtungen 20, 60, 100 gemäß der vorliegenden Erfindung über eine Stufenanordnung arbeiten. Der Mechanismus, über den das Absperrventil 15 mechanisch mit der Membran 10 verbunden ist, bedeutet, daß die Justierung der Öffnung zwischen dem Einlaßkanal 2 und der Druckwirbelkammer 4 zu einer Analogregelung führt, die sich selbst automatisch um einen Gleichgewichtswert justiert. Dieser Gleichgewichtswert selbst kann mit Hilfe der Meßeinrichtungen 31, die fähig sind, die Absperrventile 26 und 27 zu steuern, eingestellt werden.
  • Normalerweise ist die Genauigkeit einer Druckregelung gleich der des Drucksensors selbst. Aufgrund der analogen Regelung des Druckes in der Druckregelungskammer 4 ist die Vorrichtung 20, 60, 100 sehr viel genauer. Die Auflösung, die nach bisherigem Stand der Technik üblich ist, ist ±1 kPa.
  • Die Vorrichtung 20, 60, 100 ermöglicht, eine Auflösung von 1/100 kPa zu erreichen. In der Vorrichtung 20, 60, 100 gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Sollwert mit einem ähnlichen Genauigkeitsgrad eingestellt werden. Aufgrund der analogen Steuerung der Vorrichtung selbst wird die Vorrichtung automatisch mit einer Genauigkeit um einen Sollwert geregelt, die ein Niveau von 1/100 kPa erreichen kann.
  • Dies stellt, insbesondere für die Verwendung in Gaschromatographen, einen wichtigen Vorteil dar. In der Verwendung ist es natürlich wichtig, daß der gewünschte Gasfluß durch den Gaschromatographen genau eingestellt werden kann. Jedoch ist das Konstanthalten eines Gasflusses, wenn er einmal eingestellt wurde, sogar noch wichtiger, damit der Gaschromatograph erfolgreich arbeitet. Wie weiter oben erklärt wurde, kann dieses hohe Genauigkeitsniveau unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 20, 60, 100 erzielt werden.
  • Einer der zusätzlichen Vorteile der Vorrichtung 20, 60 gemäß der vorliegenden Erfindung ist, daß das Aufrechterhalten eines Gasdruckes auf beiden Seiten der Membran ermöglicht, die Diffusion von Gas durch die Membran auf ein Minimum zu begrenzen. Wenn das gleiche unter Druck stehende Gas auf beiden Seiten der Membran gehalten wird, gibt es keine Diffusion. Abhängig von der Anwendung kann ein geeignetes Material für die Membran zum Beispiel ein Silikonkautschuk sein.
  • Damit die flexiblen Eigenschaften der Membran geeignet wirken, kann die Membran eine leicht konkave Konstruktion haben.

Claims (14)

  1. Vorrichtung (20, 60, 100) zur Regelung des Druckes eines Gasstromes, wobei die Vorrichtung (20, 60, 100) ein Gehäuse (9, 109) aufweist, das mit einer Druckregelungskammer (4, 104) versehen ist, wobei mindestens ein Teil deren Wand eine Membran (10, 110) aufweist, wobei die Membran (10, 110) auf der von der Druckregelungskammer (4, 104) entfernten Seite einer einstellbaren Vorspannkraft unterworfen wird, wobei die Druckregelungskammer (4, 104) eine Einlaßöffnung (3, 28, 128) für Gas, das geregelt werden soll, und eine Auslaßöffnung (5, 29, 129) für das geregelte Gas aufweist, wobei es möglich ist, daß zumindest eine der Öffnungen (3/5, 28/29, 128/129) mit Hilfe der Membran (10, 110) vollständig oder teilweise versperrt wird, wobei die Membran auf der von der Druckregelungskammer (4, 104) entfernten Seite aktiv mit einer Druckkammer (21, 21) für ein Steuerungsgas in Berührung ist, wobei diese Druckkammer (21, 121) mit einer Öffnung versehen ist, um das Steuerungsgas durchzulassen, um den Druck in der Druckkammer (21, 121) mit dem Ziel einzustellen, die Vorspannkraft anzuwenden, gekennzeichnet dadurch, daß die Druckkammeröffnung sowohl eine Einlaßöffnung (22, 122) zum Einführen des Steuerungsgases in die Druckkammer (21, 121) als auch eine Auslaßöffnung (23, 123) zum Ablassen des Steuerungsgases aus der Druckkammer (21, 121) aufweist, wobei ein verschiebbares Verschlußelement (15, 115) in einer derartigen Weise mit der Membran (10, 110) verbunden ist, daß die Position des Verschlußelements (15, 115) von der Verschiebung der Membran (10, 110) abhängt, und wobei das verschiebbare Verschlußelement dadurch verschoben wird, so daß die genannte mindestens eine der Öffnungen (3/5, 28/29, 128/129) der Druckregelungskammer (4, 104) vollständig oder teilweise versperrt wird.
  2. Vorrichtung (20, 60, 100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einlaßöffnung (22, 122) und/oder die Auslaßöffnung (23, 123) der Druckkammer (21, 121) mit einer Flußdrosselung (42) versehen sind.
  3. Vorrichtung (20, 60) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Druckregelungskammer (4) entfernte Seite der Membran (10) an die Druckkammer (21) angrenzt.
  4. Vorrichtung (20, 60, 100) nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einlaßöffnung (22, 122) und die Auslaßöffnung (23, 123) der Druckkammer (21, 121) mit einem fernsteuerbaren Absperrventil (26, 126; 27, 127) versehen sind.
  5. Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (20) mit Einrichtungen (30) zum Messen des Druckes des Gasstromes versehen ist, wobei diese Meßeinrichtungen (30) in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung (5) der Druckregelungskammer (4) angeordnet sind.
  6. Vorrichtung (60, 100) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (60, 100) mit Einrichtungen (30) zum Messen des Druckes des Gasstromes versehen ist, wobei diese Meßeinrichtungen (30) in der Nachbarschaft der Einlaßöffnung (28, 128) der Druckregelungskammer (4, 104) angeordnet sind.
  7. Vorrichtung (20, 60, 100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (20, 60, 100) mit Regelungseinrichtungen (31) versehen ist, die einerseits mit den Einrichtungen (30) zur Messung des Gasdruckes und anderseits mit den fernsteuerbaren Ab sperrventilen (26, 126; 27, 127) der Druckkammer (21, 121) aktiv verbunden sind.
  8. Vorrichtung (100) nach einem der Ansprüche 1, 3, 4, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (110) über ein Kopplungselement (116) mit einer zweiten Membran (111) verbunden ist, wobei die zweite Membran (111) an die Druckkammer (121) angrenzt, und daß die von der Druckregelungskammer (104) entfernte Seite der Membran (110) an eine zweite Druckkammer (112) angrenzt, wobei die Druckregelungskammer (104) über eine Drosselung (108) mit einer Zuleitung (107) für ein Gas verbunden ist und die zweite Druckregelungskammer 112) in einer offenen Verbindung mit dieser Zuleitung (107) steht.
  9. Vorrichtung (20, 60, 100) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Einlaßöffnung sowohl der Druckkammer (21, 121) als auch der Druckregelungskammer (4, 104) mit der Gaszuleitung verbunden sind.
  10. Gaschromatograph, dadurch gekennzeichnet, daß der Gaschromatograph eine Vorrichtung (20, 60, 100) gemäß eines der vorangehenden Ansprüche umfaßt.
  11. Verfahren zur Regelung des Druckes eines Gasstromes, wobei der zu regelnde Gasstrom in diesem Verfahren von einer Einlaßkammer (2) über eine Einlaßöffnung (3) an eine Druckreglungskammer (4, 104) zugeführt wird, wobei zumindest ein Teil deren Wand durch eine Membran (4, 104) gebildet wird, wobei der Druck in der Druckregelungskammer (4, 104) geregelt wird, indem die Größe ihrer Einlaßöffnung (3) mit Hilfe eines verschiebbaren Verschlußelements (15) eingestellt wird, welches in einer derartigen Weise aktiv mit der Membran (10) verbunden ist, daß eine Änderung der Verschiebung der Membran (10) eine Änderung des Maßes bewirkt, in dem das Verschlußelement (15) die Einlaßöffnung (3) der Druckregelungskammer (4, 104) versperrt, wobei durch ein Steuerungsgas in einer Druckkammer (21, 121), die sich auf der von der Druckregelungskammer (4, 104) entfernten Seite der Membran befindet, eine einstellbare Vorspannkraft auf die Membran (10) angewendet wird, wobei die Anfangsposition der Membran (10) eingestellt wird, indem der Druck des Steuerungsgases in der Druckkammer (21, 121) eingestellt wird, wobei in der Druckkammer (21, 121) für das Steuerungsgas ein Einlaß (22) und ein Auslaß (23) vorgesehen sind und wobei ein Volumen des Steuerungsgases über den Einlaß (22) der Druckkammer (21, 121) an die Druckkammer (21, 121) zugeführt wird, während oder nachdem über ihren Auslaß (23) ein anderes Volumen von Steuerungsgas aus der Druckkammer (21, 121) abgelassen wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei der Gasstrom über eine Auslaßöffnung (5) aus der Druckregelungskammer (4, 104) abgelassen wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck des Gasstromes in der Nachbarschaft der Auslaßöffnung (5) der Druckregelungskammer (4, 104) zumindest regelmäßig gemessen wird, und daß der gemessene Wert mit einem gewünschten Wert, welcher von der Anfangsposition der Membran (10) abhängt, verglichen wird, und daß der Druck in der Druckkammer (21, 121) auf der Basis dieses Vergleichs erhöht oder verringert wird, indem Gas in die Druckkammer (21, 121) zugeführt oder aus ihr abgelassen wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck in der Druckkammer (21, 121) allmählich steigen oder abnehmen darf.
  14. Verfahren zum Betrieb eines Gaschromatographen, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasfluß in dem Gaschromatographen gemäß dem Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13 geregelt wird.
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