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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Detektor für die
Röntgentomographie.
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Sie findet Anwendung bei der Detektion von
Röntgenstrahlen, die ein Organ oder einen Gegenstand in einer vorher
festgelegten Schnittebene durchguert haben. Der Detektor liefert
Signale, die beispielsweise durch einen Rechner behandelt
werden, um das Schnittbild des Organs oder des Gegenstandes zu
erhalten. Selbstverständlich kann der Detektor der Erfindung
zur Röntgenbilderzeugung benutzt werden, die eine vereinfachte
Form der Tomographie ist.
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Es ist bekannt, daß die Gewinnung eines Schnittbildes
eines Organs oder eines Gegenstandes mit Hilfe eines
Tomographiegeräts darin besteht, in Richtung des Organs oder des
Gegenstandes ein ebenes Bündel einfallender Röntgenstrahlen
auszusenden, wobei dieses Bündel einen großen Öffnungswinkel und
eine geringe Dicke besitzt. Der Detektor für die Tomographie,
der in diesem Gerät benutzt wird, gestattet die Messung der
Absorption der das Organ oder den Gegenstand durchguerenden
Röntgenstrahlen, wobei die Absorption mit der Dichte der
Gewebe des untersuchten Organs oder mit der Dichte der Stoffe, die
den untersuchten Gegenstand bilden, verknüpft ist.
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Eine Vielzahl von Messungen unter gekreuzten Richtungen
gestattet es, nach geeigneter numerischer Behandlung der in
den Detektionszellen des Detektors aufgefangenen Signale den
Wert der Absorption der Röntgenstrahlen an jedem Punkt der
betrachteten Schnittebene und somit die Dichte der Gewebe des
Organs oder die Dichte der den Gegenstand bildenden Stoffe zu
ermitteln. Die Kenntnis der verschiedenen Werte dieser Dichte
gestattet es, das Schnittbild des Organs oder des Gegenstandes
zu rekonstruieren.
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Bekannt ist ein Detektor für die Röntgentomographie, der
einen einfachen Aufbau besitzt, jedoch nicht vollkommen ist.
Dieser Detektor umfaßt eine dichte Kammer, die ein Gas
enthält, das durch einfallende, vom Organ oder vom Gegenstand
ausgehende Strahlen ionisierbar ist, und in dieser dichten
Kammer eine Polarisationsplatte. Diese Platte ist parallel zur
Ebene des Bündels der einfallenden Strahlen, und sie wird auf
eine hohe, beispielsweise positive Spannung gebracht. Eine
Anordnung
von Elektroden zur Sammlung von Ladung, die dasselbe
Vorzeichen wie die Polarisation der Platte hat und die von der
Ionisation des Gases durch die Röntgenstrahlen stammt, die vom
Gegenstand ausgehen, ist gegenüber vorgenannter Platte
angeordnet. Diese Elektroden zur Sammlung der Ladungen (oder
Meßelektroden), die eine ebene und längliche Gestalt haben, werden
auf ein Potential nahe einem Referenzpotential gebracht. Sie
werden von einem isolierenden Substrat getragen und sind auf
ein Eintrittsfenster der Kammer, das die einfallenden, von dem
Gegenstand oder dem Organ stammenden Röntgenstrahlen aufnimmt,
hin ausgerichtet. Jede Meßelektrode bestimmt mit ihrem Teil
gegenüber der Polarisationsplatte eine elementare Zelle des
Detektors. Jede Elektrode liefert einen Meßstrom, der
proportional ist zu der Ladungsmenge, die unter der Wirkung der von
dem Gegenstand oder dem Organ ausgehenden Strahlen durch die
Ionisation des Gases gegenüber dieser Elektrode erhalten wird.
Die Meßströme werden von Meßeinrichtungen gemessen, mit denen
die Elektroden verbunden sind.
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In diesem bekannten Detektortyp wird die
Polarisationsplatte durch eine elektrische Spannungsquelle außerhalb der
Kammer versorgt, und die Meßeinrichtungen für die in den
Elektroden fließenden Ströme sind ebenfalls außerhalb der Kammer.
Es sind also Verbindungseinrichtungen vorgesehen, die die
dichte Kammer durchqueren, um die Versorgung der Platte und
die Messungen des Stromes der Elekroden zu ermöglichen. Diese
Verbindungseinrichtungen können von zweierlei Art sein:
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- Verbindungsdrähte verbinden die Elektroden bzw. die
Platte mit Verbindungsanschlüssen, die von der Kammer isoliert
und auf einer dem Fenster entgegengesetzten Rückseite gelegen
sind. Diese Anschlüsse werden dann durch andere
Verbindungsdrähte mit der Versorgungsquelle und mit den Meßeinrichtungen
verbunden.
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- Verbindungsdrähte verbinden die Platte und jede der
Elektroden mit Leitungen zur Versorgung bzw. zur Messung, die
in ein weiches isolierendes Band eingebettet sind, das ins
Innere der Kammer zwischen ihrer Hinterseite und einem Deckel,
fier sie dicht verschließt, mündet. Dieser Detektortyp ist in
dem Dokument EP-A-0012065 beschrieben.
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Um einen konstanten Abstand zwischen der
Polarisationsplatte und dem Substrat, das die Meßelektroden trägt,
aufrechtzuerhalten, ist bekannt, zwischen dieser Platte und dem
Substrat ein isolierendes, für den Gasdurchtritt durchbohrtes
Abstandsstück anzubringen, das die Form eines Rahmens hat und
das die Röntgenstrahlen wenig absorbiert.
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Dieser bekannte Detektortyp, der in dem Dokument
EP-A-00649 beschrieben ist, das den Gegenstand des ersten
Teils von Anspruch 1 bildet, besitzt zahlreiche Nachteile. Der
Hauptnachteil folgt aus der Tatsache, daß die das isolierende
Material, welches das Abstandsstück bildet, durchquerenden
Röntgenstrahlen dieses Material ionisieren. Daraus folgt, daß
ohne besondere Vorsichtsmaßnahme sich elektrische Ladungen in
diesem Material und an seiner Oberfläche ansammeln und durch
die Elektroden zu den Meßeinrichtungen fließen, wo sie als
elektrische Leckströme auftreten. Diese Leckströme sind nicht
konstant, und sie hängen örtlich von der Intensität der
aufgefangenen Röntgenstrahlen und von den elektrischen
Eigenschaften des isolierenden Materials, das das Abstandsstück bildet,
ab. Dieses Material, das im allgemeinen ein Epoxyglas ist,
zeigt ein Phänomen sehr lange dauernder Nachwirkung, was mit
der Prüfungsdauer der Meßkanäle unverträglich ist. Ferner
füllt die Detektionsanordnung die Kammer nur teilweise aus, so
daß es Totvolumina zwischen dem durch die Detektionsanordnung
ausgefüllten Volumen und dem Innenvolumen der Kammer gibt, in
denen ein elektrisches Feld zwischen der Polarisationsplatte
und den Verbindungsdrähten besteht. Die Struktur dieses Feldes
ist schlecht definiert. Daraus folgt, daß vagabundierende
elektrische Ladungen in den Totvolumina der Kammer fließen und
parasitäre Ströme erzeugen, die für die Qualität des
angestrebten tomographischen Bildes schädlich sind. Diese
Detektion vagabundierender Ladungen induziert nämlich merkliche
Schwankungen der Empfindlichkeit der Detektionszellen. Diese
Schwankungen führen in dem nach Verarbeitung der von den
Zellen gelieferten Meßströme erhaltenen Bild zu Artefakten, die
für die Bildqualität verderblich sind.
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Mehr noch, die elektrischen Ladungen, die sich an der
Oberfläche des isolierenden Materials, welches das
Abstandsstück
bildet, das die Elektroden und die Polarisationsplatte
trennt, ansammeln können, führen zu einer Veränderung der
Verteilung der Potentiallinien des elektrischen Feldes in den
Detektionszellen. Daraus folgt eine Gefahr des Überschlags
zwischen den Meßelektroden und der Polarisationsplatte.
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Ein anderer Nachteil ergibt sich daraus, daß sich
elektrische Ladungen insbesondere an der Oberfläche oder in dem
isolierenden Material des Abstandsstücks ansammeln. Diese
Ansammlung verändert die senkrechte Richtung des elektrischen
Feldes zu den Elektroden und läßt in unkontrollierter Weise
den Anteil der in dem Gas erzeugten Ladungen, der gesammelt
wird, sich verändern.
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Schließlich ergibt sich ein anderer Nachteil dieses
Detektortyps aus der Verbindung der Platte mit äußeren
Einrichtungen zur elektrischen Versorgung und aus der Verbindung der
Elektroden mit äußeren Meßeinrichtungen. Diese Verbindungen,
die den Gebrauch von Verbindungsdrähten nötig machen, die mit
den Elektroden und mit der Platte verbunden sind und mit
Anschlußklemmen oder mit einem Leiterband, das an der Rückseite
der Kammer mündet, verbunden sind, sind schwierig auszuführen.
Mehr noch, diese leitenden Drähte haben eine räumliche
Verteilung im Inneren der Kammer, die schwierig zu kontrollieren
ist.
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Die Erfindung hat zum Zweck, diesen Nachteilen abzuhelfen
und insbesondere einen Detektor für Röntgentomographie zu
schaffen, bei dem man mittels leitender Streifen, auf denen in
der Nachbarschaft der Meßelektroden das isolierende
Abstandsstück ruht, die Störungen vermeidet, die von den parasitären
elektrischen Ladungen herrühren, die sich in diesem
Abstandsstück oder an seiner Oberfläche ansammeln. Diese leitenden
Streifen bilden einen Schutzring, der auf ein Potential in der
Nähe des Potentials der Meßelektroden gebracht wird. Dieser
Detektor gestattet ebenso, die Verbindungseinrichtungen zu
vereinfachen, die insbesondere die Elektroden und die Platte
im Inneren des Gehäuses mit den Meßeinrichtungen und mit der
elektrischen Versorgungsquelle im Äußeren dieses Gehäuses
verbinden. Diese Verbindungseinrichtungen sind in Form von
Leiterbahnen ausgeführt, die auf das Substrat, das die Elekroden
trägt, gedruckt sind. Vorzugsweise sind diese Elektroden
selbst auf das Substrat gedruckt. Die Leiterbahnen münden
durch eine isolierende Durchführung hindurch, die leicht
auszuführen ist, auf der Rückseite des Gehäuses.
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Die Erfindung hat einen Detektor für Röntgentomographie
zum Gegenstand, der geeignet ist, einfallende Röntgenstrahlen,
die ein Organ oder einen Gegenstand durchquert haben und ein
ebenes Bündel geringer Dicke bilden, zu detektieren, der
wenigstens eine dichte Kammer enthält, die mit wenigstens einem
Gas gefüllt ist, das von den einfallenden und ein
Eintrittsfenster, das sich über eine Vorderseite dieser Kammer
erstreckt, durchtretenden Röntgenstrahlen ionisiert werden kann,
wobei das Innere der Kammer zwischen ihrer Vorderseite und
einer der Vorderseite entgegengesetzten Rückseite teilweise
von einer Detektionsanordnung erfüllt ist, welche eine
Vorderseite gegenüber dem Fenster und eine Rückseite gegenüber der
Rückseite der Kammer besitzt, wobei diese Kammer zwischen der
Rückseite der Detektionsanordnung und der Rückseite der Kammer
ebenfalls teilweise mit Einrichtungen erfüllt ist, die durch
die Rückseite der Kammer hindurchgehen, um die
Detektionsanordnung mit Einrichtungen zur Messung und zur elektrischen
Versorgung außerhalb der Kammer zu verbinden, wobei die
Detektionsanordnung
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- wenigstens einen Detektionsstapel, der eine leitende
Polarisationsplatte besitzt, die parallel zur Ebene des
einfallenden Bündels ist,
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- eine Anordnung von Meßelektroden, begrenzt von einer
ersten und einer letzten Elektrode, wobei diese Elektroden die
von der Ionisierung des Gases durch die Röntgenstrahlen
stammenden Ladungen sammeln und aus zu dem Fenster hin gerichteten
leitenden Streifen gebildet werden, die auf einem ebenen
isolierenden Substrat, das parallel zur Ebene des Bündels ist,
verteilt sind, und
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- ein elektrisch isolierendes Abstandsstück enthält, um
die Polarisationsplatte und die Elektroden zu trennen und um
diese Platte und das Substrat parallel zu halten,
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dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende Abstandsstück
die Gestalt eines Rahmens mit zwei entgegengesetzten
parallelen
Auflageflächen hat, wobei die Platte auf einer ersten
dieser Auflageflächen liegt, die zweite Auflagefläche auf einem
ersten leitenden Streifen liegt, der auf dem Substrat quer zu
den Elektroden gegenüber dem Fenster und an diesem entlang
sowie entlang der ersten und der letzten Elektrode der
Anordnung angeordnet ist, die zweite Auflagefläche auf einem
zweiten leitenden Streifen liegt, der auf einem isolierenden
Streifen ruht, der nahe der Rückseite der Detektionsanordnung
quer auf den Elektroden angebracht ist, wobei die
Verbindungseinrichtungen auf das Substrat gedruckte Leiterbahnen
umfassen, die jeweils im Innern der Kammer mit den Elektroden, mit
dem ersten und dem zweiten leitenden Streifen und mit der
Platte verbunden sind, wobei die Leiterbahnen jeweils
außerhalb der Kammer mit den Meßeinrichtungen, mit den elektrischen
Versorgungseinrichtungen und mit einem Referenzpotential
verbunden sind, wobei das Substrat und die Bahnen wenigstens eine
Öffnung der Rückseite der Kammer durch eine
Austrittsvorrichtung, die um das Substrat und die Bahnen herum befestigt und
an der Rückseite der Kammer befestigt ist, durchqueren.
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Nach einer anderen Eigenschaft umfaßt die
Austrittsvorrichtung eine Hülse, die eine Öffnung zum Durchtritt der
Bahnen und des Substrats enthält, die in dieser Öffnung durch
einen isolierenden und dichten Kitt befestigt sind, wobei
diese Hülse sich in die Öffnung der Rückseite der Kammer
einfügt und einen Vorsprung besitzt, der mit Einrichtungen zur
Befestigung auf der Rückseite der Kammer versehen ist, wobei
zwischen diesen Vorsprung und die Rückseite der Kammer eine
Dichtung angebracht ist.
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Nach einer speziellen Eigenschaft der Erfindung ist der
erste leitende Streifen auf das Substrat gedruckt, während der
zweite leitende Streifen auf den isolierenden Streifen
gedruckt ist.
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Die Eigenschaften und Vorteile der Erfindung gehen besser
aus der nun folgenden Beschreibung hervor, die unter Bezug auf
die beigefügten Zeichnungen gemacht wird. Darin ist
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- Abb. 1 ein schematischer Schnitt eines
erfindungsgemäßen Detektors, wobei dieser Schnitt in einer Ebene
parallel zu den einfallenden Strahlen zwischen der
Polarisationsplatte
und den Meßelektroden gemacht ist,
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- Abb. 2 ist ein schematischer Querschnitt entlang der
Achse AA des Detektors der Abb. 1.
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Die Abb. 1 stellt schematisch und im Schnitt einen
erfindungsgemäßen Detektor für die Röntgentomographie dar. Der hier
gemachte Schnitt ist in einer zur Ebene des Bündels der
einfallenden Röntgenstrahlen parallelen Ebene, zwischen der Ebene
eines isolierenden Substrats 1, das eine Anordnung von
Meßelektroden 2 trägt, und der Ebene einer Polarisationsplatte,
die später im einzelnen beschrieben wird und die zu der Ebene
der einfallenden Röntgenstrahlen parallel ist. Die
Polarisationsplatte und das isolierende Substrat sind durch ein
elektrisch isolierendes und für Röntgenstrahlen wenig
absorbierendes Abstandsstück 3 getrennt.
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Der in dieser Abbildung dargestellte Detektor umfaßt
hauptsächlich eine dichte Kammer 4, die mit wenigstens einem
durch die einfallenden Röntgenstrahlen ionisierbaren Gas
gefüllt ist. Eine Vorderseite dieser Kammer umfaßt ein
Eintrittsfenster für die einfallenden Strahlen. Dieses
Eintrittsfenster besteht aus einer Öffnung auf einer Vorderseite des
Gehäuses, die mit einer dünnen Membran 5, die die einfallenden
Rööntgenstrahlen wenig absorbiert, abgeschlossen ist. Die
Öffnung ist durch die Membran 5 mittels eines Flansches 6 und
eines Dichtungsrings 7, der sich beispielsweise im Rumpf 8 der
Kammer befindet, dicht verschlossen. Der Flansch 6 ist
selbstverständlich mit Einrichtungen - in dieser Abbildung nicht
dargestellt - versehen, um ihn am Rumpf 8 der Kammer 4 zu
befestigen. Die Rückseite des Gehäuses ist mit einem Deckel 9
verschlossen. Die Dichtigkeit zwischen dem Deckel 9 und dem
Rumpf 8 der Kammer wird beispielsweise durch einen
Dichtungsring 10 sichergestellt, wobei der Deckel mit dem Rumpf 8 der
Kammer durch in dieser Abbildung nicht dargestellte
Befestigungseinrichtungen verbunden ist.
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Das Innere der Kammer 4 zwischen der Vorderseite 5 und
der Rückseite 9 dieser Kammer wird teilweise von einer
Detektionsanordnung 11 ausgefüllt, die insbesondere die
Elektrodenanordnung 2 und die Polarisationsplatte - in dieser Abbildung
nicht dargestellt - umfaßt. Diese Detektionsanordnung besitzt
eine Vorderseite 12 gegenüber dem Fenster 5 und eine Rückseite
13 gegenüber der Rückseite 9 der Kammer. Das Innere der Kammer
4 ist außerdem zwischen der Rückseite 13 der
Detektionsanordnung 11 und der Rückseite der Kammer 9 durch Einrichtungen
ausgefüllt, die später im einzelnen beschrieben werden. Diese
Einrichtungen durchqueren die Rückseite der Kammer und
gestatten es, die Detektionsanordnung 11 mit Meßeinrichtungen 14,
mit einer aus einer Spannungsquelle 15 bestehenden
elektrischen Versorgungseinrichtung und mit einem Referenzpotential
16, alle außerhalb der Kammer, zu verbinden.
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Die Abb. 2, die schematisch den erfindungsgemäßen
Detektor im Querschnitt AA darstellt, gestattet es zusammen mit
Abb. 1, den Aufbau dieses Detektors besser zu verstehen.
Identische Elemente tragen in dieser Abbildung und in Abb. 1
gleiche Bezeichnungen.
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Die Detektionsanordnung 11 umfaßt zumindest eine
Aufschichtung 17, die die zur Ebene P des einfallenden
Röntgenstrahlbündels parallele Polarisationsplatte 18 umfaßt. Das
einfallende Bündel, das in der Abbildung eine nicht zu
vernachlässigende Dicke hat, hat in Wirklichkeit eine sehr
geringe Dicke. Man berücksichtigt also, daß das Bündel in der Ebene
P enthalten ist. Die Polarisationsplatte 18 ist durch
Verbindungseinrichtungen, die später im einzelnen beschrieben
werden, mit der elektrischen Spannungsquelle 15 verbunden. Diese
elektrische Quelle liefert eine beispielsweise positive
Gleichspannung (+HT). Bei der Ionisation des Gases unter
Einwirkung der einfallenden und ins Innere der Kammer 4
gelangenden Röntgenstrahlen sammelt die Platte 18, auf ein Potential
(+HT) von einigen kV gebracht, die negativen Ladungen, etwa
Elektronen (e&supmin;), die Elektroden 2 zur Messung oder Sammlung
der Ladungen gestattem es, positive Ladungen, etwa Ionen, zu
sammeln. Sie sind jeweils durch Verbindungseinrichtungen, die
später im einzelnen beschrieben werden, mit den
Meßeinrichtungen 14, die durch nicht dargestellte Einrichtungen versorgt
werden, verbunden. Diese Elektroden werden durch die
gesammelten Ladungen und durch die Meßeinrichtungen auf ein Potential
nahe dem Referenzpotential gebracht. Offensichtlich würde die
Platte, wenn sie auf ein negatives Potential gebracht würde,
positive Ladungen sammeln, während die Elektroden negative
Ladungen sammeln würden. Die Elektroden werden von dem ebenen
Substrat aus isolierendem Material 1 (beispielsweise
Epoxyglas) getragen, und sie sind voneinander elektrisch isoliert.
Wenn beispielsweise das Gas, welches das Innere der Kammer 4
ausfüllt, Xenon unter einem Druck zwischen 10 und 20 bar ist,
so erzeugt die Ionisation des Xenons Elektronen (e&supmin;), die von
der Platte 18 angezogen werden, und Xe&spplus;-Ionen, die zu den
Elektroden hingezogen werden.
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Die Sammlung der positiven Ladungen durch die Elektroden
führt zu einem Stromfluß in diesen Elektroden. Dieser Strom
wird von den weiter oben erwähnten Einrichtungen 14 gemessen.
Die so für jede Elekrode gemessenen Stromwerte werden zu
Verarbeitungseinrichtungen - in der Abbildung nicht dargestellt
- geführt, um das Schnittbild des Gegenstandes oder des Organs
in der Ebene P zu erhalten.
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Die Elektroden 2 sind aus leitenden Streifen 19 gebildet,
die in Richtung auf das Fenster 5 ausgerichtet sind. Diese
Streifen sind beispielweise auf das isolierende Substrat 1
parallel zur Ebene P des Bündels gedruckte Kupferstreifen. Das
isolierende Substrat und die Elektroden 2 sind von der
Polarisationsplatte 18 durch das elektrisch isolierende und
Röntgenstrahlen wenig absorbierende Abstandsstück 3 getrennt. Dieses
Abstandsstück gestattet es, die Platte 18 und das Substrat 1
parallel zu halten.
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Nach der Erfindung hat das isolierende Abstandsstück 3
die Form eines Rahmens (Abb. 1), der zwei entgegengesetzte und
parallele Auflageflächen 20, 21 (Abb. 2) hat. Die
Polarisationsplatte 18 liegt auf der ersten Fläche 20 des Abstandsstücks
auf. Die zweite Fläche 21 dient als Auflage für einen ersten
leitenden Streifen 22. Dieser Streifen ist auf dem Substrat 1
angeordnet, erstreckt sich quer zu den Elektroden 2 gegenüber
dem Fenster 5, und entlang der ersten Elektrode 23a und der
letzten Elektrode 23b der Elektrodenanordnung 2. Die zweite
Fläche 21 des Abstandsstücks 3 dient als Auflage für einen
zweiten leitenden Streifen 24, der auf einem isolierenden
Streifen 25 aufliegt, der auf der Elektrodenanordnung 2
angebracht ist und sich quer zu diesen Elektroden in der Nähe der
Rückseite 13 der Detektionsanordnung 11 ausdehnt. Die
Oberfläche 21 des isolierenden Abstandsstücks 3 besitzt in der
Nähe des leitenden Streifens 24 und des isolierenden Streifens
25 gegenüber dem Niveau dieser Fläche in Nachbarschaft des
leitenden Streifens 22 einen leichten Höhenversatz, der
ungefähr der Dicke des Streifens 25 entspricht.
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Der erste und der zweite leitende Streifen 22, 24 sind,
wie später im einzelnen zu sehen sein wird, durch
Verbindungseinrichtungen mit dem Referenzpotential 16 verbunden. Dieses
Referenzpotential 16 ist ebenso mit den Meßeinrichtungen
verbunden und entspricht dem elektrischen Massepotential dieser
Einrichtungen. Deshalb liegt das an diese leitenden Streifen
angelegte Potential nahe dem Potential, das an die
Meßelektroden der Einrichtung 2 angelegt wird.
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Wie Abb. 1 zeigt, ist der erste leitende Streifen 22
beispielsweise ein Kupferstreifen, der auf das Substrat 1
gedruckt ist. Der zweite leitende Streifen 24 kann ebenfalls ein
auf den isolierenden Streifen 25 gedruckter Kupferstreifen
sein.
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Die Einrichtungen zum Anschluß der Elektroden 2, der
ersten und zweiten Streifen und der Platte 18 umfassen eine
Anordnung 26 von Leiterbahnen, wie etwa die auf das isolierende
Substrat 1 gedruckte Bahn 27. Diese Bahnen können
beispielsweise auf das Substrat gedruckte Kupferstreifen sein. Diese
Bahnen sind in kontinuierlicher Weise mit den Elektroden der
Anordnung 2 oder mit dem ersten oder zweiten leitenden
Streifen 22, 24 verbunden. Die Bahn 28 ist daher mit der Leiterbahn
22 verbunden. Diese unterschiedlichen Bahnen gestatten es
mittels des Steckers 29, der in bekannter Weise aufgebaut ist und
hier nicht im einzelnen beschrieben wird, die Elektroden mit
den Meßeinrichtungen 14 und die leitenden Streifen mit dem
Referenzpotential 16 zu verbinden. Dieser Stecker ist
selbstverständlich im Äußeren der Kammer 4 gelegen. Die elektrische
Verbindung zwischen dem leitenden Streifen 24 und dem
leitenden Streifen 22 wird entweder durch direkten Kontakt zwischen
diesen beiden Streifen oder durch einen Verbindungsdraht 31,
der diese beiden Streifen verbindet, sichergestellt. Die
Platte 18, die durch die von der Quelle 15 gelieferte Spannung
versorgt werden muß, ist mit dieser Quelle durch die
Leiterbahn 32 verbunden, sie selbst ist mit der Platte 18 durch
einen Verbindungsdraht 33 verbunden. Die verschiedenen Bahnen
27, 28, 32 durchqueren mindestens eine Öffnung 35 der
Rückseite, die aus dem Deckel 9 besteht, der die Kammer 4 abschließt,
durch eine Austrittsvorrichtung wie etwa 36. Diese Vorrichtung
ist um das Substrat 1 und die Bahnen 26 herum befestigt, sie
ist ebenso am Deckel 9 befestigt. Diese Bahnen sind, wie
weiter oben angegeben, mittels des Steckers 29 mit den
Meßeinrichtungen 14, mit der Versorgungsquelle 15 und mit dem
Referenzpotential 16 verbunden.
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Die Austrittsvorrichtung 36 enthält eine Hülse 37. Diese
Hülse umfaßt eine Öffnung, die den Durchtritt der Leiterbahnen
und des Substrats 1 gestattet. Diese Bahnen sind in dieser
Öffnung durch einen isolierenden und dichten Kitt 38
befestigt. Die Hülse fügt sich in die Öffnung 35 der Rückseite 9
der Kammer 4 ein und umfaßt einen Vorsprung, der mit
Einrichtungen 39 (in dieser Abbildung nicht dargestellt) versehen
ist, um ihn auf der Rückseite 9 der Kammer zu befestigen. Eine
Dichtung 40 ist zwischen diesem Vorsprung und der Rückseite
der Kammer angebracht.
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In dem in dieser Abbildung dargestellten
Ausführungsbeispiel teilt sich das isolierende Substrat 1 in zwei Teile 41,
42, die sich jeweils in eine mit der Austrittsvorrichtung 36
identische Austrittsvorrichtung einfügen. Diese Unterteilung
gestattet insbesondere den Gebrauch eines Steckers 29
geringerer Größe und die bessere Verteilung der Leiterbahnen auf dem
Substrat 1. Der Stecker, die Einrichtungen zur Messung und zur
Versorgung sowie das Referenzpotential sind in Abb. 2 nicht
dargestellt.
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Eine weiterer Detektionsstapel 43 ist als Beispiel in
Abb. 2 dargestellt. Dieser Stapel ist identisch mit dem Stapel
17 und, bezogen auf die Substratebene, zu ihm symmetrisch.
Weitere Stapel desselben Typs könnten im Inneren der Kammer 4
montiert werden. Verbindungen zwischen den Austrittsbahnen
dieser verschiedenen Stapel könnten in bekannter Weise durch
Verbindungsstifte aufgebaut werden. Ein Detektor mit einer
großen Zahl von gleichen Stapeln des beschriebenen Typs kann
die Auführung einer Vielschnitt-Tomographie ermöglichen.
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Die Erfindung erlaubt durchaus, die weiter oben erwähnten
Ziele zu erreichen: Die Verbindungen der Elektroden mit den
Meßeinrichtungen und die Verbindung der Platte mit der
Versorgungsquelle, die mittels der beschriebenen Leiterbahnen
sichergestellt werden, sind sehr einfach. Diese Art der
Verbindung vermeidet das Vorhandensein von Verbindungsdrähten im
Inneren der Kammer, die, wie weiter oben angegeben, störende
elektrische Felder erzeugen. Das Durchführen dieser Bahnen in
die Rückseite der Kammer ist dank der Vorrichtung, die eine
Hülse benutzt, sehr einfach und gestattet in Verbindung mit
anderen, in den Abbildungen nicht dargestellten Einrichtungen
insbesondere, die Position des Detektionsstapels im Innern des
Gehäuses zu fixieren. Die in der Form integrierter Schaltungen
aufgebauten Bahnen sind sehr viel zuverlässiger als die
Verbindungen durch Drähte, da keine Lötverbindung nötig ist. Der
erste und der zweite leitende Streifen, auf denen das
Abstandsstück ruht, erzeugen einen Schutzring, dessen Potential
nahe bei dem der Meßelektroden liegt und so das Auftreten
parasitärer Ladungen vermeidet. Da die Kammer 4 und die Hülse 37
vorteilhaft Leiter sind, wirkt schließlich die
Austrittsvorrichtung, die von der leitenden Hülse 37 gebildet wird,
ebenfalls als Schutzring um die Austrittsbahnen. Die Kammer spielt
die Rolle eines Faradayschen Käfigs. Die Kammer und die Hülse
werden nämlich auf ein Potential nahe dem Potential der
Elektroden gebracht.