[go: up one dir, main page]

DE60113722T2 - Druckwandler mit thermischer platte und feder - Google Patents

Druckwandler mit thermischer platte und feder Download PDF

Info

Publication number
DE60113722T2
DE60113722T2 DE60113722T DE60113722T DE60113722T2 DE 60113722 T2 DE60113722 T2 DE 60113722T2 DE 60113722 T DE60113722 T DE 60113722T DE 60113722 T DE60113722 T DE 60113722T DE 60113722 T2 DE60113722 T2 DE 60113722T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor
plate
heater
spring
pressure transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60113722T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60113722D1 (de
Inventor
M. James POULIN
E. Shanti MATHEW
Leonid Mindlin
J. Claudia QUIGLEY
D. Steven BLANKENSHIP
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MKS Instruments Inc
Original Assignee
MKS Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MKS Instruments Inc filed Critical MKS Instruments Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE60113722D1 publication Critical patent/DE60113722D1/de
Publication of DE60113722T2 publication Critical patent/DE60113722T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft kapazitive Druckwandler. Genauer betrifft die vorliegende Erfindung kapazitive Druckwandler mit verbesserten thermischen Eigenschaften.
  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • 1 zeigt eine Schnittansicht eines herkömmlichen geheizten kapazitiven Druckwandlers 100. Der Wandler 100 beinhaltet mehrere Hauptbestandteile wie etwa einen Außenmantel 110, einen Heizvorrichtungsmantel 120, eine Heizvorrichtung 130, einen kapazitiven Drucksensor 140, einen vorderen Elektronikaufbau 160, einen Heizvorrichtungssteuerungselektronikaufbau 170 und einen Eingabe/Ausgabe(E/A)-Elektronikaufbau 180. Wie nachstehend ausführlicher besprochen werden wird, erzeugt der Wandler 100 ein Ausgangssignal, das einen durch den Sensor 140 gemessenen Druck angibt.
  • Zur Bequemlichkeit der Darstellung wurden in 1 viele mechanische Einzelheiten des Wandlers 100 wie etwa der Aufbau des Sensors 140 und die Anbringung des Sensors 140 und der Elektronikaufbauten 170, 180 weggelassen. Geheizte kapazitive Druckwandler wie etwa der Druckwandler 100 sind jedoch wohlbekannt und zum Beispiel in den US-Patentschriften Nr. 5,625,152 (Pandorf); 5,911,162 (Denner); und 6,029,525 (Grudzien) beschrieben.
  • Kurz gesagt beinhaltet der Außenmantel 110 ein unteres Gehäuse 112, ein oberes Elektronikgehäuse 114 und ein Verbindungselement 116, das die Gehäuse 112, 114 zusammenhält. Der Heizvorrichtungsmantel 120 ist im unteren Gehäuse 112 angeordnet und beinhaltet ein unteres Gehäuse oder eine Dose 122 und eine Abdeckung 124. Die Heizvorrichtung 130 beinhaltet eine Trommelheizvorrichtung 132 und eine Endheizvorrichtung 134. Die Trommelheizvorrichtung 132 ist um die äußere zylinderförmige Seitenwand der Dose 122 geschlungen, und die Endheizvorrichtung 134 ist am Boden der Dose 122 angeordnet. Die Trommelheizvorrichtung 132 und die Endheizvorrichtung 134 sind über Drähte 136 elektrisch verbunden, so dass die beiden Heizvorrichtungen 132, 134 gleichzeitig über ein einzelnes elektrisches Signal gesteuert werden können. Der Sensor 140 und der vordere Elektronikaufbau 160 sind im Heizvorrichtungsmantel 120 angeordnet. Anbringungssäulen 162 tragen den vorderen Elektronikaufbau 160 über dem Sensor 140, und Drähte 164 verbinden den vorderen Elektronikaufbau 160 und den Sensor 140 elektrisch. Der Heizvorrichtungssteuerungselektronikaufbau und der E/A-Elektronikaufbau 180 sind im oberen Elektronikgehäuse 114 angeordnet. Ein Temperatursensor (z.B. ein Thermistor) 190 ist an einer inneren Oberfläche des Heizvorrichtungsmantels 120 fixiert.
  • Der Sensor 140 beinhaltet eine metallische biegsame Membran 142 und ein Druckrohr 144. Das Rohr 144 erstreckt sich von einem Punkt nahe der Membran durch den Heizvorrichtungsmantel 120 und durch das untere Sensorgehäuse 112. Das untere, oder äußere, Ende des Rohrs 144 ist im Allgemeinen mit einer Fluidquelle (nicht gezeigt) gekoppelt. Der Druck des Fluids in der Quelle wird über das Rohr 144 zur unteren Oberfläche der Membran 142 übertragen, und die Membran 142 biegt sich als Reaktion auf Veränderungen des Drucks im Rohr 144 aufwärts oder abwärts. Die Membran 142 und eine leitfähige Bezugsplatte des Sensors 1401 bilden einen Kondensator, und die Kapazität dieses Kondensators schwankt gemäß der Bewegung oder Biegung der Membran. Demgemäß zeigt diese Kapazität den Druck im Rohr 144 an. Der vordere Elektronikaufbau 160 und der E/A-Elektronikaufbau 180 erzeugen zusammenwirkend ein Ausgangs signal, das für die Kapazität des Sensors 140 kennzeichnend ist, welche natürlich auch für den Druck im Rohr 144 kennzeichnend ist. Der E/A-Elektronikaufbau 180 macht dieses Ausgangssignal über einen elektronischen Steckverbinder 182 für die Umgebung außerhalb des Wandlers 100 verfügbar.
  • 2 zeigt ein Beispiel, wie ein kapazitiver Drucksensor 140 aufgebaut sein kann. Kapazitive Drucksensoren der in 2 gezeigten Art sind in der US-Patentschrift Nr. 6,029,525 (Grudzien) ausführlicher besprochen. Der in 2 gezeigte Sensor 140 beinhaltet eine kreisförmige, leitfähige, metallische, biegsame Membran 142, ein Druckrohr 144, und eine Elektrode 246. Die Elektrode 246 und die Membran 142 sind in einem Gehäuse 248 angebracht. Die Elektrode 246 beinhaltet einen Keramikblock 250 und eine leitfähige Platte 252. Der Keramikblock 250 ist starr am Gehäuse 248 angebracht, so dass eine untere Fläche des Blocks 250 im Allgemeinen parallel zur Membran und davon beabstandet verläuft. Die untere Fläche des Blocks 250 ist normalerweise flach und kreisförmig. Die leitfähige Platte 252 ist auf der unteren Fläche des Blocks 250 abgelagert und verläuft ebenfalls parallel zur Membran und davon beabstandet. Die leitfähige Platte 252 und die Membran 142 bilden zwei Platten eines veränderlichen Kondensators 254. Die Kapazität des Kondensators 254 wird teilweise durch den Abstand, oder die Beabstandung, zwischen der Membran 142 und der leitfähigen Platte 252 bestimmt. Da sich die Membran als Reaktion auf Druckveränderungen im Rohr 144 aufwärts und abwärts biegt (und dadurch die Beabstandung zwischen der Membran 142 und der leitfähigen Platte 252 verändert wird), gibt die Kapazität des Kondensators 254 den Druck im Rohr 144 an.
  • 2 zeigt nur eine der vielen bekannten Weisen zur Gestaltung eines kapazitiven Drucksensors 140. Kapazitive Drucksensoren 140 beinhalten jedoch im Allgemeinen einen oder mehr Leiter, die in einer beabstandeten Beziehung zu einer biegsamen, leitfähigen Membran gehalten werden. Die Membran und die Leiter bilden Platten eines oder mehrerer veränderlicher Kondensatoren, und die Kapazität dieser Kondensatoren schwankt gemäß einer Funktion des Drucks im Rohr 144.
  • Kapazitive Drucksensoren beinhalten häufig zusätzliche Merkmale wie etwa wie in 2 gezeigt ein Rohr 260 und einen Getter 262. Wenn der Sensor 140 aufgebaut wird, ist das Rohr 260 anfänglich offen und wird es verwendet, um im Abschnitt des Gehäuses 248 über der Membran 142 einen Bezugsdruck (z.B. ein Vakuum) herzustellen. Sobald der gewünschte Bezugsdruck hergestellt ist (z.B. durch Anbringen einer Vakuumpumpe am Rohr 260), wird der obere Abschnitt des Rohrs 260 geschlossen, oder "abgeklemmt", um den gewünschten Bezugsdruck im Inneren des oberen Abschnitts des Gehäuses 248 beizubehalten. Der Getter 262 ist häufig aufgenommen, um Gasmoleküle, die (z.B. über eine Gasaushauchung der Elektrode 250) in den oberen Abschnitt des Gehäuses 248 gelangen, nachdem das Rohr 260 abgeklemmt wurde, zu absorbieren.
  • Unter Rückkehr zu 1 misst der vordere Elektronikaufbau 160 beim Betrieb die Kapazität (oder Kapazitäten) des Sensors 140 und erzeugt er ein Spannungssignal, das für diese Kapazität kennzeichnend ist (z.B. kann das Spannungssignal mit Veränderungen in der Kapazität linear schwanken). Der E/A-Elektronikaufbau 180 verstärkt und bereitet dieses Spannungssignal typischerweise weiter auf, um das Ausgangssignal des Wandlers 100 zu erzeugen.
  • In Hochleistungswandlern muss der vordere Elektronikaufbau 160 fähig sein, sehr kleine Veränderungen in der Kapazität des Sensors 140 aufzulösen (z.B. entspricht ein Deltadruck von 0,1 Torr in einem Sensor, der Drücke im Bereich von einem Torr misst, typischerweise einer Veränderung von nur zwei Picofarad in der Kapazität des Sensors 140). Demgemäß ist es wichtig, jedwede Streukapazitäten, die mit der Messung der Kapazität des Sensors 140 verbunden sind, auf ein Mindestmaß zu verringern. Ein Verfahren zur Verringerung dieser Streukapazitäten auf ein Mindestmaß ist, den vorderen Elektronikaufbau 160 dicht am Sensor 140 anzuordnen und dadurch die Länge der Drähte 164, die den Aufbau 160 und den Sensor 140 elektrisch verbinden, auf ein Mindestmaß zu verringern.
  • Idealerweise schwankt das Ausgangssignal des Wandlers 100 nur gemäß Veränderungen im Druck des Fluids im Rohr 144. Doch Veränderungen in der Temperatur des Wandlers 100 oder Temperaturgefälle im Wandler 100 können das Ausgangssignal beeinflussen. Dies liegt hauptsächlich an den unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der verschiedenen Materialien, die verwendet wurden, um den Sensor 140 aufzubauen. Eine sekundäre Wirkung steht mit der temperaturempfindlichen Leistung der vorderen Elektronik 160 in Zusammenhang. Demgemäß kann die Genauigkeit des Wandlers 100 durch Temperaturveränderungen in der umgebenden Umgebung nachteilig beeinflusst werden.
  • Um die nachteilige Wirkung der sich verändernden Umgebungstemperatur auf ein Mindestmaß zu verringern, sind die temperaturempfindlichen Bestandteile des Wandlers 100 (d.h., der Sensor 140 und die vordere Elektronik 160) im Heizvorrichtungsmantel 120 angeordnet und versucht die Heizvorrichtung 130 beim Betrieb, den Heizvorrichtungsmantel 120 auf eine gesteuerte kon stante Temperatur zu erhitzen. Die Heizvorrichtung 130 und der Heizvorrichtungsmantel 120 bilden im Wesentlichen einen temperaturgesteuerten Ofen, der versucht, die Temperatur der temperaturempfindlichen Bestandteile bei einem konstanten vorgewählten Wert zu halten.
  • Der Aufbau von Heizvorrichtungen, die für die Heizvorrichtung 130 verwendet werden können, ist wohlbekannt. Eine bevorzugte Heizvorrichtung ist in der ebenfalls anhängigen US-Patentanmeldung mit der Seriennummer 09/685,154 (Anwaltsliste Nr. MKS-78, US-A-6,772,640, veröffentlicht am 10. August 2004) beschrieben. Kurz gesagt wird die Heizvorrichtung 130 normalerweise durch Anordnen von Drähten oder Leiterzügen (z.B. Kupfer), die durch einen ausgewählten elektrischen Widerstand gekennzeichnet sind, auf einem biegsamen, elektrisch isolierenden, wärmeleitfähigen Mantel gebildet. Die Leiterzüge sind so gewählt, dass sie den Heizvorrichtungsmantel 120 auf eine vorgewählte Temperatur erhitzen werden, wenn ein bestimmtes elektrisches Signal an die Leiterzüge angelegt wird. Der elektrisch isolierende, wärmeleitfähige Mantel ist gewöhnlich aus dünnen Schichten von Silikongummi oder Kapton (d.h., ein von Dupont unter dem Markennamen Kapton verkaufter Polyimid-Hochtemperaturfilm) hergestellt. Die Heizvorrichtung 130 ist wie in 1 angegeben normalerweise dauerhaft an die äußere Oberfläche des Heizvorrichtungsmantels 120 gebunden.
  • Beim Betrieb legt der Heizvorrichtungssteuerungselektronikaufbau 170 ein elektrisches Signal über Drähte 172 an die Heizvorrichtung 130 an. Der Heizvorrichtungssteuerungselektronikaufbau 170 beinhaltet normalerweise Bestandteile zum Überwachen der Temperatur des Heizvorrichtungsmantels 120 über einen Sensor 190 und zum Regulieren des an die Heizvorrichtung 130 angelegten Signals, um den Mantel 120 bei einer konstanten Temperatur zu halten.
  • Trotz der wie oben beschriebenen Verwendung von Heizvorrichtungsmänteln 120 und Heizvorrichtungen 130 ist der kapazitive Sensor 140 nach wie vor häufig Wärmegefällen ausgesetzt. Zum Beispiel kann die Oberseite des Sensors 140 beim Betrieb etwas heißer als die Unterseite des Sensors werden. Derartige Gefälle beeinflussen die Leistung des Wandlers 100 nachteilig. Die US-Patentschrift Nr. 5,625,152 (Pandorf) offenbart einen Aufbau, der dazu neigt, die Wärmegefälle am kapazitiven Drucksensor zu verringern. Die in jener Patentschrift offenbarten Wandler beinhalten zwei Heizvorrichtungsmantel, die voneinander getrennt sind. Der kapazitive Sensor ist an einem der Heizvorrichtungsmäntel angeordnet, und die Elektronik ist im anderen Heizvorrichtungsmantel angeordnet. Jeder Heizvorrichtungsmantel ist mit seiner eigenen Heizvorrichtung ausgestattet, und die beiden Mäntel können auf unterschiedliche Temperaturen erhitzt werden. Ein Problem bei diesem Aufbau ist, dass das Bereitstellen von zwei gesonderten Heizvorrichtungsmänteln die Kosten des Wandlers nachteilig erhöht. Ein anderes Problem bei diesem Aufbau ist, dass er dazu neigt, den Abstand zwischen dem Sensor und der Elektronik zu erhöhen, wodurch die Kapazität der Drähte, die sie verbinden, erhöht wird.
  • Demgemäß wäre es vorteilhaft, einen Aufbau zu entwickeln, um Temperaturgefälle in kapazitiven Druckwandlern auf billige Weise zu verringern.
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Diese und andere Vorteile werden durch eine thermische Sperre bereitgestellt, die im Heizvorrichtungsmantel zwischen dem Sensor und dem vorderen Elektronikaufbau angeordnet ist. Somit wird nach der vorliegenden Erfindung ein Druckwandler bereitgestellt, der Folgendes umfasst: (A) ein Gehäuse; (B) einen kapazitiven Drucksensor, der im Gehäuse angeordnet ist, wobei der Sensor eine biegsame Membran und einen Leiter umfasst, wobei eine Kapazität zwischen der Membran und dem Leiter einen Druck auf die Membran anzeigt; (C) einen Elektronikaufbau, der im Gehäuse angeordnet ist, wobei der Aufbau elektrisch mit dem Sensor verbunden ist, wobei der Aufbau ein Signal erzeugt, das für die Kapazität kennzeichnend ist; (D) eine wärmeleitfähige Platte, die im Gehäuse angeordnet ist, wobei die Platte zwischen dem Sensor und dem Aufbau angeordnet ist; und (E) eine wärmeleitfähige Feder, die im Gehäuse angeordnet ist, wobei die Feder mit einem äußerem Umfang der Platte und dem Gehäuse in Kontakt steht. Das Gehäuse umfasst vorzugsweise einen wärmeleitfähigen Heizvorrichtungsmantel. Die wärmeleitfähige Platte und die Feder bilden die thermische Sperre, die den Heizvorrichtungsmantel vorzugsweise in einen unteren Abschnitt und einen oberen Abschnitt teilt, wobei der Sensor im unteren Abschnitt angeordnet ist. Die thermische Sperre und der untere Abschnitt des Heizvorrichtungsmantels bilden ein Gehäuse mit gleichmäßiger Temperatur, das den Sensor umgibt.
  • Wärme, die vom Elektronikaufbau zum Sensor strömt, wird durch die thermische Sperre abgefangen und zum Heizvorrichtungsmantel geleitet, wodurch die Wärmegefälle am Sensor verringert werden. In der gleichen Weise wird ein Wärmefluss (der z.B. durch eine nichtsymmetrische Anordnung der Heizvorrichtungen verursacht wird) von der Unterseite des Heizvorrichtungsmantels zur Oberseite des Mantels durch die thermische Sperre aufgenommen, wodurch Wärmegefälle im unteren Abschnitt des Heizvorrichtungsmantels verringert werden.
  • Noch andere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden Fachleuten aus der folgenden ausführlichen Beschreibung, in der mehrere Ausführungsformen einfach durch Darstellung der besten Weise der Erfindung gezeigt und beschrieben sind, leicht ersichtlich werden. Wie man erkennen wird, ist die Erfindung zu anderen und unterschiedlichen Ausführungsformen fähig, und sind ihre verschiedenen Einzelheiten zu Abänderungen in verschiedenster Hinsicht fähig, ohne von der Erfindung abzuweichen. Demgemäß sollen die Zeichnungen und die Beschreibung als veranschaulichend und nicht in einem beschränkenden oder begrenzenden Sinn betrachtet werden, wobei der Umfang der Anmeldung in den Ansprüchen angegeben ist.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Für ein vollständigeres Verständnis der Natur und der Aufgaben der vorliegenden Erfindung sollte auf die folgende ausführliche Beschreibung Bezug genommen werden, die in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen vorgenommen wird, in denen die gleichen Bezugszeichen verwendet werden, um gleiche oder ähnliche Teile anzugeben, wobei
  • 1 eine Schnittansicht eines geheizten kapazitiven Druckwandlers nach dem Stand der Technik zeigt.
  • 2 zeigt eine Schnittansicht eines kapazitiven Drucksensors nach dem Stand der Technik.
  • 3 zeigt eine Schnittansicht eines geheizten kapazitiven Druckwandlers, der nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 4A zeigt eine Seitenansicht einer thermischen Platte, die nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 4B zeigt eine Ansicht der Unterseite der thermischen Platte in der Richtung der in 4A gezeigten Linie 4B-4B.
  • 4C zeigt eine Ansicht der Oberseite der thermischen Platte in der Richtung der in 4A gezeigten Linie 4C-4C.
  • 4D zeigt eine perspektivische Ansicht einer anderen Ausführungsform einer thermischen Platte, die nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 5A und 5B zeigen eine Vorderansicht bzw. eine Seitenansicht einer thermischen Feder, die nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 5C und 5D zeigen eine Vorderansicht bzw. eine Seitenansicht einer anderen Ausführungsform einer thermischen Feder, die nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 6A und 6B zeigen Schnittansichten eines Abschnitts einer bevorzugten Ausführungsform eines geheizten kapazitiven Druckwandlers, der nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • 7 zeigt eine Schnittansicht eines ungeheizten kapazitiven Druckwandlers, der nach der Erfindung aufgebaut ist.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 3 zeigt eine Schnittansicht eines geheizten kapazitiven Wandlers 300, der nach der Erfindung aufgebaut ist. Der Wandler 300 ist dem Wandler 100 nach dem Stand der Technik (wie in 1 gezeigt) ähnlich, doch beinhaltet der Wandler 300 zusätzlich eine thermische Sperre 310, die zwischen dem Sensor 140 und der vorderen Elektronik 160 angeordnet ist. Die thermische Sperre 310 verbessert die Leistung des Wandlers 300, indem sie die Wärmegefälle am Sensor 140 verringert und die thermische Stabilität der vorderen Elektronik 160 bewahrt.
  • Die thermische Sperre 310 beinhaltet eine hochwärmeleitfähige Platte 320 und eine hochwärmeleitfähige Feder 340. Die Feder 340 ist zwischen dem äußeren Umfang der Platte 320 und der Innenwand des Heizvorrichtungsmantels 120 angeordnet und stellt einen mechanischen und einen thermischen Kontakt damit her. Demgemäß bildet die thermische Sperre 310 eine wärmeleitfähige Wand, die das Innere des Heizvorrichtungsmantels 120 in einen unteren umschlossenen Raum 352 und einen oberen umschlossenen Raum 354 trennt, wobei der Sensor 140 im unteren Raum 352 angeordnet ist, und der vordere Elektronikaufbau 160 im oberen Raum 354 angeordnet ist. Der untere Raum 352 wird durch die thermische Sperre 310 und durch den Abschnitt 356 der Dose 122, der sich unter der thermischen Sperre 310 befindet, begrenzt. Der obere Raum 354 wird durch die thermische Sperre 310, die Abdeckung 124, und den Abschnitt 358 der Dose 122, der sich über der thermischen Sperre 310 befindet, begrenzt.
  • Beim Betrieb des Wandlers 300 ist der vordere Elektronikaufbau 160 häufig der heißeste Bestandteil, der im Mantel 120 angeordnet ist. Dies liegt daran, dass die im Aufbau 160 verwendete Elektrizität Wärme erzeugt, wohingegen die anderen Bestandteile im Mantel 120, wie etwa der Sensor 140, passive Vorrichtungen sind, die keine Wärme erzeugen. Beim Wandler 100 des Stands der Technik konnte die durch den Elektronikaufbau 160 erzeugte Wärme abwärts wandern und die Oberseite des Sensors 140 erhitzen, wodurch ein unerwünschtes Wärmegefälle über den Sensor 140 erzeugt wurde, indem die Oberseite des Sensors 140 heißer als die Unterseite des Sensors 140 gemacht wurde. Im Gegensatz zum Stand der Technik wird beim Wandler 300 Wärme, die durch den Aufbau 160 erzeugt wird und sich (sowohl durch Konvektion als auch durch Ausstrahlung) abwärts zum Sensor 140 ausbreitet, durch die thermische Sperre 310 abgefangen und durch die thermische Sperre 310 zu den Wänden der Dose 122 geleitet. Dies verringert Wärmegefälle am Sensor 140 vorteilhaft und schafft ein (durch den unteren Abschnitt 356 der Dose 122 und die thermale Sperre 310 gebildetes) Gehäuse mit gleichmäßiger Temperatur, das den Sensor 140 umgibt.
  • Eine andere Quelle für Temperaturgefälle am Sensor 140 des Wandlers 100 des Stands der Technik steht mit der Anordnung der Heizvorrichtung 130 in Zusammenhang. Wie in 1 gezeigt sind die Heizvorrichtungen 132, 134 an den Seitenwänden und an der Unterseite des Heizvorrichtungsmantels 120 angeordnet, doch ist keine Heizvorrichtung an der Oberseite des Heizvorrichtungsmantels 120 angeordnet. Aufgrund dieser Heizvorrichtungsgestaltung kann die Oberseite des Heizvorrichtungsmantels kühler als der Rest des Mantels werden, wodurch im Heizvorrichtungsmantel 120 ein Temperaturgefälle hergestellt wird. Dieses Gefälle kann wiederum verursachen, dass sich ein Temperaturgefälle über den Sensor 140 entwickelt, so dass die Unterseite des Sensors 140 heißer als die Oberseite ist.
  • Da der Wandler 300 die gleiche Gestaltung der Heizvorrichtungen verwendet, die im Wandler 100 verwendet wird, können sich im Heizvorrichtungsmantel 120 des Wandlers 300 Temperaturgefälle entwickeln (wobei die Oberseite 124 des Heizvorrichtungsmantels 120 kühler als die Unterseite des Mantels ist). Doch im Gegensatz zum Stand der Technik erzeugt dieses Gefälle im Heizvorrichtungsmantel beim Wandler 300 entweder kein Temperaturgefälle im Sensor 140 oder nur ein verringertes Temperaturgefälle im Sensor 140. Beim Wandler 300 wird Wärme, die in den Wänden des Heizvorrichtungsmantels 120 von der Unterseite der Dose 122 zur Abdeckung 124 wandert, durch die thermische Sperre 310 aufgenommen und geleitet. Dies hat die Wirkung der Neigung, jedwede Wärmegefälle im Heizvorrichtungsmantel 120 auf den Bereich über der thermischen Sperre 310 zu beschränken, und der Neigung, jedwede Wärmegefälle aus dem Abschnitt des Heizvorrichtungsmantels 120 unter der thermischen Sperre 310 zu beseitigen oder zu verringern.
  • Zusammengefasst umgibt das Vorhandensein der thermischen Sperre 310 ungeachtet des bestimmten Grunds für ein thermisches Ungleichgewicht im Wandler 300 den Sensor 140 mit einem Gehäuse, das sich bei einer gleichmäßigen Temperatur befindet (wobei das Gehäuse durch die thermische Sperre 310 und durch den Abschnitt des Heizvorrichtungsmantels 120 unter der Sperre 310 gebildet ist), und verringert oder beseitigt es dadurch vorteilhaft Wärmegefälle vom Sensor 140.
  • Andere Vorteile der thermischen Sperre 310 beinhalten (1) das Verbessern der Temperatursteuerung des Sensors 140, ohne eine Zunahme in der Entfernung zwischen dem Sensor 140 und dem vorderen Elektronikaufbau 160 notwendig zu machen, und (2) das Einschließen des vorderen Elektronikaufbaus 160 in einer temperaturgesteuerten Umgebung (die durch die Abdeckung 124, die thermische Sperre 310 und den Abschnitt der Dose 122 über der thermischen Sperre 310 gebildet wird), wodurch nachteilige Wirkungen, die durch die temperaturempfindliche Leistung des Aufbaus 160 verursacht werden, verringert werden.
  • 4A zeigt eine Seitenansicht einer Ausführungsform der Platte 320. 4B zeigt eine Ansicht der Unterseite der Platte 320 entlang der Richtung der in 4A gezeigten Linie 4B-4B. 4C zeigt eine Ansicht der Oberseite der Platte 320 entlang der Richtung der in 4A gezeigten Linie 4C-4C. 4D zeigt eine perspektivische Ansicht der Platte 320.
  • Die Platte 320 ist im Allgemeinen scheibenförmig und definiert eine kreisförmige obere Fläche 321 und eine kreisförmige untere Fläche 322. Wie am besten in 4C und 4D ersichtlich definiert die Platte 320 fünf Öffnungen 331, 332, 333, 334, 335, die sich alle von der oberen Fläche 321 zur unteren Fläche 322 durch die Platte 320 erstrecken. Wenn die Platte 320 in den Wandler 300 eingebaut ist, erstrecken sich zwei Anbringungssäulen 162 durch die Öffnungen 331, 332. Diese Anbringungssäulen 162 halten den Elektronikaufbau 160 in einer festen Beziehung zum Sensor 140. Wenn die Platte 320 in den Wandler 300 eingebaut ist, erstrecken sich außerdem elektrische Drähte, oder Durchführungen, 164 durch die Öffnung 333. Diese Drähte 164 verbinden den Sensor 140 elektrisch mit dem Aufbau 160. Das Führen der Drähte 164 durch die Öffnung 333 isoliert sie elektrisch von der Platte 320. Die Öffnungen 334, 335 sind in der Platte 320 bereitgestellt, um andere Merkmale unterzubringen, die gewöhnlich im Sensor 140 vorhanden sind, wie etwa wie in 2 gezeigt das Rohr 260 und den Getter 262.
  • Die Platte 320 definiert zusätzlich zwei zylinderförmige Ansätze 336, 337, die sich von der unteren Fläche 322 abwärts erstrecken. Der Ansatz 336 ist um den Umfang der Öffnung 332 angeordnet, und der Ansatz 337 ist um den Umfang der Öffnung 331 angeordnet. Wenn die Platte 320 in den Wandler 300 eingebaut ist, ruht die Unterseite der Ansätze 336, 337 auf der oberen Oberfläche des Sensors 140. Die Ansätze 336, 337 stellen vorzugsweise eine Ausrichtungs- oder Anordnungsfunktion bereit. Das heißt, in bevorzugten Ausführungsformen des Wandlers 300 passen die Ansätze 336, 337 über zwei Vorsprünge (nicht gezeigt), die in der oberen Oberfläche des Sensors 140 bereitgestellt sind. Wenn die Platte 320 so ausgerichtet ist, dass sich die Ansätze 336, 337 über die Vorsprünge fügen, sind auch die Öffnungen in der Platte 320 mit den Anbringungssäulen, den Drähten, und anderen Merkmalen, die sich durch die Öffnungen erstrecken, ausgerichtet. Die Ansätze 336, 337 trennen (oder beabstanden) die Platte 320 und den Sensor 140 auch, so dass zwischen dem Sensor 140 und dem Großteil der Platte 320 ein Luftraum gebildet wird. Die Ansätze 336, 337 verringern dadurch den Oberflächenbereich des Kontakts zwischen der Platte 320 und dem Sensor 140.
  • Wie in 4A gezeigt definiert die Platte 320 zusätzlich zur oberen Fläche 321 und zur unteren Fläche 322 auch eine Seitenwand 323, die sich um den äußeren Umfang der Platte 320 erstreckt. Die Seitenwand 323 definiert eine Vertiefung 326 zwischen der oberen und der unteren Fläche 321, 322. Aufgrund des Vorhandenseins dieser Vertiefung ist der Außendurchmesser OD1 der Platte 320 an oder oberen und an der unteren Fläche 321, 322 größer als der Außendurchmesser OD2 der Platte 320 an einem Punkt zwischen der oberen und der unteren Fläche 321, 322.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist OD1 im Wesentlichen gleich 2,185 Zoll; ist OD2 im Wesentlichen gleich 2,085 Zoll; ist die Dicke T1 der Platte 320 zwischen der oberen und der unteren Fläche 321, 322 im Wesentlichen gleich 0,190 Zoll; und ist die Dicke T2 der Platte zwischen der oberen Fläche 321 und dem unteren Ende der Ansätze 326, 327 im Wesentlichen gleich 0,265 Zoll. Bevorzugte Materialien zum Aufbauen der Platte 320 und des Heizvorrichtungsmantels 120 sind hochwärmeleitfähige Materialien wie etwa Aluminium.
  • Bei der in 4D veranschaulichten Ausführungsform definiert die Platte 320 zusätzlich drei Öffnungen, oder Kerben, 327, die um den äußeren Umfang der Platte 320 angeordnet sind. Obwohl die Kerben 327 beinhaltet sein können, um zusätzliche Anordnungsmerkmale bereitzustellen, beinhalten bevorzugte Ausführungsformen der Platte 320 keine Kerben 327. Abgesehen von der Aufnahme der Kerben 327 zeigt 4D eine genauere Darstellung der bevorzugten Ausführungsform der Platte 320, als dies 4A bis 4C tun. Im Besonderen zeigt 4D bevorzugte Stellen der fünf Öffnungen 331 bis 335 und der zwei Ansätze 336, 337 genauer, als dies 4A bis 4C tun.
  • Wie in 3 gezeigt ist die Feder 340 zwischen dem Heizvorrichtungsmantel 120 und der Platte 320 angeordnet, wenn der Wandler 300 zusammengesetzt ist. Genauer ruht die Feder 340 in der Vertiefung 326, die in der Seitenwand 323 der Platte definiert ist.
  • Die Feder 340 ist vorzugsweise aus einem hochwärmeleitfähigen Material hergestellt und stellt einen thermischen Kontakt zwischen der Dose 122 des Heizvorrichtungsgehäuses 120 und der Platte 320 bereit. Eine Möglichkeit zur Ausführung der Feder 340 ist, einen Wendeldraht zu verwenden. 5A und 5B zeigen eine Vorderansicht bzw. eine Seitenansicht einer Wendeldraht-Ausführungsform der Feder 340. 5C und 5D zeigen eine Vorderansicht bzw. eine Seitenansicht einer anderen Wendeldraht-Ausführungsform der Feder 340. Federn der in 5A bis 5D veranschaulichten Art sind von Bal Seal Engineering Company, Inc., Santa Ana, Kalifornien, im Handel erhältlich. Als eine Alternative zu einem Wendeldraht kann die Feder 340 unter Verwendung eines Metallnetzes ausgeführt werden, das sich um einen elastomeren Kern erstreckt. Derartige Federn sind zum Beispiel von Tecknit USA, Cranford, New Jersey, im Handel erhältlich.
  • Die Feder 340 stellt vorzugsweise zwei Funktionen bereit. Erstens stellt sie eine gute Wärmeleitfähigkeit zwischen dem Heizvorrichtungsgehäuse 120 und der Platte 320 bereit. Demgemäß wird die Feder 340 vorzugsweise aus einem guten Wärmeleiter (z.B. Kupfer oder einer hochwärmeleitfähigen Legierung) hergestellt. Zweitens stellt die Feder 340 eine verhältnismäßig schwache Federkraft zwischen dem Inneren des Heizvorrichtungsmantels 120 und der Seitenwand 323 der Platte 320 bereit. Die durch die Feder 340 bereitgestellte Federkraft sollte ausreichend stark sein, um eine Bewegung der Platte 320 im Wandler 300 zu verhindern, wenn die thermische Sperre 310 im Heizvorrichtungsmantel 120 angebracht ist. Die durch die Feder 340 bereitgestellte Federkraft sollte auch ausreichend schwach sein, um zu verhindern, dass die Feder 340 eine bedeutende mechanische Beanspruchung auf das Heizvorrichtungsgehäuse 120 ausübt. Bevorzugte Auswahlmöglichkeiten für die durch die Feder 340 bereitgestellte Federkraft, wenn die thermische Sperre 310 in den Wandler 300 eingebaut ist, liegen im Bereich von zwei bis fünfzehn Gramm pro Zoll Umfang (d.h., zwei bis fünfzehn Gramm für jeden Zoll des Umfangs). Man wird verstehen, dass die Feder 340 unter Verwendung anderer Aufbauten als eines Wendeldrahts oder eines Metallnetzes, das einen elastomeren Kern umgibt, ausgeführt werden kann, sofern die Feder 340 das gewünschte Ausmaß an Wärmeleitfähigkeit und die gewünschte Federkraft bereitstellt.
  • Bei der in 4A veranschaulichten Ausführungsform beinhaltet die Seitenwand 323 einen Vorsprung 324 an der oberen Fläche 321 und einen Vorsprung 325 an der unteren Fläche 322 und ist die Vertiefung 326 zwischen den Vorsprüngen 324, 325 definiert. Man wird verstehen, dass die Vertiefung 326 nur eine bequeme Stelle zur Anordnung der Feder 340 oder zum Fangen der Feder 340 zwischen der Platte 320 und dem Heizvorrichtungsmantel 120 bereitstellt. Demgemäß könnte die Vertiefung 326 in einer Vielfalt von Weisen geformt sein und muss die Platte 320 keine wie in 4A gezeigten Vorsprünge 324, 325 beinhalten. Zum Beispiel könnte die Seitenwand 323 in einer anderen Ausführungsform im Allgemeinen C-förmig sein.
  • 6A und 6B zeigen zwei Schnittansichten einer bevorzugten Ausführungsform eines Abschnitts des Wandlers 300. Genauer zeigen 6A und 6B das Druckrohr 144, den Heizvorrichtungsmantel 120, und im Heizvorrichtungsmantel 120 angeordnete Bestandteile. Zur Klarheit sind Bestandteile, die sich außerhalb des Heizvorrichtungsmantels 120 befinden (wie der Außenmantel 110), und die Feder 340 in 6A und 6B nicht gezeigt.
  • 7 zeigt eine andere Ausführungsform eines kapazitiven Druckwandlers 700, der nach der Erfindung aufgebaut ist. Der Wandler 700 ist eine ungeheizte Einheit. Somit beinhaltet der Wandler 700 anders als der Wandler 300 keinen Heizvorrichtungsmantel 120 oder keine Heizvorrichtung 130. Doch abgesehen vom Fehlen des Heizvorrichtungsmantels 120 und der zugehörigen Bestandteile ist der Wandler 700 dem Wandler 300 ähnlich.
  • Wie in 7 gezeigt beinhaltet der Wandler 700 eine thermische Sperre 310, die zwischen dem Sensor 140 und dem vorderen Elektronikaufbau 160 angeordnet ist. Die Abmessungen der thermischen Sperre 310, die im Wandler 700 verwendet wird, unterscheiden sich etwas von jenen der im Wandler 300 verwendeten thermischen Sperre. Genauer ist der Außendurchmesser der thermischen Sperre vorzugsweise erweitert, so dass die thermische Sperre 310 mit dem Außenmantel 110 des Wandlers 700 in Kontakt steht.
  • Obwohl der Wandler 700 nicht geheizt ist, stellt die thermische Sperre 310 eine ähnliche Funktion wie im Wandler 300 bereit. Wenn die thermische Sperre 310 nicht im Wandler 700 vorhanden wäre, könnte zum Beispiel Wärme, die durch den Elektronikaufbau 160 erzeugt wird, die Oberseite des Sensors 140 erhitzen, wodurch im Sensor 140 ein Wärmegefälle erzeugt wird und die Leistung des Wandlers nachteilig beeinflusst wird. Doch im Wandler 700 wird Wärme, die sich von der Anordnung 160 zum Sensor 140 hin ausbreitet, durch die thermische Sperre 310 abgefangen und vom Sensor 140 weg und über den Mantel 110 in die umgebende Umgebung geleitet.
  • Man wird verstehen, dass es verhältnismäßig einfach ist, die Vorteile der Erfindung zu erlangen. Zum Beispiel könnte die thermische Sperre 310 leicht in Druckwandler mit den Modellnummern 627 und 622, die vom Zessionär der vorliegenden Erfindung im Handel erhältlich sind, aufgenommen werden.
  • Man wird ferner verstehen, dass die Erfindung Veränderungen und Abänderungen der oben beschriebenen Ausführungsformen einschließt. Zum Beispiel kann die Feder 340 aus der thermischen Sperre 310 beseitigt werden. Bei derartigen federlosen Ausführungsformen sind die Abmessungen der Platte 320 vorzugsweise erweitert, so dass die Seitenwand der Platte mit dem Heizvorrichtungsmantel oder dem Außengehäuse des Wandlers in Kontakt oder beinahe in Kontakt steht. Bei derartigen federlosen Ausführungen muss die Platte 320 auch keine Kerbe 326 definieren. Als anderes Beispiel wurde die Platte 320 als im Allgemeinen scheibenförmig (z.B. mit einer kreisförmigen oberen und unteren Fläche) beschrieben. Doch die Form der Platte 320 kann leicht zur Verwendung in Wandlern angepasst werden, die andere Geometrien (z.B. quadratisch) verwenden.

Claims (10)

  1. Druckwandler, umfassend (A) ein Gehäuse (120); (B) einen kapazitiven Drucksensor (140), der im Gehäuse angeordnet ist, wobei der Sensor eine biegsame Membran (142) und einen Leiter umfaßt, wobei eine Kapazität zwischen der Membran und dem Leiter einen Druck auf die Membran anzeigt; (C) einen Elektronikaufbau (160), der im Gehäuse angeordnet ist, wobei der Aufbau elektrisch mit dem Sensor verbunden ist, wobei der Aufbau ein Signal erzeugt, das für die Kapazität kennzeichnend ist; (D) eine wärmeleitfähige Platte (320), die im Gehäuse angeordnet ist, wobei die Platte zwischen dem Sensor und dem Aufbau angeordnet ist; und (E) eine wärmeleitfähige Feder (340), die im Gehäuse angeordnet ist, wobei die Feder mit einem äußerem Umfang der Platte und dem Gehäuse in Kontakt steht.
  2. Druckwandler nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse einen wärmeleitfähigen Heizvorrichtungsmantel umfaßt.
  3. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei der Heizvorrichtungsmantel einen Innenraum definiert, wobei die Platte und die Feder den Raum in einen oberen Bereich und einen unteren Bereich teilen, wobei der Sensor im unteren Bereich angeordnet ist, und der Elektronikaufbau im oberen Bereich angeordnet ist.
  4. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei die Platte eine oder mehrere Öffnungen (331 bis 335) definiert.
  5. Druckwandler nach Anspruch 4, wobei der Wandler ferner einen oder mehrere Drähte (164) umfaßt, um den Sensor und die Elektronik elektrisch zu verbinden, wobei sich der eine oder die mehreren Drähte durch die eine oder die mehreren Öffnungen erstrecken.
  6. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei die Platte Aluminium umfaßt.
  7. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei die Feder (340) einen Wendeldraht umfaßt.
  8. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei die Feder (340) ein Maschennetz umfaßt.
  9. Druckwandler nach Anspruch 2, wobei die Feder Kupfer umfaßt.
  10. Druckwandler nach Anspruch 1, ferner umfassend eine Heizvorrichtung (130), wobei die Heizvorrichtung in Bezug auf den Heizvorrichtungsmantel fixiert ist.
DE60113722T 2000-12-28 2001-12-21 Druckwandler mit thermischer platte und feder Expired - Lifetime DE60113722T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US750428 2000-12-28
US09/750,428 US6612176B2 (en) 2000-12-28 2000-12-28 Pressure transducer assembly with thermal shield
PCT/US2001/050848 WO2002054034A1 (en) 2000-12-28 2001-12-21 Pressure transducer with thermal plate and spring

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60113722D1 DE60113722D1 (de) 2005-11-03
DE60113722T2 true DE60113722T2 (de) 2006-09-14

Family

ID=25017833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60113722T Expired - Lifetime DE60113722T2 (de) 2000-12-28 2001-12-21 Druckwandler mit thermischer platte und feder

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6612176B2 (de)
EP (1) EP1348111B1 (de)
JP (1) JP4222830B2 (de)
KR (1) KR100791874B1 (de)
DE (1) DE60113722T2 (de)
TW (1) TW513562B (de)
WO (1) WO2002054034A1 (de)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040099061A1 (en) 1997-12-22 2004-05-27 Mks Instruments Pressure sensor for detecting small pressure differences and low pressures
US6687635B2 (en) * 2002-06-13 2004-02-03 Mks Instruments, Inc. Apparatus and method for compensated sensor output
JP4159895B2 (ja) * 2003-02-17 2008-10-01 キヤノンアネルバ株式会社 静電容量型圧力センサ及びその製造方法
US6993973B2 (en) 2003-05-16 2006-02-07 Mks Instruments, Inc. Contaminant deposition control baffle for a capacitive pressure transducer
US7347099B2 (en) * 2004-07-16 2008-03-25 Rosemount Inc. Pressure transducer with external heater
US7201057B2 (en) 2004-09-30 2007-04-10 Mks Instruments, Inc. High-temperature reduced size manometer
US7137301B2 (en) 2004-10-07 2006-11-21 Mks Instruments, Inc. Method and apparatus for forming a reference pressure within a chamber of a capacitance sensor
US7141447B2 (en) 2004-10-07 2006-11-28 Mks Instruments, Inc. Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor
US7204150B2 (en) 2005-01-14 2007-04-17 Mks Instruments, Inc. Turbo sump for use with capacitive pressure sensor
US7124640B1 (en) 2005-07-13 2006-10-24 Mks Instruments, Inc. Thermal mounting plate for heated pressure transducer
US7679033B2 (en) * 2005-09-29 2010-03-16 Rosemount Inc. Process field device temperature control
JP4563312B2 (ja) * 2005-12-05 2010-10-13 株式会社堀場エステック 静電容量式圧力センサ装置
WO2008154760A1 (de) * 2007-06-19 2008-12-24 Inficon Gmbh Vakuummesszellenanordnung mit heizung
US8477499B2 (en) 2009-06-05 2013-07-02 Laird Technologies, Inc. Assemblies and methods for dissipating heat from handheld electronic devices
US8646540B2 (en) * 2010-07-20 2014-02-11 Firetrace Usa, Llc Methods and apparatus for passive non-electrical dual stage fire suppression
JP6130765B2 (ja) * 2013-09-30 2017-05-17 アズビル株式会社 静電容量型圧力センサ
US10996124B2 (en) * 2016-12-28 2021-05-04 Tubitak High accuracy pressure transducer with improved temperature stability
DE102017119358A1 (de) * 2017-08-24 2019-02-28 Endress+Hauser SE+Co. KG Modulares Feldgerät
JP7285621B2 (ja) * 2017-11-29 2023-06-02 株式会社堀場エステック 真空計
CN113260843B (zh) * 2019-02-26 2023-09-12 住友(Shi)美国低温研究有限公司 电容膜片仪表中的高温传感器和电子元件之间的热障
JP7418248B2 (ja) * 2020-03-05 2024-01-19 株式会社堀場エステック 真空計

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2556577A (en) * 1976-06-07 1978-11-30 Bunker Ramo Pressure sensor
US4176557A (en) 1976-06-07 1979-12-04 Bunker Ramo Corporation Pressure sensor
US4850227A (en) 1987-12-22 1989-07-25 Delco Electronics Corporation Pressure sensor and method of fabrication thereof
SE461300B (sv) * 1988-05-17 1990-01-29 Hydrolab Ab Tryckmaetare
GB9508877D0 (en) * 1995-05-02 1995-06-21 Ici Plc Dye diffusion thermal transfer printing
US5625152A (en) * 1996-01-16 1997-04-29 Mks Instruments, Inc. Heated pressure transducer assembly
US5911162A (en) * 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US6029525A (en) 1998-02-04 2000-02-29 Mks Instruments, Inc. Capacitive based pressure sensor design

Also Published As

Publication number Publication date
EP1348111A1 (de) 2003-10-01
JP2004521328A (ja) 2004-07-15
JP4222830B2 (ja) 2009-02-12
US6612176B2 (en) 2003-09-02
US20020083774A1 (en) 2002-07-04
WO2002054034A1 (en) 2002-07-11
KR100791874B1 (ko) 2008-01-07
DE60113722D1 (de) 2005-11-03
KR20030063481A (ko) 2003-07-28
EP1348111B1 (de) 2005-09-28
TW513562B (en) 2002-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60113722T2 (de) Druckwandler mit thermischer platte und feder
DE112006001662B4 (de) Thermische Befestigungsplatte für einen beheizten Druckwandler
DE60031869T2 (de) Kapazitiver druckwandler
DE112006001129T5 (de) Beheizter Druckwandler
DE68909894T3 (de) Druckmessfühler mit flexibler gedruckter Schaltung.
DE69720874T2 (de) Beheizte druckwandleranordnung
DE69818762T2 (de) Druckwandler kombiniert mit einem Temperatursensor
EP1324036B1 (de) Messvorrichtung zum Messen des Zustandes von Ölen und Fetten
DE102008015359A1 (de) Temperatursensor und Verfahren zu dessen Herstellung
EP0759547A1 (de) Drucksensor
DE2101173A1 (de) Thermisch gesteuerte Betätigungsvorrichtung
EP1857800B1 (de) Druckmessverfahren mit einem Temperatursensor
DE202012003186U1 (de) Eintauch-Temperatursensor
EP0623818A1 (de) Bombenkalorimeter
DE2116002B2 (de) Durchflusskuevette
DE3023218A1 (de) Kapazitiver drucksensor
DE102004050751B4 (de) Rheometer und Verfahren zur Temperierung seiner Messkammer
DE10158527B4 (de) Temperaturfühler
DE10145702A1 (de) Flachheizprofil für direkte Mediumbeheizung
DE60131255T2 (de) Temperatursensor
DE69513514T2 (de) Kompakter tauchheizkörper,insbesondere für aquarien
DE3315657A1 (de) Elektrokochgeraet
DE4428616A1 (de) Kapazitive Sonde zur Überwachung von Flüssigkeit in einem Behälter
WO2015000526A1 (de) Sensoreinheit
EP1651944A1 (de) Viskosit tssensoranordnung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition