DE4425209A1 - Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikteilen und Keramikfolie zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikteilen und Keramikfolie zur Durchführung des VerfahrensInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten
gesinterten Keramikteilen, insbesondere zum gasdichten Fügen von
unterschiedlichen Keramiken mit voneinander verschiedenen
Wärmeausdehnungskoeffizienten.
Keramische Werkstoffe sind auf Grund ihrer Werkstoffeigenschaften, wie niedriges
spezifisches Gewicht, hohe Verschleißfestigkeit, günstige tribologische
Eigenschaften, hohe Temperaturbestandigkeit und im allgemeinen auch chemische
Beständigkeit wegen der hohen Härte, für spezielle Anwendungen sehr interessant.
Doch die Formgebungsverfahren sind nur begrenzt einsetzbar, so daß nur bestimmte
Formen erzeugt werden können.
Insbesondere ist die Fertigung großer voluminöser Werkstücke als auch
komplizierter Teile meist unmöglich oder unterliegt großen Schwierigkeiten.
Aus den genannten Gründen sind Verbindungsverfahren für Keramikteile sehr
wichtig.
Bekannt sind Verfahren, die unter den Begriffen Löten, Diffusionsschweißen,
Kleben, Einpressen und Nachsintern für Herstellung von Keramikverbunden und
Keramik-Metall-Verbunden Anwendung finden.
Die folgenden Betrachtungen sollen auf Verbindungsarten beschränkt werden, die
auf mechanische Festigkeit und Stoffschlüssigkeit ausgerichtet sind. In der
Patentschrift DE-PS 38 20 459 wird offenbart, daß die Verbindung durch das
Einbringen eines reaktionsfähigen, elektrisch leitfähigen Materials zwischen die
geschliffenen Keramikflächen erzielt wird, indem die Aufheizung der Schicht durch
einen kurzzeitigen Stromstoß erfolgt, um Reaktionen mit der umgebenden
Atmosphäre weitgehend zu vermeiden.
Die DE-PS 38 42 984 befaßt sich mit dem Fügen von Siliciumnitridformteilen unter
Zwischenschaltung von im Hinblick auf die Bildung von Si₃N₄ stickstoffüber- und
unterschüssigen siliciumhaltigen Schichten und Heißpressen der Fügestelle bei
Drücken von mehr als 10 MPa und Temperaturen über 1500°C.
In der DE-OS 36 12 458 wird für das Fügen von Siliciumcarbid eine maximal 1 µm
dicke Schicht verschiedener Metalle zwischen die Fügeflächen gebracht. Bei inerter
oder reduzierender Atmosphäre werden vorzugsweise bei einem Preßdruck von 15
bis 45 MPa und einer Temperatur zwischen 1500-1800°C die Fügeteile
miteinander verschweißt. Die Schicht ist praktisch eine Aktivierungsschicht und
nach dem Prozeß nicht mehr nachweisbar.
Diese aufgezeigten Lösungen setzen entweder eine metallische Bindeschicht voraus
oder verlangen hohe Drücke und Temperaturen.
Außerdem wird eine hohe Reinheit und Oberflächengüte (poliert) der Fügeflächen
verlangt.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine neuartige Möglichkeit zum
stoffschlüssigen Fügen von Keramikteilen zu finden, die bei niedrigem Preßdruck
und relativ niedriger Temperatur spannungsarme und mechanisch feste
Keramikverbunde erzeugt. Dabei soll es nach Belieben möglich sein, Keramiken mit
unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zu verbinden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einem Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen
von kompakten gesinterten Keramikkörpern, bei dem zwischen die zwei Fügeflächen
der Keramikkörper eine Folie gelegt wird, wobei anschließend unter Druck und ho
her Temperatur bei reaktionsunterstützender Atmosphäre die Fügekörper verbunden
werden, dadurch gelöst, daß die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit
von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm ge
schliffen werden, daß als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungs
koeffizient nicht mehr als 1·10-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der
Keramikkörper abweicht, verwendet wird, daß die Folie in einer ersten Phase eines
Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens
unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein
Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und daß die Folie
in einer zweiten und driften Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preß
druck zwischen 50 und 100 kPa zur Kristallisation gebracht wird.
Zweckmäßig erfolgt in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer
Aufheizung auf etwa 350°C eine Haltezeit von ca. 2 Stunden. Es erweist sich
jedoch unter energetischen und Zeitaspekten als vorteilhaft, nach der Aufheizung auf
ca. 350°C eine verlangsamte weitere Aufheizungsperiode auf ca. 400 bis 500°C
innerhalb von 2 Stunden durchzuführen, die den Zweck der ersten Phase in gleicher
Weise erfüllt.
In der zweiten Phase wird vorteilhaft eine Temperatur von ca. 750°C eingestellt und
für etwa 2 Stunden gehalten, um in der Folie Kristallisationskeime zu erzeugen.
In der dritten Phase wird zweckmäßig die Sintertemperatur der Folie eingestellt und
für ca. 3 Stunden gehalten, bis die Folie ausgesintert ist. Es wird vorzugsweise unter
oxidierender Atmosphäre gesintert. Zum Fügen von Reinstaluminium
(< 99,6% Al₂O₃) wird die erste Phase des Temperatur-Zeit-Regimes vorteilhaft
direkt in die dritte Phase überführt, da die verwendete dotierte Compositfolie bereits
über Kristallisationskeime verfügt.
Obwohl lediglich für den Sinterprozeß oberhalb 800°C (zweite und dritte Phase)
eine Beaufschlagung mit einem Preßdruck von ca. 50 kPa notwendig ist, erweist es
sich als zweckmäßig, diesen Preßdruck bereits direkt zur Arretierung in der ersten
Phase einzustellen und im gesamten Temperatur-Zeit-Regime beizubehalten.
Zum Fügen von Keramikkörpern mit unterschiedlichem Wärmekoeffizienten erweist
es sich von Vorteil, zwischen die Fügeflächen mehrere Folien mit abgestuften
Wärmeausdehnungskoeffizienten zu legen und dem oben beschriebenen Temperatur-
Zeit-Regime zu unterwerfen.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe bei dem erfindungsgemäßen Verfahren mit
einer grünen Keramikfolie dadurch gelöst, daß die Folie aus gemahlenem Pulver
besteht, wobei das Pulver eine Nennkorngröße von weniger als 3 µm aufweist.
Vorzugsweise wird die Folie nach dem Doctor-Blade-Verfahren hergestellt. Zur
Schaffung eines graduellen Übergangs des Wärmeausdehnungskoeffizienten von
Fügekörper zu Fügekörper weist die Folie vorteilhaft einen geeigneten Mengenanteil
vom Pulver jedes Fügekörpers auf; wobei die Unterschiede des
Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Folie und Fügekörper jeweils kleiner
als 1·10-6/K sind.
Für größere Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten wird zweckmäßig
ein Folienpaket mit graduellem Übergang des Wärmeausdehnungskoeffizienten
zusammengestellt, das durch unterschiedliche Pulvermischungen von
Materialanteilen beider Fügekörper Folien mit adaptiv eingestelltem
Wärmeausdehnungskoeffizienten enthält.
Dabei erweist es sich in häufigen Fällen als vorteilhaft, in den einzelnen Folien die
Materialanteile der Fügekörper in gleichmäßige Stufen von Folie zu Folie und
jeweils von Folie zu Fügekörper zu verändern.
Für bestimmte Fälle zeigt es sich aber auch als zweckmäßig, daß die Materialanteile
in den einzelnen Folien zwar in gleichmäßigen Stufen von Folie zu Folie und
gegenüber einem Fügekörper geändert sind, aber zum zweiten Fügekörper ein
Sprung bezüglich der kontinuierlichen abgestuften Änderung der Materialanteile
vorliegt.
Die Erfindung basiert auf der Überlegung, daß stoffschlüssige Verbunde von
gesinterter Keramik durch Schweißen bzw. Erschmelzen des Oberflächenmaterials
der Fügeflächen stets eine hohe Temperatur und/oder einen hohen Preßdruck auf die
Fügeflächen zur Folge hat.
Ursächlich dafür ist die Notwendigkeit, daß die Fügepartner in ihrem
Adhäsionsverhalten und ihrem Wärmeausdehnungskoeffizienten einander angepaßt
sind. Außerdem müssen Austauschprozesse durch die chemische Zusammensetzung
möglich sein. Diese Forderungen werden selbst bei verschiedenartigen Keramiken
durch die Zwischenlagerung keramischer Rohfolien (grüner Keramikfolien), die
Mengenanteile beider Fügepartner halten, erreicht. Zur Anpassung von Fügekörpern
mit Wärmeausdehnungskoeffizienten, die sich um mehr als 1·10-6/K unterscheiden,
sind Folienpakete aus mehreren übereinanderliegenden derartigen Folien mit graduell
den Fügekörpern angepaßten Wärmeausdehnungskoeffizienten geeignet.
Die Herstellung solcher, den Wärmeausdehnungskoeffizienten vermittelnder Folien
ist erfindungsgemäß so vorgesehen, daß das gesinterte Keramikmaterial zu mahlen
ist bis zur Nennkorngröße von < 3 µm. Dann werden Mengenanteile von
verschiedenen Keramiken (oder auch Glasphasen bei Glaskeramik) miteinander
vermischt und nach bekannten Techniken, z. B. nach dem Doctor-Blade-Verfahren
(siehe beispielsweise Keramische Zeitschrift 44 (1992) 1, S. 23-27), keramische
Rohfolien hergestellt. Entsprechend den Gemengeanteilen ergeben sich
Keramikfolien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und
unterschiedlicher stofflicher Zusammensetzung. Diese Folien werden zu einem
graduellen Schichtenaufbau hinsichtlich Ausdehnungskoeffizient und stofflicher
Zusammensetzung der Fügepartner geordnet und zwischen die gereinigten,
geschliffenen und gesinterten Keramikkörper gelegt.
Der Fügeprozeß läuft dann nach Arretierung der in Form und Größe angepaßten
Rohfolien zwischen den Fügeflächen in drei wesentlichen Phasen ab. In einer ersten
Phase werden Binder und Lösungsmittel aus der Rohfolie durch Ausgasen entfernt.
Eine zweite Phase mit einer ausgeprägten Haltezeit sorgt für die Ausbildung von
Kristallisationskeimen und eine dritte Phase führt bei gehaltener Sintertemperatur
der Keramikbestandteile zum vollstandigen Aussintern der Keramikfolien. Gesintert
wird bei einem Preßdruck von ca. 50 kPa in Normalrichtung der Fügeflächen und bei
oxidierender Atmosphäre.
Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet es, unter Verwendung von
erfindungsgemäß hergestellten grünen Keramikfolien bei geringem Preßdruck auf die
Fügeflächen und relativ geringen Temperaturen einen mechanisch stabilen, gas- und
vakuumdichten Keramikverbund herzustellen.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von drei Ausführungsbeispielen näher
erläutert werden. Die Zeichnung zeigt
Fig. 1 das erfindungsgemaß anzuwendende Temperatur-Zeit-Regime.
Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt im wesentlichen den Einsatz einer grünen
Keramikfolie, die insbesondere die Stoffzusammensetzung und die
Wärmeausdehnungskoeffizienten der Fügepartner vermittelt. Dabei wird für den
Verbund das in Fig. 1 dargestellte Temperatur-Zeit-Regime angewendet, wobei die
erste Phase die Folie von Bindern und Lösungsmitteln befreit, die zweite und dritte
Phase die notwendigen Schritte zur Kristallisation der Folie beinhalten.
Der Ausdehnungskoeffizient der Glaskeramik Bioverit I beträgt 11,6·10-6/K, der
vom Vitronit 8, 7·10-6/K.
Aus den Gläsern, die zur Keramisierung von Bioverit I und von Vitronit
geschmolzen wurden, wird ein Pulver gefertigt, welches in der Nennkorngröße
< 3 µm ist. Aus diesem Pulver werden 3 Mischungen hergestellt.
Diese Mischungen werden vorteilhaft nochmals gemahlen (Aufmahlung). Von jeder
Mischung wird eine Folie in der Stärke von 0,5 mm z. B. nach dem Doctor-Blade-Ver
fahren [Keramische Zeitschrift 44 (1992), S. 23-27] hergestellt (grüne Rohfolie).
Die Mischungen und ihre Aufmahlung gewahrleisten, daß der
Wärmeausdehnungskoeffizient sich von Folie zu Folie und zu den Fügekörpern
weniger als 1·10-6/K ändert.
Dann werden je nach Größe der Fügefläche Folienabschnitte bereitgestellt.
Die Fügeflächen der Fügepartner von Bioverit I und Vitronit werden geschliffen auf
eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1,0 µm. Die Oberflächenunebenheit darf
dabei 0,5 µm nicht übersteigen. Anschließend werden die Fügeflächen von
mechanischen Partikeln gereinigt.
Auf die Fügefläche von Bioverit I wird das Folienstück der 1. Mischung gelegt,
darauf das der 2. Mischung und anschließend das der 3. Mischung und obenauf das
Fügeteil aus Vitronit.
Dieses Paket wird in einem Ofen so positioniert, daß die Paarung nicht verrutschen
kann und auf die oben aufliegende Keramik ein Druck ausgeübt werden kann.
Zunächst genügt ein geringer Mindestandruck, der ein Verrutschen der Folien und
Fügeflächen zueinander ausschließt. Dieser Druck ist zumindestens in der ersten
Phase gemäß Fig. 1 ausreichend, um das Ausgasen der Lösungsmittel und Binder
aus den Folien zu erreichen.
Zum Ausgasen ist eine Temperatur von 350°C erforderlich, die ca. 2 Stunden
gehalten werden muß. Nach einem Aufheizvorgang von ca. 1 Stunde wird der Punkt
A (siehe Fig. 1) erreicht, der dieser Temperatur entspricht, die gestrichelte Linie zum
Punkt B′ deutet die erforderliche Haltezeit zum Ausgasen an. Energetisch günstiger
ist jedoch die Variante eines langsamen weiteren Aufheizens innerhalb der
notwendigen Haltezeit, wie es die durchgezogene Linie A-B in Fig. 1 angibt. Die
Binder und Lösungsmittel gasen bei dieser Temperaturerhöhung weiterhin aus. Die
Temperaturerhöhung muß jedoch bis zum Ende der notwendigen Haltezeit so
begrenzt sein, daß Vorgänge, die der zweiten Phase vorbehalten sind, nicht bereits
einsetzen. Das wird im angegebenen Beispiel bis ca. 500°C problemlos
gewährleistet. Der Vorteil dieser modifizierten "Haltezeit" liegt in der Verkürzung
der Aufheizzeit in der zweiten Phase.
In der zweiten Phase wird unabhängig vom gewählten Temperatur-Zeit-Regime der
ersten Phase ein Vorgang der Bildung von Kristallisationskeimen bei einer
Temperatur von ca. 750°C eingeleitet, der durch die durchgezogene Linie C-D in
Fig. 1 angezeigt wird. Für diesen Vorgang ist ebenfalls eine zweistündige Haltezeit
vorgesehen. Erst nach dessen Abschluß (im Punkt D) wird in der dritten Phase
weiter aufgeheizt.
Die dritte Phase dient dazu, die Folien zu keramisieren. Dabei werden die
Verbundflächen in Normalenrichtung mit einem Druck von ca. 50 kPa beaufschlagt
und die Temperatur entsprechend Fig. 1 auf die Sintertemperatur von ca. 1050°C
erhöht. Zum Aussintern der Folien wird diese Temperatur ca. 3 Stunden gehalten
(Linie E - F). Danach erfolgt eine langsame Abkühlungsphase, in deren Ergebnis ein
stoffschlüssiger, spannungsarmer und mechanisch fester Keramikverbund entsteht.
Die verwendete Aluminiumoxidkeramik KER 710 hat einen
Wärmeausdehnungskoeffizienten von 7,0·10-6/K und einen Al₂O₃-Gehalt von
mehr als 95%. Der Unterschied des Wärmeausdehnungskoeffizienten gegenüber
Bioverit I beträgt 4,6·10-6/K.
Aus dem Granulat von Bioverit I und dem Al₂O₃-Pulver werden Gemenge wie folgt
hergestellt, wobei ein Mahlvorgang (wie im Beispiel 1) die Nennkorngröße der
Gemenge von weniger als 3 µm sicherstellt:
Aus diesen Mischungen werden Folien hergestellt.
Die Folien werden auf das Außenmaß der Fügeflächen angepaßt. Die geschliffenen
Fügeflächen (Oberflächenrauhigkeit < 1 µm) werden von mechanischen Partikeln
gereinigt und die Folien in der Reihenfolge der Mischungsnumerierung auf die Fü
gefläche von Bioverit I aufgelegt. Dabei entsteht bis zur 3. Folie ein gleichmäßiger
Gradient der Mengenanteile von Bioverit I und der Anteile von Al₂O₃. Der Sprung
des Gradienten der Mengenanteile beider Keramiken beim Übergang auf den Füge
körper aus Al₂O₃ ist in diesem Fall tolerierbar, da für den Verbund und die Ver
bundfertigkeit die Anpassung der Wärmeausdehnungskoeffizienten die entschei
dende Rolle spielt. Der Einbau von geringen Mengen Al₂O₃ in die Folien beeinflußt
den Ausdehnungskoeffizienten von Bioverit I in erheblichen Maße.
Nach dem gleichen Temperatur-Zeit-Regime wie im Beispiel 1 (durchgezogene
Linie) wird der Verbund keramisiert. Ab ca. 800°C wird ein Preßdruck von
mindestens 50 kPa (bis maximal 100 kPa) auf die Fügekörper senkrecht zu den
Fügeflächen aufgebracht.
In diesem Beispiel wird als Keramikgrünfolie eine Compositfolie (wie z. B. im Journ.
Am. Ceram. Soc. 73 [1990] 1, S. 3476-3489 beschrieben) aus dotiertem Al₂O₃
verwendet.
Für eine ausgewählte Verbindung von Keramikrohren untereinander oder mit einem
beliebigen anderen Keramikteil (z. B. einer ebenen Platte) werden mittels eines
geeigneten Werkzeugs Ringe aus der oben genannten Compositfolie ausgestanzt.
Die Durchmesser dieser Grünfolienringe sollten 1 mm größer als der Durchmesser
der Rohre sein, um das Schrumpfen der Folienringe im Fügeprozeß auszugleichen.
Die Folienringe werden, wie bereits in den vorigen Beispielen beschrieben, zwischen
den Fügeflächen sicher arretiert, zum Ausgasen von Binder und Lösungsmittel
zunächst auf 350°C erhitzt und auf dieser Temperatur 2 Stunden gehalten (siehe 1.
Phase in Fig. 1, Linie A-B′). Danach wird weiter erhitzt auf 1200°C und solange
gehalten, bis die Folien fertig gesintert sind (Fig. 1, gestrichelte Linie B′-C-E′-F′).
Ab einer Temperatur von ca. 800°C wird - wie bereits in den ersten beiden
Beispielen beschrieben - ein Preßdruck von ca. 50 kPa senkrecht zu den Fügeflächen
ausgeübt und oxidierende Atmosphäre zugegeben.
In diesem Beispiel entfällt, wie die gestrichelte Linie in Fig. 1 deutlich macht, die
zweite Phase des Temperatur-Zeit-Regimes, da die Bildung von
Kristallisationskeimen infolge der Dotierung der Compositfolie nicht erforderlich ist.
Damit liegt wiederum ein stoffschlüssiger, mechanisch fester und spannungsarmer
Keramikverbund vor.
Claims (16)
1. Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten
Keramikkörpern, bei dem zwischen die zwei Fügeflächen der Keramikkörper
eine Folie gelegt wird, wobei anschließend unter Druck und hoher Temperatur
bei reaktionsunterstützender Atmosphäre die Fügekörper verbunden werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm geschliffen werden,
- - als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungskoeffizient nicht mehr als 1·10-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramik körper abweicht, verwendet wird,
- - die Folie in einer ersten Phase eines Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und
- - die Folie in einer zweiten und dritten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preßdruck von mindestens 50 kPa zur Kristallisation gebracht wird, wobei der Preßdruck unterhalb des von den Fügekörpern maximal aufnehmbaren Preßdrucks bleiben muß.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizzeit
eine Haltezeit von ca. 2 Stunden bei einer Temperatur von etwa 350°C folgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizung auf
ca. 350°C eine weitere verlangsamte Aufheizperiode auf ca. 400 bis 500°C
innerhalb von 2 Stunden erfolgt.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß in der zweiten Phase eine Temperatur von ca. 750°C eingestellt und für
etwa 2 Stunden gehalten wird, so daß sich in der Folie Kristallisationskeime
ausbilden.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß in der dritten Phase eine Temperatur, die der Sintertemperatur der
Keramikfolie entspricht, eingestellt und ca. 3 Stunden gehalten wird, so daß die
Folie vollstandig gesintert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die dritte Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter oxidierender
Atmosphäre stattfindet.
7. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß für den Verbund von Fügekörpern aus Reinstaluminiumoxid (< 99,6%
Al₂O₃) die erste Phase des Temperatur-Zeit-Regimes direkt in die dritte Phase
überführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Folie in allen Phasen des Temperatur-Zeit-Regimes unter demselben
Preßdruck behandelt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Folien mit abgestuften Wärmeausdehnungskoeffizienten zur
Anpassung der Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen die Fügeflächen der
Fügekörper gelegt werden.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß in einem aus mehreren Folien bestehenden Folienpaket Folien mit einem
abgestuft unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten geordnet
übereinander gelegt werden, wobei der Unterschied des
Ausdehnungskoeffizienten zwischen jeweils benachbarten Folien nicht größer als
0,7·10-6/K eingestellt wird.
11. Grüne Keramikfolie zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet,
daß die Folie aus gemahlenem Pulver beider Fügekörper besteht, wobei das
Pulver eine Nennkorngröße von weniger als 3 µm aufweist.
12. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Folie nach dem Doctor-Blade-Verfahren hergestellt ist.
13. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß zur Schaffung eines graduellen Übergangs der
Wärmeausdehnungskoeffizienten von Fügekörper zu Fügekörper die Folie einen
geeigneten Mengenanteil vom Pulver jedes Fügekörpers aufweist, wobei die
Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Folie und
Fügekörper jeweils kleiner als 1·10-6/K sind.
14. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizient für Folien eines
Folienpaketes mit graduellem Übergang des Wärmeausdehnungskoeffizienten
durch unterschiedliche Pulvermischungen von Materialanteilen beider
Fügekörper einstellbar ist.
15. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Materialanteile in den einzelnen Folien in nahezu gleichmäßigen Stufen
von Folie zu Folie und jeweils von Fügekörper zu Folie verändert sind.
16. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Materialanteile in den einzelnen Folien in gleichmäßigen Stufen von Folie
zu Folie verändert ist, jedoch zu mindestens einem Fügekörper ein Sprung
bezüglich der kontinuierlichen graduellen Änderung der Materialanteile vorliegt.
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