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DE4317945A1 - Method and device for investigating an object - Google Patents

Method and device for investigating an object

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DE4317945A1
DE4317945A1 DE4317945A DE4317945A DE4317945A1 DE 4317945 A1 DE4317945 A1 DE 4317945A1 DE 4317945 A DE4317945 A DE 4317945A DE 4317945 A DE4317945 A DE 4317945A DE 4317945 A1 DE4317945 A1 DE 4317945A1
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radiation
electromagnetic radiation
detectors
electromagnetic
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Paul Dr Debbage
Raymond Heap
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HEAP RAYMOND 82297 STEINDORF DE
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HEAP RAYMOND 82297 STEINDORF DE
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Abstract

The invention relates to a method as well as a device for investigating an object, the electromagnetic radiation emerging from the object making its way to the detector through a non-focusing beam-guiding process.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Anspruch 1 sowie Vorrichtungen entsprechend den Gattungsbegrif­ fen der Ansprüche 9 und 10 zur Untersuchung eines Ob­ jekts.The invention relates to a method according to the claim 1 and devices according to the generic term fen of claims 9 and 10 for examining an ob project.

Bei aus der Praxis bekannten Mikroskopen wird das Ob­ jekt auf einen Detektor abgebildet, wobei als Detektor beispielsweise eine Kamera verwendet wird. Hierbei wird die vom Objekt ausgehende elektromagnetische Strahlung durch ein Linsensystem zum Detektor geführt.In microscopes known from practice, the Ob mapped onto a detector, being a detector for example a camera is used. Here will the electromagnetic radiation emanating from the object through a lens system to the detector.

Derartige Linsensysteme sind radialsymmetrisch um eine optische Achse aufgebaut, wobei bei Entwurf und Kon­ struktion dieser Systeme alle Fehlerquellen möglichst klein gehalten werden. Dennoch treten bei der optischen Bearbeitung der vom zu untersuchenden Objekt ausgehen­ den elektromagnetischen Strahlung Verzerrungen in der Abbildung des Objekts auf. Diese Verzerrungen sind da­ bei um so größer, je weiter abaxial die Strahlung in das Linsensystem einfällt. Die Spektraleigenschaften des Objekts werden daher verfälscht wiedergegeben, so daß beispielsweise aufgrund chromatischer Aberrationen der Linsen eine räumlich verfälschte Abbildung ent­ steht. Metrische und spektrale Eigenschaften von trans­ parenten sowie opaken Objekten können somit nicht ohne Verzerrungen registriert werden. Dies macht sich beson­ ders stark bei Untersuchungen von großen Objekten be­ merkbar, bei denen verschiedene Teilflächen des Objekts mosaikartig zusammengesetzt werden müssen. Such lens systems are radially symmetrical about one optical axis built up, with design and con structure of these systems all possible sources of error be kept small. Nevertheless occur at the optical Processing of the object to be examined the electromagnetic radiation distortions in the Image of the object. These distortions are there the greater the abaxial the radiation in the lens system collapses. The spectral properties of the object are therefore falsified, so that, for example, due to chromatic aberrations the lens contains a distorted image stands. Metric and spectral properties of trans Parent and opaque objects can not be without Distortions are registered. This is special especially when examining large objects noticeable where different sub-areas of the object must be put together like a mosaic.  

Die Konstruktion des Linsensystems mit einer optischen Achse erfordert zudem eine ausreichende mechanische Stabilität, so daß derartige Geräte Kompromisse zwi­ schen Größe, Gewicht und genauer Wiedergabe des Objek­ tes eingehen müssen.The construction of the lens system with an optical Axis also requires sufficient mechanical Stability, so that such devices compromise between size, weight and exact reproduction of the object must be received.

Derartige Linsensysteme sind ferner relativ kostspielig und erfordern bei ihrer Bedienung geschultes Fachwis­ sen, um beispielsweise die Zentrierung und Abblendung des optisches Weges zu überprüfen.Such lens systems are also relatively expensive and require trained specialist knowledge in their operation sen, for example centering and dimming to check the optical path.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie die Vorrichtungen gemäß den Gattungsbegriffen der An­ sprüche 9 und 10 derart weiterzuentwickeln, daß eine kostengünstigere Herstellung sowie eine einfachere Handhabung ermöglicht wird.The invention is therefore based on the object Method according to the preamble of claim 1 and the devices according to the generic terms of An Proverbs 9 and 10 to develop such that a less expensive to manufacture and a simpler one Handling is made possible.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeich­ nenden Merkmale der Ansprüche 1, 9 und 10 gelöst, indem die elektromagnetische Strahlung durch eine nichtfokus­ sierende Strahlungsführung vom Objekt zum Detektor ge­ langt. Im Idealfall wird der Detektor unmittelbar mit der Objektfläche in Kontakt gebracht.This object is inventively characterized by nenden features of claims 1, 9 and 10 solved by the electromagnetic radiation through a non-focus Radiation from the object to the detector reaches. Ideally, the detector is immediately connected brought into contact with the object surface.

In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist zwischen dem Objekt und dem Detektor eine Einrichtung zur nicht­ fokussierenden Strahlungsführung der elektromagneti­ schen Strahlung vorgesehen. Diese Einrichtung wird bei­ spielsweise durch eine Apertur gebildet, die in ihrer Form der wirksamen Fläche des Detektors entspricht. Bei der Untersuchung eines Objekts wird der Detektor rela­ tiv zum Objekt bewegt, beispielsweise gerastert, wobei jeweils die elektromagnetische Strahlung einer Teilflä­ che des Objekts zum Detektor gelangt.In one embodiment of the invention is between a device for the object and the detector for not focusing radiation of the electromagnetic provided radiation. This facility is at for example, formed by an aperture in its Form corresponds to the effective area of the detector. At When examining an object, the detector rela tiv moved to the object, for example rasterized, where  each the electromagnetic radiation of a sub-area surface of the object reaches the detector.

Bei herkömmlichen Vorrichtungen kann ein Teil der elek­ tromagnetischen Strahlung, beispielsweise ultraviolet­ tes oder infrarotes Licht nicht detektiert werden, da das Linsensystem die Strahlung zum größten Teil absor­ biert. Für derartige Anwendungsbereiche wurden spe­ zielle Mikroskope entwickelt, die die Strahlung durch fokussierende Spiegel erfaßt. Bei Untersuchungen in breiten Bereichen des elektromagnetischen Spektrums ist daher bisher ein erheblicher präparativer und apparati­ ver Aufwand notwendig.In conventional devices, part of the elec tromagnetic radiation, for example ultraviolet t or infrared light cannot be detected because the lens system largely absorbed the radiation beer. For such applications, spe developed microscopes that pass through the radiation focusing mirrors detected. In investigations in wide areas of the electromagnetic spectrum therefore up to now a considerable preparative and apparatus necessary effort.

Indem die elektromagnetische Strahlung erfindungsgemäß durch eine nichtfokussierende Strahlungsführung vom Ob­ jekt zum Detektor gelangt, ist das Verfahren bzw. die Vorrichtung der Erfindung über den gesamten, interes­ sierenden Wellenlängenbereich von 0,01 nm bis 250 µm anwendbar.By the electromagnetic radiation according to the invention due to a non-focusing radiation from Ob object to the detector is the method or Device of the invention over the entire, interes wavelength range from 0.01 nm to 250 µm applicable.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche und werden im folgenden anhand der Zeichnung und der Beschreibung einiger Ausführungsbei­ spiele näher erläutert.Further refinements of the invention are the subject of the subclaims and are based on the following Drawing and description of some examples games explained.

In der Zeichnung zeigenShow in the drawing

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines ersten Aus­ führungsbeispiels und Fig. 1 is a schematic representation of a first exemplary embodiment and

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines zweiten Aus­ führungsbeispiels. Fig. 2 is a schematic representation of a second exemplary embodiment.

In Fig. 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer er­ findungsgemäßen Vorrichtung dargestellt. Mit 1 ist eine elektromagnetische Strahlung bezeichnet, die von einer nicht näher dargestellten Strahlungsquelle erzeugt wird. Sie durchläuft zunächst eine erste Apertur 2 und fällt auf ein zu untersuchendes Objekt 3. Die vom Ob­ jekt 3 emittierte elektromagnetische Strahlung 1 durch­ läuft eine zweite Apertur 5 und wird einem Detektor 6 zugeführt. Der Detektor 6 kann beispielsweise durch lichtempfindliche Transistoren oder sogenannte Couple- Charged-Devices (CCD) gebildet werden. Zweckmäßiger­ weise werden mehrere Detektoren zu einer Zeile bzw. zu einer Matrix zusammengefaßt.In Fig. 1, a first embodiment of an inventive device he is shown. 1 with an electromagnetic radiation is designated, which is generated by a radiation source, not shown. It first runs through a first aperture 2 and falls on an object 3 to be examined. The electromagnetic radiation 1 emitted by object 3 passes through a second aperture 5 and is fed to a detector 6 . The detector 6 can be formed, for example, by light-sensitive transistors or so-called couple-charged devices (CCD). Advantageously, several detectors are combined to form a row or a matrix.

Jeder Detektor 6 empfängt die Strahlung von einer Teil­ fläche des Objekts, die in ihrer Größe der wirksamen Fläche des Detektors entspricht. Demzufolge bestimmt die Größe der wirksamen Fläche des Detektors 6 die räumliche Auflösung der Übertragung.Each detector 6 receives the radiation from a partial area of the object, the size of which corresponds to the effective area of the detector. Accordingly, the size of the effective area of the detector 6 determines the spatial resolution of the transmission.

Um das gesamte Objekt 3 untersuchen zu können, muß die­ ses relativ zum Detektor 6 beispielsweise rastermäßig verschoben werden (Pfeil 4). Die dabei am Detektor 6 entstehenden Ausgangssignale werden digitalisiert und in einem Rechner aufbereitet (Pfeil 7).In order to be able to examine the entire object 3 , it has to be shifted relative to the detector 6, for example, in a grid pattern (arrow 4 ). The resulting output signals at the detector 6 are digitized and processed in a computer (arrow 7 ).

In dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel wird das Objekt 3 im Durchlicht bestrahlt.In the exemplary embodiment shown in FIG. 1, the object 3 is irradiated in transmitted light.

Demgegenüber wird in einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 das Objekt 3 im Auflicht bestrahlt.In contrast, in a second exemplary embodiment according to FIG. 2, object 3 is irradiated in incident light.

Hierbei gelangt die elektromagnetische Strahlung 1 über die erste Apertur 2, einen Halbspiegel 8 und die zweite Apertur 5 auf das Objekt 3. Die hiervon wieder reemit­ tierte Strahlung wird wiederum über die zweite Apertur 5, den Halbspiegel 8 und eine dritte Apertur 9 dem De­ tektor 6 zugeführt.Here, the electromagnetic radiation 1 reaches the object 3 via the first aperture 2 , a half mirror 8 and the second aperture 5 . The radiation re-reiterated from this is in turn fed to the detector 6 via the second aperture 5 , the half mirror 8 and a third aperture 9 .

Der Detektor 6 kann, wie auch schon im ersten Ausfüh­ rungsbeispiel, durch eine Vielzahl von Detektoren in Zeilen- bzw. Matrixanordnung gebildet werden.The detector 6 can, as in the first exemplary embodiment, be formed by a plurality of detectors in a row or matrix arrangement.

Auch hier wird das Objekt beispielsweise über einen Linear- oder Schrittmotor in Scanbewegung gerastert (Pfeil 4)
Die Bestrahlung und die Verschiebung des Objekts kann bei beiden Ausführungsbeispielen räumlich und zeitlich synchronisiert werden. Im Rahmen der Erfindung ist es jedoch auch möglich, das Objekt auch während der Scan­ bewegung zu bestrahlen.Here, too, the object is scanned in a scanning motion using a linear or stepping motor (arrow 4 )
In both exemplary embodiments, the irradiation and the displacement of the object can be synchronized in space and time. In the context of the invention, however, it is also possible to irradiate the object during the scanning movement.

Die in den Ausführungsbeispielen verwendeten Aperturen werden zweckmäßig als Schlitzblenden ausgebildet, wobei die Schlitzbreite von der Wellenlänge abhängig ist und bei sichtbarem Licht vorzugsweise 1 bis 5 µm beträgt, wobei der Detektor etwa der Schlitzbreite entspricht. Die Länge des Schlitzes richtet sich nach der Größe der wirksamen Fläche des Detektors 6. Wird beispielsweise eine CCD-Zeile verwendet, beträgt die Schlitzlänge etwa 1 bis 10 cm.The apertures used in the exemplary embodiments are expediently designed as slit diaphragms, the slit width being dependent on the wavelength and preferably being 1 to 5 μm in the case of visible light, the detector corresponding approximately to the slit width. The length of the slot depends on the size of the effective area of the detector 6 . If, for example, a CCD line is used, the slot length is approximately 1 to 10 cm.

Während im ersten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 zwi­ schen dem Objekt 3 und dem Detektor 6 eine derartige Apertur 5 angeordnet ist, kann gemäß einem nicht näher dargestellten dritten Ausführungsbeispiel auf diese Apertur 5 verzichtet werden, so daß der Detektor 6 un­ mittelbar mit einem Teilbereich des Objekts 3 in Kon­ takt gebracht wird.While such an aperture 5 is arranged between the object 3 and the detector 6 in the first embodiment according to FIG. 1, this aperture 5 can be dispensed with according to a third embodiment, not shown in detail, so that the detector 6 un indirectly with a partial area of the Object 3 is brought into contact.

Bei einer herkömmlichen Charge-Coupled-Device- Zeile sind beispielsweise etwa 750 Detektoren pro cm angeord­ net. Dies ergibt eine räumliche Auflösung in der Achse der Zeile vonWith a conventional charge-coupled device line For example, there are approximately 750 detectors per cm net. This results in a spatial resolution in the axis the line from

1/750*10000 µm = 13 µm.1/750 * 10000 µm = 13 µm.

Die beispielsweise in einem Rechner umgesetzten Aus­ gangssignale des Detektors 6 können in einer Bilddatei gespeichert werden, die sowohl Struktur als auch Spek­ tralinformationen enthalten kann.The output signals of the detector 6 , which are implemented, for example, in a computer, can be stored in an image file which can contain both structure and spectral information.

Durch die nichtfokussierende Strahlungsführung treten bei dem erfindungsgemäßen Verfahren keine Verzerrungen bei den aufgenommenen Informationen ein, so daß auch große Objekte mit hoher Auflösung untersucht werden können.Pass through the non-focusing radiation no distortions in the method according to the invention in the recorded information, so that also large objects can be examined with high resolution can.

Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele ermöglichen eine Mikroskopie in einem Spektralbereich, insbesondere im Bereich der Röntgen-, UV- und IR-Strahlung, der bis­ her aufgrund des hohen finanziellen und apparativen Aufwands kaum berücksichtigt wurde.The exemplary embodiments described above enable microscopy in a spectral range, in particular in the field of X-rays, UV and IR radiation, which up to forth because of the high financial and equipment Little effort was taken into account.

Die elektromagnetische Strahlung kann in jeglicher Form verwendet werden, beispielsweise in polarisier­ ter/nichtpolarisierter, polychromatischer/monochroma­ tischer oder nicht-kohärenter/kohärenter Form. The electromagnetic radiation can be in any form are used, for example in polarized ter / non-polarized, polychromatic / monochrome table or non-coherent / coherent form.  

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann auf eine Strahlungsquelle verzichtet werden, wenn das Objekt selbstemittierend ist.In the method according to the invention, one can Radiation source can be dispensed with if the object is self-emitting.

Die von den Detektoren empfangene Strahlung wird digi­ tal gespeichert und verarbeitet und steht sofort nach der Aufnahme zur Verfügung. Dabei ist die Ausgabe eines Bildes unter Umständen nicht notwendig, wenn beispiels­ weise allein quantitative Aussagen über das zu untersu­ chende Objekt ausgegeben werden sollen.The radiation received by the detectors becomes digi tal saved and processed and is immediately behind available for recording. The output is one Image may not be necessary if, for example only quantitative statements to be examined about the object to be output.

Die elektromagnetische Strahlung kann durch vor den De­ tektoren angeordnete Filter oder nachgeschaltete Strah­ lungsteiler für verschiedene Wellenlängen getrennt re­ gistriert werden.The electromagnetic radiation can pass through the De tector arranged filters or downstream beam separator for different wavelengths separately right be registered.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann neben Auflicht- und Durchlichtverfahren beispielsweise auch für Hellfeld- und Dunkelfelduntersuchungen eingesetzt werden. Außer­ dem sind Anwendungen wie die Fluoreszenzanalyse oder Produktionen von Stereoaufnahmen denkbar.In addition to incident light and Transmitted light method, for example also for bright field and dark field investigations are used. Except these are applications such as fluorescence analysis or Productions of stereo recordings are conceivable.

Indem die erfindungsgemäße Vorrichtung auf ein aufwen­ diges und schweres Linsensystem verzichten kann, können derartige Vorrichtungen relativ klein und leicht ausge­ bildet werden. Dadurch ist insbesondere die Untersu­ chung von lebendem Gewebe ohne Beschädigung mit hoher Auflösung möglich. So können beispielsweise mit sicht­ barem Licht und hoher räumlicher und spektraler Auflö­ sung Änderungen der Haut untersucht werden. Weiterhin kann die erfindungsgemäße Vorrichtung in Verbindung mit Endoskopen verwendet werden. By expending the device according to the invention and heavy lens system can do without such devices are relatively small and light be formed. This is especially the Untersu of living tissue without damage with high Resolution possible. For example, with sight light and high spatial and spectral resolution skin changes are examined. Farther can the device according to the invention in connection with Endoscopes are used.  

Nachdem eine Zentrierung der optischen Achse nicht not­ wendig ist, benötigt man für viele Anwendungen kein ge­ schultes Fachwissen.After centering the optical axis is not necessary is agile, you don't need a ge for many applications trained expertise.

Weitere Anwendungsgebiete der Erfindung sind beispiels­ weise kriminalistische Untersuchungen, wie beispiels­ weise Analyse von Fingerabdrücken, Haaren oder Körper­ flüssigkeiten. Weiterhin kann eine Anwendung in der Qualitätskontrolle, beispielsweise in der Halbleiter­ herstellung oder bei der Lagerung von Lebensmitteln, in Betracht kommen.Further areas of application of the invention are, for example wise criminal investigations, such as wise analysis of fingerprints, hair or body liquids. Furthermore, an application in the Quality control, for example in the semiconductor manufacture or storage of food, in Come into consideration.

Claims (18)

1. Verfahren zur Untersuchung eines Objekts (3), wobei die vom Objekt ausgehende elektromagnetische Strah­ lung (1) einem Detektor (6) zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die elektromagnetische Strahlung (1) durch eine nichtfokussierende Strahlungsführung vom Objekt zum Detektor gelangt.1. A method for examining an object ( 3 ), wherein the electromagnetic radiation emanating from the object ( 1 ) is fed to a detector ( 6 ), characterized in that the electromagnetic radiation ( 1 ) passes through a non-focusing radiation guide from the object to the detector. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Detektor (6) zugeführte Strahlung in ein digitales Signal umgewandelt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the detector ( 6 ) supplied radiation is converted into a digital signal. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Detektor (6) relativ zum Objekt (3) verschoben wird, wobei jeweils die elektromagne­ tische Strahlung (1) einer Teilfläche des Objekts zum Detektor gelangt.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the detector ( 6 ) is displaced relative to the object ( 3 ), the electromagnetic radiation ( 1 ) of a partial surface of the object reaching the detector. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung im Bereich von 0,01 µm und 250 µm liegt.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the wavelength of the electromagnetic radiation in the range of 0.01 µm and is 250 µm. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt mit elektro­ magnetischer Strahlung im Durchlicht bestrahlt wird.5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the object with electro magnetic radiation is irradiated in transmitted light. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt mit elektromagneti­ scher Strahlung im Auflicht bestrahlt wird. 6. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized characterized that the object with electromagnetic shear radiation is irradiated in incident light.   7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (6) die elektromagnetische Strahlung elektronisch oder opto­ elektronisch aufnimmt.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the detector ( 6 ) records the electromagnetic radiation electronically or opto-electronically. 8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die wirksame Fläche des Detektors (6) der Größe der Teilfläche des Objekts (3) entspricht.8. The method according to claim 3, characterized in that the effective area of the detector ( 6 ) corresponds to the size of the partial area of the object ( 3 ). 9. Vorrichtung zur Untersuchung eines Objekts (3) mit wenigstens einem Detektor (6) zum Empfang der von dem Objekt ausgehenden elektromagnetischen Strahlung (1), dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor derart angeordnet ist, daß er un­ mittelbar mit dem Objekt in Kontakt bringbar ist.9. Device for examining an object ( 3 ) with at least one detector ( 6 ) for receiving the electromagnetic radiation emanating from the object ( 1 ), characterized in that the detector is arranged such that it can be brought into direct contact with the object is. 10. Vorrichtung zur Untersuchung eines Objekts (3), enthaltend wenigstens einen Detektor (6) zum Empfang der von dem Objekt ausgehenden elektromagnetischen Strahlung (1), dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Objekt und dem Detektor eine Ein­ richtung zur nichtfokussierenden Strahlungsführung vorhanden ist.10. Device for examining an object ( 3 ), comprising at least one detector ( 6 ) for receiving the electromagnetic radiation emanating from the object ( 1 ), characterized in that a device for non-focusing radiation guidance is present between the object and the detector. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die Einrichtung zur nichtfokussierenden Strahlungsführung durch eine Apertur (5) gebildet wird.11. The device according to claim 10, characterized in that the device for non-focusing radiation guidance is formed by an aperture ( 5 ). 12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Form der Öffnung der Apertur (5) der Form der wirksamen Fläche des Detektors (6) entspricht.12. The apparatus of claim 10 or 11, characterized in that the shape of the opening of the aperture ( 5 ) corresponds to the shape of the effective surface of the detector ( 6 ). 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, da­ durch gekennzeichnet, daß mit dem Detektor (6) eine Einrichtung zur Digitalisierung des Ausgangssignales des Detektors verbunden ist.13. Device according to one of claims 9 to 12, characterized in that a device for digitizing the output signal of the detector is connected to the detector ( 6 ). 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Quelle zur Bestrah­ lung des Objekts mit elektromagnetischer Strahlung vorgesehen ist.14. Device according to one of claims 9 to 13, there characterized by being a source of radiation the object with electromagnetic radiation is provided. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, da­ durch gekennzeichnet, daß optoelektronisch-arbei­ tende Detektoren verwendet werden.15. The device according to one of claims 9 to 14, there characterized in that optoelectronic work Detectors are used. 16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, da­ durch gekennzeichnet, daß als Detektoren (6) Charge- Coupled-Devices verwendet werden.16. The device according to one of claims 9 to 14, characterized in that charge-coupled devices are used as detectors ( 6 ). 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, da­ durch gekennzeichnet, daß die Detektoren (6) in ei­ ner Zeile angeordnet sind.17. The device according to one of claims 9 to 16, characterized in that the detectors ( 6 ) are arranged in egg ner line. 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, da­ durch gekennzeichnet, daß die Detektoren (6) in ei­ nem Array angeordnet sind.18. Device according to one of claims 9 to 16, characterized in that the detectors ( 6 ) are arranged in an array.
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