DE4228149A1 - Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen als Testgas wie Helium, mit einem von einem Prüfbehälter umschlossenen Prüfling, wobei der Prüfbehälter Testgas enthält und der Prüfling über eine gasdichte, aus dem Prüfbehälter herausgeführte Leitung mit einem darin angeordneten Testgasdetektor an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist.

Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen als Testgas wie Helium, mit einem von einem Prüfbehälter umschlossenen Prüfling, wobei dieser Testgas enthält und der Prüfbehälter über eine gasdichte Leitung mit einem darin angeordneten Testgasdetektor an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist. Beide Ausführungen sind funktionell äquivalent. Dabei erfolgt eine integrale Dichtigkeitskontrolle an oder mit einem Prüfling entweder von außen nach innen durch Umhüllung des Prüflings, Heliumeinlaß in die Hülle und Messung der Heliumkonzentrationsänderung im Prüfling, oder von innen nach außen durch Heliumeinlaß in den Prüfling und Messung der Heliumkonzentrationsänderung in der Hülle. Für die Dichtigkeitskontrolle von Vakuumkomponenten oder Installationen ist das erste Prinzip vorzuziehen.

Für die integrale Dichtigkeitskontrolle von innen nach außen ist es bekannt, den Prüfling in einem Prüfbehälter anzuordnen und ihn über eine durch den Behälter geführte Leitung an eine Testgasquelle anzuschließen, oder den Prüfling vor Einbringung in einem Prüfbehälter mit Testgas zu füllen, z. B. durch eine "Bombing Operation", wogegen der Prüfbehälter über eine Vakuumleitung mit einem darin angeordneten Strommeßgerät für Testgas an eine leistungsfähige Vakuumpumpe angeschlossen ist. Eine derartige Vorrichtung ist beispielsweise in der Fig. 1a dargestellt.

Das umgekehrte Prinzip, nämlich eine bekannte integrale Dichtigkeitskontrolle von außen nach innen, ist in der Fig. 1b dargestellt. Dabei befindet sich der Prüfling in einem Prüfbehälter, der an eine Testgasquelle angeschlossen und mit Testgas gefüllt ist. Der Prüfling ist über eine gasdicht durch den Deckel des Prüfbehälters hindurch geführte Leitung an ein Strom- Meßgerät für Testgas und dieses an eine leistungsfähige Vakuumpumpe angeschlossen.

Die bekannte integrale Dichtigkeitskontrolle hat sich zwar bewährt, jedoch ist die Ansprechempfindlichkeit vielfach unbefriedigend.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannte integrale Dichtigkeitskontrolle in einfacher Weise und in flexibler Anpassung an die jeweils gegebenen besonderen Prüfbedingungen derart auszugestalten und mit apparatetechnischen Ergänzungen zu versehen, daß eine exakte Dichtigkeitskontrolle durch Bestimmung des Helium-Druckanstiegs auch bei vergleichsweise kleinerer Undichtigkeit mit hoher Ansprechempfindlichkeit ermöglicht wird.

Die Lösung der Aufgabe wird bei einem Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle der im Oberbegriff von Anspruch 1 und Anspruch 2 gekennzeichneten Art dadurch gelöst, daß in der Leitung ein als Absperrorgan ausgebildetes erstes Ventil und endständig eine erste Vakuumpumpe angeordnet und zwischen Prüfbehälter und Ventil eine Zweigleitung mit einem zweiten, als Absperrorgan ausgebildeten Ventil und am Zweigleitungsende der Testgasdetektor angeordnet und dazwischen eine Turbomolekularpumpe, mit der Hochvakuumseite gegen das Meßgerät gerichtet, angeordnet ist.

Mit Vorteil eignet sich das erfindungsgemäß ausgebildete Vakuum-Meßgerät für eine hochempfindliche integrale Dichtigkeitskontrolle mittels eines Testgasdetektors zur Erfassung bzw. Auswertung eines Helium- Druck bzw. Konzentrationsanstieges auch bei vergleichsweise kleinen Undichtigkeiten.

Ein gattungsähnliches Vakuum-Meßgerät ist aus der EP 0 194 836 B1 bekannt. Dieses weist als Prüfbehälter eine Vakuumkammer zur Aufnahme eines mit Testgas gefüllten Prüflings auf, der Lecktests unterzogen werden soll, sowie eine Kryopumpe, die mit der Vakuumkammer verbunden ist, wobei die Kryopumpe eine Einrichtung zum Kondensieren eines Spül-Trägergases wie Stickstoff, aber nicht des Detektorgases hat. Das Meßgerät weist einen Massendetektor auf, der mit der Vakuumkammer verbunden ist, um vom Prüfling emittiertes Detektorgas festzustellen. Weiter ist das bekannte Vakuum-Meßgerät an eine Vakuumpumpe angeschlossen, um bei der Vorbereitung für den Leckdetektorzyklus ein Vakuum zu erzeugen. Die Vakuumpumpe kann eine Turbomolekularpumpe oder eine Diffusionspumpe sein. Die Kryopumpe weist einen Heliumkompressor und einen Erhitzer auf, und ihre Innenflächen sind mit Blei ausgekleidet. Das Vakuum-Meßgerät besitzt ein Vakuumkammer-Volumen von etwa 10 cm³ bis etwa 300 cm³ für die Aufnahme kleiner elektronischer Komponenten. Insgesamt ist der Geräteaufwand des bekannten Vakuum-Meßgerätes in Relation zum Testgegenstand außerordentlich groß, es ist dementsprechend kostenträchtig in Herstellung, Betrieb und Wartung und weist relativ enge Grenzen für die Größenordnung eines zu testenden Prüflings auf.

Im Gegensatz zu der bekannten Vorrichtung, z. B. nach der vorgenannten EP 0 194 836 B1, wird nach der Erfindung der Prüfling bzw. der Prüfbehälter gemäß Fig. 2a oder 2b mit der Vorvakuumseite einer Turbomolekularpumpe in Verbindung gebracht. Nach hinreichender Evakuierung zunächst durch die erste Vakuumpumpe wird das Ventil zu dieser geschlossen. Aus dem dann auf der Hochvakuumseite der Turbomolekularpumpe gemessenen Heliumdruckanstieg pro Zeiteinheit

P_He/t = q_L/(K_He·V_k)

erhält man die Helium-Leckrate:

q_L = K_He·V_k (P_He/t)

darin bedeuten:

K_He = Kompressionsvermögen der TMP für He
V_k = Volumen des Prüflings, bzw. V_k = Volumen des Raumes zwischen Prüfling

und Prüfkammer

P_He/t = Druckanstieg von He pro Zeiteinheit
q_L = Leckrate.

Die Ansprech-Empfindlichkeit der integralen Dichtigkeitskontrolle wird durch das Einschalten der Turbomolekularpumpe signifikant erhöht, weil deren Kompressionsvermögen für leichtes Testgas wie Helium sehr viel geringer ist, als für schwere Gase wie Stickstoff oder Wasserdampf. Das praktisch an allen Flächen molekular gebundene Wasser verursacht beispielsweise bei einem Vakuum von 10^-4 mbar eine Abgabe von Gas, nach dessen Abpumpen im Testgasdetektor nur noch Helium und gegebenenfalls Wasserstoff vorhanden sind, ohne Anwesenheit eines schwereren Störgases. Zwischen der Vorvakuumseite der Turbomolekularpumpe und deren Hochvakuumseite ergibt sich ein Druckgefälle für das Einfließen von Helium aus dem System in die Meßeinrichtung unter zunehmendem Druck bzw. Konzentration, die dann im Testgasdetektor gemessen werden können. Die folgenden Beschreibungen sollen immer für beide Anordnungen gemäß Fig. 2a und 2b gelten.

Eine Ausgestaltung sieht vor, daß in die Zweigleitung zwischen dem darin angeordneten Ventil und der Turbomolekularpumpe eine Kühlfalle für flüssigen Stickstoff angeordnet ist. Durch dessen Bindung wird der Totaldruckanstieg verzögert.

Ein bei der Messung gleichzeitig stattfindender Totaldruckanstieg stört die Messung des Heliumdruckanstieges nicht, solange bei der erfindungsgemäßen Anordnung der Totaldruck kleiner als der maximal zulässige Vakuumdruck an der Vorvakuumseite der Turbomolekularpumpe ist.

Darüber hinaus ist eine Verlängerung der durch Totaldruckanstieg begrenzten Meßzeit möglich durch die vorgenannte Zwischenschaltung einer Kühlfalle bzw. von Pumpen, die Helium nicht erfassen, jedoch schwere Gase binden.

Auch kann die Druckanstiegsgeschwindigkeit vergrößert werden, wenn entsprechend einem weiteren Vorschlag zusätzlich zu der dem Testgasdetektor vorgeschalteten Turbomolekularpumpe in den Leitungsstrang zwischen Prüfling und Anschlußstelle der Zweigleitung eine zweite Hochvakuumpumpe eingeschaltet und mit der Hochvakuumseite gegen den Prüfling, mit der Vorvakuumseite gegen die erste Hochvakuumpumpe, angeordnet ist, wobei dann das Absperrventil für die Zweigleitung zwischen der zusätzlichen Hochvakuumpumpe und der Turbomolekularpumpe angeordnet ist.

Für den Fall, daß V_E (das ist das Volumen zwischen 33a und 31a in Fig. 4) klein gegen V_k ist, erhält man für den Druckanstieg

P_He/t = q_L/(K_He·V_E)

und für die Heliumrate

q_L = K_He·V_E (P_He/t).

Eine besonders vorteilhafte Anordnung ergibt sich nach einem weiteren Ausgestaltungsvorschlag dadurch, daß in der Zweigleitung im Abstand von deren Anschlußstelle zunächst das Absperrventil und zwischen diesem und dem Detektor zwei Turbomolekularpumpen mit einander entgegengerichteten Vorvakuumseiten angeordnet sind, wobei von dem diese verbindenden Strang der Zweigleitung ein weiterer Leitungszweig mit einem Absperrventil abgezweigt ist, an dessen Ende eine Vakuumpumpe, mit der Vakuumseite gegen das Absperrventil gerichtet, angeordnet ist. Durch diese Anordnung wird die Anzeigeempfindlichkeit im Hochvakuumbereich nochmals signifikant erhöht.

Eine wirtschaftlich vorteilhafte Ausgestaltung ergibt sich dadurch, daß anstelle der beiden in der Zweigleitung angeordneten Turbomolekularpumpen eine zweiflutige Turbomolekularpumpe eingesetzt ist.

Eine sehr flexible Anpassung an unterschiedliche Aufgabenstellungen der Dichtigkeitskontrolle wird dadurch erreicht, daß zwischen dem Ventil der Zweigleitung und der Turbomolekularpumpe eine Hochvakuumpumpe, vorzugsweise eine Molekularpumpe, mit einer diese überbrückenden und ein Absperrorgan aufweisenden Bypassleitung angeordnet ist, wobei die beiden Pumpen auch in ein gemeinsames Gehäuse integriert sein können. Bei dieser Anordnung kann entsprechend den Gegebenheiten, wie z. B. Größe und/oder Undichtigkeiten des Prüflings, die zusätzliche Molekularpumpe zugeschaltet oder überbrückt werden.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Erläuterung einiger in den Zeichnungen schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele.

Es zeigen:

Fig. 1a, 1b bekannte Anordnungen für die integrale Dichtigkeitskontrolle von innen nach außen (Fig. 1a) und von außen nach innen (Fig. 1b),

Fig. 2a, 2b alternative Anordnungen des Gerätes zur integralen Dichtigkeitskontrolle nach der Erfindung,

Fig. 3 Gerät zur integralen Dichtigkeits­ kontrolle mit zusätzlicher Kühlfalle,

Fig. 4 Gerät zur integralen Dichtigkeits­ kontrolle mit zusätzlicher Hoch­ vakuumpumpe zwischen Prüfling und Zweigleitung,

Fig. 5 Gerät zur integralen Dichtigkeits­ kontrolle mit zwei Turbomolekularpumpen in der Zweigleitung und mit einer zusätzlichen Vakuumpumpe,

Fig. 6 Gerät ähnlich Fig. 2a, 2b, jedoch mit einer zusätzlichen Molekularpumpe in der Zweigleitung und einer diese überbrückenden Bypassleitung.

Die Fig. 1a und 1b zeigen bekannte Anordnungen mit in jeweils einem Prüfbehälter (40a, 40b) eingeschlossenen Prüflingen (10a) und (10b). Der Prüfling (10a) ist gemäß Fig. 1a über eine durch den Deckel des Prüfbehälters (40a) hindurchgeführte Testgasleitung (48) an eine (nicht dargestellte) Testgasquelle angeschlossen, während der Prüfbehälter (40a) über den Vakuumanschluß (52) mit dem darin angeordneten Strom-Meßgerät (53) für Testgas an eine (nicht gezeigte) Vakuumpumpe angeschlossen ist. Wenn der Prüfling (10a) Leckstellen aufweist, entweicht durch diese über die Druckstufe zwischen dem Testgasdruck im Prüfling (10a) und dem Vakuum im Prüfbehälter (40a) Testgas in den Prüfbehälter (40a). Der Strom des Testgases wird dann im Meßgerät (53) angezeigt.

Bei der umgekehrten Anordnung der Fig. 1b steht der Prüfbehälter (40b) über den Anschluß (55) mit einer (nicht gezeigten) Testgasquelle in Verbindung, während der Prüfling (10b) über die Vakuumleitung (49) und das darin angeordnete Strom-Meßgerät (54) für Testgas an eine (nicht gezeigte) Vakuum-Pumpe angeschlossen ist. Infolge des Druckgefälles zwischen dem Prüfbehälter (40b) und dem Vakuum im Prüfling (10b) dringt durch vorhandene Undichtigkeiten Testgas in den Prüfling (10b) ein und wird im Meßgerät (54) zur Anzeige gebracht. Die bekannten Leckgas-Meßanordnungen sind zwar brauchbar und nützlich, jedoch läßt deren Ansprech-Genauigkeit und praktische Anwendung in vielen Fällen zu wünschen übrig, besonders dann, wenn Prüflinge mit vergleichsweise sehr kleinen Undichtigkeiten geprüft werden sollen.

Die Fig. 2a, 2b zeigen je ein wesentlich verbessertes erfindungsgemäßes Vakuum-Meßgerät zur integralen Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen als Testgas wie Helium, und zwar alternativ mit einem Testgas enthaltenden Prüfling (10a) in einem Prüfbehälter (40a) (Fig. 2a) bzw. mit einem Testgas enthaltenden Prüfbehälter (40b) mit einem Prüfling (10b) (Fig. 2b). Gemäß Fig. 2a enthält der Prüfling (10a) das Testgas und der Prüfbehälter (40a) ist über die Leitung (41) mit einem darin angeordneten Ventil (20) an eine Vakuumpumpe (30) angeschlossen. Gemäß Fig. 2b ist der Prüfbehälter (40b) mit Testgas gefüllt und der Prüfling (10b) ist über die Leitung (41) mit einem darin angeordneten Ventil (20) an eine Vakuumpumpe (30) angeschlossen. In beiden alternativen Ausführungen ist die gasdichte Leitung (41) mit dem darin angeordneten Ventil (20) an die Vakuumpumpe (30) angeschlossen. Deren Vakuumseite (30b) ist gegen den Prüfling (10) bzw. gegen den Prüfbehälter (40) und die Vorvakuumseite (30a) gegen den Auslaß zu gerichtet. Zwischen Prüfbehälter (40) bzw. Prüfling (10) und Ventil (20) ist bei (47) eine Zweigleitung (42, 43) mit einem zweiten, als Absperrorgan ausgebildeten Ventil (21) und am Zweigleitungsende der Testgasdetektor (50) angeordnet. Dazwischen ist eine Turbomolekularpumpe (31), mit der Hochvakuumseite (31b) gegen den Testgasdetektor (50) gerichtet, angeordnet. Der Testgasdetektor (50) kann wahlweise mit einer Digitalanzeige (51) ausgerüstet sein.

In Fig. 3 ist eine ähnliche Ausgestaltung des Vakuum- Meßgerätes gezeigt, wobei zusätzlich zu der dem Testgasdetektor (50) vorgeschalteten Turbomolekularpumpe (31) in die Zweigleitung (42, 43) zwischen dem Ventil (21) und der Turbomolekularpumpe (31) eine Kühlfalle (32) angeordnet ist. In dieser werden Störgase wie flüssiger Stickstoff und z. B. durch Gasabgabe freigesetztes H₂O, festgehalten.

Fig. 4 zeigt eine weitere Abwandlung des Meßgerätes nach den Fig. 2a und 2b, wobei zwischen Prüfling (10) bzw. Prüfbehälter (40) und Anschlußstelle (47) der Zweigleitung (42) eine zweite Hochvakuumpumpe (33) eingeschaltet und mit der Hochvakuumseite (33b) gegen den Prüfling (10) bzw. der Prüfbehälter (40) und mit der Vorvakuumseite (33a) gegen die Vakuumseite (30b) der ersten Vakuumpumpe (30), angeordnet ist, wobei dann das Absperrventil (21) der Zweigleitung (42, 43) zwischen der zusätzlichen Hochvakuumpumpe (33) und der Turbomolekularpumpe (31) angeordnet ist.

Bei allen diesen Ausgestaltungen wird prinzipiell so vorgegangen, daß nach hinreichender Vor-Evakuierung des Prüfbehälters (40) bzw. des Prüflings (10) mit der Vakuumpumpe (30) oder den beiden Vakuumpumpen (30, 33) in der Evakuierungsleitung (41) das Verbindungsventil (20) zur Vakuumpumpe (30) geschlossen und nach Öffnung des Ventils (21) die Vorvakuumseite (31a) der Turbomolekularpumpe (31) angeschlossen und die Pumpe (31) in Tätigkeit gesetzt und aus dem dann auf der Hochvakuumseite (31b) der Turbomolekularpumpe (31) gemessenen Heliumdruckanstieg pro Zeit

P_He/t = q_L/(K_He·V_k)

die Heliumrate

q_L = K_He·V_k (P_He/t)

errechnet wird.

In der Fig. 5 ist eine weitere zweckmäßige Ausgestaltung gezeigt, die bevorzugt für große bzw. variable Gasabsaugmengen zweckmäßig ist. Bei dieser sind in der Zweigleitung (42-44) im Abstand von deren Anschlußstelle (47) zunächst das Absperrventil (21) und zwischen diesem und dem Testgasdetektor (50) zwei Turbomolekularpumpen (34, 31) mit einander entgegengerichteten Vorvakuumseiten (34a, 31a) angeordnet. Von dem diese verbindenden Leitungsstrang (43) der Zweigleitung (42-44) ist ein weiterer Leitungszweig (45) mit einem darin angeordneten Absperrventil (22) abgezweigt, an dessen Ende eine Vakuumpumpe (35), mit der Vakuumseite (35b) gegen das Absperrventil (22) bzw. die Anschlußstelle des Leitungszweiges (45) gerichtet, angeordnet ist. Die Anordnung dieser Pumpe (35) unterstützt sehr vorteilhaft die Wirkung der beiden Turbomolekularpumpen (34) bzw. (31) und ermöglicht auf diese Weise auch bei größeren Gasabzugsmengen eine außerordentlich feinfühlige, hochempfindliche integrale Dichtigkeitskontrolle durch den Testgasdetektor (50). Eine besonders wirtschaftliche Anordnung wird bei dieser Ausgestaltung des Vakuum-Meßgerätes dadurch erreicht, daß anstelle der beiden in der Zweigleitung (42-44) angeordneten Turbomolekularpumpen (34, 31) eine zweiflutige Turbomolekularpumpe eingesetzt ist.

Schließlich zeigt Fig. 6 eine Ausgestaltung, wobei in Abweichung von den Anordnungen nach Fig. 2a und 2b zwischen dem Ventil (21) in der Zweigleitung (42, 43) und der Turbomolekularpumpe (31) eine Hochvakuumpumpe (36), vorzugsweise eine Molekularpumpe, mit einer diese überbrückenden und ein Absperrventil (23) aufweisenden Bypassleitung (46) angeordnet ist. Diese Anordnung dient ebenfalls einer Steigerung der Kompressionswirkung der vorgeschalteten Turbomolekularpumpe (31), insbesondere für die Kompression schwerer Gase. Durch Anordnung der Bypassleitung (46) und des darin eingeschalteten Ventils (23) kann im Bedarfsfall die Molekularpumpe (36) überbrückt werden.

Die Erfindung ermöglicht mit ihren unterschiedlichen, zugleich aber einem einheitlichen Funktionsprinzip zuordenbaren Ausgestaltungen in unkomplizierter Weise sowie unter Verwendung handelsüblicher Vakuumpumpen eine flexible Anpassung der integralen Dichtigkeitskontrolle an unterschiedliche Prüfbedingungen, beispielsweise infolge kleinerer und größerer Lecks bzw. bei kleineren oder größeren Prüflingen und löst damit in idealer Weise die eingangs gestellte Aufgabe.

Claims (7)

1. Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen als Testgas wie Helium, mit einem von einem Prüfbehälter umschlossenen Prüfling, wobei der Prüfbehälter Testgas enthält und der Prüfling über eine gasdichte, aus dem Prüfbehälter herausgeführte Leitung mit einem darin angeordneten Testgasdetektor an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß in der Leitung (41) ein als Absperrorgan ausgebildetes erstes Ventil (20) und endständig eine erste Vakuumpumpe (30) angeordnet und zwischen Prüfbehälter (40) und Ventil (20) eine Zweigleitung (42, 43) mit einem zweiten als Absperrorgan ausgebildeten Ventil (21) und am Zweigleitungsende der Testgasdetektor (50) angeordnet und dazwischen eine Turbomolekularpumpe (31), mit der Hochvakuumseite (31b) gegen den Testgasdetektor (50) gerichtet, angeordnet ist.

2. Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen als Testgas wie Helium, mit einem von einem Prüfbehälter umschlossenen Prüfling, wobei dieser Testgas enthält und der Prüfbehälter über eine gasdichte Leitung mit einem darin angeordneten Testgasdetektor an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß in der Leitung (41) ein als Absperrorgan ausgebildetes erstes Ventil (20) und endständig eine erste Vakuumpumpe (30) angeordnet und zwischen Prüfbehälter (40) und Ventil (20) eine Zweigleitung (42, 43) mit einem zweiten als Absperrorgan ausgebildeten Ventil (21) und am Zweigleitungsende der Testgasdetektor (50) angeordnet und dazwischen eine Turbomolekularpumpe (31), mit der Hochvakuumseite (31b) gegen den Testgasdetektor (50) gerichtet, angeordnet ist.

3. Vakuum-Meßgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in der Zweigleitung (42, 43) zwischen dem darin angeordneten Ventil (21) und der Turbomolekularpumpe (31) eine Kühlfalle (32) für flüssigen Stickstoff angeordnet ist.

4. Vakuum-Meßgerät nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu der dem Testgasdetektor (50) vorgeschalteten Turbomolekularpumpe (31) in den Leitungsstrang (41) eine zweite Hochvakuumpumpe (33) eingeschaltet und mit der Hochvakuumseite (33b) gegen den Prüfling (10) bzw. gegen den Prüfbehälter (40) mit der Vorvakuumseite (33a) gegen die erste Vakuumpumpe (30), angeordnet und das Absperrventil (21) der Zweigleitung (42, 43) zwischen der zusätzlichen Hochvakuumpumpe (33) und der Turbomolekularpumpe (31) angeordnet ist.

5. Vakuum-Meßgerät nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Zweigleitung (42-44) im Abstand von deren Anschlußstelle (47) zunächst das Absperrventil (21) und zwischen diesem und dem Testgasdetektor (50) zwei Turbomolekularpumpen (34, 31) mit einander entgegengerichteten Vorvakuumseiten (34a, 31a) angeordnet sind, wobei von dem diese verbindenden Strang (43) der Zweigleitung (41-44) ein weiterer Leitungszweig (45) mit einem Absperrventil (22) abgezweigt ist, an dessen Ende eine Vakuumpumpe (35), mit der Vakuumseite (35b) gegen das Absperrventil (22) gerichtet, angeordnet ist.

6. Vakuum-Meßgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle der beiden in der Zweigleitung (42-44) angeordneten Turbomolekularpumpen (34, 31) eine zweiflutige Turbomolekularpumpe eingesetzt ist.

7. Vakuum-Meßgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Zweigleitungsstrang (43) zwischen dem Ventil (21) und der Turbomolekularpumpe (31) eine Hochvakuumpumpe (36), vorzugsweise eine Molekularpumpe, mit einer diese überbrückenden und ein Absperrorgan (23) aufweisenden Bypassleitung (46) angeordnet ist, fallweise in Kombination mit der dem Testgasdetektor (50) vorgeschalteten Turbomolekularpumpe (31).