DE4015476C2

DE4015476C2 - Arrangement for three-dimensional optical shape detection

Info

Publication number: DE4015476C2
Application number: DE19904015476
Authority: DE
Inventors: Hans-Helmut Dipl Phy Marguerre
Original assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Current assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Priority date: 1990-05-14
Filing date: 1990-05-14
Publication date: 1995-07-27
Anticipated expiration: 2010-05-15
Also published as: DE4015476A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur dreidimensionalen optischen Formerfassung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs l bzw. 2. Solche Anordnungen sind aus dem Aufsatz "Ein neues inkohärentes Schlierenverfahren mit Retroreflektor" von H. Marguerre, veröffentlicht in der Zeitschrift "Optik" 71 (1985), H. 3, Seiten 105 bis 112, bekannt.The invention relates to an arrangement for three-dimensional optical shape detection according to the preamble of claim l or 2. Such arrangements are from the essay "A new incoherent Schlieren method with retroreflector "by H. Marguerre, published in the magazine "Optik" 71 (1985), H. 3, pages 105 to 112.

Die DE 38 38 954 A1 ist eine ältere Anmeldung, die eine Optikanordnung zur dreidimensionalen Formerfassung betrifft.DE 38 38 954 A1 is an older application, the one Optical arrangement for three-dimensional shape detection concerns.

Aus der US 43 10 242 ist eine Anordnung bekannt, die zur Er fassung von Störungen in transparenten Objekten, nämlich Windschutzscheiben, dient. Dabei wird ein Retroreflektor ver wendet.From US 43 10 242 an arrangement is known, the Er detection of faults in transparent objects, namely Windshields. A retroreflector is used turns.

Eine weitere Anordnung zur dreidimensionalen Formerfassung ist aus der WO 86/05588 bekannt.Another arrangement for three-dimensional shape detection is known from WO 86/05588.

Aus der EP 0 169 444 A2 ist eine Rauheitssonde bekannt.A roughness probe is known from EP 0 169 444 A2.

Aus der DE 37 17 274 A1 ist eine optische Fehlerinspektions vorrichtung bekannt.From DE 37 17 274 A1 there is an optical error inspection device known.

Aus der DE 34 06 066 A1 ist eine Anordnung zur optischen Er fassung räumlicher Unebenheiten in der Struktur eines zu un tersuchenden Objekts bekannt.From DE 34 06 066 A1 an arrangement for optical Er detection of spatial unevenness in the structure of a too un searching object known.

Aus der US 38 92 494 ist eine Vorrichtung zum Nachweis opti scher Mikrodefekte mit einem fokussierten, retroreflektierten Abtaststrahl bekannt.From US 38 92 494 a device for the detection opti sher micro defects with a focused, retroreflected Scanning beam known.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Optikanordnun gen zur dreidimensionalen optischen Formerfassung gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 2 derart weiterzubilden, daß die Vermessung von Oberflächenprofilen und die Bewertung von Oberflächenstrukturen unabhängig von der absoluten Ober flächenneigung möglich wird.The invention has for its object the Optikanordnun conditions for three-dimensional optical shape detection according to The preambles of claims 1 and 2 further develop such that the measurement of surface profiles and the evaluation of Surface structures regardless of the absolute upper surface inclination becomes possible.

Zur Lösung dieser Aufgabe weisen die Optikanordnungen der ein gangs angegebenen Art die im kennzeichnenden Teil des An spruchs 1 bzw. 2 genannten Merkmale auf. In den weiteren An sprüchen sind vorteilhafte Ausführungsformen und Weiter bildungen der Erfindung angegeben.To solve this problem, the optics have a type specified in the characterizing part of the An claim 1 or 2 mentioned features. In the further An sayings are advantageous embodiments and further formations of the invention specified.

Wesentliche Vorteile der erfindungsgemäßen Optikanordnungen mit zwei Objektiven vor dem optischen Empfänger sind die weitgehende Unempfindlichkeit der Messungen und Bewertungen von der absoluten Oberflächenneigung des zu untersuchenden Objekts. Gemäß dem Anspruch 5 besteht die Möglichkeit der op tischen Signalaufbereitung durch geeignete Transmissions funktionen der Blende. Desweiteren sind optische Empfänger mit geringer Bildauflösung einsetzbar, und der Aufwand für die elektronische Bildverarbeitung ist niedrig, da durch die optische Vorverarbeitung einfache Bildmuster auf dem opti schen Empfänger entstehen. Die Optikanordnung erfordert keine allzu kleinen Distanzen zur Oberfläche des zu untersuchenden Objekts und ist daher auch in der industriellen Serienprüfung ohne Gefährdung der Prüfobjekte durch Kollision sinnvoll ein zusetzen.Significant advantages of the optical arrangements according to the invention with two lenses in front of the optical receiver largely insensitivity of measurements and evaluations of the absolute surface inclination of the object to be examined Object. According to claim 5, there is the possibility of op signal processing using suitable transmissions functions of the aperture. Furthermore there are optical receivers can be used with low image resolution, and the effort for the electronic image processing is low because of the optical preprocessing simple image patterns on the opti receivers. The optics arrangement does not require any too small distances to the surface of the object to be examined Object and is therefore also in industrial series testing sensible without endangering the test objects by collision clog.

Anhand der Zeichnungen, in denen zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind, werden im folgenden die Er findung sowie Ausgestaltungen und Vorteile näher erläutert.Using the drawings, in which two exemplary embodiments of the invention are shown below invention as well as configurations and advantages explained in more detail.

Es zeigenShow it

Fig. 1 eine Optikanordnung mit skizziertem Strahlengang für eine ebene Oberfläche, Fig. 1 shows an optical arrangement with a sketched beam path for a flat surface,

Fig. 2 eine Optikanordnung mit eingefügter Blende, Fig. 2 shows an optics assembly with inserted aperture,

Fig. 3 die Optikanordnung mit eingefügter Blende nach Fig. 2 und den Strahlengang für eine wellige Ober fläche, von welcher ein konvex gekrümmter Bereich abgetastet wird, und Fig. 3 shows the optical arrangement with an inserted aperture of FIG. 2 and the beam path for a wavy upper surface, of which a convexly curved area is scanned, and

Fig. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungs gemäßen Optikanordnung. Fig. 4 shows another embodiment of the optical arrangement according to the Invention.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Optikanordnung wird von einer Lichtquelle 2, beispielsweise einem Laser, ein paralle les Lichtstrahlbündel 9 mit kleinem, rundem Querschnitt auf einen Halbspiegel 18 geworfen, der einen Teil des Licht strahlbündels 9 zu einer Lichtfalle 19 durchläßt, die ihn weitgehend absorbiert. Ein weiterer Teil des Lichtstrahl bündels 9 wird von dem Halb spiegel 18 reflektiert und durch eine Feldlinse 10 auf ein Oberflächenelement P0 einer Oberfläche 8 eines zu untersuchen den Objekts 1 geleitet. Die Oberfläche 8 reflektiert den größ ten Teil des auftreffenden Lichtstrahlbündels durch eine Feld linse 11 hindurch zu einem Retroreflektor 7, der das Licht strahlbündel in der gleichen Richtung, jedoch aufgrund seiner nicht idealen Eigenschaften um einen kleinen Winkel aufgefä chert, wieder zurückwirft. Das nun aufgefächerte Strahlenbündel wird durch die Feldlinse 11 gebündelt, trifft aber aufgrund seines größeren Durchmessers in einem Bereich, dessen Rand in der Schnittebene der Fig. 1 zwischen den Oberflächenelementen P1 und P2 liegt, auf die Oberfläche 8. Von dieser wird es reflektiert, durch die Feldlinse 10 fokussiert, es durchdringt teilweise den Halbspiegel 18 und entwirft in der Blendenebene eines Objektivs 12 einer Objektivgruppe 12, 13 ein Abbild der Lichtquelle 2. Durch das Objektiv 12 entsteht, wie durch die Strahlen 4, 5 und 6 des Lichtstrahlbündels angedeutet, in der Blendenebene eines Objektivs 13 ein Abbild des Oberflächen bereichs zwischen den Punkten P1 und P2. Das Objektiv 13 ent wirft wiederum ein Bild der Lichtquelle 2 auf einem optischen Empfänger 3.In the optics arrangement shown in Fig. 1, a parallel light beam 9 with a small, round cross-section is thrown onto a half mirror 18 by a light source 2 , for example a laser, which transmits part of the light beam 9 to a light trap 19 , which it largely absorbed. Another part of the light beam 9 is reflected by the half mirror 18 and passed through a field lens 10 onto a surface element P0 of a surface 8 of an object 1 to be examined. The surface 8 reflects the major part of the incident light beam through a field lens 11 through to a retroreflector 7 , which throws the light beam in the same direction, but fanned out by a small angle due to its non-ideal properties, back again. The now fanned beam is focused by the field lens 11 , but because of its larger diameter it strikes the surface 8 in an area whose edge lies in the sectional plane of FIG. 1 between the surface elements P1 and P2. It is reflected by it, focused by the field lens 10 , it partially penetrates the half mirror 18 and designs an image of the light source 2 in the diaphragm plane of a lens 12 of a lens group 12 , 13 . Through the lens 12 , as indicated by the rays 4 , 5 and 6 of the light beam, an image of the surface area between the points P1 and P2 in the diaphragm plane of a lens 13 . The lens 13 again creates an image of the light source 2 on an optical receiver 3 .

Die beiden Feldlinsen 10, 11 in der Optikanordnung haben die Aufgabe, für eine gleichmäßige Ausleuchtung des zu untersuchen den Objekts 1 und einen konstanten, von der Entfernung der Optikanordnung zum Objekt 1 unabhängigen Abbildungsmaßstab zu sorgen. Desweiteren entwerfen sie ein erstes Bild der Licht quelle 2 auf dem Retroreflektor 7. Lösungsvarianten mit nur einer der beiden Feldlinsen 10, 11, die dann eine entsprechend höhere Brechkraft haben muß, sind ebenfalls realisierbar. Allerdings geht dann der Vorteil eines konstanten Abbildungs maßstabes verloren.The two field lenses 10 , 11 in the optical arrangement have the task of ensuring uniform illumination of the object 1 to be examined and a constant imaging scale that is independent of the distance of the optical arrangement from the object 1 . Furthermore, they design a first image of the light source 2 on the retroreflector 7 . Solution variants with only one of the two field lenses 10 , 11 , which must then have a correspondingly higher refractive power, can also be implemented. However, the advantage of a constant imaging scale is then lost.

Vorteilhaft für die erfindungsgemäße Optikanordnung ist die Aufnahme eines Abbildes der Lichtquelle 2 durch den optischen Empfänger 3, das durch die Oberflächenstruktur in charakteri stischer Weise verändert ist. Das Objektiv 12, dessen Blenden öffnung sich am Ort des zweiten Lichtquellenbildes befindet, hat die Aufgabe, ein Oberflächenbild am Ort der Blendenöffnung des Objektivs 13 zu entwerfen, das ein Abbild der Lichtquelle 2 auf dem optischen Empfänger 3 erzeugen soll. Um die aktive Fläche des optischen Empfängers 3 optimal zu nutzen, muß für das Objektiv 13 ein angepaßter Abbildungsmaßstab gewählt werden. Die Erzeugung eines Abbildes der Oberfläche 8 mit der erfindungsgemäßen Optikanordnung in der Blendenebene des Ob jektivs 13 bietet die Möglichkeit der optischen Signalaufbe reitung durch geeignete Transmissionsfunktionen der Blenden. Aber bereits ohne zusätzlich eingefügte Blende in der Blenden ebene des Objektivs 13 ergibt sich ein annähernd linearer Zu sammenhang zwischen dem Durchmesser des Lichtflecks auf dem optischen Empfänger 3 und der Krümmung der Oberfläche 8 des zu prüfenden Objekts 1. Mit einer Loch- oder Zentralblende in der Blendenebene des Objektivs 12 können Störeinflüsse durch Streu licht unterdrückt werden.The recording of an image of the light source 2 by the optical receiver 3 , which is changed by the surface structure in a characteristic manner, is advantageous for the optical arrangement according to the invention. The objective 12 , the aperture of which is located at the location of the second light source image, has the task of designing a surface image at the location of the aperture of the objective 13 , which is to produce an image of the light source 2 on the optical receiver 3 . In order to optimally use the active area of the optical receiver 3 , an adapted imaging scale must be selected for the objective 13 . The generation of an image of the surface 8 with the optical arrangement according to the invention in the diaphragm plane of the lens 13 offers the possibility of optical signal processing by suitable transmission functions of the diaphragm. But even without an additional aperture inserted in the aperture level of the lens 13 , there is an approximately linear relationship between the diameter of the light spot on the optical receiver 3 and the curvature of the surface 8 of the object 1 to be examined. With a pinhole or central diaphragm in the diaphragm plane of the lens 12 , interferences by stray light can be suppressed.

Fig. 2 zeigt noch einmal das Ausführungsbeispiel der Erfindung nach Fig. 1, jedoch ist in der Blendenebene des Objektivs 13 eine Lochblende 17 angeordnet, die lediglich an der Stelle, auf welche das Oberflächenelement P1 abgebildet wird, geöffnet ist. Das Abbild der Lichtquelle 2 auf dem optischen Empfänger 3 entsteht daher ausschließlich aufgrund des Lichtstrahls 4, der durch diese Öffnung an der Blende 17 tritt. Streulicht, das aufgrund der Bestrahlung des Oberflächenelementes P0 mit dem fadenförmigen Lichtstrahlbündel 9 entsteht, wird durch die so ausgebildete Blende 17 vom optischen Empfänger 3 ferngehalten. FIG. 2 again shows the exemplary embodiment of the invention according to FIG. 1, but a perforated diaphragm 17 is arranged in the diaphragm plane of the objective 13 and is only opened at the point on which the surface element P1 is imaged. The image of the light source 2 on the optical receiver 3 therefore arises exclusively on the basis of the light beam 4 which passes through this opening on the aperture 17 . Scattered light, which arises due to the irradiation of the surface element P0 with the filamentary light beam 9 , is kept away from the optical receiver 3 by the diaphragm 17 thus formed.

Fig. 3 zeigt am Beispiel einer konvexen Krümmung im Ober flächenbereich zwischen den Elementen P1 und P2 das der Optik anordnung zugrundeliegende Meßprinzip. Die Neigungsdifferenz der Oberflächenelemente P0 und P1 äußert sich in einem Versatz des Abbildes der Lichtquelle 2 auf dem optischen Empfänger 3 um den Betrag x. Eine konkave Krümmung der Oberfläche würde ent sprechend zu einem Versatz des Lichtquellenbildes in entgegen gesetzter Richtung führen. Bei nicht zu großer Krümmung der Oberfläche 8 besteht in erster Näherung zwischen der Neigungs differenz und diesem Versatz ein linearer Zusammenhang. Auch Neigungsdifferenzen senkrecht zur dargestellten Ebene verur sachen in entsprechender Weise einen Versatz des Abbildes senkrecht zur optischen Achse. Somit sind Neigungsänderungen in zwei Dimensionen erfaßbar. Fig. 3 shows the example of a convex curvature in the upper surface area between the elements P1 and P2, the measuring principle underlying the optics arrangement. The difference in inclination of the surface elements P0 and P1 manifests itself in an offset of the image of the light source 2 on the optical receiver 3 by the amount x. A concave curvature of the surface would accordingly lead to an offset of the light source image in the opposite direction. If the curvature of the surface 8 is not too great, there is a linear relationship between the inclination difference and this offset. Inclination differences perpendicular to the plane shown cause a corresponding offset of the image perpendicular to the optical axis. Changes in inclination can thus be detected in two dimensions.

Oberflächenprofile lassen sich also mit der erfindungsgemäßen Optikanordnung vermessen. Dabei ist es erforderlich, wie be reits beschrieben, die Oberfläche nur an einem Punkt P0 zu beleuchten und das reflektierte Licht an einem benachbarten Punkt P1 aufzunehmen. Um die Oberfläche abzutasten, können das fadenförmige Lichtstrahlbündel 9 und gleichzeitig auch das abbildende, aufgefächerte Lichtstrahlbündel linienförmig über die Oberfläche 8 geführt werden. Dies ist beispielsweise durch eine entsprechende Drehbewegung des Halbspiegels 18 möglich. Um die zweite Dimension für eine komplette Bildabtastung zu erhalten, ist eine Relativbewegung der Oberfläche, z. B. durch eine Transportbewegung des Prüfobjektes 1 oder eine Bewegung der Optikanordnung mit Hilfe einer Kinematik, senkrecht zur Abtastlinie erforderlich. Die Abtastlinie kann vorteilhaft senkrecht zur dargestellten Bildebene orientiert werden.Surface profiles can therefore be measured with the optical arrangement according to the invention. It is necessary, as already described, to illuminate the surface only at a point P0 and to record the reflected light at an adjacent point P1. In order to scan the surface, the filamentary light beam 9 and at the same time also the imaging, fanned out light beam can be guided linearly over the surface 8 . This is possible, for example, by a corresponding rotary movement of the half mirror 18 . In order to obtain the second dimension for a complete image scan, a relative movement of the surface, e.g. B. required by a transport movement of the test object 1 or a movement of the optical arrangement with the aid of a kinematics, perpendicular to the scanning line. The scanning line can advantageously be oriented perpendicular to the image plane shown.

Bei einem weiteren, nicht dargestellten Ausführungsbeispiel kann anstelle des Halbspiegels 18 ein sehr kleiner, vollreflek tierender Ablenkspiegel eingesetzt werden. Damit wäre die Lichtfalle 19 überflüssig. Dieser Ablenkspiegel muß dann aber so klein sein, daß ihn der vom Oberflächenelement P1 reflek tierte Lichtstrahl 4 passieren kann. Wird auf die Blende 17 verzichtet, so erlaubt dieses Ausführungsbeispiel der Erfindung durch Auswertung des Abbildes der Lichtquelle 2 auf dem opti schen Empfänger 3 auch die Bewertung feinerer Oberflächen strukturen. In diesem Fall werden von einem ringförmigen Ober flächenbereich um den Punkt P0 der Oberfläche 8 reflektierte Lichtstrahlen zum optischen Empfänger 3 durchgelassen. Meh rere unterschiedlich geneigte Oberflächenelemente, die zur Ab bildung beitragen, bewirken eine entsprechende Anzahl gegen einander versetzter Lichtquellenbilder, die sich einander überlagern und im allgemeinen nicht mehr voneinander trennbar sind. In diesem Falle liefert die Helligkeitsverteilung auf dem optischen Empfänger 3 nur noch Mittelwerte der Neigungs differenzen von Oberflächenpunkten. Obwohl sich aus diesen Informationen kein exaktes Oberflächenprofil mehr ableiten läßt, ist es dennoch möglich, daraus Bewertungsgrößen für die Oberflächenstruktur, speziell die Welligkeit, abzuleiten. In einem weiteren Ausführungsbeispiel könnte dazu bei Verwendung des Halbspiegels 18 der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele eine ringförmige Zentralblende in der Blendenebene des Objek tivs 13 angeordnet werden, die beispielsweise für die Licht strahlen 4 und 6 durchlässig ist, den Lichtstrahl 5 jedoch ausfiltert. Ein vergleichbares Ergebnis kann auch erreicht werden, indem man die Oberfläche 8 mit einem linear aufge fächerten Laserstrahl 9 beaufschlagt und in der Blendenebene des Objektivs 13 eine streifenförmige Blende vorsieht, deren Öffnungsschlitz in geringem Abstand parallel zum Abbild des beaufschlagten Oberflächenstreifens verläuft. Dieses Ausfüh rungsbeispiel entspricht ebenfalls der Fig. 3, wenn man sich die Auffächerung des Laserstrahls senkrecht zur Darstellungs ebene vorstellt.In a further exemplary embodiment, not shown, a very small, fully reflecting deflecting mirror can be used instead of the half mirror 18 . This would make the light trap 19 superfluous. This deflecting mirror must then be so small that it can pass the light beam 4 reflected by the surface element P1. If the aperture 17 is dispensed with, this exemplary embodiment of the invention also allows the evaluation of finer surface structures by evaluating the image of the light source 2 on the optical receiver 3 . In this case, light rays reflected from an annular surface area around the point P0 of the surface 8 are transmitted to the optical receiver 3 . A plurality of differently inclined surface elements which contribute to the formation result in a corresponding number of mutually offset light source images which overlap one another and are generally no longer separable. In this case, the brightness distribution on the optical receiver 3 only provides average values of the inclination differences of surface points. Although it is no longer possible to derive an exact surface profile from this information, it is nevertheless possible to derive evaluation variables for the surface structure, especially the waviness. In a further embodiment, this could be arranged using the half mirror 18 of the above-described embodiments, an annular central diaphragm in the diaphragm plane of the lens 13 , the rays for example for the light 4 and 6 is permeable, but the light beam 5 is filtered out. A comparable result can also be achieved by applying a linearly fanned out laser beam 9 to the surface 8 and providing a strip-shaped diaphragm in the diaphragm plane of the objective 13 , the opening slit of which runs parallel to the image of the surface strip acted upon at a short distance. This Ausfüh approximately example also corresponds to FIG. 3, if you imagine the fanning out of the laser beam perpendicular to the display level.

Das in Fig. 4 gezeigte Ausführungsbeispiel ist besonders vor teilhaft für die Bewertung von Oberflächenstrukturen einsetz bar. Mit dem Licht einer Lichtquelle 23, die hier aus einer Punktlichtquelle 14 mit einer nachgeschalteten Kondensor- 15 und Projektionsoptik 16 besteht, wird hier nicht nur der Oberflächenpunkt P0, sondern der gesamte Oberflächenbereich zwischen den Punkten P1 und P2 mit Lichtstrahlen 20, 21 und 22 beleuchtet. Dieser Bereich wird bevorzugt größer gewählt als derjenige, den ein durch den Retroreflektor 7 aufgefächertes Lichtstrahlbündel als Reflexion eines fadenförmigen Licht strahls wie in den vorangegangenen Ausführungsbeispielen ab decken würde. In dieser Optikanordnung besteht die Möglichkeit, durch eine geeignete Rasterblende in der Blendenebene der Kon densoroptik 15 ein Raster auf die Oberfläche 8 zu projizieren und eine hierzu passende komplementäre Rasterblende in die Blendenebene des Objektivs 13 einzuführen. Beispiele hierfür wären ein projiziertes Punktraster auf der Oberfläche 8 in Kombination mit einer Rasterblende mit Ringöffnungen in der Blendenebene des Objektivs 13, wobei die Ringöffnungen die Bildpunkte umgeben, oder ein projiziertes Streifenraster und ein dazu parallel versetztes Streifenraster in der Blendenebene des Objektivs 13. The embodiment shown in Fig. 4 is particularly before bar ge used for the evaluation of surface structures. With the light from a light source 23 , which here consists of a point light source 14 with a downstream condenser 15 and projection optics 16 , not only the surface point P0, but the entire surface area between the points P1 and P2 is illuminated with light beams 20 , 21 and 22 . This range is preferably chosen to be larger than that which a light beam fanned out by the retroreflector 7 would cover as a reflection of a thread-like light beam as in the previous exemplary embodiments. In this optics arrangement, there is the possibility of projecting a grid onto the surface 8 through a suitable grid diaphragm in the diaphragm plane of the condenser optics 15 and introducing a matching complementary grid diaphragm into the diaphragm plane of the lens 13 . Examples of this would be a projected grid of points on the surface 8 in combination with a grid diaphragm with ring openings in the plane of the diaphragm of the lens 13 , the ring openings surrounding the image points, or a projected strip grid and a strip grid parallel to it in the plane of the diaphragm of the lens 13 .

Die Erfindung ist ebenso bei der Untersuchung der Beschaf fenheit transparenter Objekte anwendbar. Hierzu müssen nur der Retroreflektor 7 und eventuell auch die Feldlinse 11 auf der gegenüberliegenden Seite angeordnet werden. Der Strahlengang verläuft dann von der Lichtquelle 23 durch das zu unter suchende, transparente Objekt zum Retroreflektor 7, von dort wieder zu dem zu untersuchenden, transparenten Objekt und dem optischen Empfänger 3.The invention is also applicable to the investigation of the condition of transparent objects. For this purpose, only the retroreflector 7 and possibly also the field lens 11 have to be arranged on the opposite side. The beam path then runs from the light source 23 through the transparent object to be examined to the retroreflector 7 , from there again to the transparent object to be examined and the optical receiver 3 .

Claims

1. Arrangement for three-dimensional optical shape detection of the surface structure of a specimen to be examined reflect the object ( 1 ),

with a light source ( 2 ) which illuminates the object ( 1 ) at a predetermined angle,
with an optical receiver ( 3 ) with a downstream electronic evaluation device with which the light beams ( 4 , 5 , 6 ) of the light source ( 2 ) influenced by the object ( 1 ) can be detected and evaluated,
with at least one first lens ( 12 ), in the diaphragm plane of which an image of the light source ( 2 ) is designed, in front of the optical receiver ( 3 ),
- having disposed in the beam path between the object (1) and optical receiver schem (3) retroreflector (7), to be reflected back coming from the object (1) light onto the object (1), and
with at least one field lens ( 10 , 11 ) arranged in the beam path of the light beams ( 4 , 5 , 6 , 9 ) before or after the reflecting surface ( 8 ) of the object ( 1 ),

dadurch gekennzeichnet,characterized,

- That in front of the optical receiver ( 3 ) there is a second lens ( 13 ), in the aperture plane of which an image of the surface ( 8 ) is designed and which on the optical receiver ( 3 ) generates an image of the light source ( 2 ).

2. Arrangement for three-dimensional optical detection of the nature of a transparent object to be examined ( 1 ),

with a light source ( 2 ) which illuminates the object ( 1 ) at a predetermined angle,
with an optical receiver ( 3 ) with a downstream electronic evaluation device with which the light beams ( 4 , 5 , 6 ) of the light source ( 2 ) influenced by the object ( 1 ) can be detected and evaluated,
- With at least one first lens ( 12 ), in the diaphragm plane of which an image of the light source ( 2 ) is designed, in front of the optical receiver ( 3 )
- having disposed in the beam path between the object (1) and optical receiver schem (3) retroreflector (7), to be reflected back coming from the object (1) light onto the object (1), and
- With at least one field lens ( 10 , 11 ) arranged in the beam path of the light beams ( 4 , 5 , 6 , 9 ) before or after the transparent object ( 1 ),

characterized,

- That in front of the optical receiver ( 3 ) there is a second lens ( 13 ), in the diaphragm plane of which an image of the object ( 1 ) is designed and which on the optical receiver ( 3 ) generates an image of the light source ( 2 ).

3. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that

- That the light source ( 2 ) is a laser that emits a parallel light beam ( 9 ) with a small, round cross-section.

4. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that

- That the light source ( 2 ) is a point light source ( 14 ) with egg ner downstream condenser ( 15 ) and projection optics ( 16 ).

5. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that

- That an aperture ( 17 ) in the aperture plane of the second lens ( 13 ) is designed such that it reflects the reflected light ( 5 ) from the light source ( 2 ) directly illuminated surface areas (P0) of the object ( 1 ) filters.

6. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that

- That the light source ( 2 ) has a beam deflecting device, such that the light beam ( 9 , 20 , 21 , 22 ) scans the surface ( 8 ) of the object ( 1 ) linearly.