DE3910526A1 - Monolithisch integrierte transistoranordnung zum klammern stoerspannungsbelasteter spannungen - Google Patents
Monolithisch integrierte transistoranordnung zum klammern stoerspannungsbelasteter spannungenInfo
- Publication number
- DE3910526A1 DE3910526A1 DE3910526A DE3910526A DE3910526A1 DE 3910526 A1 DE3910526 A1 DE 3910526A1 DE 3910526 A DE3910526 A DE 3910526A DE 3910526 A DE3910526 A DE 3910526A DE 3910526 A1 DE3910526 A1 DE 3910526A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- doped
- diffusion
- voltage
- transistor
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 23
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 claims description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D10/00—Bipolar junction transistors [BJT]
- H10D10/40—Vertical BJTs
- H10D10/421—Vertical BJTs having both emitter-base and base-collector junctions ending at the same surface of the body
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D62/00—Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers
- H10D62/10—Shapes, relative sizes or dispositions of the regions of the semiconductor bodies; Shapes of the semiconductor bodies
- H10D62/17—Semiconductor regions connected to electrodes not carrying current to be rectified, amplified or switched, e.g. channel regions
- H10D62/177—Base regions of bipolar transistors, e.g. BJTs or IGBTs
Landscapes
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine monolithisch integrierte
Transistoranordnung zum Klammern störspannungsbelaste
ter Spannungen gemäß der Gattung des Hauptanspruchs.
Werden derartige Halbleiterschaltungen in Netzen be
trieben, die große Störamplituden aufweisen, wie dies
in einem Kraftfahrzeug-Bordnetz der Fall ist, so müssen
an Ein- und Ausgängen Vorkehrungen getroffen werden, um
die Störspannungen abzufangen. Die Störspannungen tre
ten insbesondere beim Schalten induktiver oder kapazi
tiver Lasten auf.
Halbleiteranordnungen mit p-dotiertem Substrat besitzen
n-dotierte Wannen, die mit störspannungsbelasteten Ein-
oder Ausgängen verbunden sind, so daß durch negative
Spannungen die n-dotierten Wannen zu Emittern von para
sitären NPN-Transistoren werden. Deren Basis wird vom
Substrat und einer Isolationsdiffusion und deren Kol
lektoren von weiteren n-dotierten Wannen innerhalb der
integrierten Schaltung gebildet. Insbesondere Elemente,
die in n-dotierten Wannen untergebracht sind, die den
als Emitter dienenden Wannen unmittelbar benachbart
sind, werden dadurch in ihrer Funktion stark gestört.
Negative Spannungen an einer Ein- oder Ausgangsklemme
der integrierten Schaltung können daher zu Funktions
störungen und in deren Folge auch zur Zerstörung der
integrierten Schaltung führen. Die aus diesem Grunde
verwendeten Klemm- oder Abfangschaltungen haben die
Aufgabe, negative Störspannungen an Ein- oder Ausgängen
der integrierten Schaltung niederohmig zu klammern, so
daß die Aussteuerung der beschriebenen parasitären NPN-
Transistoren unterbleibt.
Die Transistorschaltung mit den Merkmalen des Hauptan
spruchs hat den Vorteil, daß ein NPN-Transistor mit ho
her Basis-Emitter-Durchbruchspannung als Spannungsfol
ger anstelle von Transistoren mit niedriger Durchbruch
spannung und zusätzlichen flächenintensiven Dioden zum
Schutz des NPN-Transistors gegen Spannungen <7 V Verwen
dung findet. Die Emitter-Basis-Durchbruchspannung des
erfindungsgemäßen Transistors liegt etwa bei 40 Volt,
wodurch dieser Transistor ohne weiteres den in einem
Kraftfahrzeug-Bordnetz auftretenden Störspannungen
standhält.
Wird die n⁺-dotierte Kollektor-Anschlußdiffusion nach
unten bis zur Leitschicht geführt, so erhält man eine
Reduzierung des Kollektor-Bahnwiderstandes, die es
erlaubt, den Transistor auch bei höheren Strömen zu be
treiben.
Die erfindungsgemäße Halbleiteranordnung kann als Klam
merschaltung derart Verwendung finden, daß am Emitter
die mit Störspannungen belastete Ausgangsklemme über
einem eventuell mitintegrierten Widerstand angeschlos
sen ist, wobei die Basis mit einer Hilfsspannung und
der Kollektor mit einer Versorgungsspannung beauf
schlagt sind.
Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung findet insbe
sondere Anwendung in Bordnetzen von Kraftfahrzeugen, da
dort durch kapazitive und induktive Verbraucher an Ein-
und Ausgangsklemmen häufig Störspannungen auftreten,
die durch erfindungsgemäße Halbleiteranordnungen abge
fangen werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung na
her erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine bekannte Klammerschaltung,
Fig. 2 eine bekannte Klammerschaltung mit Elementen
zur Erzeugung einer Hilfsspannung,
Fig. 3 eine bekannte Klammerschaltung mit spannungsfe
sten zusätzlichen Dioden zum Schutz gegen positive
Störspannungen und
Fig. 4 die erfindungsgemäße Halbleiteranordnung zur
Realisierung einer weitgehend störspannungsfesten
Klammerschaltung.
Fig. 1 zeigt eine gebräuchliche Klammerschaltung zum
Schutz gegen negative Störspannungen, die aus einem
NPN-Transistor T 1 besteht, an dessen Basis B eine
Hilfsspannung UH anliegt. Der Emitter E des Transistors
T 1 liegt an einer Klemme K, an der die Klemmenspannung
UK auftritt. Diese Klemmenspannung wird mit Störspan
nungen beaufschlagt, die hier als Störspannungsquelle
US mit Innenwiderstand RI dargestellt sind. Da die
Emitter-Basis-Durchbruchspannung bei herkömmlichen mo
nolithisch integrierten Transistoranordnungen etwa 7
bis 8 Volt beträgt, können positive Störspannungen US
die größer als 8 Volt sind zu Zerstörungen im Bereich
des Transistors T 1 führen. Die Klammerung für negative
Spannungen wird dann unwirksam, so daß die Störspannung
gen ungehindert in einer mit der Klemme K verbundenen
Schaltung S wirksam werden. Die Schaltung S ist bei
spielsweise die elektronische Steuerung eines Kraft
fahrzeugs, welche ebenfalls in monolithisch integrier
ter Technik ausgeführt ist.
Solange die Klammerschaltung gemäß Fig. 1 wirksam ist,
hält der als Emitterfolger ausgebildete Transistor T 1
das Potential an der Klemme K auf der Spannung UK = UH
- UD, wobei UD die Flußspannung der Basis-Emitter-Diode
von T 1 ist. Die Potentialdifferenz zwischen UK und US
wird durch den Spannungsabfall an RI ausgeglichen. Der
Strom durch den Widerstand RI wird über den Transistor
T 1 aus der Betriebsspannung UB als Kollektorstrom IK
entnommen. Durch geeignete Wahl der Hilfsspannung UH
kann erzielt werden, daß die Klemmenspannung UK keine
oder nur geringe negative Werte annehmen kann.
In Fig. 2 ist eine Möglichkeit zur Erzeugung der
Hilfsspannung UH angegeben. UH ergibt sich aus der
Flußspannung der Basis-Emitter-Diode eines weiteren
Transistors T 2, dessen Basis mit der Basis B des Tran
sistors T 1 verbunden ist. Der Emitter des Transistors
T 2 liegt auf Masse, während sein Kollektor mit der Ba
sis kurzgeschlossen ist. Am Kollektor des Transistors
T 2 wird mittels einer Spannungsquelle Q ein Strom IQ
eingeprägt. Die Hilfsspannung UH und die Durchflußspan
nung UD besitzen näherungsweise gleiches Temperaturver
halten, so daß die Klemmenspannung UK nahezu tempera
turunabhängig und ungefähr gleich Null wird.
Es sind auch Schaltungen bekannt, die zusätzlich den
Steuerstrom IQ in Abhängigkeit von IK nachführen und so
die Klemmenspannung UK auch nahezu lastunabhängig ma
chen.
Nachteil der Schaltungen aus Fig. 1 und Fig. 2 ist
es, daß positive Störspannungen einen Wert von UH +
UEB0 nicht überschreiten dürfen, wobei UEB0 die Durch
bruchspannung der Basis-Emitter-Diode des Transistors
T 1 ist. Diese Spannung liegt bei den meisten Bipolar
prozessen bei etwa 7 bis 8 Volt. Um die Abfangschaltung
gegen höhere positive Störspannungen zu schützen, wer
den bei bekannten Anordnungen zusätzliche spannungsfe
ste Dioden eingefügt, wie Sie z.B. in Fig. 3 als Tran
sistoren T 3 und T 4 dargestellt sind. Diese als Dioden
geschalteten Transistoren T 3, T 4 werden aus Lateral
transistoren gebildet, die sehr flächenintensiv sind
und damit die gesamte integrierte Schaltungsanordnung
beträchtlich verteuern.
Bei der erfindungsgemäßen Halbleiteranordnung, wie sie
in Fig. 4 dargestellt ist, wird anstelle der Dioden
gemäß Fig. 3 ein Transistor mit hoher Emitter-Basis-
Durchbruchspannung realisiert. Es kann somit eine
Schaltungsanordnung realisiert werden, wie sie in Fig.
1 dargestellt ist, jedoch mit dem wesentlichen Unter
schied, daß die Durchbruchspannung der Basis-Emitter-
Diode des Transistors T 1 bei der erfindungsgemäßen
Halbleiteranordnung den auftretenden Störspannungen oh
ne zusätzliche Schutzmaßnahmen standhält.
Die in Fig. 4 dargestellte Halbleiteranordnung besitzt
ein p-dotiertes Substrat 1 und eine n-dotierte Epi
taxie, die als n-dotierte Insel oder Wanne bezeichnet
werden kann. Die Insel 2 wird durch jeweils eine obere
und eine untere seitliche Isolationsdiffusion 3, 4
begrenzt. Die Isolatonsdiffusionen 3, 4 sind p-dotiert.
In der Insel 2 ist ein NPN-Transistor ausgebildet, der
als Transistor T 1 gemäß Fig. 1 verwendbar ist. Sein
Kollektoranschluß C steht mit einer Kollektor-An
schlußdiffusion 5 in Verbindung, die n-dotiert ist. Der
Kollektor wird von einer n⁺-dotierten Leitschicht 6
gebildet, die auch als Burried Layer bezeichnet wird.
Die Kollektor-Anschlußdiffusion 5 kann auch wie mit un
terbrochener Linie dargestellt bis zur Leitschicht 6
geführt sein.
Im Innern des Transistors ist oberhalb der Leitschicht 6
eine untere Isolation 7 ausgebildet, die p-dotiert ist
und in Verbindung mit einer Anschlußdiffusion 8 und ei
ner oberen Isolationsdiffusion 9 die Basis B des Tran
sistors bildet. Den Emitter bilden eine von der Basis-
Anschlußdiffusion 8, 9 umschlossene inliegende Epitaxie
10 und das im wesentlichen n⁺-dotierte Gebiet der
Emitter-Anschlußdiffusion 11.
Der Transistor mit Basis B, Emitter E und Kollektor C
läßt sich in einer Gattung gemäß Fig. 1 als Transistor
T 1 verwenden und besitzt eine Durchbruchspannung am
Basis-Emitter-Ubergang in Höhe von etwa 40 Volt. Die
Basis B kann bei Verwendung in einer Klammerschaltung
wie in Fig. 1 mit einer Hilfsspannung beaufschlagt
sein. Es kann ein zusätzlicher, integrierter Emitterwi
derstand vorgesehen sein, über den der Emitter E an die
Klemme K angeschlossen wird. Weiterhin besteht auch die
Möglichkeit, die Hilfsspannung UH durch eine integrier
te Diodenanordnung, wie sie in Fig. 2 dargestellt ist,
zu realisieren.
Der Aussteuerstrom (Basisstrom) kann in geeigneter Wei
se in Abhängigkeit vom Kollektorstrom des Transistors
beeinflußt werden.
Dazu wird der Kollektorstrom oder ein Teil des Kollek
torstroms einem Stromspiegel zugeführt. Der mit dem
Kollektorstrom ansteigende Ausgangsstrom des Stromspie
gels wird dann für die Ansteuerung des Transistors T 1
verwendet.
Claims (5)
1. Monolithisch integrierte Transistoranordnung zum
Klammern störspannungsbelasteter Spannungen, mit p-
dotiertem Substrat und einer oberhalb des Substrats
ausgebildeten, durch p-dotierte obere und untere seit
liche Isolationdiffusion begrenzten n-dotierten
Epitaxie, die eine untere p-dotierte Isolationsdiffusi
on besitzt, die durch eine n-dotierte Leitschicht vom
Substrat getrennt ist und über die obere p-dotierte
Isolationsdiffusion mit einer p-dotierten oberen ersten
Anschlußdiffusion in Verbindung steht und in der eine
zweite n⁺-dotierte Anschlußdiffusion vorgesehen ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Anschlußdiffusion
(8) in Verbindung mit der oberen und unteren p-
dotierten Isolationsdiffusion (9) die Basis (B) eines
NPN-Transistors (T 1) bildet, dessen Kollektor (C) von
der Leitschicht und einer zugehörigen n⁺-dotierten
Kollektor-Anschlußdiffusion (5) gebildet wird, und daß
die n⁺-dotierte zweite Anschlußdiffusion (11) die von
der Basis-Anschlußdiffusion (8) und oberer und unterer
Isolationsdiffusion (7, 9) vollständig umschlossene
Emitterdiffusion darstellt.
2. Transistoranordnung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die n⁺-dotierte Kollektor-Anschluß
diffusion (5) in der Epitaxie (2) nach unten bis zur
Leitschicht (6) ausgebildet ist.
3. Transistoranordnung nach einem der Ansprüche 1 oder
2, dadurch gekennzeichnet, daß an der Basis (B) eine
Hilfsspannung (UH), am Emitter (E) eine Klemmenspannung
(UK) und am Kollektor (C) die Versorgungsspannung (UB)
anliegt.
4. Transistoranordnung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß am Emitter (E) über einen Widerstand (RI)
eine Störspannungsquelle (US) anliegt.
5. Verwendung der monolithisch integrierten Transistor
anordnung mit den Merkmalen eines der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Transistor
anordnung für den Einsatz in elektrischen Einrich
tungen, in denen hohe Storspannungen auftreten, insbe
sondere im Bordnetz eines Kraftfahrzeugs, als störspan
nungsfester Transistor (T 1) vorgesehen ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3910526A DE3910526C2 (de) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | Monolithisch integrierte Transistoranordnung zum Klammern störspannungsbelasteter Spannungen, insb. geeignet für Bordnetze bei Kraftfahrzeugen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3910526A DE3910526C2 (de) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | Monolithisch integrierte Transistoranordnung zum Klammern störspannungsbelasteter Spannungen, insb. geeignet für Bordnetze bei Kraftfahrzeugen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3910526A1 true DE3910526A1 (de) | 1990-10-04 |
DE3910526C2 DE3910526C2 (de) | 1997-07-10 |
Family
ID=6377585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3910526A Expired - Fee Related DE3910526C2 (de) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | Monolithisch integrierte Transistoranordnung zum Klammern störspannungsbelasteter Spannungen, insb. geeignet für Bordnetze bei Kraftfahrzeugen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3910526C2 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0482241A1 (de) * | 1990-10-25 | 1992-04-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Integrierte bipolare Transistoranordnung |
EP0509363A2 (de) * | 1991-04-16 | 1992-10-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Freilauf-Transistoranordnung und deren Verwendung |
US5430366A (en) * | 1992-05-14 | 1995-07-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Active free-running element |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3616394A1 (de) * | 1985-05-30 | 1986-12-04 | Sgs Microelettronica S.P.A., Catania | Schutzelement gegen elektrostatische entladungen, insbesondere fuer bipolare integrierte schaltungen |
-
1989
- 1989-04-01 DE DE3910526A patent/DE3910526C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3616394A1 (de) * | 1985-05-30 | 1986-12-04 | Sgs Microelettronica S.P.A., Catania | Schutzelement gegen elektrostatische entladungen, insbesondere fuer bipolare integrierte schaltungen |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0482241A1 (de) * | 1990-10-25 | 1992-04-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Integrierte bipolare Transistoranordnung |
EP0509363A2 (de) * | 1991-04-16 | 1992-10-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Freilauf-Transistoranordnung und deren Verwendung |
EP0509363A3 (en) * | 1991-04-16 | 1994-07-27 | Siemens Ag | Free-wheel transistor device and use thereof |
US5430366A (en) * | 1992-05-14 | 1995-07-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Active free-running element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3910526C2 (de) | 1997-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1019964B1 (de) | Integrierte halbleiterschaltung mit schutzstruktur zum schutz vor elektrostatischer entladung | |
DE4200884A1 (de) | Integrierte halbleiterschaltungsvorrichtung | |
DE2407291A1 (de) | Integrierte halbleiterschaltung | |
DE1613860B2 (de) | Ueberspannungsschutzvorrichtung fuer an eine leitung angeschlossene zu ueberwachende schaltungsanordnung | |
DE2514466A1 (de) | Integrierte halbleiteranordnung | |
DE68911809T2 (de) | Integrierbare, aktive Diode. | |
DE2951421A1 (de) | Integrierte halbleiterschaltung | |
DE69121615T2 (de) | Schaltungsanordnung zur Verhinderung des Latch-up-Phänomens in vertikalen PNP-Transistoren mit isoliertem Kollektor | |
DE3400973A1 (de) | Monolithisch integrierte gleichrichterbrueckenschaltung | |
DE3422132C1 (de) | Schutzschaltungsanordnung | |
DE3616394A1 (de) | Schutzelement gegen elektrostatische entladungen, insbesondere fuer bipolare integrierte schaltungen | |
EP0174473B1 (de) | Monolitisch integrierte Leistungsendstufe | |
DE2635218A1 (de) | Anordnung zum schutz eines transistors | |
EP0494420A1 (de) | Stromsenke | |
DE10314601A1 (de) | Halbleiterschaltung mit einer Schutzschaltung | |
DE2852200C2 (de) | ||
DE3910526C2 (de) | Monolithisch integrierte Transistoranordnung zum Klammern störspannungsbelasteter Spannungen, insb. geeignet für Bordnetze bei Kraftfahrzeugen | |
DE10053374C2 (de) | Bipolarer Komparator | |
DE3507181A1 (de) | Schaltungsanordnung zur vermeidung parasitaerer substrat-effekte in integrierten schaltkreisen | |
DE68911904T2 (de) | Integrierte halbleiterschaltung mit umpolschutz. | |
DE69030977T2 (de) | Pufferschaltung mit einem elektrostatischen Schutz | |
DE4131170A1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung von zwischenspannungen | |
DE2357332A1 (de) | Integrierte schaltung | |
EP0562354A2 (de) | Integrierte Schaltungsanordnung | |
EP0379199B1 (de) | ESD-Schutzstruktur |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: H01L 23/60 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |