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DE3881070T2 - Aktive Flüssigkristall-Anzeigeeinrichtung in Matrixanordnung. - Google Patents

Aktive Flüssigkristall-Anzeigeeinrichtung in Matrixanordnung.

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DE3881070T2
DE3881070T2 DE88100306T DE3881070T DE3881070T2 DE 3881070 T2 DE3881070 T2 DE 3881070T2 DE 88100306 T DE88100306 T DE 88100306T DE 3881070 T DE3881070 T DE 3881070T DE 3881070 T2 DE3881070 T2 DE 3881070T2
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Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine aktive Matrix-Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung, die zusammengesetzt ist aus einem aktiven Matrix-Flüssigkristallelement, in dem Bildelementelektroden in Matrixform in einer Flüssigkristallzelle angeordnet sind und die Bildelementelektroden durch Dünnfilmtransistoren mit elektrischen Ladungen geladen und entladen werden um eine Anzeige zu schaffen, und einem Treiber, um das Flüssigkristall- Anzeigeelement anzusteuern.
  • Ein konventionelles Flüssigkristall-Anzeigeelement dieser Art hat eine solche Struktur, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, in der ein Paar transparenter Substrate 11 und 12, z.B. aus Glas, gegenüber, aber benachbart angeordnet ist, mit einem Abstandhalter 13 zwischengesetzt zwischen die Ränder und ein Flüssigkristall ist versiegelt zwischen den transparenten Substraten 11 und 12, eine Flüssigkristallzelle 10 bildend. Auf der inneren Oberfläche des transparenten Substrates 11 ist eine Vielzahl von Bildelementelektroden 15 vorgesehen und ein Dünnfilmtransistor 16 ist als Schaltelement benachbart zu jeder Bildelementelektrode 15 angeordnet, wobei der Dünnfilmtransistor mit seiner Drain an die Bildelementelektrode 15 angeschlossen ist. Auf der inneren Oberfläche des anderen transparenten Substrates 12 ist in gegenüberliegender Beziehung zu der Vielzahl von Bildelementelektroden 15 eine transparente gemeinsame Elektrode 17 angeordnet.
  • Wie in Fig. 2 gezeigt sind die quadratischen Bildelementelektroden in einer Matrixform auf dem transparenten Substrat 11 angeordnet; ein Gate-Bus 18 ist benachbart und entlang einer jeden Zeilenanordnung von Bildelementelektroden angeordnet; und ähnlich ist ein Source-Bus 19 benachbart und entlang einer jeden Spaltenanordnung der Bildelementelektroden 15 angeordnet. An jeder Kreuzung dieser Gate- und Source Busse 18 und 19 ist der Dünnfilmtransistor 16 vorgesehen, dessen Gate an den Gate Bus 18 angeschlossen ist , dessen Source angeschlossen ist an den Source Bus 19 und dessen Drain mit der entsprechneden Bildelementelektrode 15 verbunden ist.
  • Beim Anlegen von Spannung über ausgewählte Gate und Source Busse 18 und 19 wird nur derjenige der Dünnfilmtransistoren 16, an dem die Spannung angelegt ist, leitend, wobei die Bildelementelektrode 15, die mit Drain des leitenden Dünnfilmtransistors 16 verbunden ist, aufgeladen wird. Als eine Folge wird eine Spannung über dem Flüssigkristall 14 nur zwischen der geladenen Bildelementelektrode 15 und der gemeinsamen Elektrode 17 angeiegt, wodurch nur dieser Teil des Flüssigkristalls lichtdurchlässig oder undurchlässig wird, somit eine selektive Anzeige liefernd. Die Anzeige kann einfach gelöscht werden durch Entladen der gespeicherten Ladungen von der leitenden Bildelementelektrode 15.
  • Für eine solche selektive Steuerung der Dünnfilmtransistoren 16 ist eine Vielzahl der Ausgänge eines Gate Treibers 21, der die Gate Busse 18 einzeln ansteuern kann, mit ihm verbunden und die Ausgänge eines Source Treibers 22 sind jeweils mit den Source Bussen 19 verbunden.
  • Ein Source Treiber vom Ein-Latch Typ, der typischerweise als Source Treiber 22 verwendet wird, ist einfach strukturiert, aber falls das Produkt des Wertes der Source Eingangskapazität und dem Wert des Widerstandes zwischen benachbarten Source Bussen klein ist, wird Nebensprechen zwischen Source Bussen 19 erzeugt werden, was zu einer Verschlechterung der Anzeigecharakteristik fiihrt, wie zum Beispiel einer Verringerung des Kontrastes einer Anzeige.
  • Die US-A-4 581 619 beschreibt eine Flüssigkristall-Vorrichtung, die eine erste Elektrode, die mit einem Terminal eines TFT verbunden ist, eine zweite Elektrode, die eine gemeinsame Elektrode bildet und einen dazwischenangeordneten Flüssigkristall autweist. Auf der ersten Elektrode ist des weiteren ein durch einen Isolierfilm von ihr getrennter Leiterfilm vorgesehen, wodurch eine Ladungsspeicherkapazität gebildet wird. Aufgrund der Ladungsspeicherkapazität wird eine über dem Flüssigkristall angelegte effektive Spannung auf hohem Niveau gehalten, wodurch ein optisches Signal mit gutem Kontrast an das bildtragende Teil gegeben wird.
  • In dieser Vorrichtung ist eine Kapazität zwischen der Bildelementelektrode und dem gegenüberliegenden Leiterfilm vorgesehen.
  • Die EP-A-0 181 598 beschreibt eine aktive Matrixtyp-Anzeigevorrichtung, die Dünnfilmtransistoren als Schaltelemente aufweist, die in der Form eines Matrix-Arrays auf einem Substrat, wie zum Beispiel einer Glasplatte, angeordnet sind und benutzt werden, einen Flüssigkristall an entsprechenden Bildelementen direkt anzusteuern. Kapazitäten sind vorgesehen, die zwischen den Source-Leitungen zu den TFT's und Masse angeschlossen sind, um das Signal, das an die jeweilige Source Bahn angelegt wurde, zu halten. Die Kapazitäten sind in einem separaten Source-Treiber-Schaltkreis entfernt von der Anzeigetafel versehen.
  • Zusammenfassung der Erfindung:
  • Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung zu schaffen, die frei ist von dem oben erwähnten Nachteil des Standes der Technik.
  • Die Aufgabe der Erfindung wird durch eine aktive Matrix Flüssigkristallanzeige Vorrichtung gelöst, wie sie im Patentanspruch 1 definiert ist.
  • Wie oben erwähnt, wird gemäss der vorliegenden Erfindung die gewünschte elektrostatische Kapazität durch Vorsehen der kapazitiven Elektroden in gegenüberliegender Beziehung zu den Source Bussen in der Flüssigkristallzelle gebildet und die Source Eingangskapazität wird demzufolge groß. Demzufolge wird das Produkt aus dem Wert der Source Eingangskapazität und dem Wert des Widerstandes zwischen benachbarten Source Bussen ebenfalls groß, wobei Nebensprechen erschwert wird, das zwischen den Source Bussen erzeugt wird. Da zusätzlich die die Source Eingangskapazität vergrössernden kapazitiven Elektroden den Source Bussen gegenüberliegend angeordnet sind, können sogar relativ grosse Kapazitätswerte einfach erzeugt werden, ohne die besondere Notwendigkeit, die Fläche der Flüssigkristallzelle zu vergrößern.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen:
  • Fig. 1 ist ein Schnittbild, das eine Teil einer Flüssigkristallzelle des Standes der Technik zeigt; Fig. 2 ist ein entsprechndes Schaltbild der Flüssigkristallanzeige-Vorrichtung des Standes der Technik;
  • Fig. 3A ist eine Draufsicht, die gemäß der vorliegenden Erfindung die in die Vorrichtung eingesetzten kapazitiven Elektroden 31 zeigt;
  • Fig. 3B ist ein Schnittbild von Fig. 3A;
  • Fig. 4 ist ein Schnittbild, das eine Isolierschicht 33 zeigt, die über der kapazitiven Elektrode 31 gebildet ist;
  • Fig. 5A ist eine Draufsicht, die die Source Busse 19 zeigt, die auf der Isolierschicht 33 gebildet sind;
  • Fig. 5B zeigt ein Schnittbild von Fig.5A;
  • Fig. 6 ist ein entsprechendes Schaltbild des Hauptteiles der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung; und
  • Fig. 7A bis Fig. 7C sind schematische Diagramme, die ein weiteres Beispiel des wesentlichen Teils der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei Fig. 7A dessen Draufsicht, Fig. 7B die Seitennsicht von rechts und Fig. 7C dessen Schnittbild ist.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
  • Figs. 3A, 3B bis 5A, 5B zeigen eine Abfolge von Schritten, die in die Herstellung des Hauptstückes eines Beispiels einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung einbezogen sind. In den Fig. 3A und Fig. 3B ist das transparente Substrat 11 dasjenige der Substrate der Flüssigkristallzelle 10, das in Fig. 1 dargestellt ist. Das transparente Substrat 11 trägt die Bildelementelektroden 15, die Dünnfilmtransistoren 16, die Gate Busse 18 und die Source Busse 19, obwohl nicht dargestellt.
  • In diesem Ausführungsbeispiel werden solche kapazitiven Elektroden 31, wie sie in Fig. 3A und Fig. 3B gezeigt sind, auf dem Substrat 11 jeweils gebildet in gegenüberliegender Beziehung zu einem Endteiles jedes Source Busses 19 (zum Beispiel auf der einen Seite eines Verbindungsanschlusses). Die kapazitiven Elektroden 31 sind mit einem gemeinsamen Potentialpunkt über eine gemeinsame Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32 verbunden, die in Richtung der Anordnung der kapazitiven Elektroden 31 verläuft, um sie miteinander zu verbinden. Die gemeinsame Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32 wird gleichzeitig mit der Bildung der kapazitiven Elektroden 31 gebildet.
  • Wie in Fig. 4 gezeigt, wird eine SiO&sub2;, SiNx oder ähnliche Isolierschicht 33 auf der gesamten Oberfläche des Substrates 11 aufgebracht und bedeckt die kapazitiven Elektroden 31 und die gemeinsame Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32. Als nächstes werden die Source Busse 19 auf der Isolierschicht 33 in gegenüberliegender Beziehung zu den kapazitiven Elektroden 31 gebildet, beziehungsweise, wie in Fig. 5A und Fig. 5B dargestellt. Gewöhnlich werden die Bildelementelektroden 15, die Dünnfilmtransistor 16 und die Gate Busse 18 in dieser Reihenfolge auf der Isolierschicht 33 gebildet, obwohl nicht dargestellt.
  • So ist eine elektrostatische Kapazität zwischen jeder kapazitiven Elektrode 31 und dem korrespondierenden Source Bus 19 vorgesehen; und die elektrostatische Kapazität ist über die gemeinsame Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32 mit dem gemeinsamen Potentialpunkt- Verbunden; und zwar so, daß die elektrostatische Kapazität jedes Source Busses entsprechend zunimmt. Mit anderen Worten ist, wie in Fig. 6 dargestellt, ein elektrostatisches kapazitives Element 34 zwischen dem gemeinsamen Potentialpunkt und jeder Verbindungsieitung verbunden, die die Flüssigkristallzelle 10 und den Source Treiber 22 verbindet; und das elektrostatische kapazitive Element 34 wird durch den Source Bus 19 und die kapazitive Elektrode 31 in der Flüssigkristallzelle 10 gebildet.
  • Im Falle, in dem der Dünnfilmtransistor 16 eine Halbleiterschicht enthält, die aus Material gebildet ist, das eine fotoleitende Charakteristik hat, wie zum Beispiel amorphes Silizium, wird die Halbleiterschicht vor externem Licht geschützt durch Ablagern einer lichtabschirmenden Schicht, aus Chrom oder ähnlichem Metall, auf dem Substrat 11; und dann werden in aufeinanderfolgender Reihenfolge eine Isolierschicht, die Bildelementelektroden, die Dünnfilmtransistoren, etc gebildet. Die lichtabweisende Schicht und die kapazitiven Elektroden 31 können gleichzeitig gebildet werden. Durch gleichzeitiges Bilden der Isolierschicht 33 mit der Schaffting der Isolierschicht für die lichtabschirmende Schicht verlangt die Herstellung der die Source-Eingangskapazität vergrößernden Struktur hierfür keine zusätzlichen Herstellungsschritte.
  • Fig. 7A bis Fig. 7C zeigen das Hauptteil eines anderes Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Die gezeigte Struktur wird hergestellt durch die Schritte, die Source Busse 19 auf dem Substrat 11 zu bilden, eine Isolierschicht 35 über der gesamten Obertläche des Substrates 11 und der Source Busse 19 zu schaffen und die kapazitiven Elektroden 31 auf der Isolierschicht 35 in teilweise gegenüberliegegender Beziehung zu den Source Bussen 19 zu bilden, längs der gemeinsamen Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32, um die kapazitiven Elektroden 31 mit dem gemeinsamen Potentialpunkt zu verbinden.
  • Allgemein werden die Bildelementelektroden 15 und die Source Busse 19 gleichzeitig gebildet, gefolgt von der Bildung des Dünnfilmtransistors 19, um sie miteinander zu verbinden. Die Dünnfilmtransistoren 16 werden durch Bilden einer Halbleiterschicht, eines Gate Isolierfilmes und einer Gate Elektrode in dieser Reihenfolge jeweils hergestellt. Demzufolge spart die gleichzeitige Bildung des Gate Isolationsfilms und der Isolationsschicht 35, und die gleichzeitige Bildung der Gate-Elektrode und der kapazitiven Elektroden 31 die Notwendigkeit, irgendwelche speziellen Herstellungsschritte für die Schaffung der die Source Bus Eingangskapazität vergrößernden elektrostatischen Kapazität einzubeziehen.
  • In dem Fall, wo eine Zeitkonstante für genügende Verringerung des Nebensprechens zwischen benachbarten Source Bussen (dem Produkt aus dem Wert der Source-Eingangskapazität und dem Widerstandswert zwischen benachbarten Source Bussen), zum Beispiel 600us oder mehr ist, und der Isolationswiderstand zwischen den Source Bussen den zusammengestellten Anzeigevorrichtungen aus irgendeinem Grund so klein wie 20MΩ ist, ist es notwendig, daß die Source Eingangskapazität auf 30pF oder mehr dimensioniert wird. Da jedoch die Source Eingangskapazität normalerweise in der Größenordnung von 10 pF liegt muß nur eine elektrostatische Kapazität von 20 pF als elektrostatische Kapazität zwischen dem Source Bus 19 und der kapazitiven Elektrode 31 vorgesehen werden. Wenn zum Beispiel in konkreten Zahlen das schmalere Paar des gegenüberliegenden Source Busses 19 und der kapazitiv Elektrode 31 0.11 mm breit ist, die kapazitive Elektrode 31 2.2mm lang ist und die Isolationsschicht 33 (in diesem Beispiel eine SiO Schicht) 0,4 um dick ist, wird eine Kapazität von etwa 20 pF erhalten. Die kapazitive Elektrode 31, 1.1 mm lang, kann ebenfalls an jedem Ende eines jeden Source Busses 19 in gegenüberliegender Beziehung dazu geschaffen werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist, wie oben beschrieben, eine kapazitive Elektrode gegenüberliegend zu jedem Source Bus angeordnet, um dazwischen eine elektrostatische Kapazität zu bilden, durch die die Source Eingangskapazität groß gemacht werden kann. Dies vermindert das Nebensprechen zwischen benachbarten Source Bussen und bietet so eine aktive Matrix-Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung von hervorragender Anzeigecharakteristik. Zusätzlich ist die elektrostatische Kapazität in die Flüssigkristallzelle einbezogen und es muß die Fläche der Flüssigkristallzelle dafür nicht vergrößert werden. Nebenbei ist der Einschluß dieser elektrostatischen Kapazität als ein IC in den Source Treiber 22 begleitet von dem Fehler einer bemerkenswerten Vergrößerung im Bereich des Source Treibers 22. Des weiteren werden keine besonderen Herstellungsschritte benötigt um die elektrostatische Kapazität zu erhalten, mit der die Source Eingangskapazität vergrößert werden soll, wie vorhergehend beschrieben.
  • Es wird offensichtlich sein, daß viele Modifikationen und Variationen bewirkt werden können, ohne den Umfang der neuartigen Konzepte der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Claims (6)

1. Aktive Matrix-Flüssigkristallanzeige-Vorrichtung in der:
ein Flüssigkristall (14) zwischen einem Paar eines gegenüberliegenden ersten und zweiten transparenten Substrats (11, 12) versiegelt ist; Bildelementelektroden (15) auf der inneren Oberfläche des ersten transparenten Substrates (11) in Matrixform angeordnet sind; ein Gate Bus (18) entlang jeder Zeile der Bildelementelektroden (15) angeordnet ist; ein Source Bus (19) entlang jeder Spalte der Bildelementelektroden angeordnet ist; ein Dünnfilmtransistor (16) an jeder Kreuzung von Gate und Source Bussen (18, 19) vorgesehen ist, und Gate, Source und Drain des Dünnfilmtransistors jeweils mit dem Gate Bus, dem Source Bus und der dem Dünnfilmtransistor entsprechenden Bildelementelektrode verbunden sind, wodurch ein Flüssigkristallelement gebildet wird; und eine Vielzahl von Ausgängen eines Source Treibers (22) jeweils mit den Source Bussen und entsprechenden Kapazitäten (34) verbunden sind wobei jede Kapazität zwischen einem entsprechenden Source Bus (19) und einem gemeinsamen Potentialpunkt-Verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß jede Kapazität auf dem transparenten Substrat gebildet ist mit einer gewünschten elektrostatischen Kapazität zwischen der entsprechenden kapazitiven Elektrode (31) und dem entsprechenden Source Bus (19), wobei die kapazitiven Elektroden (31) jeweils in gegenüberliegender Beziehung zu den Source Bussen (19) vorgesehen sind, mit einer dazwischen gesandwichten Isolierschicht (33 oder 35).
2. Vorrichtung von Anspruch 1, wobei eine gemeinsame Potentialpunkt-Verbindungsleitung 32 entlang der Richtung der Anordnung der kapazitiven Elektroden (31) vorgesehen ist, um sie mit dem gemeinsamen Potentialpunkt zu verbinden.
3. Vorrichtung von Anspruch 1 wobei die kapazitiven Elektroden (31) näher an dem ersten transparenten Substrat als die Source Busse (19) angeordnet sind.
4. Vorrichtung von Anspruch 3 wobei eine lichtabschirmende Schicht aus Metall gegenüber den Dünnfilmtransistoren angeordnet ist, wobei die lichtabschirmende Schicht und die kapazitiven Elektroden (31) gleichzeitig gebildet werden sowie eine Isolierschicht zwischen der lichtabschirmenden Schicht und den Dünnfilmtransistoren und die Isolierschicht (32) gleichzeitig gebildet werden.
5. Vorrichtung von Anspruch 1 wobei die kapazitiven Elektroden (31) relativ zu den Source Bussen (19) auf der Seite der Isolierschicht (35) gegenüber dem ersten transparenten Substrat (11) angeordnet sind.
6. Vorrichtung von Anspruch 5 wobei die Isolierschicht (35) gleichzeitig mit den Gate Isolationsfilmen der Dünnfilmtransistoren und die kapazitive Elektroden (31) gleichzeitig mit den Gate Elektroden (18) der Dünnfilmtransistoren (16) gebildet werden.
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0529460Y2 (de) * 1987-06-15 1993-07-28
DE3738142A1 (de) * 1987-11-10 1989-05-18 Bayer Ag Verfahren zur herstellung von polyarylensulfiden mit definiert einstellbaren schmelzviskositaeten
JPH0638191Y2 (ja) * 1987-12-23 1994-10-05 日信工業株式会社 ディスクブレ−キ用摩擦パッド
US5042918A (en) * 1988-11-15 1991-08-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid crystal display device
DE68921591T2 (de) * 1988-12-28 1995-11-09 Sony Corp Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung.
JP2870016B2 (ja) * 1989-05-18 1999-03-10 セイコーエプソン株式会社 液晶装置
US5309264A (en) * 1992-04-30 1994-05-03 International Business Machines Corporation Liquid crystal displays having multi-domain cells
GB9211282D0 (en) * 1992-05-28 1992-07-15 Philips Electronics Uk Ltd Liquid crystal display devices
JP3081497B2 (ja) * 1995-03-30 2000-08-28 三洋電機株式会社 表示装置及びその製造方法
JP3130761B2 (ja) * 1995-05-15 2001-01-31 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP2734444B2 (ja) * 1996-03-22 1998-03-30 日本電気株式会社 液晶表示装置
KR19990035823A (ko) * 1996-05-22 1999-05-25 야스카와 히데아키 액정 표시 장치
GB9722766D0 (en) 1997-10-28 1997-12-24 British Telecomm Portable computers
KR100843478B1 (ko) * 2002-06-15 2008-07-03 엘지디스플레이 주식회사 라인 온 글래스형 액정패널 및 그 제조방법
US6842200B1 (en) * 2003-06-18 2005-01-11 Hannstar Display Corporation Liquid crystal panel having compensation capacitors for balancing RC delay effect
TWI334054B (en) * 2005-07-11 2010-12-01 Au Optronics Corp Liquid crystal display and liquid crystal display panel thereof
WO2007032313A1 (ja) * 2005-09-16 2007-03-22 Sharp Kabushiki Kaisha 液晶表示装置およびこれを備えた電子機器
KR20100055709A (ko) * 2008-11-18 2010-05-27 삼성전자주식회사 표시 기판 및 이를 구비한 표시 장치

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4006968A (en) * 1975-05-02 1977-02-08 Hughes Aircraft Company Liquid crystal dot color display
US4112333A (en) * 1977-03-23 1978-09-05 Westinghouse Electric Corp. Display panel with integral memory capability for each display element and addressing system
JPS5458399A (en) * 1977-10-18 1979-05-11 Sharp Corp Matrix type liquid crystal display unit
US4431271A (en) * 1979-09-06 1984-02-14 Canon Kabushiki Kaisha Display device with a thin film transistor and storage condenser
JPS58172626A (ja) * 1982-04-01 1983-10-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置
JPS5934587A (ja) * 1982-08-23 1984-02-24 株式会社日立製作所 液晶装置
JPS60207116A (ja) * 1984-03-31 1985-10-18 Toshiba Corp 表示電極アレイ
JPS60227235A (ja) * 1984-04-26 1985-11-12 Canon Inc 画像形成装置
JPS616729A (ja) * 1984-06-20 1986-01-13 Sharp Corp 情報入出力装置
US4728172A (en) * 1984-08-08 1988-03-01 Energy Conversion Devices, Inc. Subassemblies for displays having pixels with two portions and capacitors
JPH07113819B2 (ja) * 1984-11-06 1995-12-06 キヤノン株式会社 表示装置及びその駆動法
JPS61121081A (ja) * 1984-11-19 1986-06-09 キヤノン株式会社 液晶表示パネル

Also Published As

Publication number Publication date
DE3881070D1 (de) 1993-06-24
ATE89673T1 (de) 1993-06-15
JPS63175832A (ja) 1988-07-20
US4787712A (en) 1988-11-29
EP0279171A1 (de) 1988-08-24
EP0279171B1 (de) 1993-05-19

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