DE3743902A1

DE3743902A1 - Laserbearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number: DE3743902A1
Application number: DE19873743902
Authority: DE
Inventors: Masaharu Moriyasu; Takeshi Morita; Megumi Ohmine
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-12-26
Filing date: 1987-12-23
Publication date: 1988-07-07
Also published as: US4873417A; DE3743902C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die verschiedene Werkstückbearbeitungen effizient ausführen kann, indem Laserstrahlen oder Kombinationen von verschiedenen Laserstrahlen verwendet werden.

Fig. 1 stellt eine Anordnung eines Ausführungsbeispiels einer bekannten Laserbearbeitungsvorrichtung dar, die in dem gemeinsamen Forschungs- und Entwicklungsbericht "Composite Manufacturing System using Super High Performance Laser" des von der Agentur für industrielle Wissenschaft und Technologie, Japan, gesponserten Grossprojekt beschrieben ist. In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen (1) einen CO₂-Laseroszillator mit einer Ausgangsleistung von 10 kW, (2) eine Konsole des Oszillators (1), (3) eine 5 kW- Laserbearbeitungsvorrichtung, die mit einem Paar Bearbeitungsköpfen zum Schweissen und Vergüten ausgestattet ist, (4) eine Steuervorrichtung für den Schweisskopf, (5) eine Steuervorrichtung für den Vergütungskopf und (6) eine 10 kW-Laserbearbeitungsvorrichtung. Die Bezugszeichen (7) und (8) stellen eine Steuertafel und eine Konsole der Laserbearbeitungsvorrichtung (6) dar. Ein Bezugszeichen (9) bezeichnet eine Laserbearbeitung-Leitvorrichtung zur Steuerung der gesamten Laserbearbeitungsvorrichtung, (10) bezeichnet eine Zentralstelle mit einer Schaltvorrichtung zum Schalten des vom Laseroszillator (1) erzeugten Laserstrahls zwischen den Laserbearbeitungsvorrichtungen (3, 6) und das Bezugszeichen (11) bezeichnet eine Lichtwegsteuervorrichtung, die auf ein Steuersignal von der Laserbearbeitung-Leitvorrichtung (9) anspricht, um die Zentralstelle (10) zu steuern. Laserstrahl-Übertragungswege werden durch die Bezugszeichen (3 a, 6 a) bezeichnet.

Bei der bekannten, in der vorausgehenden Weise aufgebauten Laserbearbeitungsvorrichtung wird ein vom CO₂-Laseroszillator (1) gelieferter Laserstrahl an der Zentralstelle (10) verzweigt und über die Lichtwege (3 a, 6 a) in Zeitstaffelung den Laserbearbeitungsvorrichtungen (3, 6) zugeführt, damit die zeitlich gestaffelten Schweiss- und Vergütungsvorgänge durchgeführt werden können, so dass ein Werkstück nacheinander geschweisst und vergütet werden kann. Wenn es daher gewünscht wird, eine andere Arbeit als Schweissen und Vergüten durchzuführen, beispielsweise einen Schneidvorgang, so muss eine weitere Vorrichtung, die einen Laseroszillator aufweist, dessen Ausgangsleistung zum Schneiden des Werkstückes ausreicht, bereitgestellt werden. Ein Ausführungsbeispiel eines derartigen Laseroszillators kann ein TEM_oo-Modus-Laser sein, dessen Ausgangsleistung so gering wie beispielsweise 1 kW ist und dessen Kondensationsverhalten hervorragend ist.

Ein weiterer Stand der Technik ist in der offengelegten japanischen Patentanmeldung 2 93 694/1986 beschrieben. In dieser Patentanmeldung werden Laserstrahlen aus einer Vielzahl Laseroszillatoren durch steuerbare, reflektierende Spiegel an verschiedene Bearbeitungstische abgegeben, so dass der Zeitverlust an den jeweiligen Bearbeitungstischen so klein wie möglich wird. Bei diesem Stand der Technik ist es unmöglich, unterschiedliche Bearbeitungen eines Werkstückes vorzunehmen, indem Laserstrahlen unterschiedlicher Ausgangsleistungen und/oder unterschiedlicher Wellenlängen verwendet werden, während das Werkstück an einem Bearbeitungstisch verbleibt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Laserbearbeitungsvorrichtung zu schaffen, in welcher beliebige Laserstrahlen oder Kombinationen einer Vielzahl Laserstrahlen willkürlich ausgewählt werden können, um eine Vielzahl von Bearbeitungen eines Werkstückes vorzunehmen, während sich dieses in einer Bearbeitungsstation befindet.

Gemäss einem Aspekt der Erfindung umfasst die Laserbearbeitungsvorrichtung eine Anzahl Laseroszillatoren, wovon jeder eine unterschiedliche Ausgangsleistung aufweist und über einen unterschiedlichen Übertragungsweg aus einer Anzahl erster Laserstrahl-Übertragungswege mit einer unterschiedlichen Bearbeitungsstation aus einer Anzahl Bearbeitungsstationen verbunden ist, sowie eine Anzahl zweiter Laserstrahl-Übertragungswege, wovon jeder benachbarte der ersten Laserstrahl-Übertragungswege miteinander verbindet, und eine Anzahl steuerbarer Laserstrahlumsetzer, wovon jeder an jedem Kupplungsabschnitt zwischen dem ersten Laserstrahl-Übertragungsweg und dem zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg angeordnet ist.

Gemäss einem weiteren Aspekt der Erfindung sind ein gemeinsamer Laserstrahl-Übertragungsweg und eine Anzahl dritter Laserstrahl-Übertragungswege zusätzlich vorgesehen. Der gemeinsame Laserstrahl-Übertragungsweg stellt die Verbindung zwischen den zweiten Laserstrahl-Übertragungswegen her und die dritten Laserstrahl-Übertragungswege erstrecken sich von den jeweiligen Verbindungen zwischen dem dritten und dem zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg zur jeweiligen Bearbeitungsstation. An jeder der Verbindungen ist eine steuerbare Laserstrahl-Abzweiganordnung angeordnet, um die Lichtwege für die Laserstrahlen zu bestimmen.

Mit der vorausgehend aufgeführten Anordnung der Erfindung kann irgendeiner der Laserstrahlen aus den Laseroszillatoren mit unterschiedlichen Ausgangsleistungen willkürlich durch einen zugeordneten der Laserstrahlumsetzer ausgewählt und zu einer gewünschten Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung geführt werden. Somit können verschiedene Bearbeitungen für ein Werkstück durchgeführt werden.

Zusammenfassend betrifft die Erfindung somit eine Laserbearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes durch Bestrahlen des Werkstückes mit Laserstrahlen, die durch Laseroszillatoren erzeugt werden, und ist gekennzeichnet durch eine Anzahl Laserstrahlbearbeitungsabschnitte, wovon jeder aus einem Laseroszillator, einer Bearbeitungsstation und einem ersten Laserstrahl-Übertragungsweg, einer Anzahl zweiter Laserstrahl-Übertragungswege, die jeweils benachbarte der ersten Laserstrahl-Übertragungswege verbinden, und einer Anzahl Laserstrahlumsetzer besteht, die jeweils in einer Verbindung zwischen dem ersten Laserstrahl- Übertragungsweg und dem zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg angeordnet sind.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Anordnung eines Ausführungsbeispiels einer bekannten Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung,

Fig. 2 eine Anordnung einer Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung gemäss einer Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 den Betrieb der erfindungsgemässen Ausführungsform nach Fig. 2,

Fig. 4 eine weitere Betriebsweise der in Fig. 2 dargestellten, erfindungsgemässen Ausführungsform,

Fig. 5 eine zweite erfindungsgemässe Ausführungsform,

Fig. 6 einen Betrieb der zweiten Ausführungsform nach Fig. 5, und

Fig. 7 einen weiteren Betrieb der zweiten Ausführungsform.

Die bevorzugte Ausführungsform wird im einzelnen beschrieben.

In Fig. 2, die eine Anordnung einer erfindungsgemässen Ausführungsform darstellt, ist der Laseroszillator (1 a) ein CO₂-Laser mit einer Ausgangsleistung von beispielsweise 5 kW, ein Laseroszillator (1 b) ist ein Ein-Modus-CO₂- Impulslaser und ein Laseroszillator (1 c) ist ein kontinuierlich erregter Güteschaltbetrieb YAG-Impulslaser. Ein Laserstrahl oder zwei bzw. mehrere Laserstrahlen werden von jedem Laseroszillator an jede der Bearbeitungsstationen (22 a, 22 b, 22 c) geliefert. In den Bearbeitungsstationen sind jeweils Bearbeitungstische (23 a, 23 b, 23 c) installiert, an denen Werkstücke bearbeitet werden sollen. Die Bearbeitungstische (23 a, 23 b, 23 c) sind jeweils mit Laserbearbeitungsanordnungen (24 a, 24 b, 24 c) ausgestattet. Jede der Laserbearbeitungsanordnungen umfasst eine Anzahl Bearbeitungsköpfe, wovon einer entsprechend einem zu einem gegebenen Zeitpunkt an einem bestimmten Werkstück auszuführenden bestimmten Bearbeitungsvorgang ausgewählt wird. Ein erster Laserstrahl-Übertragungsweg, der aus einem ersten Abschnitt, beispielsweise (20 a), und einem zweiten Abschnitt, beispielsweise (200 a), besteht, verbindet den Laseroszillator (1 a) mit der Bearbeitungsstation (22 a), ein weiterer erster Laserstrahl-Übertragungsweg (20 b, 200 b) verbindet den Laseroszillator (1 b) mit der Bearbeitungsstation (22 b) und noch ein weiterer erster Laserstrahl-Übertragungsweg (20 c, 200 c) verbindet den Laseroszillator (1 c) mit der Bearbeitungsstation (22 c). Somit bilden jeder Laseroszillator, beispielsweise (1 a), ein zugeordneter der ersten Laserstrahl-Übertragungswege (20 a, 200 a) und eine zugeordnete Bearbeitungsstation (22 a) eine der drei parallalliegenden Laserbearbeitungsabschnitte.

Das Bezugszeichen (100) bezeichnet einen zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg, der rechtwinklig zu den ersten Laserstrahl-Übertragungswegen liegt, und verbindet benachbarte der ersten Laserstrahl-Übertragungswege miteinander über Laserstrahl-Umsetzer (25 a, 25 b, 25 c), die jeweils an der Verbindung zwischen dem ersten und zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg liegen. Der Laserstrahl-Umsetzer arbeitet, indem er einen vom Laseroszillator kommenden Laserstrahl durchlässt oder reflektiert. Die Laserstrahl-Umsetzer (25 a, 25 b, 25 c) werden durch eine Optiksystemsteuerung (11 a) und die Laseroszillatoren (1 a, 1 b, 1 c) werden jeweils durch Laseroszillatorsteuerungen (7 a, 7 b, 7 c) gesteuert. Die Optiksystemsteuerung (11 a) und die Laseroszillatorsteuerungen (7 a, 7 b, 7 c) werden durch eine Laserbearbeitung-Leitvorrichtung (9 a) gesteuert.

Beim Betrieb wählt die Laserbearbeitung-Leitvorrichtung (9 a) die zur Bearbeitung eines Werkstückes zu verwendenden Laserstrahlen aus und befiehlt der Optiksystemsteuerung (11 a) einen oder mehrere der ausgewählten Laserstrahlen. Der Laseroszillator oder die Laseroszillatoren erzeugen über die Laseroszillatorsteuerung (7 a) Laserstrahlen gemäss den Befehlen der Laserbearbeitung-Leitvorrichtung (9 a) und diese Laserstrahlen werden über die zugeordneten Laserstrahl-Umsetzer zu den gewünschten Laserstrahl-Übertragungswegen geleitet und somit zu den Laserbearbeitungsanordnungen der gewünschten Bearbeitungsstationen zur Durchführung der gewünschten Werkstückbearbeitungen.

Wird nur der Hochleistungs-CO₂-Laseroszillator (1 a) von 5 kW verwendet, so ist es möglich, verschiedene Bearbeitungen, einschliesslich Schweissen, und einer Metalloberflächenverbesserung, wie Vergüten, Überziehen, Abschrecken und Metallbiegen, durchzuführen. Wird der Ein-Modus-CO₂-Impuls-Laseroszillator (1 b) alleine verwendet, so ist es möglich, das Schneiden und/oder Bohren verschiedener Werkstoffe und die Tragendbearbeitung durchzuführen. Bei Verwendung des kontinuierlich erregten Güteschaltbetrieb-YAG-Impuls- Laseroszillators (1 c) ist es möglich, ein Löten, Abkraten und/oder Markieren vorzunehmen. Durch Kombination dieser Laseroszillatoren können die gewünschten Bearbeitungen durchgeführt werden.

Fig. 3 stellt den Betrieb einer Ausführungsform der Erfindung gemäss Fig. 2 dar. In Fig. 3 umfassen die Laserstrahl-Umsetzer (25 a, 25 c) jeweils reflektierende Spiegel aus Galliumarsenid, und die Laserstrahlen, die von dem Ein-Modus-CO₂-Impuls-Laseroszillator (1 b) und dem kontinuierlich erregten Güteschaltbetrieb-YAG-Impuls- Laseroszillator (1 c) erzeugt werden, sind jeweils mit den Bezugszeichen (40, 41) bezeichnet. Gemäss Fig. 3 tritt der Laserstrahl (40) durch den ersten Abschnitt (20 b) des ersten Laserstrahl-Übertragungsweges und den Laserstrahl- Umsetzer (25 b) zum zweiten Abschnitt (200 b) des ersten Laserstrahl-Übertragungsweges und anschliessend zur Bearbeitungsstation (23 b) zur Bearbeitung des Werkstückes. Der Laserstrahl (41) tritt andererseits durch den ersten Abschnitt (20 c) des ersten Laserstrahl-Übertragungsweges und wird durch einen drehbaren, reflektierenden Spiegel reflektiert, der im Laserstrahl-Umsetzer (25 c) vorhanden ist. Der reflektierte Laserstrahl tritt durch den zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg (100) und wird durch einen im Laserstrahl-Umsetzer (25 a) vorgesehenen reflektierenden Spiegel zum zweiten Abschnitt (200 a) des ersten Laserstrahl-Übertragungsweges reflektiert und gelangt anschliessend zur Bearbeitungsstation (22 a) zwecks Bearbeitung eines weiteren Werkstückes.

Fig. 4 stellt einen weiteren Betrieb der in Fig. 2 angegebenen Ausführungsform dar, bei welchem die Laserstrahlen (40, 41), die durch den Ein-Modus-CO₂-Impuls-Laseroszillator (1 b) und den kontinuierlich erregten Güteschaltbetrieb-YAG-Impuls- Laseroszillator (1 c) erzeugt werden, über die gleichen Laserstrahl-Übertragungswege, die in Fig. 3 dargestellt sind, jeweils zu den Bearbeitungsstationen (22 b, 22 c) übertragen werden. Jedoch wird in Fig. 4, da der Laserstrahl (42) aus dem CO₂-Laseroszillator (1 a) durch den reflektierenden Spiegel des Laserstrahl-Umsetzers (25 a) hindurchtritt, die Bearbeitungsstation (22 a) mit beiden Laserstrahlen (42, 41) versorgt, wobei der letztgenannte Laserstrahl aus dem YAG-Laseroszillator (1 c) kommt. Auf diese Weise kann jede Bearbeitungsstation mit einer beliebigen Kombination der Laserstrahlen versorgt werden. Daher können verschiedene Bearbeitungen in jeder Bearbeitungsstation erfolgen.

Obgleich die vorliegende Erfindung mit drei Laseroszillatoren beschrieben wurde, wird die Anzahl der Laseroszillatoren nach Anforderung willkürlich gewählt und die Art der zusammen verwendeten Laseroszillatoren ist nicht auf die vorausgehend beschriebenen beschränkt. Obgleich in der beschriebenen Ausführungsform die benachbarten ersten Laserstrahl-Übertragungswege miteinander durch einen einzelnen zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg miteinander verbunden sind, ist es möglich, sie durch eine Anzahl zweiter Laserstrahl-Übertragungswege zu verbinden.

Fig. 5 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei welcher die gleichen oder entsprechende Elemente, wie in Fig. 2 dargestellt, jeweils durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind, so dass eine Einzelbeschreibung derselben weggelassen ist.

In Fig. 5 sind die einen Enden der zweiten Laserstrahl-Übertragungswege (400 a, 400 b, 400 c) an Laserstrahl-Umsetzer (25 a, 25 b, 25 c) angeschlossen, die in den ersten Laserstrahl-Übertragungswegen (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c) angeordnet sind, die sich von den Laseroszillatoren (1 a, 1 b, 1 c) zu den Laserbearbeitungsanordnungen (24 a, 24 b, 24 c) an den Bearbeitungstischen (23 a, 23 b, 23 c) der jeweiligen Bearbeitungsstationen (22 a, 22 b, 22 c), wie in der Ausführungsform in Fig. 2, erstrecken. Die anderen Enden der zweiten Laserstrahl-Übertragungswege (400 a, 400 b, 400 c) sind mit Laserstrahl-Abzweigvorrichtungen (250 a, 250 b, 250 c) verbunden, wobei zwischen benachbarten derselben ein gemeinsamer Laserstrahl-Übertragungsweg (100) angeschlossen ist.

Der Aufbau und die Funktion der Laserstrahl-Umsetzer sind die gleichen wie in Fig. 2 dargestellt und die Laserstrahl-Abzweigvorrichtung hat den gleichen Aufbau wie der Laserstrahl-Umsetzer. Die Laserstrahl-Abzweigvorrichtungen (250 a, 250 b, 250 c) sind mit den Bearbeitungsanordnungen (24 a, 24 b, 24 c) jeweils über dritte Laserstrahl- Übertragungswege (300 a, 300 b, 300 c) verbunden.

Die Laserstrahl-Abzweigvorrichtungen (250 a, 250 b, 250 c) werden durch eine Optiksystemsteuerung (11 a) gesteuert, die im wesentlichen jener nach Fig. 2 entsprechen kann. In Fig. 5 sind die mit den Bezugszeichen (7 a, 7 b, 7 c) und (9 a) versehenen Bauelemente die gleichen wie jene nach Fig. 2.

Ein Betrieb einer Ausführungsform nach Fig. 5 wird anschliessend unter Bezugnahme auf Fig. 6 erläutert. In Fig. 6 werden die Laseroszillatoren (1 b, 1 c) verwendet und ein Laserstrahl (40) aus dem Laseroszillator (1 b) gelangt über den ersten Übertragungsweg (20 b, 200 b) unmittelbar zur Bearbeitungsanordnung (24 b). Ein Laserstrahl (41) aus dem Laseroszillator (1 c) gelangt durch einen ersten Abschnitt (20 c) des ersten Laserstrahl-Übertragungsweges und wird durch den Laserstrahl-Umsetzer (25 c) reflektiert. Nach der Reflexion tritt er durch den zweiten Laserstrahl-Übertragungsweg (400 c), den gemeinsamen Laserstrahl-Übertragungsweg (100) und die Abzweigvorrichtung (250 b) und wird durch die Abzweigvorrichtung (250 a) reflektiert. Anschliessend gelangt der Laserstrahl über den dritten Laserstrahl-Übertragungsweg (300 a) zur Bearbeitungsanordnung (24 a). Dieser Durchgang des Laserstrahls (41) erfolgt unter Steuerung durch die Optiksystemsteuerung (11 a).

Somit wird es möglich, ein Werkstück in der Bearbeitungsstation (22 a) mit dem Laserstrahl (41) und ein weiteres Werkstück in der Bearbeitungsstation (22 b) mit dem Laserstrahl (40) zu bearbeiten.

Werden alle Laseroszillatoren gemäss Fig. 7 unter den gleichen Betriebszuständen verwendet, so kann das Werkstück in der Station (22 a) mittels einer Kombination der Laserstrahlen (41. 42) bearbeitet werden.

Wie aus der vorausgehenden Beschreibung hervorgeht, wird erfindungsgemäss ein erster Lichtweg zwischen einem Laseroszillator und einer Bearbeitungsstation mit anderen ersten Lichtwegen zwischen anderen Laseroszillatoren und anderen Bearbeitungsstationen über zweite Lichtwege oder über einen gemeinsamen Lichtweg und dritte Lichtwege verbunden, so dass durch entsprechende Steuerung der Laserstrahl-Umsetzer und/oder Laserstrahl-Abzweigvorrichtungen möglich ist, einen gewünschten Laserstrahl oder eine gewünschte Laserstrahlkombination zur Bearbeitung eines Werkstückes in einer Bearbeitungsstation auf verschiedene Weise und höchst effizient auszuwählen.

Claims

1. Laserbearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes durch Bestrahlen desselben mit Laserstrahlen, die von Laseroszillatoren erzeugt werden, gekennzeichnet durch eine Anzahl Laserstrahlbearbeitungsabschnitte, wovon jeder aus einem Laseroszillator (1 a, 1 b, 1 c), einer Bearbeitungsstation (22 a, 22 b, 22 c) und einem ersten Laserstrahlübertragungsweg (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c), einer Anzahl zweiter Laserstrahlübertragungswege (400 a), die jeweils benachbarte der ersten Laserstrahlübertragungswege verbinden, und einer Anzahl Laserstrahlumsetzer (25 a, 25 b, 25 c) besteht, die jeweils in einer Verbindung zwischen dem ersten Laserstrahlübertragungsweg und dem zweiten Laserstrahlübertragungsweg angeordnet sind.

2. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Laserstrahlübertragungsweg (400 a) rechtwinklig zum ersten Laserstrahlübertragungsweg (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c) angeordnet ist.

3. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Laserstrahlübertragungsweg (400 a), der das benachbarte erste Laserstrahlübertragungswegpaar verbindet, sich koaxial zum zweiten Laserstrahlübertragungsweg erstreckt, der ein weiteres Paar benachbarter erster Laserstrahlübertragungswege (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c) miteinander verbindet.

4. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahlumsetzer (25 a, 25 b, 25 c) ein reflektierender Spiegel aus Galliumarsenid ist.

5. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Laseroszillatorsteuervorrichtung (7 a, 7 b, 7 c) zur Steuerung der Erzeugung der Laserstrahlen, und eine Lichtwegsteuervorrichtung (11) zur Steuerung der Laserstrahlumsetzer zwecks Steuerung der Lichtwege für die Laserstrahlen.

6. Laserbearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes durch Bestrahlen des Werkstückes mit Laserstrahlen, die von Laseroszillatoren erzeugt werden, gekennzeichnet durch eine Anzahl Laserstrahlbearbeitungsabschnitte, wovon jeder aus einem Laseroszillator (1 a, 1 b, 1 c), einer Bearbeitungsstation (22 a, 22 b, 22 c) und einem ersten Laserstrahlübertragungsweg (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c) besteht, der den Laseroszillator und die Bearbeitungsstation verbindet, eine Anzahl zweiter Laserstrahlübertragungswege (400 a), wovon jeder an einem Ende mit einem der ersten Laserstrahlübertragungswege verbunden ist, gemeinsame Laserstrahlübertragungswege (100), wovon sich jeder rechtwinklig zu den ersten Laserstrahlübertragungswegen erstreckt und mit einem benachbarten Paar der anderen Enden der zweiten Laserstrahlübertragungswege verbunden ist, eine Anzahl Laserstrahlumsetzer (25 a, 25 b, 25 c),wovon jeweils einer in einer Verbindung zwischen dem ersten Laserstrahlübertragungsweg (20 a, 200 a; 20 b, 200 b; 20 c, 200 c) und dem zweiten Laserstrahlübertragungsweg (400 a) angeordnet ist, wobei eine Anzahl Laserstrahlabzweigvorrichtungen (250 a, 250 b, 250 c) vorgesehen ist, wovon jede in einer Verbindung zwischen dem gemeinsamen Laserstrahlübertragungsweg (100) und dem zweiten Laserstrahlübertragungsweg (400 a) liegt, und eine Anzahl dritter Laserstrahlübertragungswege (300 a, 300 b, 300 c) vorgesehen ist, wovon jeder zwischen der Laserstrahlabzweigvorrichtung und der Bearbeitungsstation liegt.

7. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die gemeinsamen Laserstrahlübertragungswege (100) koaxial verlaufen.

8. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahlumsetzer und die Laserstrahlabzweigvorrichtung jeweils drehbare reflektierende Spiegel aus Galliumarsenid umfassen.

9. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, gekennzeichnet durch eine Laseroszillatorsteuervorrichtung (7 a, 7 b, 7 c) zur Steuerung der Lasererzeugung, und eine Lichtwegsteuervorrichtung (11) zur Steuerung der Laserstrahlumsetzer zwecks Steuerung der Lichtwege derselben.