DE3440391C2

DE3440391C2 -

Info

Publication number: DE3440391C2
Application number: DE3440391A
Authority: DE
Inventors: Masaaki Yokohama Kanagawa Jp Matsushima; Hiroyoshi Kishi; Takahiko Tokio/Tokyo Jp Ishiwatari; Hisaaki Yokohama Kanagawa Jp Kawade
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-11-05
Filing date: 1984-11-05
Publication date: 1988-06-23
Also published as: US4734334A; FR2554627A1; GB2150946A; GB2150946B; GB8427630D0; FR2554627B1; DE3440391A1

Description

Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungmaterial, das beispielsweise bei einem magnetooptischen Speicher oder einer Magnetaufzeichnungs- und -anzeigevorrichtung verwendet wird und sich für das Auslesen von Information unter Anwendung eines magnetooptischen Effekts wie z. B. des magnetischen Kerr-Effekts oder des Faraday-Effekts eignet, und die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Dünnschicht- Magnetaufzeichnungsmaterial mit verbesserter Korrosionsbeständigkeit.

Polykristalline Dünnschichten wie z. B. MnBi- und MnCuBi-Dünnschichten, amorphe Dünnschichten wie z. B. GdCo-, GdFe-, TbFe-, DyFe-, GdTbFe- und TbDyFe-Dünnschichten und Einkristall-Dünnschichten aus z. B. Gd-Fe-Granat sind als magnetooptische Aufzeichnungsmaterialien bekannt.

Unter diesen Dünnschichten sind in neuerer Zeit die amorphen Dünnschichten in Anbetracht von Eigenschaften wie z. B. des Filmbildungsvermögens, das die Herstellung einer Dünnschicht mit einer großen Fläche bei einer in der Nähe der Raumtemperatur liegenden Temperatur ermöglicht, des Wirkungsgrades beim Aufzeichnen bzw. Schreiben von Signalen unter Aufwendung einer geringen Licht-Wärme-Energie und des Wirkungsgrades beim Auslesen der geschriebenen bzw. aufgezeichneten Signale mit einem guten S/N-Verhältnis als ausgezeichnete magnetooptische Aufzeichnungsmaterialien bzw. Aufzeichnungsträger angesehen worden. Besonders GdTbFe, das einen großen Kerr-Drehungswinkel und eine Curie-Temperatur von etwa 150°C hat, ist als magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial bestens geeignet. Die Erfinder haben ferner Untersuchungen mit dem Ziel der Verbesserung des Kerr-Drehungswinkels durchgeführt und als Ergebnis festgestellt, daß GdTbFeCo ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial ist, das einen ausreichend großen Kerr-Drehungswinkel hat und ein Auslesen von Informationen mit einem guten S/N-Verhältnis ermöglicht.

Als eine Eigenschaft eines amorphen magnetischen Materials wie z. B. GdTbFe oder GdTbFeCo kann jedoch eine schlechte Korrosionsbeständigkeit erwähnt werden. D. h., wenn ein solches Material mit der atmosphärischen Luft oder mit Wasserdampf in Berührung kommt, werden nicht nur seine magnetischen Eigenschaften verschlechtert, sondern es wird schließlich auch vollständig oxidiert und wird lichtdurchlässig.

Infolgedessen ist ein scheiben- bzw. plattenförmiges Aufzeichnungsmaterial vorgeschlagen worden, bei dem auf der Aufzeichnungsschicht eine Schutzschicht ausgebildet ist oder bei dem die Aufzeichnungsschicht durch Inertgas umhüllt ist.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial zur Verfügung zu stellen, das magnetische Eigenschaften hat, die für die Aufzeichnung und Wiedergabe von Informationen bestens geeignet sind, und eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit zeigt.

Diese Aufgabe wird durch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 und 2 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen, die mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine GdTbFeNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.

Fig. 3 und 4 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen, die mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine GdTbFeCoNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.

Fig. 5 bis 7 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen, die mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine TbFeCoNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.

Fig. 8 ist eine grafische Darstellung, die das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs zeigt, der mit einer Ausführungsform der Erfindung, die eine GdTbFeCoNi-Dünnschicht enthält, durchgeführt wurde.

Das erfindungsgemäße magnetooptische Aufzeichnungsmaterial enthält als Aufzeichnungsschicht eine Dünnschicht aus einer amorphen magnetischen Legierung. Diese Dünnschicht hat in einer zu ihrer Oberfläche senkrechten Richtung eine Achse der leichten Magnetisierbarkeit und eignet sich für die Aufzeichnung von Information mit hoher Dichte. Wenn auf dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterial bzw. Aufzeichnungsträger Information aufgezeichnet werden soll, wird auf die aus der Legierung bestehende Dünnschicht, die in einer vorher festgelegten Richtung gleichmäßig magnetisiert ist, ein durch ein Informationssignal moduliertes Strahlenbündel auftreffen gelassen. Dann wird der Bereich, auf den das Strahlenbündel auftreffen gelassen worden ist, auf die Curie- Temperatur oder eine höhere Temperatur erhitzt und dann abgekühlt, wodurch das Informationssignal in Form einer Folge von Aufzeichnungsbits, deren Magnetisierungsrichtung umgekehrt ist, aufgezeichnet wird. Wenn das auf diese Weise aufgezeichnete Informationssignal ausgelesen werden soll, wird in die aus der Legierung bestehende Dünnschicht ein linear polarisierter Lichtstrahl eintreten gelassen, und der in Übereinstimmung mit der Information hinsichtlich seiner Polarisationsrichtung modulierte Lichtstrahl wird durch den magnetooptischen Effekt ermittelt.

Im Rahmen der Erfindung zeigt die nichtkristalline magnetische Legierung, aus der die Dünnschicht besteht, die folgende Zusammensetzung:

{(Gd_xTb_1-x)_p(Fe_yCo_1-y)_1-p}_q(Ni_zCr_1-z)_1-q,

worin 0 x 0,9,

d. h., die auf die Gesamtmenge von Gd und Tb bezogene Gd- Menge muß in dem Bereich von 0 bis 90 Atom-% liegen. Wenn die Gd-Menge 90 Atom-% überschreitet, wird die Koerzitivkraft kleiner, und ein dauerhaftes Bestehen sehr kleiner Aufzeichnungsbits wird schwierig. Ferner wird die Curie- Temperatur höher, und infolgedessen ist die Durchführung des Schreibens bzw. Aufzeichnens mit Temperaturkompensation unvermeidlich, was strenge Filmbildungsbedingungen notwendig macht. Ferner gilt, daß 0,2 y 1,0; d. h., die auf die Gesamtmenge von Fe und Co bezogene Co-Menge muß in dem Bereich von 0 bis 80 Atom-% liegen. Wenn die Co-Menge 80 Atom-% überschreitet, wird die Curie-Temperatur wieder höher, und das Schreiben bzw. Aufzeichnen von Signalen wird schwierig. Im Hinblick auf die Aufzeichnungsempfindlichkeit ist es besonders erwünscht, daß 0,35 y 1,0; d. h., daß die Co-Menge 65 Atom-% oder weniger beträgt.

Ferner müssen Übergangsmetalle (Fe, Co) und Seltenerdmetalle (Gd, Tb) in einem geeigneten Zusammensetzungsverhältnis vorhanden sein, damit das erfindungsgemäße magnetooptische Aufzeichnungsmaterial eine zu der Oberfläche der Dünnschicht senkrechte Achse der leichten Magnetisierbarkeit haben kann. Infolgedessen ist es erforderlich, daß 0,1 p 0,5; d. h., die Mischung aus Gd und Tb muß in einer auf die Gesamtmenge von Fe, Co, Gd und Tb bezogene Gesamtmenge vorhanden sein, die in diesem Bereich von 10 bis 50 Atom-% liegt. Wenn dieser Bereich verlassen wird, wird die Achse der leichten Magnetisierbarkeit parallel zu der Oberfläche der Dünnschicht, und die aus der Legierung bestehende Dünnschicht kann keine quermagnetisierte Dünnschicht sein. Ferner ist es im Hinblick auf die Stabilisierung der magnetischen Eigenschaften erwünscht, daß die auf die Gesamtmenge von Fe, Co, Gd und Tb bezogene Gesamtmenge von Gd und Tb 15 bis 30 Atom-% beträgt (0,15 p 0,3).

Im Rahmen der Erfindung ist es notwendig, daß 0,001 1-q < 0,35; d. h., daß die auf die Gesamtmenge der magnetischen Legierung bezogene Gesamtmenge der Mischung aus Ni und Cr in dem Bereich von 0,1 bis 35 Atom-% liegt, damit die Korrosionsbeständigkeit verbessert wird, weil die Korrosionsbeständigkeit nicht in ausreichendem Maße verbessert werden kann, wenn die Gesamtmenge von Ni und Cr weniger als 0,1 Atom-% beträgt und weil die magnetischen Eigenschaften beeinträchtigt werden und die Erzielung einer quermagnetisierten Dünnschicht schwierig wird, wenn die Gesamtmenge von Ni und Cr 35 Atom-% überschreitet.

Ferner muß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge in dem Bereich von 5 bis 100 Atom-% liegen (0,05 z 1,0). Wenn die Ni-Menge jedoch zu groß ist, besteht infolge der ferromagnetischen Eigenschaften von Ni die Neigung, daß die Achse der leichten Magnetisierbarkeit der Legierung eine Richtung hat, die zu der Oberfläche der Dünnschicht parallel ist. Es ist infolgedessen erwünscht, daß die auf die Gesamtmenge der Legierung bezogene Ni-Menge 30 Atom-% oder weniger beträgt. Es wird infolgedessen bevorzugt, daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge in dem Bereich von 20 bis 90 Atom-% liegt. (0,2 z 0,9). Ferner ist im Hinblick auf die Korrosionsbeständigkeit ein gutes Ergebnis erhalten worden, wenn die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge in dem Bereich von 60 bis 80 Atom-% liegt (0,6 z 0,8).

Aus der vorstehenden Beschreibung ist ersichtlich, daß besonders bevorzugte Legierungsmaterialien die chemischen Zusammensetzungen GdTbFeNiCr, TbFeCoNiCr und GdTbFeCoNiCr haben. Man könnte auch an TbFeNiCr denken, jedoch ist diese Zusammensetzung gegen thermische Beeinflussung mehr oder weniger empfindlich, weil ihre Curie-Temperatur einen niedrigen Wert von 100 bis 120°C hat. GdTbFeNiCr hat eine geeignete Curie-Temperatur (150 bis 200°C), einen relativ großen Kerr-Drehungswinkel (0,25 bis 0,27°) und eine große Koerzitivkraft und ist infolgedessen für eine Aufzeichnung mit hoher Dichte unter Erzeugung sehr kleiner Aufzeichnungsbits geeignet. Ferner hat TbFeCoNiCr eine geeignete Curie- Temperatur und einen großen Kerrdrehungswinkel von 0,3°. GdTbFeCoNiCr hat einen größeren Kerr-Drehungswinkel von 0,35 bis 0,45°C und ist ein Material mit ausgezeichneten Ausleseeigenschaften.

(Beispiel 1)

In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde die Schwingquarzplatte einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei der ein Quarzoszillator verwendet wird, als Substrat eingesetzt, während quadratische Stücke aus Gd aus Tb, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die auf Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm angeordnet waren, als erstes Target verwendet wurden und eine Legierung aus 40% Cr und 60% Ni mit einem Durchmesser von 10,16 cm als zweites Target verwendet wurde. Das Innere der Kammer wurde evakuiert, bis ein Vakuum von 1,5 × 10^-5 Pa oder weniger erreicht war, und danach wurde in die Kammer Ar-Gas bis zur Erzielung von 4 × 10^-1 Pa eingeleitet, und der Ar-Druck wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa gebracht. Dem ersten Target wurde aus einer Hochfrequenz-Stromquelle eine konstante Zerstäubungsleistung von 250 W zugeführt, und gleichzeitig wurden dem zweiten Target verschiedene Zerstäubungsleistungen zugeführt, wodurch GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedene Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt wurden:

Tabelle 1

Zusammensetzung:

Probe 1-1: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,95(Ni_0,6Cr_0,4)_0,05
Probe 1-2: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,10
Probe 1-3: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,85(Ni_0,6Cr_0,4)_0,15
Probe 1-4: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,80(Ni_0,6Cr_0,4)_0,20

Ferner wurde durch eine ähnliche Vorrichtung eine Dünnschicht aus einer Legierung mit der folgenden Zusammensetzung, die kein Cr enthielt, hergestellt:

Probe 1-5: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,97Ni_0,03

Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten nichtkristalline Dünnschichten sind.

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der mit Legierungsdünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 1 gezeigt. In Fig. 1 stellt die Ordinate die Gewichtszunahme des Aufzeichnungsmaterials, die in einem willkürlichen Maßstab unter Anwendung einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei der ein Quarzoszillator verwendet wird, gemessen wurde, dar, und die Abszisse stellt die Anzahl der Tage dar, d. h., die Zeit, während der die Legierung in dem Thermohygrostaten belassen wurde. Eine in Fig. 1 gezeigte Gewichtszunahme entspricht Fortschreiten der Korrosion. Die in Fig. 1 angegebenen Bezugszahlen entsprechend den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden. Zum Vergleich wurde unter denselben Bedingungen ein Korrosionsbeständigkeitsversuch mit magnetooptischen Aufzeichnungsmaterialien der üblichen Zusammensetzung durchgeführt, und Kurve 17 zeigt das Ergebnis, das mit einer GdTbFe- Dünnschicht erhalten wurde, während Kurve 18 das Ergebnis zeigt, das mit einer GdTbFeCr-Dünnschicht erhalten wurde. Im Fall einer GdTbFe-Dünnschicht, die weder Ni noch Cr enthielt, verschwand der Metallglanz fast vollständig, und das Metall war nach Ablauf eines Tages vollständig korrodiert, während festgestellt wurde, daß die Gewichtszunahme, d. h., das Ausmaß der Oxidation, geringer und die Korrosionsbeständigkeit verbessert wird, wenn die Menge von Ni und Cr zunimmt. Es ist auch festgestellt worden, daß die GdTbFe- Dünnschicht eine bessere Korrosionsbeständigkeit hat als eine GdTbFeCr-Dünnschicht. Ferner war im Fall einer GdTbFeNiCr-Dünnschicht der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels, der mit dem Wirkungsgrad beim Auslesen in Beziehung steht, selbst in dem Fall klein, wenn die Menge von Ni und Cr größer wurde, und dieser Prozentsatz betrug z. B. bei der Probe 1-4 etwa 18%.

(Beispiel 2)

Unter Verwendung einer Legierung aus 20% Cr und 80% Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich blieben, wurden GdTbFeNiCr- Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:

Tabelle 2

Zusammensetzung:

Probe 2-1: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,95(Ni_0,8Cr_0,2)_0,05
Probe 2-2: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,8Cr_0,2)_0,10
Probe 2-3: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,85(Ni_0,8Cr_0,2)_0,15
Probe 2-4: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21Fe_0,79}_0,80(Ni_0,8Cr_0,2)_0,20

Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten amorph sind.

In Fig. 2 wird das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs gezeigt, der mit den GdTbFeNiCr-Dünnschichten des vorstehend erwähnten Aufbaus, die in denselben Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85%, der in Beispiel 1 verwendet wurde, hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde. Die in Fig. 2 angegebenen Bezugszahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsversuche wie in Fig. 1 und die Ergebnisse von Probe 1-5 werden gezeigt. In diesem Beispiel ist wie in Beispiel 1 festgestellt worden, daß die Korrosionsbeständigkeit in höherem Maße verbessert wird als bei GdTbFe oder GdTbFeCr. Ferner war der Prozentsatz der Verminderung des Kerr- Drehungswinkels, der den Wirkungsgrad beim Auslesen wiedergibt, geringer als in Beispiel 1 und betrug bei Probe 2-4 etwa 10%.

(Beispiel 3)

Stücke aus 50% Gd und 50% Tb, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die auf einer Legierung aus 30% Co und 70% Fe gleichmäßig angeordnet waren, wurden als erstes Target verwendet, und eine Legierung aus 40% Cr und 60% Ni wurde als zweites Target verwendet, um ähnlich wie in Beispiel 1 GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, herzustellen.

Tabelle 3

Zusammensetzung:

Probe 3-1: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,95(Ni_0,6Cr_0,4)_0,05
Probe 3-2: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,10
Probe 3-3: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,85(Ni_0,6Cr_0,4)_0,15
Probe 3-4: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,80(Ni_0,6Cr_0,4)_0,20

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, werden in Fig. 3 gezeigt. Die in Fig. 3 angegebenen Bezugszahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Fig. 1 und das Ergebnis der Probe 1-5 werden gezeigt, und ferner wird das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs gezeigt, der unter denselben Bedingungen mit einem aus GdTbCo gebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsmaterials durchgeführt wurde.

Es ist festgestellt worden, daß eine GdTbFeCoNiCr-Dünnschicht im Vergleich mit einer GdTbFeCo-Dünnschicht eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit hat und eine bessere Korrosionsbeständigkeit hat als GdTbFe- und GdTbFeCr-Dünnschichten. Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels bei Probe 3-4 etwa 12%.

(Beispiel 4)

Unter Verwendung einer Legierung aus 20% Cr und 80% Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich blieben, wurden GdTbFeCoNiCr- Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachfolgend gezeigt werden, hergestellt:

Tabelle 4

Zusammensetzung:

Probe 4-1: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,95(Ni_0,8Cr_0,2)_0,05
Probe 4-2: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,90(Ni_0,8Cr_0,2)_0,10
Probe 4-3: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,85(Ni_0,8Cr_0,2)_0,15
Probe 4-4: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,22(Fe_0,7Co_0,3)_0,78}_0,80(Ni_0,8Cr_0,2)_0,20

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 4 gezeigt. Die in Fig. 4 gezeigten Bezugszahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Fig. 3 und das Ergebnis von Probe 1-5 werden gezeigt. In Beispiel 4 ist festgestellt worden, daß GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten, bei denen das Verhältnis von Ni zu Cr Ni/Cr = 8/2, eine höhere Haltbarkeit haben als die Dünnschichten von Beispiel 3. Ferner war der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehwinkels kleiner als der Prozentsatz in Beispiel 3 und betrug bei Probe 4-4 etwa 7%.

(Beispiel 5)

In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde die Schwingquarzplatte einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei der ein Quarzoszillator verwendet wird, als Substrat eingesetzt, während Tb-Stücke, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die gleichmäßig auf einer Platte aus 30% Co und 70% Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm angeordnet waren, als erstes Target verwendet wurden und eine Legierung aus 40% Cr und 60% Ni als zweites Target verwendet wurde. Das Innere der Kammer wurde evakuiert, bis ein Vakuum von 1,5 × 10^-5 Pa oder weniger erreicht war, und danach wurde in die Kammer Ar-Gas bis zur Erzielung von 4 × 10^-1 Pa eingeleitet, und der Ar-Druck wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa gebracht. Zu dieser Zeit wurde an die Substratseite aus einer RF-Stromquelle eine Spannung angelegt, so daß die Eigenvorspannung 80 V betrug. Auf diese Weise wurden TbFeCoNiCr- Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:

Tabelle 5

Zusammensetzungen:

Probe 5-1: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,95(Ni_0,6Cr_0,4)_0,05
Probe 5-2: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,10
Probe 5-3: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,85(Ni_0,6Cr_0,4)_0,15
Probe 5-4: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,80(Ni_0,6Cr_0,4)_0,20

Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten amorphe Dünnschichten sind.

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der mit den Legierungsdünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in denselben Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85%, der in Beispiel 1 verwendet wurde, hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 5 gezeigt. Die in Fig. 5 angegebenen Bezugszahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden. Ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Beispiel 1 und das Ergebnis eines Beispiels mit TbFeCo (als Kurve 20) gezeigt.

In Beispiel 5 ist festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr- Dünnschicht im Vergleich zu der TbFeCo-Dünnschicht, die weder Ni noch Cr enthält, hinsichtlich der Korrosionsbeständigkeit in besonderem Maße verbessert ist. Es ist auch festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht eine bessere Korrosionsbeständigkeit hat als die üblichen GdTbFe- und GdTbFeCr-Dünnschichten. Ferner war bei der TbFeCoNiCr-Dünnschicht der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels, der mit Wirkungsgrad beim Auslesen in Beziehung steht, selbst in dem Fall klein, wenn die Menge von Ni und Cr größer wurde, und dieser Prozentsatz betrug bei Probe 5-4 etwa 10%.

(Beispiel 6)

Dünnschichten wurden in der gleichen Weise wie in Beispiel 5 hergestellt. In diesem Fall war die Eigenvorspannung gleich 0, und TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, wurden hergestellt:

Tabelle 6

Zusammensetzung:

Probe 6-1: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,95(Ni_0,6Cr_0,4)_0,05
Probe 6-2: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,10
Probe 6-3: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,85(Ni_0,6Cr_0,4)_0,15
Probe 6-4: {Tb_0,18(Fe_0,7Co_0,3)_0,82}_0,80(Ni_0,6Cr_0,4)_0,20

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit diesen Dünnschichten, die in einen Thermohygrostaten mit 80°C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 6 gezeigt. Die in Fig. 6 angegebenen Bezugszahlen entsprechen wieder den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Fig. 5 und das Ergebnis von Probe 5-5 gezeigt.

In Beispiel 6 ist wieder festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht eine höhere Korrosionsbeständigkeit hat als GdTbFe-, GdTbFeCr- und TbFeCo-Dünnschichten.

Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung des Kerr- Drehungswinkels bei Probe 6-4 nach 10 Tagen etwa 13%. Da die Vorspannung während der Herstellung der Dünnschichten in Beispiel 6 0 betrug, trat eine auffällige säulenartige Struktur auf, und im Vergleich zu Beispiel 5 war die Dichte gering und die Korrosion schnell. Daraus ist geschlossen worden, daß die Korrosionsbeständigkeit in höherem Maße verbessert wird, wenn Dünnschichten mit einer an das Material angelegten Vorspannung hergestellt werden.

(Beispiel 7)

Unter Verwendung einer Legierung aus 20% Cr und 80% Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 6 ähnlich blieben, wurden TbFeCoNiCr- Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 µm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:

Tabelle 7

Zusammensetzung:

Probe 7-1: {Tb_0,17(Fe_0,7Co_0,3)_0,83}_0,95(Ni_0,8Cr_0,2)_0,05
Probe 7-2: {Tb_0,17(Fe_0,7Co_0,3)_0,83}_0,90(Ni_0,8Cr_0,2)_0,10
Probe 7-3: {Tb_0,17(Fe_0,7Co_0,3)_0,83}_0,85(Ni_0,8Cr_0,2)_0,15
Probe 7-4: {Tb_0,17(Fe_0,7Co_0,3)_0,83}_0,80(Ni_0,8Cr_0,2)_0,20

Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 85°C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 7 gezeigt. Die in Fig. 7 angegebenen Bezugszahlen entsprechen wieder den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Fig. 5 und das Ergebnis von Probe 5-5 gezeigt.

In Beispiel 7 ist wieder festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht im Vergleich zu GdTbFe-, TbFeCo- und GdTbFeCr-Dünnschichten eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit hat. Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels bei Probe 7-4 nach Ablauf von 10 Tagen etwa 8%.

(Beispiel 8)

In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde eine Weißglasplatte, deren Seiten jeweils eine Länge von 76,2 mm hatten, als Substrat eingesetzt, während Gd-, Tb- und Co- Stücke, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die auf Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm gleichmäßig angeordnet waren, als erstes Target verwendet wurden und Ni mit einem Durchmesser von 10,16 cm als zweites Target verwendet wurde.

Das Innere der Vorrichtung wurde bis zu einem Vakuum von 1,5 × 10^-5 Pa oder weniger evakuiert, und danach wurde in die Vorrichtung Ar-Gas bis zur Erzielung von 4 × 10^-1 Pa eingeleitet, und der Ar-Druck wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa gebracht. Dem ersten Target wurde aus einer Hochfrequenz- Stromquelle eine konstante Zerstäubungsleistung von 250 W zugeführt, und gleichzeitig wurden dem zweiten Target verschiedene Zerstäubungsleistungen zugeführt, wodurch auf dem Substrat GdTbFeCoNi-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt wurden:

Tabelle 8

Zusammensetzung:

Probe 8-1: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,997Ni_0,003
Probe 8-2: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,99Ni_0,01
Probe 8-3: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,95Ni_0,05
Probe 8-4: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,9Ni_0,1
Probe 8-5: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,85Ni_0,15
Probe 8-6: {(Gd_0,5Tb_0,5)_0,21(Fe_0,9Co_0,1)_0,79}_0,8Ni_0,2

Die vorstehend erwähnten GdTbFeCoNi-Dünnschichten und die GdTbFeCo-Dünnschichten (Vergleichsbeispiele) wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch in einem Thermohygrostaten mit 55°C und einer relativen Feuchte von 75% unterzogen. Die Ergebnisse des Versuchs sind in Fig. 8 gezeigt.

In Fig. 8 stellt die Ordinate das Verhältnis der Koerzitivkraft zu dem Anfangswert in einem willkürlichen Maßstab dar, und die Abszisse stellt den Zeitablauf dar, und die Verminderung der Koerzitivkraft zeigt das Fortschreiten der Korrosion. Die Meßwerte der einzelnen Proben sind mit Bezugszahlen bezeichnet, die den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, entsprechen, und die Bezugszahl 21 zeigt zum Vergleich das Ergebnis, das bei einem Vergleichsbeispiel in Form der bekannten GdTbFeCo-Dünnschicht, zu der kein Ni hinzugegeben wurde, erhalten wurde.

Wie aus Fig. 8 hervorgeht, zeigte die GdTbFeCo-Dünnschicht, die kein Ni enthält, in etwa 200 h eine merkliche Verminderung der Koerzitivkraft. Wenn der Ni-Gehalt in GdTbFeCo zunimmt, wird die Verminderung der Koerzitivkraft geringer, und die Korrosionsbeständigkeit nimmt zu. Ferner neigt eine amorphe magnetische Dünnschicht bei einer relativ niedrigen Temperatur dazu, eine Strukturänderung wie z. B. eine Kristallisation hervorzurufen, und ihre Eigenschaften als magnetooptisches Material werden manchmal beeinträchtigt, jedoch wurde durch die Zugabe von Ni die Kristallisationstemperatur erhöht und die Wärmebeständigkeit verbessert.

(Beispiel 9)

GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, wurden in derselben Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch die Anzahl der auf dem ersten Target angeordneten Gd- und Tb-Stücke verändert wurde. Dann wurden diese Dünnschichten und die ähnlich hergestellte GdTbFe-Dünnschicht als Vergleichsbeispiel einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der dem in Beispiel 1 durchgeführten Versuch ähnlich war. Die Gewichtszunahmen nach 4 Tagen, die bei diesem Versuch mit den Dünnschichten von Beispiel 9 gemessen wurden, werden nachstehend zusammen mit den Zusammensetzungen dieser Dünnschichten gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die Gewichtszunahme bei der GdTbFe-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 9-1: {(Gd_0,05Tb_0,95)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1055 Probe 9-2: {(Gd_0,10Tb_0,90)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1050 Probe 9-3: {(Gd_0,90Tb_0,10)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1050 Probe 9-4: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,10Fe_0,90}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1040 Probe 9-5: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,15Fe_0,85}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1045 Probe 9-6: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,25Fe_0,75}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1050 Probe 9-7: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,30Fe_0,70}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1050 Probe 9-8: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,35Fe_0,65}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1055

(Beispiel 10)

Unter Verwendung einer Legierung aus 90% Cr und 10% Ni, einer Legierung aus 80% Cr und 20% Ni und einer Legierung aus 5% Cr und 95% Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren, wurden GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt. Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 9 gezeigt.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 10-1: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,05Cr_0,95)_0,1060 Probe 10-2: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,20Cr_0,80)_0,1055 Probe 10-3: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,21Fe_0,79}_0,90(Ni_0,90Cr_0,10)_0,1045

(Beispiel 11)

In Beispiel 1 wurde als erstes Target eine Legierung aus 30% Cr und 70% Fe mit darauf angeordneten Gd- und Tb-Stücken, deren Anzahl verändert wurde, verwendet, und die anderen Bedingungen waren ähnlich wie die Bedingungen in Beispiel 1, wodurch GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt wurden. Dann wurden diese Dünnschichten und die in ähnlicher Weise hergestellte GdTbFeCo-Dünnschicht als Vergleichsbeispiel einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde. Die Gewichtszunahmen, die in Beispiel 11 bei diesem Versuch nach 4 Tagen erhalten wurden, werden nachstehend zusammen mit den Zusammensetzungen gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die Gewichtszunahme bei der GdTbFeCo-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 11-1: {(Gd_0,05Tb_0,95)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1035 Probe 11-2: {(Gd_0,10Tb_0,90)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 11-3: {(Gd_0,90Tb_0,10)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 11-4: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,10(Fe_0,70Co_0,30)_0,90}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1025 Probe 11-5: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,15(Fe_0,70Co_0,30)_0,85}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1025 Probe 11-6: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,25(Fe_0,70Co_0,30)_0,75}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 11-7: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,30(Fe_0,70Co_0,30)_0,70}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 11-8: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,35(Fe_0,70Co_0,30)_0,65}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1035

(Beispiel 12)

Unter Verwendung von FeCo-Legierungen mit verschiedenen Zusammensetzungen als erstes Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren, wurden GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt. Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurden, und die Ergebnisse des Versuchs werden nachstehend ähnlich wie in Beispiel 11 gezeigt.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 12-1: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,95Co_0,05)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1035 Probe 12-2: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,90Co_0,10)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1035 Probe 12-3: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,80Co_0,20)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 12-4: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 12-5: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,50Co_0,50)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1025 Probe 12-6: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,35Co_0,65)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1020 Probe 12-7: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,20Co_0,80)_0,78}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1015

(Beispiel 13)

Unter Verwendung einer Legierung aus 30% Co und 70% Fe als erstes Target und einer Legierung aus 90% Cr und 10% Ni, einer Legierung aus 80% Cr und 20% Ni, einer Legierung aus 5% Cr und 95% Ni und von 100%igem Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren, wurden GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, und eine GdTbFeNi-Dünnschicht hergestellt. Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 11 gezeigt.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 13-1: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,05Cr_0,95)_0,1040 Probe 13-2: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,20Cr_0,80)_0,1035 Probe 13-3: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90(Ni_0,90Cr_0,10)_0,1025 Probe 13-4: {(Gd_0,50Tb_0,50)_0,22(Fe_0,70Co_0,30)_0,78}_0,90Ni_0,1060

(Beispiel 14)

TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, wurden unter denselben Bedingungen wie in Beispiel 5 hergestellt, wobei die Anzahl der auf dem ersten Target angeordneten Tb-Stücke jedoch verändert wurde. Dann wurden diese Dünnschichten und die in ähnlicher Weise hergestellte TbFeCo-Dünnschicht als Vergleichsbeispiel einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde. Die Gewichtszunahmen, die in Beispiel 14 bei diesem Versuch nach 4 Tagen erhalten wurden, werden nachstehend zusammen mit den Zusammensetzungen gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die Gewichtszunahme bei der TbFeCo-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 14-1: {Tb_0,10(Fe_0,70Co_0,30)_0,90}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1030 Probe 14-2: {Tb_0,15(Fe_0,70Co_0,30)_0,85}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1035 Probe 14-3: {Tb_0,25(Fe_0,70Co_0,30)_0,75}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1040 Probe 14-4: {Tb_0,30(Fe_0,70Co_0,30)_0,70}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1040 Probe 14-5: {Tb_0,35(Fe_0,70Co_0,30)_0,65}_0,90(Ni_0,60Cr_0,40)_0,1045

(Beispiel 15)

Unter Verwendung von FeCo-Legierungen mit verschiedenen Zusammensetzungen und eines Tb-Stückes als erstes Target oder von Tb-Stücken und Co-Stücken, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die auf Fe angeordnet waren, als erstes Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen in Beispiel 5 ähnlich waren, wurden TbFeCoNiCr- Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt. Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 14 gezeigt.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 15-1: {Tb_0,17(Fe_0,99Co_0,01)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1045 Probe 15-2: {Tb_0,17(Fe_0,90Co_0,10)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1040 Probe 15-3: {Tb_0,17(Fe_0,80Co_0,20)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1035 Probe 15-4: {Tb_0,17(Fe_0,60Co_0,40)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1035 Probe 15-5: {Tb_0,17(Fe_0,50Co_0,50)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1030 Probe 15-6: {Tb_0,17(Fe_0,35Co_0,65)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1025 Probe 15-7: {Tb_0,17(Fe_0,20Co_0,80)_0,83}_0,90(Ni_0,6Cr_0,4)_0,1025

(Beispiel 16)

Unter Verwendung einer Legierung aus 90% Cr und 10% Ni, einer Legierung aus 80% Cr und 20% Ni und einer Legierung aus 5% Cr und 95% Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen in Beispiel 5 ähnlich waren, wurden TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt. Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 14 gezeigt.
ZusammensetzungGewichtszunahme

Probe 16-1: {Tb_0,17(Fe_0,70Co_0,30)_0,83}_0,90(Ni_0,05Cr_0,95)_0,1045 Probe 16-2: {Tb_0,17(Fe_0,70Co_0,30)_0,83}_0,90(Ni_0,20Cr_0,80)_0,1040 Probe 16-3: {Tb_0,17(Fe_0,70Co_0,30)_0,83}_0,90(Ni_0,90Cr_0,10)_0,1040

Wenn eine bekannte Schutzschicht oder eine auch als Schutzschicht dienende Antireflexschicht oder eine Wärmeisolierschicht auf dem erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsmaterial ausgebildet wird und das Aufzeichnungsmaterial dadurch hergestellt wird, daß die Aufzeichnungsschicht beispielsweise durch das in den Beispielen angewandte Zerstäubungsverfahren oder das Vakuumaufdampfungsverfahren auf ein Substrat wie z. B. Glas, Metall oder Kunststoff laminiert wird, wird die Korrosionsbeständigkeit weiter verbessert. Natürlich wird die Korrosionsbeständigkeit auch verbessert, wenn aus dem Aufzeichnungsmaterial in der bekannten Weise eine Luftsandwichstruktur, in die Inertgas eingeschlossen ist, hergestellt wird.

Claims

1. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial mit einer Dünnschicht aus einer amorphen magnetischen Legierung, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschicht aus einer Legierung mit der folgenden Zusammensetzung besteht und eine Achse der leichten Magnetisierbarkeit in einer zu der Oberfläche der Dünnschicht senkrechten Richtung hat: {(Gd_xTb_1-x)_p(Fe_yCo_1-y)_1-p}_q(Ni_zCr_1-z)_1-q,worin0 x 9,0
0,2 y 1,0
0,05 z 1,0
0,1 p 0,5
0,001 1-q 0,35.

2. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge 20 bis 90 Atom-% beträgt.

3. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge 60 bis 80 Atom-% beträgt.

4. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von Gd, Tb, Fe und Co bezogene Gesamtmenge von Gd und Tb 15 bis 30 Atom-% beträgt.

5. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus der Legierung bestehende Dünnschicht Gd und/oder Co enthält.