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DE3412075A1 - Vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung von lichtpunkten - Google Patents

Vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung von lichtpunkten

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Publication number
DE3412075A1
DE3412075A1 DE19843412075 DE3412075A DE3412075A1 DE 3412075 A1 DE3412075 A1 DE 3412075A1 DE 19843412075 DE19843412075 DE 19843412075 DE 3412075 A DE3412075 A DE 3412075A DE 3412075 A1 DE3412075 A1 DE 3412075A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
photodiodes
imaging optics
light
photodiode
rows
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19843412075
Other languages
English (en)
Inventor
Volker Dipl.-Biol. 3407 Gleichen Heerich
Helmut Prof. Dr. Dipl.-Ing. 3400 Göttingen Kellner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kappa Messtechnik GmbH
Original Assignee
Isco Optische Werke GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Isco Optische Werke GmbH filed Critical Isco Optische Werke GmbH
Priority to DE19843412075 priority Critical patent/DE3412075A1/de
Publication of DE3412075A1 publication Critical patent/DE3412075A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung von Lichtpunkten
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung von auf der Dingseite befindlichen Lichtpunkten, mit einer zwischen Dingseite und Bildseite angeordneten Abbildungsoptik und mehreren Fotodiodenzeilen zum Erfassen dzr Koordinaten des Lichtpunktes.
  • Lichtempfindliche Dioden, die in einer Vielzahl in Zeilenfor.
  • aneinandergereiht sind, sind auch als sog. CCD-Zeile bekannt.
  • Eine CCD-Zeile ist ein Halbleiterbauelement, das aus einer grossen Zahl auf einem Substrat dicht integrierter MOS-Kondensatoren besteht, die ein analoges Signal in Form von Ladungspaketen speichern können und die diese Ladungspakete bei entsprechender Steuerung durch Taktsignale von Kondensator zu Kondensator weiterleiten können. Die einzelnen Dioden oder auch Bildelemente werden auch als Pixel bezeichnet. Ein einziges Pixel oder eine einzige Diode kann beispielsweise typisch eine Größe von 0,013 x 0,013 mm2 oder auch 0,010 x 0,010 mm2 aufweisen. Die einzelnen Dioden sind unmittelbar aneinanderstoßend in Zeilenform angeordnet. Es ist bekannt, in einer solchen Zeile beispielsweise 256 - 4.096 einzelne Dioden bzw. Pixel anzuordnen.
  • Wird eine einzelne Diode innerhalb der Zeile belichtet, so entsteht eine elektrische Ladung, die in einen Zwischenspeicher verschoben wird. Die Zwischenspeicher können dann ausgelesen werden, um festzustellen, welche der zahlreichen Dioden belichtet worden ist. Die dabei erhältlichen Informationen können entweder analog als Helligkeitsverteilung dargestellt oder mit Hilfe eines Analog /Digital-Wandlers in Zahlenwerte umgeformt werden. Die Belichtungszeit einerseits und die Auslesetaktrate andererseits können gesteuert werden. Das Auslesen kann äußerst schnell erfolgen, z. B. mit einer Auslesetaktrate von bis zu 20 MHz.
  • Für eine Zeile mit 1.728 Dioden und einer Auslesetaktrate von 2 MHz ergibt sich eine Wiederholfrequenz von 1,16 KHz. Es versteht sich, daß mit derartigen Fotodiodenzeilen nur ein eindimensionales Messen möglich ist.
  • Zum zweidimensionalen Messen ist es bekannt, die Dioden, Bildelemente bzw. Pixel als Matrix anzuordnen, die dann aus n Zeilen mit je m Dioden besteht. Auf diese Art und Weise ergeben sich n x m Bildelemente. Die Bildelemente können rechteckige Form, z. B. 0,018 x 0,030 mm2 oder auch quadratische Form, z. B. 0,023 x 0,023 mm2 haben. Daraus ergeben sich auch die Abstände in Zeile und Reihe. Eine solche Fotodiodenmatrix wird auch als CCD-Array bezeichnet. Das Auslesen einer solchen Matrix erfolgt zeilenweise, d. h. die n Zeilen werden zeitmäßig nacheinander ausgelesen. Aus diesem Grund ist die Auslesezeit um den Faktor n größer als bei einer Einzelzeile. Die übliche Auslesetaktrate liegt hier bei 50 Hz.
  • Für eine zweidimensionale Messung wird eine Kamera mit einer Fotodiodenmatrix eingesetzt. Für die Messung der dreidimensionalen Lage von Lichtpunkten werden üblicherweise zwei derartige Kameras in Stereoanordnung benötigt. Solche Messungen sind z. B. von erheblicher Bedeutung bei der zwei- oder dreidimensionalen berührungslosen Positionierung von mobilen Robotern relativ zu einem Lichtpunkt. Ein solcher Lichtpunkt kann selbstleuchtend ausgebildet sein, also z. B. als Diode oder auch durch Remission erzeugt werden. Mit einer dreidimensionalen Punktvermessung kann somit auch die Oberfläche eines Körpers erfaßt werden, wobei z. B. die Lichtpunkte von einem bewegten Laserstrahl nach Scanntechnik erzeugt werden.
  • Die für die angesprochenen Messungen verfügbaren Kameras, die mit einer Fotodiodenmatrix arbeiten, haben vor allen Dingen zwei wesentliche Nachteile. Die Anzahl der Fotodioden innerhalb der Matrix ist relativ gering und die Auslesezeit ist relativ hoch. Oft wird auch, z. B. für Positionieraufgaben ein großer Bildbereich bei hoher Auflösung in Verbindung mit einer kurzen Meßzeit verlangt. Diese Forderungen können von einer Fotodiodenmatrix, bedingt durch deren konstruktiven Aufbau, praktisch nicht oder nur sehr schwer erfüllt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, die mit einer geringen Anzahl von Fotodioden auskommt und bei der die Auslesetaktrate relativ hoch gewählt werden kann, wie dies an sich bei Fotodiodenzeilen möglich ist.
  • Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die drei Fotodiodenzeilen getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen angeordnet sind, daß jede Fotodiodenzeile eine eigene Abbildungsoptik mit einer Linsenoptik und einer Zylinderlinse aufweist, und daß die den Fotodioenzeilen zugeordneten Zylinderlinsen mit ihren Zylinderachsen windschief zueinander angeordnet sind und die Koordinatenachsen in ihren Richtung festlegen. Die Erfindung geht von dem Gedanken aus, die Verwendung von zwei Fotodiodenmatritzen mit je mehreren Zeilen bei der dreidimensionalen Vermessung zu verlassen und gleichsam die Matritzen in drei räumlich getrennte Zeilen voneinander aufzuteilen und damit zu messen. Die Erfindung setzt somit die an sich bekannten Fotodiodenzeilen mit ihren höheren Auslesetaktraten ein, jetzt aber nicht zur eindimensionalen, sondern zur dreidimensionalen Messung. Diese drei Fotodiodenzeilen werden in unterschiedlichen Bildebenen angeordnet.
  • Zu jeder Abbildungsoptik gehört eine Linsenoptik und eine vor-oder nachgeordnete Zylinderlinse. Die Erfindung benutzt weiterhin die Erkenntnis, daß sich ein Punkt mit Hilfe einer Zylinderlinse zu einem Strich bzw. Balken abbilden läßt. Aus einem Lichtpunkt wird dabei ein Lichtbalken. Bildet man diesen Lichtbalken schräg auf der Fotodiodenzeile ab, dann wird das betreffende Bildelement im Schnittpunkt beleuchtet. Aus der betreffenden Fotodiodenzeile läßt sich eine Koordinate auslesen.
  • Gleiches gilt für die anderen Fotodiodenzeilen, wobei die Zylinderachsen, die im allgemeinen Fall lediglich windschief zueinander angeordnet sein müssen, zugleich die Koordinatenachsen hinsichtlich ihrer Richtungen festlegen. Mit diesen drei Fotodiodenzeilen lassen sich auf diese Art und Weise die X-, V-und die Z-Koordinate des Lichtpunktes messen, und zwar mit sehr großer Geschwindigkeit. Jeder auf diese Art und Weise erzeugte Lichtbalken beschreibt in Verbindung mit dem Projektionszentrum der jeweiligen Abbildungsoptik eine Ebene im Raum. Sämtliche Lichtpunkte im dingseitigen Bereich dieser Ebene werden auf dem Lichtbalken abgebildet. Führt man zwei dieser Ebenen zum Schnitt, so ergibt sich eine Schnittgerade. Zwei Schnittgeraden zweier unterschiedlicher Ebenenpaare schneiden sich in einem Punkt. Damit sind die Koordinaten des Lichtpunktes festgelegt. Durch die Verwendung von drei Fotodiodenzeilen wird erfindungsgemäß gleichsam eine Pseudo-Raum-Kamera geschaffen.
  • Uberraschend daran ist, daß man mit Fotodiodenzeilen, die an sich bisher nur zur eindimensionalen Messung eingesetzt wurden, auf die Art und Weise auch dreidimensional messen kann.
  • Die wesentlichen Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind darin zu sehen, daß nur drei Fotodiodenzeilen ausgelesen werden müssen. Dies kann parallel zueinander geschehen, wodurch extrem kurze Meßzeiten erreicht werden. Die Meßfrequenz liegt mit Sicherheit im KHz-Bereich. Weiterhin ist es vorteilhaft, daß die Auflösung in den Koordinatenrichtung gleich sein kann und dem Abstand der Fotodioden in der Zeile entspricht, also in einer Größenordnung von 0,010 bis 0,013 mm liegt. Mit handelsüblichen CCD-Zeilen können auf diese Art und Weise 4.0963 Raumpunkte bestimmt werden. Die Anzahl der Bildpunkte kann durch das Aneinanderreihen von CCD-Zeilen weiter erhöht werden.
  • In spezieller Ausführungsform besteht die Möglichkeit, daß zwei Fotodiodenzeilen in einer gemeinsamen Ebene und die dritte Fotodiodenzeile orthogonal zu dieser Ebene angeordnet ist. Damit ergibt sich eine vereinfachte Justierungsmöglichkeit.
  • Die Projektionszentren der drei Abbildungsoptiken können auf einer Geraden angeordnet sein, was den mechanischen Aufbau der Gesamtvorrichtung erheblich vereinfacht. Die drei Fotodiodenzeilen mit ihren jeweiligen Abbildungsoptiken können auch auf einem gemeinsamen Träger angeordnet sein. In allen Fällen ist selbstverständlich eine feste Basis erforderlich, auf denen die Fotodiodenzeilen mit ihren Abbildungsoptiken festgelegt sind bzw. eingestellt werden können.
  • Anstelle einer Fotodiodenzeile können mehrere Fotodiodenzeilen in einer Ebene vorgesehen und einer Zylinder linse bzw. Abbildungsoptik zugeordnet sein, auf die der Lichtbalken mit Prismen, Spiegel o. dgl. abgebildet wird. Damit ist es möglich, einen größeren Meßraum zu überdecken. Da die einzelnen Fotodiodenzeilen auch zeitlich parallel zueinander ausgelesen werden können, kann auf diese Art und Weise die Meßgeschwindigkeit gesteigert werden.
  • Die Erfindung wird anhand einiger Ausführungsbeispiele weiter dargestellt und verdeutlicht. Es zeigen: Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der Abbildung eines Lichtpunktes in einen Lichtbalken, Fig. 2 die räumliche Zuordnung der wesentlichen Teile der Vorrichtung in einer ersten allgemeinen Ausführungsform und Fig. 3 die Möglichkeit der Unterteilung einer Zeile in mehrere Teilzeilen.
  • Fig. 1 verdeutlicht die Abbildung eines Lichtpunktes 1, der auf der Dingseite 2 vorgesehen ist zu einem Lichtbalken 3 auf einer Bildebene 4 im Bereich der Bildseite 5. Dies geschieht mit Hilfe einer Abbildungsoptik 6, die eine Linsenoptik 7 und eine Zylinderlinse 8 aufweist. Die Zylinderachse 9 der Zylinderlinse 8 und der Lichtbalken 3 liegen in einer gemeinsamen Ebene, ja sogar parallel zueinander, wenn die Bildebene 4 entsprechend positioniert ist. Die Abbildungsgesetze einer Zylinderlinse 8 sind an sich bekannt. In einer ersten Abbildung erscheint der Lichtbalken 3 so wie dargestellt. Positioniert man nun eine Fotodiodenzeile 10 in der Bildebene 4 so, daß der Lichtbalken 3 schräg oder auch quer die Fotodiodenzeile 10 schneidet, so wird das betreffende Diodenelement der Fotodiodenzeile 10 belichtet und stellt damit eine Koordinate des Lichtpunktes 1 dar. Es versteht sich, daß in Verbindung mit der Zylinderachse 9 und dem belichteten Element der Fotodiodenzeile 10 eine Ebene definiert ist, in der auch der Lichtpunkt 1 angeordnet ist.
  • Die Anordnung nach Fig. 1 erlaubt noch keine zwei- oder dreidimensionale Vermessung, soll aber die prinzipiellen Möglichkeiten einer solchen Abbildung mit einer Zylinderlinse 8 aufzeigen.
  • Der in Fig. 2 dargestellte grundsätzliche Aufbau der Vorrichtung für eine dreidimensionale Messung baut zunächst auf der Anordnung gemäß Fig.1 auf, dh. h. der Lichtpunkt 1 wird mit Hilfe einer Abbildungsoptik 6, die eine Linsenoptik 7 und eine Zylinderlinse 8 aufweist, als Lichtbalken 3 mit einer Fotodiodenzeile 10 zum Schnitt gebracht, wodurch beispielsweise die Koordinate X festgelegt ist. Dies geschicht ein zweites und ein drittes Mal mit prinzipiell gleich aufgebauten Vorrichtungsteilen, indem der Lichtpunkt 1 zusätzlich auf einer Fotodiodenzeile 10' mit Hilfe der Abbildungsoptik 6' und des Lichtbalkens 3' abgebildet wird. In gleicher Weise empfängt die Fotodiodenzeile 10'' über die Abbildungsoptik 6'' den Lichtbalken 3'' des Lichtpunktes 1. Damit kann die Y und die Z Koordinate festgelegt werden. Die Fotodiodenzeilen 10, 10', 10'' sind getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen angeordnet. Die Achsen der Zylinderlinsen der Abbildungsoptiken 6, 6', 6'' können im allgemeinen Fall windschief zueinander angeordnet sein.
  • Im speziellen Fall ist es möglich, beispielsweise die Fotouiodenzeilen 10 und 10' in einer gemeinsamen Ebene anzuordnen und die Zeile 10'' in einer dazu orthogonal stehenden Ebene. Jeder Lichtbalken 3, 3', 3'' beschreibt in Verbindung mit dem Projektionszentrum der jeweiligen Abbildungsoptik 6, 6', 6'' eine Ebene im Raum. Die der Abbildungsoptik 6 zugeordnete Ebene 11 und die der Abbildungsoptik 6' zugeordnete Ebene 11' schneiden sich in einer Schnittgeraden 12, auf der der Lichtpunkt 1 angeordnet ist. Gleiches gilt, wenn beispielsweise ein anderes Paar von Ebenen in einer Schnittgeraden zum Schnitt gebracht wird.
  • Sämtliche drei auf diese Art und Weise entstehenden Schnittgeraden schneiden sich in dem Lichtpunkt 1.
  • Jede Abbildungsoptik 6, 6', 6'' bildet mit der zugehörigen Fotodiodenzeile 10, 10', 10'' gleichsam eine Kamera, so daß drei Kameras etwa in Reihe vorgesehen sind. In bevorzugter Ausführungsform können die Fotodiodenzeilen 10 und 10' in einer Ebene liegen. Auch alle drei Projektionszentren der Abbildungsoptiken 6, 6', 6'' können ebenfalls in dieser Ebene angeordnet sein, um die Gesamtvorrichtung einfacher justieren zu können.
  • Die Fotodiodenzeile 10'' ist vorzugsweise orthogonal zu dieser Ebene angeordnet. Durch eine Kallibrierung der Gesamtvorrichtung werden sämtliche geometrischen Parameter bestimmt, so daß aus den Bildkoordinaten, nämlich der Lage des jeweiligen Lichtbalken 3, 3', 3'' auf den Fotodiodenzeilen 10, 10', 10" die Raumkoordinaten X, Y, Z des Lichtpunktes 1 berechnet werden können.
  • Die Fig. 3 soll verdeutlichen, daß es möglich ist, eine einzelne Fotodiodenzeile 10 beispielsweise durch drei Fotodiodenzeilen 13, 14, 15 zu ersetzen bzw. zu ergänzen; mit Hilfe eines Prismas 16 mit Spiegeln 17 oder nur mit Spiegeln 17 besteht die Möglichkeit, den von der Zylinderlinse 8 abgebildeten Lichtbalken 3 bereichsweise jeweils auf eine Fotodiodenzeile 13, 14 oder 15 zu lenken. Durch diese MaBnahme wird der Bildwinkel vergrößert, ohne daß die Länge einer einzelnen Fotodiodenzeile hierbei eine Grenze bildet. Die Fotodiodenzeilen 13, 14 und 15 können auch zeitlich parallel nebeneinander ausgelesen werden, so daß dadurch die Auslesezeit nicht verlängert wird. Umgekehrt läßt sich die Geschwindigkeit der Messung damit vergrößern.
  • Bezugszeichenliste: 1 = Lichtpunkt 2 = Dingseite 3 = Lichtbalken 4 = Bildebene 5 = Bildseite 6 = Abbildungsoptik 7 = Linsenoptik 8 = Zylinderlinse 9 = Zylinderachse 10 = Fotodiodenzeile 11 = Ebene 12 = Schnittgerade 13 = Fotodiodenzeile 14 = Fotodiodenzeile 15 = Fotodiodenzeile 16 = Prisma 17 = Spiegel - Leerseite -

Claims (5)

  1. Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung von Lichtpunkten Patentansprüche: 1.)Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung von auf der Dingseite befindlichen Lichtpunkten, mit einer zwischen Ding-und Bildseite angeordneten Abbildungsoptik und mehreren Fotodiodenzeilen zum Erfassen der Koordinaten des Lichtpunktes, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Fotodiodenzeilen (10, 10', 10'') getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen angeordnet sind, daß jede Fotodiodenzeile (10, 10', 10") eine eigene Abbildungsoptik (6, 6', 6'') mit einer Linsenoptik und einer Zylinderlinse aufweist, und daß die den Fotodiodenzeilen (10, 10', 10'') zugeordneten Zylinderlinsen mit ihren Zylinderachsen windschief zueinander angeordnet sind und die Koordinate tenachsen in ihren Richtungen festlegen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Fotodiodenzeilen (10, 10') in einer gemeinsamen Ebene und die dritte Fotodiodenzeile (10'') orthogonal zu dieser Ebene angeordnet ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionszentren der drei Abbildungsoptiken (6, 6', 6'') auf einer Geraden angeordnet sind.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Fotodiodenzeilen (10, 10', 10") mit ihren jeweiligen Abbildungsoptiken (6, 6', 6'') auf einem gemeinsamen Träger angeordnet sind.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle einer Fotodiodenzeile (10, 10', 10 ") mehrere Fotodiodenzeilen (13, 14, 15) in einer Ebene vorgesehen und einer Zylinder linse (8) bzw. Abbildungsoptik (6) zugeordnet sind, auf die der Lichtbalken (3) mittels Prismen, Spiegel o. dgl.
    (16, 17) abgebildet wird.
DE19843412075 1984-03-31 1984-03-31 Vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung von lichtpunkten Withdrawn DE3412075A1 (de)

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