DE3401086C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Präzisions-Schleifmaschine zum Anschleifen von Fasen an Werkstücke, insbesondere an Kanten von quaderförmigen Werkstücken, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Aus der FR-OS 24 95 036 ist eine Präzisions-Schleifmaschine zum Anschleifen von Fasen an Werkstücke bekannt, bei wel­ cher auf einem Maschinenbett ein längs verschieblicher X-Achsen-Vorschubschlitten mit einer darauf angeordneten Werkstück-Aufspanneinrichtung vorhanden ist. Ferner ist ein Schleifwerkzeugträger mit einem Schleifwerkzeug in Y-Rich­ tung verschiebbar angeordnet. Sowohl der X-Vorschubschlitten als auch der Schleifwerkzeugträger sind hydrostatisch gela­ gert. Beide werden über motorbetriebene Vorschubspindeln betätigt. Die mit dem Schleifwerkzeugträger in Eingriff stehende Vorschubspindel ist an zwei Stellen über Flüssig­ keitsdruck-Radiallager gehalten. Zur axialen Führung ist die Vorschubspindel mit einem Flansch versehen, der eben­ falls mit Flüssigkeitsdrucklagern in Eingriff steht. Die Vorschubspindel des Y-Vorschubschlittens ist nicht hydro­ statisch gelagert. Des weiteren ist auch eine Bewegung des Schleifwerkzeugs in Z-Richtung nicht vorgesehen. Für einen Vorschub in Y-Richtung muß der gesamte Schleifwerk­ zeugträger in Bewegung gesetzt werden. Durch die relativ großen Massen, die für einen Y-Vorschub bewegt werden müssen, und die mangelnde hydrostatische Lagerung der X-Vorschubspindel ist der für eine zuverlässige, maßge­ naue Bearbeitung erforderliche erschütterungsfreie Betrieb nicht gewährleistet.

Aus der US-PS 37 08 923 ist eine Schleifmaschine bekannt, bei der hydrostatische Führungsbahnen für die Bewegung ei­ nes Schlittens nur für eine Richtung vorgesehen sind.

Aus der DE-OS 21 12 676 ist eine Mutter einer Vorschub­ schraube bekannt, bei der die Mutter quer zur Spindelachse geteilt ist. Das Spiel der Mutter kann zwar hydraulisch eingestellt werden, aber die Lagerungen der Gewindespindeln sind nicht hydrostatisch ausgeführt. Bei der Verwendung des Vorschubantriebs mit relativ großen Massen ergeben sich die gleichen Nachteile wie bei der erstgenannten FR-OS 24 95 036.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Präzisions-Fasenschleifmaschine der eingangs genannten Art anzugeben, mit welcher mit außerordentlich großer Genauig­ keit Fasen angeschliffen werden können.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im Kenn­ zeichnungsteil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Die Erfindung beruht auf dem Gedanken, einerseits die bei der Bearbeitung eines Werkstücks zu bewegenden Massen möglichst klein zu halten und andererseits die Übertragung von Erschütterungen auf das Werkstück zu unterdrücken. Außerdem wird durch eine Überwachung und Ansteuerung des Werkstückvorschubs ein präziser und gleichmäßiger Eingriff zwischen dem Schleifwerkzeug und dem Werkstück sicherge­ stellt.

Bei der erfindungsgemäßen Präzisions-Schleifmaschine er­ folgt die Y-Bewegung über den Y-Support. Auf diese Weise muß lediglich der Support sowie das darauf angeordnete Werkstück bewegt werden. Beide zusammen besitzen eine we­ sentlich geringere Masse als bei Schleifmaschinen nach dem Stand der Technik. Das Anfahren und Abbremsen des Supports kann daher mit geringeren Beschleunigungs- und Bremskräften erfolgen, so daß im Ergebnis nachteilige Erschütterungen vermieden werden. Durch die zusätzliche Anordnung von Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindeln in allen drei Bewegungs­ richtungen wird diese vorteilhafte Wirkung weiter unter­ stützt. Die Flüssigkeitsdrucklagerungen können aufgrund der kleineren Kräfte und Massen wirksamer ausgebildet wer­ den.

Durch das Zusammenwirken des Y-Supports mit einer erfin­ dungsgemäß möglichen Bewegung des Werkzeugs in Z-Richtung ist das hochgenaue Anschleifen von Fasen bei unterschiedli­ chen Werkstücken unabhängig von der Schleifscheibenbreite möglich. Zur Verstellung der Bezugsposition des Y-Supports dient eine optische Detektionseinrichtung und zur Feststel­ lung der Position des Y-Supports eine Skala, die im Zusam­ menwirken mit einer Steuerschaltung einen Regelkreis bil­ det, mit dem die Bewegungen des Werkstücks bzw. des Supp­ orts überwacht und angesteuert werden können. Diese An­ steuerungen und Bewegungen sind jederzeit wiederholbar, so daß für alle bearbeiteten Werkstücke die gleichen Bedingun­ gen gelten. Außerdem werden durch die Rückkopplung der Sup­ portbewegung die jeweils optimalen Beschleunigungs- und Ab­ bremskräfte über Antriebsmotoren eingestellt.

Die erfindungsgemäße Schleifmaschine eignet sich insbeson­ dere zur Herstellung von Magnetköpfen mit einem Ferritkern, wie beispielsweise in der Fig. 1 dargestellt ist. Bei der Herstellung eines Magnetkopfes mit einem derartigen Ferrit­ kern ist ein Maß an Schleifpräzision und -qualität erfor­ derlich, welches beträchtlich größer ist als bei sonst be­ kannten Anwendungsfällen. Dies kann auf folgende Faktoren zurückgeführt werden:

• 1. Die zu bearbeitende Fläche besteht aus einem harten, spröden Material, wie Ferrit.
• 2. Die von den beiden an die Spurfläche 2 angrenzenden, abgeschrägten Flächen 3 definierte Spurbreite H ist sehr gering und muß mit sehr hoher Präzision bei sehr engen Toleranzen gefertigt werden.
• 3. Die bearbeitete Fläche muß von hoher Güte sein.

Da infolge der Sprödigkeit des Material schon geringste Vi­ brationen des Schleifwerkzeugs oder dergleichen zu einem Splittern der bearbeiteten Fläche führen, ist es erforder­ lich, eine hohe Rotationsgenauigkeit des Schleifwerkzeugs sicherzustellen und den Vorschub des Werkstücks mit größter Gleichmäßigkeit ohne jede Störung auf den Führungsflächen zu bewirken. Dies gelingt in vorteilhafter Weise mit den Merkmalen gemäß der Erfindung.

Die Unteransprüche kennzeichnen vorteilhafte Ausgestaltun­ gen der Erfindung.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Ferrit-Kerns als ein Beispiel eines mit der Präzisions-Schleifmaschine bearbeitbaren Werkstücks;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der gesamten Präzisions-Schleifmaschine;

Fig. 3 eine Ansicht der Schleifmaschine nach Fig. 2 von links;

Fig. 4 einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil der Spindel des Schleifwerkzeuges zeigt;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht des wesent­ lichen Teiles einer X-Y-Vorschubeinheit;

Fig. 6 (A) einen Querschnitt, welcher einen wesent­ lichen Teil einer hydrostatisch gelagerten Vorschubspindel zeigt;

Fig. 6 (B) einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil einer hydrostatisch beaufschlagbaren Mutter zeigt;

Fig. 6 (C) einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil eines hydrostatisch gelagerten Supports zeigt;

Fig. 7 eine perspektivische Ansicht einer Werk­ stückaufspannvorrichtung;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines Magnet­ kern-Rohlings;

Fig. 9 (A)+(B) Darstellungen, welche das Schleifen mit der Präzisions-Schleifmaschine erläutern.

Die Fig. 2 und 3 zeigen ein Ausführungsbeispiel der Präzisions-Schleifmaschine. Dieses Ausführungsbeispiel hat ein Maschinenbett 10 mit einer oberen Ebene 12, auf der ein Schleifwerkzeugträger 11 befestigt ist. Das Maschinen­ bett 10 ist weiter mit Führungsflächen 13a, 13b in X-Richtung versehen, die mit einem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten in Eingriff stehen, welcher in X-Richtung von einer hydrostatisch gelagerten Vorschub­ spindel 16 geführt ist, die auf Steuerbefehle von einer Steuerschaltung 15 hin rotiert. Die Oberseite des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens ist mit Führungs­ flächen in Y-Richtung versehen, die später erläutert werden. Diese Führungsflächen in Y-Richtung wirken mit einem Support 17 zusammen, der bei Rotation einer hydro­ statisch gelagerten Vorschubspindel in Y-Richtung gleitet. Auf einer Seitenfläche des in Y-Richtung geführten Supports 17 ist eine lineare Skala 19 vorgesehen, die zur Abgabe eines Impulses zu der Steuerschaltung 15 eingerichtet ist, jedesmal wenn sich der in Y-Richtung geführte Support 17 um eine Strecke von 0,1 µm bewegt. Die Steuerschaltung 15 empfängt so eine Anzahl von Impulsen, welche der von dem in Y-Richtung geführten Support 17 zurückgelegten Strecke entspricht.

Auf der Oberseite des in Y-Richtung geführten Supports 17 ist eine Aufspanneinrichtung 21 zum Halten einer Viel­ zahl von Werkstücken 20 befestigt.

Der Schleifwerkzeugträger 11 ist, wie Fig. 3 zeigt, in einem vorgegebenen Winkel α in bezug auf die obere Fläche der Werkstücke 20 angeordnet (dieser Winkel entspricht dem Winkel der abgeschrägten Oberfläche eines Ferritkerns). Er trägt mittels hydrostatischer Lagerung eine Schleif­ werkzeug-Spindel 22, an die ein Schleifwerkzeug 23 ange­ bracht ist. In der Nähe des Schleifwerkzeugs 23 ist eine Mikroskop-Einheit 24 zur Beobachtung der geschliffenen Fläche vorgesehen. Die Bezugsziffer 25 bezeichnet eine Abzieheinrichtung zum Schärfen des Schleifwerkzeuges 23. Das Bezugszeichen 26 bezeichnet einen Antriebsmotor zum Drehen der Schleifwerkzeug-Spindel 22. Weiter ist eine - nicht gezeigte - Hydraulik-Einheit zur Versorgung der hydrostatisch gelagerten Vorschubspindeln mit hydraulichem Druck vorhanden.

Fig. 4 zeigt den Aufbau der Lager der Schleifwerkzeug- Spindel 22. Die Werkzeug-Spindel 22 hat eine Riemenscheibe 27 an einem Ende und eine Welle 28 für die Anbringung des Schleifwerkzeugs 23 am anderen Ende. Sie ist an dem ge­ neigten Schleifwerkzeugträger 11 mittels eines Paares von hydrostatischen Lagern gehalten, welche aus einem Radiallager 31 und einem Axiallager 30 bestehen. Die Riemenscheibe 27 und der Antriebsmotor 26 sind über einen Riemen 29 verbunden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Axiallager 30 als hydrostatisches Mehrfach-Lager ausgebildet, so daß eine thermische Verschiebung in axialer Richtung minimiert werden kann, obwohl das Axiallager so weit wie möglich zur Seite des Schleifwerkzeuges hin ange­ ordnet ist.

Durch die Verwendung von hydrostatischen Lagern für das Radiallager 31 und das Axiallager 30 in dieser Weise ist es möglich, eine vibrationsfreie Schleifwerkzeug-Spindel mit hoher Drehgenauigkeit zu verwirklichen.

Das Radiallager 31 ist mit einem Paar von Flüssigkeits­ druck-Taschen 31a, 31b um seinen inneren Umfang versehen, während das Axiallager 30 mit einem Paar von Flüssigkeits­ druck-Taschen 30a, 30b versehen ist, die so angeordnet sind, daß ein Flansch 22a der Schleifwerkzeug-Spindel 22 umgriffen wird. Die genannten Flüssigkeitsdruck-Taschen 31a, 31b und 30a, 30b sind mit einer - nicht gezeigten - hydraulischen Einheit über Hydraulik-Druckleitungen 32a, 32b verbunden.

Obwohl in der Zeichnung nicht gezeigt, basiert die Vor­ schubeinheit des Schleifwerkzeuges in der Z-Richtung in diesem Ausführungsbeispiel auf dem sogenannten Spindel­ vorschub-System, wobei die Gleitbewegung auf das Schleif­ werkzeug 23 durch die Drehung einer Leitspindel, die mit einem Bedienungsgriff verbunden ist, übertragen wird. Diese Art der Vorschubeinheit wird zum Vorschub in der Z-Richtung verwendet, da für die Präzisions-Fasenschleifmaschine nach dieser Erfindung die Vorschubeinheit für die Z-Achse lediglich bei Beginn eingestellt zu werden braucht und da­ nach innerhalb gewisser Grenzen fixiert bleibt. Die Er­ findung ist jedoch nicht auf eine derartige Anordnung begrenzt, es kann statt dessen auch eine hydrostatisch gelagerte Vorschubspindeleinheit verwendet werden, wie die zum Vorschub in der X-Richtung und der Y-Richtung. Damit wird sowohl die Genauigkeit als auch der An­ wendungsbereich der Schleifmaschine vergrößert.

Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht des wesent­ lichen Teiles der X-Y-Vorschubeinheit bei diesem Aus­ führungsbeispiel. Das Maschinenbett 10 ist mit Führungsflächen 13a in X-Richtung versehen, die mit Gleitflächen 141 des in X-Richtung geführten Vorschub­ schlittens 14 zusammenwirken, und mit Führungsflächen 13b in X-Richtung versehen, die mit Gleitflächen 143 zusammenwirken, welche an beiden Seiten eines vor­ stehenden Bauteiles 142 des in X-Richtung geführten Supportes 14 vorgesehen sind. Das vorstehende Bauteil 142 ist integral an dem in X-Richtung geführten Vorschub­ schlitten 14 befestigt und ist in seinem Mittelteil mit einer hydrostatisch beaufschlagbaren Mutter zur Aufnahme der hydrostatisch gelagerten Vorschubspindel 16 versehen. Die Vorschubspindel 16, die im Gewindeeingriff mit der hydrostatisch beaufschlagbaren Mutter 147 steht, dreht nach Eingang von Befehlsignalen der Steuerschaltung 15 und bewirkt dadurch eine Bewegung des in X-Richtung ge­ führten Vorschubschlittens 14 in X-Richtung, welcher durch die Führungsflächen 13a, 13b geführt wird.

Der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten 14 ist mit einem quer zur Vorschubrichtung angeordneten Paar von Führungsabschnitten 144 für den in Y-Richtung geführten Support 17 versehen. Er hat weiter ein Paar von Stütz­ teilen 145, 146 auf beiden Seiten zur Halterung einer hydrostatisch gelagerten Vorschubspindel 18 zum exakten Vorschub des in Y-Richtung geführten Vorschubschlittens 17 in Y-Richtung.

Der Vorschub des derart aufgebauten in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 kann mit außerordentlich hoher Stabilität vibrationsfrei mittels der Führungsflächen 13a, 13b gesteuert werden, und die Vorschubspindel 16 kann mit Vorschubgeschwindigkeiten von annähernd 20 mm/min bewegt werden, bei der bei den bekannten Vorschubeinheiten wegen kleiner Vibrationen Probleme auftreten.

Andererseits ist, wie oben erwähnt, der in Y-Richtung geführte Support 17 auf dem in X-Richtung geführten Vor­ schubschlitten 14 im Eingriff mit dem Führungsprofil 144, welches in diesem vorgesehen ist. Der in Y-Richtung ge­ führte Support 17 besteht aus gleitenden Bauteilen 171 zum Eingreifen mit den Führungsabschnitten 144, einer hydrostatisch beaufschlagbaren Mutter 172, welche im Gewindeeingriff mit der Vorschubspindel 18 steht und aus einem flachen Abschnitt zur Befestigung der Aufspannein­ richtung 21.

Eine Seitenfläche des in Y-Richtung geführten Supports 17 ist, wie oben erwähnt, mit einer linearen Skala 19 ver­ sehen, die zur Abgabe eines Impulses bei jedem Vorschub des Tisches um 0,1 µm eingerichtet ist.

Der Aufbau der hydrostatisch gelagerten Vorschubeinheit, die für die Vorschubeinheit in Y-Richtung verwendet wird, ist in Fig. 6 erläutert. Wie aus dieser Figur hervor­ geht, beinhaltet die Vorschubeinheit die Mutter 172, die an dem in Y-Richtung geführten Support 17 be­ festigt ist. Die Mutter 172 besteht aus einem Paar von Muttern 33, 34, die an und entlang der Vorschubspindel 18 befestigt sind, welche wiederum an dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 1 befestigt ist, und aus Flüssigkeitsdruck-Taschen 331, 341, die sich zu gegen­ überliegenden Schraubenflanken der Vorschubspindel 18 hin öffnen. Die Mutter 172 ist integral an dem in Y-Richtung geführten Support 17 befestigt und wird mittels Rota­ tion der Vorschubspindel 18 angetrieben. Die Flüssig­ keitsdruck-Taschen 331, 341 werden mittels einer (nicht gezeigten) hydraulischen Druckeinheit über hydraulische Druckleitungen 332, 342 mit hydraulischem Druck versorgt. Die Bezugszeichen 38a und 38b bezeichnen Flüssigkeits­ druck-Taschen, die zusammen ein hydrostatisches Axiallager zur Stabilisierung der Vorschubspindel 18 bilden.

Weiter ist das gleitende Bauteil 171 des in Y-Richtung geführten Supports 17 auf dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 befestigt, welcher eine erste trapezförmige Ausnehmung derart hat, daß das gleitende Bauteil 171 von den geneigten seitlichen Flächen 144a, 144b der ersten trapezförmigen Ausnehmung geführt wird. Der in Y-Richtung geführte Support 17 wird also von vier Flächen des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 geführt. In den Bereichen des Eingriffs zwischen dem in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 und dem in Y- Richtung geführten Support 17 ist eine oder sind mehrere Reihen von Flüssigkeitsdruck-Taschen 17a, 17b, 17c und 17d angeordnet. Eine Flüssigkeit, welche unter Druck von einer (nicht gezeigten) externen Flüssigkeitsdruck-Quelle in den in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 angeliefert wird, eine pantographenartig ausgebildete Flüssigkeits- Druckleitung, die sich entlang dem Weg des gleitenden Bauteiles 171 ausdehnt oder zusammenzieht, und eine Flüssigkeits-Druckleitung 17e in dem Support 17 versorgen die hydrostatischen Lager, wodurch Kraft auf jede der Ober­ flächen 144a, 144b, 144c und 144d aufgebracht wird.

Da die in bezug auf die Vorschubeinheit für den in Y-Richtung geführten Support gemachten Erläuterungen auch für den in X-Richtung geführten Vorschubschlitten gelten, wird hier zur Vermeidung von Wiederholungen auf eine Erläuterung insoweit verzichtet.

Die Vorschubspindeln 16 und 18 werden über zugehörige Über­ tragungseinheiten über Antriebsmotore 36 bzw. 37 ange­ trieben. Beide Spindeln werden mit hoher Genauigkeit in Radial- und Axialrichtung durch hydrostatische Lager gehalten.

Eine perspektivische Ansicht der wesentlichen Teile der Aufspanneinrichtung 21, die auf der Oberseite des in Y-Richtung geführten Supports 17 zum Aufspannen der Werk­ stücke befestigt ist, ist in Fig. 7 gezeigt. Bei der gezeigten Ausführungsform ist eine Vielzahl von Ferritkern- Rohlingen 35 von der in Fig. 8 gezeigten Art auf einem Basistisch 211 ausgerichtet befestigt, welcher relativ zu Bezugsflächen 212 auf der Aufspanneinrichtung 21 durch eine (nicht gezeigte) Vakuumspanneinrichtung befestigt ist, wo­ durch die herzustellenden abgeschrägten Flächen 3 in einer festen Stellung in bezug auf das Schleifwerkzeug 23 ge­ halten werden.

Es versteht sich, daß vor dem Anfasen durch die Präzisions- Schleifmaschine die Rohlinge 35 mit einer Vielzahl von Kerben 351 versehen worden sind und bezüglich ihrer Boden­ flächen und ihren sonstigen äußeren Abmessungen vereinheit­ licht worden sind. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel werden aus jedem Rohling sechs Magnetköpfe hergestellt.

Die Arbeitsweise der Präzisions-Fasenschleifmaschine wird jetzt unter Bezugnahme auf ein konkretes Beispiel erläutert.

Zunächst wird eine Anzahl von Rohlingen 35, die bezüglich ihrer Genauigkeit in den vorangegangenen Herstellungs­ schritten geprüft worden sind, auf der Aufspanneinrichtung 21 ausgerichtet. Aus Gründen der (unten beschriebenen) Her­ stellungsweise wird die Mehrzahl von Rohlingen 35 auf dem Basistisch 211 vorab mittels Wachs oder dergleichen be­ festigt, die Basisplatte 211 wird sodann anliegend an die Bezugsflächen 212 der Aufspanneinrichtung 21 mittels der Vakuumspanneinrichtung befestigt.

Fig. 9 (A) ist ein erläuterndes Diagramm, welches die gegenseitige Lage zwischen dem Rohling 35 auf der Auf­ spanneinrichtung 25 und dem Schleifwerkzeug 23 (einer Schleifscheibe) zeigt. Das Schleifwerkzeug 23 wird entlang der Z-Richtung bewegt, um dieses in die ge­ wünschte Position zu bringen. Das Zustellmaß für das Schleifen wird sodann durch Bewegen des in Y-Richtung bewegbaren Supports eingestellt, wodurch der Rohling 35 in die gewünschte Stellung gebracht wird. Nachdem so das Zustellmaß für das Schleifen eingestellt wurde, wird das Schleifen entsprechend dem folgenden Verfahren durchge­ führt.

Durch das anfängliche Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen werden das Schleifwerkzeug 23 und der Rohling 35 zunächst in eine Stellung zum Probeschleifen durch Bewegung entlang der Z-Richtung bzw. der Y-Richtung gebracht. Sodann wird das Probeschleifen durchgeführt. Das Zustellmaß dieses Probeschleifens wird durch mikrosko­ pische Beobachtung unter Verwendung der Mikroskop- Einheit 24 oder der linearen Skala 19 gemessen, woraufhin der Betrag der erforderlichen Kompensation von dem ge­ messenen Wert bestimmt wird, Y₁ in Fig. 9 (A) zeigt den Betrag des Vorschubs entlang der Y-Richtung bei dem Probe­ schleifen. Der Betrag des Kompensationsvorschubs (bezeich­ net durch Y₂) wird sodann bestimmt und der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten 14 entlang der X-Richtung geführt (also senkrecht zu der Ebene von Fig. 9 (A) zur Ausführung des Schleifens einer Mehrzahl von Rohlingen 35. Durch weiteren Vorschub des in Y-Richtung geführten Supports 17 um die Strecken Y₃, Y₄, werden die abgeschrägten Flächen auf einer Seite fortschreitend beschliffen. Die Vorschub­ zustellung entlang der X- und Y-Achse wird elektrisch durch Ausgangssignale von der Steuerschaltung 15 gesteuert.

Nach Beendigung des Schleifens der abgeschrägten Fläche auf einer Seite wird die Basisplatte 211 mit den darauf befestigten Rohlingen 35 umgekehrt, in bezug auf die Bezugsfläche 212 der Einspanneinrichtung 21 neu einge­ stellt (Fig. 9 (B), und der Schleifvorgang wird in der beschriebenen Weise wiederholt.

Die vorstehende Erklärung macht deutlich, daß bei Ver­ wendung der Präzisions-Fasenschleifmaschine ein Vorschub entlang der Z-Richtung zur anfangs zum Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen erforderlich ist. Zum Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen daran anschließend ist es ausreichend, einfach den in Y-Rich­ tung geführten Support 17 entlang der Y-Richtung um Beträge entsprechend dem Abstand zwischen den Nuten 351 des Rohlings 35 zuzustellen. Da dadurch weniger Fehlermöglichkeiten gegeben sind als bei dem üblichen, in Fig. 2 gezeigten bekannten System, ist es möglich, das Schleifen mit hoher Genauigkeit durchzuführen. Da der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten und der in Y-Richtung geführte Support, auf denen die Werk­ stücke befestigt sind, beide durch Einheiten ange­ trieben werden, welche hydrostatisch gelagerte Vor­ schubspindeln verwenden, können Vibrationen auch während der Vorschubgeschwindigkeiten zum Feinschleifen vermieden werden. Darüber hinaus kann die Positionierung mit hoher Genauigkeit gesteuert werden. Da hydrostatische Lager auch für die Schleifwerkzeug-Spindel verwendet werden, wird die Drehgenauigkeit des Schleifwerkzeuges (Schleifscheibe) verbessert und dessen Vibration verhindert, so daß ein Präzisionsschleifen von sehr spröden Materialien unter optimalen Bedingungen durchgeführt werden kann. Da die Spindel des Schleifwerkzeuges in einem bestimmten Neigungswinkel gehalten wird, kann die Auflagefläche der Werkstücke horizontal ausgerichtet sein. Aus diesem Grunde und aufgrund der Tatsache, daß die Intervalle auf der linearen Skala und zwischen den Schleifpunkten konstant ist, ist es möglich, Fehler aufgrund von Kippen und Drehen auch bei Vergrößerung der Anzahl von Werkstücken zu minimieren. Da die Werkstücke parallel zu der an dem in Y-Richtung geführten Support vorgesehenen linearen Skala angeordnet sind, kann das Zustellmaß für den Vorschub direkt abgelesen werden. Das Zustellmaß für das Schleifen kann daher leicht gesteuert werden. Darüber hinaus wird, da die räumliche Beziehung zwischen der linearen Skala und dem Werkstückk gleich bleibt, jede Verschiebung, die in dem in Y-Richtung geführten Support auftreten kann, nicht ver­ größert werden, was von der Stellung abhängt, an der das Werkstück geschliffen wird. Die Präzisions-Fasenschleif­ maschine weist so vom praktischen Standpunkt aus be­ trachtet bedeutsame Vorteile auf.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird ein Riemen­ antrieb zwischen der Spindel des Schleifwerkzeuges und dem Motor, welcher dieses antreibt, verwendet, um die Einwirkung von Hitze und Vibration des Motors auszuschließen. Es ver­ steht sich jedoch, daß auch eine direkte Verbindung zwischen dem Motor und der Spindel möglich ist für die Fälle, in denen Vibration und Hitze nicht berücksichtigt zu werden brauchen.

Claims (3)

1. Präzisions-Schleifmaschine zum Anschleifen von Fasen an Werkstücke, insbesondere an Kanten von quaderför­ migen Werkstücken, mit einem längs des Maschinenbet­ tes in X-Richtung bewegbaren, über eine Vorschub­ spindel angetriebenen Vorschubschlitten, mit einer auf dem Vorschubschlitten angeordneten Werkstück-Auf­ spanneinrichtung und mit einer Schleifwerkzeugspin­ del, die auf einem quer zur X-Richtung bewegbaren Schleifwerkzeugträger angeordnet und nach unten in Z-Richtung gegen die Werkstück-Aufspanneinrichtung geneigt ist, wobei der Vorschubschlitten und der Schleifwerkzeugträger jeweils über hydrostatische Führungsflächen geführt sind und wobei die Schleif­ werkzeugspindel von Flüssigkeitsdrucklagern gehal­ ten ist, bestehend aus die Schleifwerkzeugspindel um­ gebenden Flüssigkeitsdruck-Radiallagern und einem Flüssigkeitsdruck-Axiallager, welches eine Vielzahl von ringförmig angeordneten Flüssigkeitsdruck- Dämpfungslagern umfaßt, in welchen ein Flansch der Schleifwerkzeugspindel im Schleifwerkzeugträger ge­ halten ist, und mit Antriebsmotoren zum Betätigen der Vorschubspindeln, dadurch gekennzeichnet,
daß der X-Vorschubschlitten (14) von einer Flüssig­ keitsdruck-Vorschubspindel (16) angetrieben ist,
daß der Flüssigkeitsdruck in einer Vielzahl von Flüssigkeitsdruck-Dämpfungslagern an einer Flüssig­ keitsdruck-Mutter (147) erzeugt wird, die am X-Vor­ schubschlitten (14) befestigt ist,
daß zwischen dem X-Vorschubschlitten (14) und der Werkstück-Aufspanneinrichtung (21) ein in Y-Richtung bewegbarer, mit einem weiteren Antriebsmotor (37) be­ tätigbarer Support (17) auf dem X-Vorschubschlitten (14) angeordnet ist,
daß der Y-Support (17) von einer weiteren Flüssig­ keitsdruck-Spindel (18) angetrieben ist und über weitere Flüssigkeitsdruck-Führungsflächen mit dem X-Vorschubschlitten (14) in Eingriff steht,
daß eine Seitenfläche des Y-Supports (17) mit einer Scala (19) zur Feststellung der Position des Y-Sup­ ports (17) versehen ist, wobei die Skala (19) in Ab­ hängigkeit von einer Bewegung des Y-Supports (17) Impulse an eine Steuerschaltung (15) abgibt und die Bezugsposition des Y-Supports (17) mit Hilfe einer optischen Detektionseinrichtung (24) feststellbar ist, und
daß die Steuerschaltung (15) ausgangsseitig Steuer­ signale an die Antriebsmotoren (36, 37) zur Positio­ nierung des Y-Supports (17) des X-Vorschubschlittens (14) erzeugt.

2. Präzisions-Schleifmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Skala (19) linear ist und bei jeder Bewegung des Y-Supports (17) um 0,1 µm einen Impuls abgibt.

3. Präzisions-Schleifmaschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel (18) des Y-Supports (17) in eine Flüssigkeitsdruck-Mutter (172) eingreift, die am Y-Support (17) befestigt ist und die ebenso wie die Flüssigkeitsdruck-Mutter (147) des Y-Vorschubschlittens (14) ein Paar von Muttern (33, 34) aufweist, die jeweils mit Flüssigkeitsdruck- Taschen (331, 341) versehen sind, die sich zu ihnen gegenüberliegenden Flanken der Spindeln öffnen und mit Flüssigkeitsdruck versorgt werden.