DE3228149A1 - Sensor - Google Patents
SensorInfo
- Publication number
- DE3228149A1 DE3228149A1 DE19823228149 DE3228149A DE3228149A1 DE 3228149 A1 DE3228149 A1 DE 3228149A1 DE 19823228149 DE19823228149 DE 19823228149 DE 3228149 A DE3228149 A DE 3228149A DE 3228149 A1 DE3228149 A1 DE 3228149A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- filling
- pressure sensor
- sensor
- housing
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
- Sensor
- Stand der Technik Die Erfindung geht aus von einem Sensor nach der Gattung des Hauptanspruches.
- Zur Messung von Beschleunigungen sind Sensoren in vielfältiger Ausgestaltung bekannt. Es sind auch Sensoren bekannt, die zur Messung von besonders hohen, kurzzeitig auftretenden Beschleunigungen bzw. =1erzögerungen dienen, wie sie beispiels-veise für Insassenschutzvorrichtungen in Kraftfahrzeugen benötigt werden.
- Dabei ist es nicht nur bekannt, starre, im aligemeinen federgefesselte, träge Massen zu verwenden, die beschleunigungsabhängig ausgelenkt erden und deren Auslenkung gemessen wird, es ist auch bekannt, Flüssigkeiten zu verwenden, deren Kompression bei Beaufschlagung mit einer Beschleunigung oder Verzögerung zur Messung der 3eschleunigung bzw. Verzögerung bzw. zur Anzeige des Überschreitens eines Schwellwertes dieser Parameter dient. Ein derartiger Sensor für Insassenschutzvorrichtungen in Kraftfahrzeugen ist aus der DE-OS 28 44 646 bekannt.
- Die Verwendung von Flüssigkeiten bei derartigen Sensoren setzt jedoch voraus, daß geschlossene Gehäuse verwendet werden, die die Flüssigkeit einschließen, um ein Auslaufen der Flüssigkeit zu verhindern. Dann können jedoch Störungen bei starker Temperaturvariation auftreten, da die Flüssigkeit sich in dem geschlossenen Gehäuse praktisch nicht ausdehnen kann, so daß ein hoher Druck entsteht, der zu Fehlmessungen des Sensors führen kann.
- Vorteile der Erfindung Der erfindungsgemäße Sensor mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruches hat demgegenüber den Vorteil, daß keine geschlossenen Gehäuse verwendet zu werden brauchen, da bei der verwendeten kautschukartigen Füllung ein Auslaufen der Füllung nicht befürchtet zu werden braucht. Bei Temperaturvariation kann sich die Füllung zusammenziehen oder ausdehnen, ohne daß durch sie ein Druck auf das verwendeten Drucksensorelement ausgeübt wird.
- Durch die in den nteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen des im Hauptanspruch angegebenen Sensors möglich.
- So ist eine Anpassung des Sensors an die jeweils vorliegende Meßaufgabe dadurch möglich, daß Füllungen mit geringer oder größerer Härte verwendet werden, wodurch einmal optimierte Anordnungen für statische bzw. dynamische Messungen oder große bzw. kleine Beschleunigungswerte möglich sind.
- Als Drucksensorelement für die mittelbare Erfassung der Beschleunigung konnen mit Vorteil an sich bekannte Anordnungen, beispielsweise ein piezoresistiver Halbleiter-Druckaufnehmer, ein piezoelektrischer Quarz-Druckaufnehmer oder eine Membran mit Dehnungsmeßstreifen, verwendet werden, die der Füllung direkt oder über eine Membran und ein Zwischenmedium ausgesetzt werden.
- Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.
- Zeichnung Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Figur 1 einen Schnitt durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors; Figur 2 einen Ausschnitt des Schnittes gemäß Figur 1 bei einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors.
- Beschreibung der Ausführungsbeispiele Beim Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 bezeichnet 10 ein üblicherweise metallisches Gehäuse, das über einen topfförmigen Ansatz 11 verfügt. Das Gehäuse 10 ist mit einer kautschukartigen Füllung 12 gefüllt, die je nach der vorliegenden Meßaufgabe eine weiche Füllung sein kann, z.B. Siiikon-Gel oder eine harte Füllung, beispielsweise Silikon-Kautschuk.
- Der Ansatz 11 des Gehäuses 10 ist vorzugsweise an dessen Boden angeordnet und umfaßt ein Drucksensorelement 13.
- Demgegenüber weist das Gehäuse 10 am gegenüberliegenden Ende eine Öffnung 14 auf, die nicht verschlossen zu sein braucht.
- Das Drucksensorelement 13 kann in an sich bekannter Weise aufgebaut sein, beispielsweise können seine Seiten mit einer Isolierung 15 versehen sein, wobei sich im Ansatz 1 1 eine piezoel-ektrische Quarzscheibe befindet, deren eine Seite mit dem metallischen Gehäuse 10 in Verbindung steht und deren andere Seite mit einer Kontaktierung 16 versehen ist, von der eine Zuführung durch eine isolierte Durchführung durch das Gehäuse 10 zu einer Klemme 17 führt. Wird nun auf den Sensor gemäß Figur 1 eine Beschleunigung oder Verzögerung in axialer Richtung ausgeübt, bildet sich in der Füllung 12 ein Druck aus, der auf das Drucksensorelement 13 übertragen wird. Dann kann zwischen dem Gehäuse 10 und der Klemme 17 ein elektrisches Signal abgenommen werden, daß dem Druck bzw. der Beschleunigung oder Verzögerung entspricht.
- Bei einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors, wie sie in Figur 2 dargestellt ist, ist der vom Ansatz 11 umschlossene Raum hohl und gegenüber dem von der Füllung 12 ausgefüllten Raum des Gehäuses 10 mit einer Membran 20 abgeschlossen. Auf der Membran 20 befinden sich Dehnungsmeßelemente 21, beispielsweise piezoresistive Halbleiterelemente, Dehnungsmeßstreifen oder dgl. Bei Ausüben einer Beschleunigung oder Verzögerung auf den Sensor wird der Druck in der Füllung 12 dabei auf die Membran 20 ausgeübt und die sich ergebende Durchbiegung der Membran 20 wird in den Elementen 21 erkannt und in ein elektrisches Signal umgeformt.
- Damit der Zusammenhang zwischen dem meßbaren Druck in der Füllung 12 und der Beschleunigung bzw. Verzögerung möglichst linear ist, muß die kautschukelastische Substanz, die die Füllung 12 bildet, entweder sehr weich sein oder die Auslenkung am Drucksensor muß klein gehalten werden.
- Da bei dynamischer Messung größerer Beschleunigungswerte die sehr weichen Substanzen, z.B. Silikon-Gel wegen ihrer geringen Festigkeit nur bedingt geeignet sind, eignen sich hier die härteren kautschukelastichen Stoffe, wie z.B. Silikon-Kautschuk, die eine höhere Reißfestigkeit haben, besser.
- Obwohl die vorstehenden Ausführungsbeispiele im Hinblick auf die Anwendung bei einer Insassenschutzvorrichtung in einem Kraftfahrzeug beschrieben wurde, versteht sich, daß diese Anwendung nur beispielhaft gemeint ist. Der erfindungsgemäße Sensor kann darüber hinaus selbstverständlich auch für andere Meßaufgaben eingesetzt werden, bei denen es darum geht, Beschleunigungen zu erfassen.
- Leerseite
Claims (6)
- Ansprüche ensor zum Erfassen von Beschleunigungen, insbesondere sür Insassenschutzeinrichtungen in Kraftfahrzeugen mit einer der zu messenden Beschleunigung ausgesetzten nichtstarren Masse und einem von der Masse beaufschlagten Drucksensorelement, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor ein vorzugsweise einseitig offenes Gehäuse (10) aufweist, das mit einer kautschukelastischen Füllung (11) gefüllt ist, die an das Drucksensorelement (13) grenzt.
- 2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Füllung (12) aus Silikon-Kautschuk besteht.
- 3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Füllung (12) aus Silikon-Gel besteht.
- 4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Drucksensorelement (13) als piezoresistiver Halbleiter-Druckaufnehmer ausgebildet ist, der in einem Ansatz 11) des Gehäuses (10) angeordnet ist.
- 5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeicöhnet, daß das Drucksensorelement (13) als piezoelek trischer Quarz-Druckaufnehmer ausgebildet ist.
- 6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Drucksensorelement (13) eine an die Füllung (12) angrenzende Membran (20) aufeist, auf der Dehnungsmeßelemente (21) angeordnet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823228149 DE3228149A1 (de) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823228149 DE3228149A1 (de) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | Sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3228149A1 true DE3228149A1 (de) | 1984-02-09 |
DE3228149C2 DE3228149C2 (de) | 1991-04-11 |
Family
ID=6169508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823228149 Granted DE3228149A1 (de) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | Sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3228149A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5144841A (en) * | 1990-02-23 | 1992-09-08 | Texas Instruments Incorporated | Device for measuring pressures and forces |
GB2282891A (en) * | 1993-10-13 | 1995-04-19 | Tokai Rika Co Ltd | Accelerometer |
DE102004015474A1 (de) * | 2004-03-26 | 2004-12-23 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
US6883381B2 (en) | 2002-06-04 | 2005-04-26 | Infineon Technologies Ag | Acceleration sensor and method for manufacturing an acceleration sensor |
US7856880B2 (en) | 2004-03-26 | 2010-12-28 | Conti Temic Microelectronics Gmbh | Vehicle sensor for detecting impact sound |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3757589A (en) * | 1971-05-20 | 1973-09-11 | R Brandt | Force indicator |
DE2844646A1 (de) * | 1978-10-13 | 1980-04-24 | Autoflug Gmbh | Beschleunigungsaufnehmer, insbesondere als sensor fuer sicherheitseinrichtungen in personenbefoerderungsmitteln |
-
1982
- 1982-07-28 DE DE19823228149 patent/DE3228149A1/de active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3757589A (en) * | 1971-05-20 | 1973-09-11 | R Brandt | Force indicator |
DE2844646A1 (de) * | 1978-10-13 | 1980-04-24 | Autoflug Gmbh | Beschleunigungsaufnehmer, insbesondere als sensor fuer sicherheitseinrichtungen in personenbefoerderungsmitteln |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5144841A (en) * | 1990-02-23 | 1992-09-08 | Texas Instruments Incorporated | Device for measuring pressures and forces |
US5509308A (en) * | 1993-01-13 | 1996-04-23 | Kabushiki Kaisha Tokai Rika Denki Seisakusho | Acceleration detecting apparatus |
GB2282891A (en) * | 1993-10-13 | 1995-04-19 | Tokai Rika Co Ltd | Accelerometer |
DE4436485A1 (de) * | 1993-10-13 | 1995-04-20 | Tokai Rika Co Ltd | Beschleunigungsermittlungsgerät |
GB2282891B (en) * | 1993-10-13 | 1997-09-03 | Tokai Rika Co Ltd | Acceleration detecting apparatus |
DE4436485C2 (de) * | 1993-10-13 | 1998-11-19 | Tokai Rika Co Ltd | Beschleunigungsermittlungsgerät |
US6883381B2 (en) | 2002-06-04 | 2005-04-26 | Infineon Technologies Ag | Acceleration sensor and method for manufacturing an acceleration sensor |
DE102004015474A1 (de) * | 2004-03-26 | 2004-12-23 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
US7856880B2 (en) | 2004-03-26 | 2010-12-28 | Conti Temic Microelectronics Gmbh | Vehicle sensor for detecting impact sound |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3228149C2 (de) | 1991-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1299701B1 (de) | Differenzdruckaufnehmer | |
DE4335588C2 (de) | Drucksensor | |
DE68916384T2 (de) | Druckwandler, anwendbar in Ölbohrungen. | |
DE4042410C2 (de) | Kapazitiver Differenzdruckdetektor | |
EP0088270B1 (de) | Drucksensor | |
EP0420105B1 (de) | Differenzdruckmessgerät mit Selbstüberwachung | |
DE2237535A1 (de) | Dehnungsmesser-druckwandler | |
DE69006925T2 (de) | Hochdruckwandler. | |
DE4413274A1 (de) | Drucksensor | |
DE3713236A1 (de) | Vorrichtung zur messung von druecken | |
DE3625842C2 (de) | ||
DE2231241B2 (de) | Beschleunigungswandler | |
DE4436485C2 (de) | Beschleunigungsermittlungsgerät | |
DE3228149A1 (de) | Sensor | |
DE10216020A1 (de) | Drucksensor und Gehäuse für Drucksensor | |
DE102004033813B4 (de) | Druckmessgerät | |
DE3148403A1 (de) | "differenzdruckmesser" | |
DE3742673A1 (de) | Mikro-spannungssensor | |
DD232758A5 (de) | Komplexes messelement fuer kraftmesszellen mit dehnungsmessstreifen | |
DE8221447U1 (de) | Sensor | |
DE19752439C2 (de) | Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge | |
DE19537569C2 (de) | Stahlbasiertes Kraft-Sensorsystem | |
DE4226224C2 (de) | Auf die Einwirkung einer Kraft ansprechender Sensor | |
DE2904844B2 (de) | Druckmeßeinrichtung zur Messung und Überwachung von Betonspannungen | |
DE19649654A1 (de) | Piezoelektrisches Verkehrssensorelement mit verbesserter Gleichmäßigkeit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |