DE3206720C2 - - Google Patents
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
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Description
Die Erfindung betrifft eine optische Druckmeßdose gemäß
dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Optische Druckmeßdosen können in Einrichtungen zur Messung
des Drucks explosiver Gase und Flüssigkeiten verwendet
werden und sind im Stand der Technik in verschiedenen
Ausführungen bekannt.
Aus der US-PS 41 58 310 geht ein optischer Druckübertrager
mit einer einseitig reflektierenden Membran hervor, die
eine druckmäßig beaufschlagbare Referenzkammer des Über
tragers verschließt und auf ihre anderen Seite mit dem zu
messenden Druck beaufschlagt ist. Innerhalb der
Referenzkammer ist der Membran gegenüberliegend das Ende
eines vermischten Bündels von Lichtleitfasern angeordnet,
die einerseits mit einer Lichtquelle und andererseits mit
einem Lichtsensor verbunden sind. Im unbelasteten Zustand
trifft das Licht der Lichtquelle über die entsprechenden
Lichtleitfasern auf die reflektierende in die Referenz
kammer weisende Oberfläche der Membran und wird von dieser
quasi vollständig auf die Lichtleitfasern reflektiert und
gelangt über die anderen Lichtleitfasern zum Sensor. Im
belasteten Zustand ist die Membran proportional zum Druck
mehr oder weniger in die Referenzkammer hinein konvex
gewölbt, so daß das auftreffende Licht zerstreut wird und
der in die Lichtleitfaser reflektierte Anteil entsprechend
abnimmt.
Neben dieser, letztlich die Intensität des reflektierten
Lichtes messenden Vorrichtung ist aus der DE-OS
31 42 164 A1 eine Vorrichtung zur Messung von Druck
unterschieden bekannt, die im wesentlichen ein
Gehäuse mit einem Hohlraum aufweist, der durch eine
Membran geteilt ist, so daß zwei Kammern entstehen, die
mit dem zu messenden Druck beaufschlagbar sind. Bei
unterschiedlichem Druck in den Kammern wird die an sich
flexible Membran aus ihrer Mittellage gelenkt. Für eine
optische Wegmessung dieser Auslenkung weisen beide Ober
flächen der Membran mittig verdickte, reflektierende und
nicht flexible Bereiche auf, die über jeweils gegenüber
liegende Enden von Lichtleitfasern mit Licht beaufschlagt
werden. Die Enden der Lichtleiter weisen einen teilreflek
tierenden Überzug auf, wodurch sich eine Interferometer-
Anordnung dadurch ergibt, daß eine Interferenz zwischen
dem von der Membran reflektierten Licht von dem von den
teilreflektierenden Überzügen direkt in den Lichtleiter
zurückreflektierten Licht auftritt. Das reflektierte Licht
wird dann über ein Prisma zerlegt und das Interferenz
muster elektronisch ausgewertet.
Neben dieser aufwendigen Meßvorrichtung, die über
Interferenzen arbeitet, ist aus der DE-OS 28 49 186 ein
optisches Meßgerät bekannt, bei dem die zu messende Größe
auf eine Blende oder einen Spiegel wirkt, so daß ein in
Lichtleitern über eine Reflexionsschicht geführter Licht
strahl in seiner Intensität proportional zur Meßgröße
beeinflußt wird. Die Intensitätsänderungen werden dann
über Lichtsensoren und eine Elektronik ausgewertet.
Aus der DE-OS 24 50 080 ist eine weitere optische Druck
meßdose bekannt, in die über Lichtleiter Licht einge
koppelt und nach Reflexion an einer verspiegelten Membrane
über einen weiteren Lichtleiter wieder ausgekoppelt wird.
Die Membrane ist elastisch und die Menge des ausge
koppelten Lichtes hängt von der druckabhängigen Auslenkung
der Membran ab. Dieser optische Meßwertaufnehmer ist
allerdings relativ unempfindlich gegenüber Druck
änderungen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische
Druckmeßdose zu schaffen, die bei konstruktiver Einfach
heit eine erhöhte Empfindlichkeit aufweist, ohne dabei den
Meßbereich zu verkleinern.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des
Patentanspruches 1 gelöst.
Die Empfindlichkeit dieses Meßwertaufnehmers wird da
durch erhöht, daß bei Auslenkung der Membrane das Ende des
mit der elektrischen Empfangseinrichtung optisch gekoppelten Lichtleiters auf der
einen Seite der Membrane eine wachsende Lichtmenge auffängt,
und das Ende des entsprechenden Lichtleiters auf der anderen
Seite der Membrane eine sich verringernde Lichtmenge auf
fängt. Damit werden einer Auswerteschaltung zwei sich bei
Auslenkung der Membrane entgegengesetzt verändernde Meßwerte
geliefert. Die Auswerteschaltung kann daraus die sich aus
kleinsten Veränderungen der Membranauslenkung ergebenden
Druckänderungen berechnen. Die Druckmeßdose eignet sich auch
zur Durchflußmessung, da mit der Druckmeßdose die dazu
notwendigen Differenzdruckmessungen durchführbar sind.
Vorteilhaft ist es, die Lichtleiterenden eines Paares
einander diagonal zum Mittelpunkt der Membrane gegenüber
liegend anzuordnen und die Membrane im Bereich der dem mit
der Lichtquelle oder der elektrischen Empfangseinrichtung optisch gekoppelten Lichtleitern
zugeordneten Hälfte beidseitig reflektierend und in der
anderen Hälfte mindestens teiltransparent zu machen. Damit
ergibt sich eine weitere Verbesserung der Empfindlichkeit
der Druckmeßdose.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden
anhand der Zeichnungen beschrieben und die Wirkungsweise
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine optische Druckmeßdose als Bestandteil eines
optischen Durchflußmessers,
Fig. 2 eine optische Druckmeßdose mit einer nur zur Hälfte
beidseitig verspiegelten Membrane.
Fig. 1 zeigt die optische Druckmeßdose 1, deren Meßraum 2
durch eine beidseitig verspiegelte Membrane 3 zweigeteilt
ist. Die Öffnungen 4 und 5 der Druckmeßdose verbinden den
Meßraum 2 über Kanäle 6 und 7 mit einem Leitungsrohr 9
beiderseits einer in dem Rohr 9 angebrachten Verengung 8.
Die Lichtleiter 10, 11, 12 und 13 sind paarweise beider
seits der beidseitig verspiegelten Membrane 3 angeordnet. In
Ruhelage der Membrane 3 wird von den Lichtleitern 12 und 13
die gleiche Lichtmenge aufgefangen und auf die elektrischen Empfangseinrichtungen 15 und
16 abgestrahlt. Damit sind die von den Verstärkern 17 und 18
an die Auswerteschaltung 19 gelieferten Spannungen gleich
groß, und die Ausgangsspannung der Differenz-bildenden
Auswerteschaltung 19 ist Null.
Die Lichtleiter 10 und 11 sind mit einer beispielsweise als
Leuchtdiode ausgebildeten Lichtquelle 14 optisch gekoppelt. Die elektrischen
Empfangseinrichtungen 15 und 16 können beispielsweise als Fotodioden ausge
bildet sein.
In Fig. 1 wird mit Hilfe der Druckmeßdose 1 der Durchfluß
einer Flüssigkeit durch ein Leitungsrohr 9 gemessen. Zu
diesem Zweck ist in dem Leitungsrohr 9 eine Blende 8 ange
bracht. Da aus dem unterschiedlichen Druck der Flüssigkeit
beiderseits der Blende 8 der Durchfluß berechnet werden
kann, ist der Meßraum 2 der Druckmeßdose 1 über die Öffnun
gen 4 und 5 und über die Kanäle 6 und 7 beiderseits der
Blende 8 mit dem Leitungsrohr 9 derart verbunden, daß der
beiderseits der Blende 8 herrschende Flüssigkeitsdruck über
die Kanäle 6 und 7 unmittelbar auf die Membrane 3 wirken
kann. Fließt in dem Leitungsrohr 9 die Flüssigkeit, in die
durch den Pfeil eingezeichnete Richtung, herrscht in Pfeil
richtung vor der Blende 8 ein höherer Druck als in Pfeil
richtung hinter der Blende 8. Damit wirkt über Kanal 6
ein höherer Druck auf die Membrane 3 als über Kanal 7. Je
weiter dadurch die Membrane 3 in Richtung 20 ausgelenkt
wird, um so mehr von Lichtleiter 10 abgestrahltes und an der
Membrane 3 reflektiertes Licht wird in Lichtleiter 13 einge
koppelt und um so weniger von Lichtleiter 11 abgestrahltes
und an Membrane 3 reflektiertes Licht wird in Lichtleiter 12
eingekoppelt. Da hierbei die vom Verstärker 18 an die Aus
werteschaltung 19 gelieferte Spannung größer ist als die vom
Verstärker 17 gelieferte Spannung, hat die Ausgangsgröße
der Auswerteschaltung 19 bei Auslenkung der Membrane in
Richtung 20 einen positiven Wert.
Die in Fig. 2 dargestellte Druckmeßdose 21 weist eine
elastische Membrane 22 auf, deren obere Hälfte beidseitig
verspiegelt ist, und deren untere Hälfte transparent ist.
Die Lichtleiter 23 bis 26 sind einander diagonal gegen
überliegend angeordnet, und der Schnittpunkt dieser
Diagonalen liegt auf der Grenze zwischen dem verspiegelten
und dem transparenten Teil der Membrane 22.
In Fig. 2 ist der Ruhezustand der Membrane 22 eingezeichnet.
Licht, das über Lichtleiter 24 in die Druckmeßdose 21 einge
koppelt wird, wird zur Hälfte von dem oberen verspiegelten
Teil der Membrane reflektiert und auf das Ende des Licht
leiters 25 projiziert, während die andere Hälfte den trans
parenten Teil der Membrane 22 durchdringt und auf das Ende
des Lichtleiters 26 gelangt. Somit wird in Lichtleiter 25
und in Lichtleiter 26 bei der eingezeichneten Ruhestellung
der Membrane 22 die gleiche Menge Lichtes eingekoppelt. Wird
nun die Membrane 22 in Richtung des Pfeiles 27 ausgelenkt,
nimmt der den transparenten Teil der Membrane 22 durchdrin
gende Teil des vom Lichtleiter 24 in die Druckmeßdose 21
eingekoppelte und damit die von Lichtleiter 26 aufgefangene
Lichtmenge zu. Der vom verspiegelten Teil der Membrane 22
reflektierte und von Lichtleiter 25 aufgefangene Teil der
vom Lichtleiter 24 kommenden Lichtmenge nimmt dagegen ab.
Eine Erhöhung des bei Auslenkung der Membrane 22 in
Richtung 27 in die Lichtleiter 26 eingekoppelten Lichtes
ergibt sich, daß außer über Lichtleiter 24 auch über Licht
leiter 23 Licht in die Druckmeßdose 21 eingekoppelt wird,
da bei Auslenkung der Membrane 22 in Richtung 27 nicht nur
das vom Lichtleiter 24 kommende und den transparenten Teil
der Membrane 22 durchdringende Licht, sondern auch das vom
Lichtleiter 23 kommende am verspiegelten Teil der
Membrane 22 reflektierte und auf das Ende des Licht
leiters 26 projizierte Licht zunimmt. Dadurch ergibt sich
eine Vergrößerung der Menge des vom Lichtleiter 25 und 26
aufgefangenen Lichtes. Entsprechend ergibt sich also eine
größere Empfindlichkeit der gesamten Meßanordnung. Die
Meßwertverarbeitung in einer Druckmeßeinrichtung mit
Druckmeßdose 21 kann deshalb auf dieselbe Weise wie bei
Druckmeßdose 1 erfolgen.
Claims (2)
1. Optische Druckmeßdose mit einer zumindest teil
weise reflektierenden Membrane, gegen die die jeweils
ersten Enden eines Paares von Lichtleitern derart
gerichtet sind, daß ein in das zweite Ende des einen
Lichtleiters von einer Lichtquelle eingespeister, an
dessen erstem Ende austretender, von der Stellung der
Membrane gegenüber den ersten Enden abhängiger meßgrößen
bestimmender Anteil eines Lichtbündels nach Reflexion an
der Membrane vom ersten Ende des anderen Lichtleiters
aufgefangen und über dessen zweites Ende einer foto
elektrischen Empfangseinrichtung zugeführt ist, die eine
Auswerteschaltung beaufschlagt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Membrane (3) beidseitig
zumindest teilweise reflektierend ausgebildet ist, daß je
zwei Lichtleiter auf je einer Seite der Membrane (3)
angeordnet sind, und daß die Lichtquelle (14) und die
Auswerteschaltung (19) jeweils zwei Lichtleitern (10, 11;
12, 13 bzw. 23, 24; 25, 26) zugeordnet sind.
2. Druckmeßdose nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Membrane (22) im Bereich
der ersten Enden der Lichtleiter zu einer Hälfte beid
seitig reflektierend und zur anderen Hälfte mindestens
teiltransparent ist, daß das jeweilige erste Ende des zur
Empfangseinrichtung (15 bis 18) führenden Lichtleiters des
einen Paares und das jeweilige erste Ende des an die
Lichtquelle angeschlossenen Lichtleiters des anderen
Paares auf unterschiedlichen Seiten der Membran und auf
einer schräg zur Membranoberfläche verlaufenden, durch den
Mittelpunkt der Membran gehenden Geraden derart angeordnet
sind, daß jedes erste Ende der zur Empfangseinrichtung
führenden Lichtleiter sowohl von an der Membran reflek
tiertem als auch von durch die Membran hindurchgegangenem
Licht beaufschlagbar ist.
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Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4600836A (en) * | 1984-04-03 | 1986-07-15 | The Babcock & Wilcox Company | Diaphragm deflection sensor for fused silica diaphragm module |
EP0157606B1 (de) * | 1984-03-30 | 1992-05-20 | International Control Automation Finance S.A. | Hochtemperaturdruckwandler und Systeme zur Bestimmung der Durchbiegung von Druckwandlermembranen |
US4694159A (en) * | 1984-06-06 | 1987-09-15 | Dieterich Standard Corporation | Optic sensor with reference and detecting optic circuits |
GB2159942A (en) * | 1984-06-09 | 1985-12-11 | Michael Roderick Oliver | Fluid valve position sensor |
GB2193310A (en) * | 1986-08-01 | 1988-02-03 | Boc Group Plc | Pressure sensor |
US4952498A (en) * | 1988-05-06 | 1990-08-28 | Waters John R | Method and apparatus for detecting microorganism activity |
US5051360A (en) * | 1988-05-06 | 1991-09-24 | Abo, Inc. | Method for detecting microorganism activity |
GB8815179D0 (en) * | 1988-06-25 | 1988-08-03 | Racal Safety Ltd | Differential pressure sensor |
GB2221164B (en) * | 1988-07-26 | 1992-02-12 | Racal Safety Ltd | Breathing apparatus |
US5061846A (en) * | 1989-05-11 | 1991-10-29 | Conoco Inc. | Detecting disturbance using optical gap sensing |
DE4115841B4 (de) * | 1991-05-15 | 2004-11-04 | Schölly Fiberoptic GmbH | Vorrichtung zur optischen Kontrolle von Gegenständen |
US5252826A (en) * | 1991-12-30 | 1993-10-12 | Honeywell Inc. | Differential pressure utilizing opto-reflective sensor |
DE4426272C2 (de) * | 1994-06-23 | 2000-08-31 | Schlattl Werner Bavaria Tech | Druckmeßdose zur Messung des Druckes eines Strömungsmediums |
MD293G2 (ro) * | 1995-05-15 | 1995-10-31 | Victor Borisocev | Debitmetru optoelectronic şi procedeu de fabricare a captorului său de diferenţă a presiunilor |
US7272976B2 (en) * | 2004-03-30 | 2007-09-25 | Asml Holdings N.V. | Pressure sensor |
US7409863B2 (en) * | 2004-10-05 | 2008-08-12 | Sensata Technologies Maryland, Inc. | Pressure sensor |
ITMI20070191A1 (it) * | 2007-02-05 | 2008-08-06 | Abb Service Srl | Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo. |
CN105092110A (zh) | 2014-05-06 | 2015-11-25 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 压力传感器及其制作方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1182137A (en) * | 1967-07-04 | 1970-02-25 | Mercury Electronics Scotland L | Improvements in Manometers or Pressure Transducers |
DE2450080A1 (de) * | 1974-10-22 | 1976-04-29 | Licentia Gmbh | Verfahren und einrichtung zur druckmessung |
JPS53133053A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Displacement converter |
CH639196A5 (de) * | 1977-11-23 | 1983-10-31 | Asea Ab | Messgeraet zum messen von physikalischen groessen mittels optischer mittel. |
US4158310A (en) * | 1978-01-30 | 1979-06-19 | University Of Southern California | Optical pressure transducer of randomly distributed fiber optics |
DE3142164A1 (de) * | 1980-10-27 | 1982-06-16 | Rosemount Engineering Co. Ltd., Bognor Regis, Sussex | Vorrichtung zur messung von druckunterschieden |
-
1982
- 1982-02-25 DE DE19823206720 patent/DE3206720A1/de active Granted
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GB2115548A (en) | 1983-09-07 |
JPS58156825A (ja) | 1983-09-17 |
GB2115548B (en) | 1985-09-18 |
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