DE3132106A1

DE3132106A1 - Vorrichtung zur herstellung eines magnetischen aufzeichungsmediums

Info

Publication number: DE3132106A1
Application number: DE19813132106
Authority: DE
Inventors: Tatsuji Kitamoto; Ryuji Odawara Kanagawa Shirahata
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1980-08-14
Filing date: 1981-08-13
Publication date: 1982-04-08
Also published as: JPS5736437A; GB2083840B; CA1165110A; US4412507A; GB2083840A; JPH0247013B2

Description

Beschreibung

Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Auf zeichnungsmediums

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der ein magnetisches Material mit schrägem Einfallswinkel im Vakuum auf einem bandförmigen Träger abgelagert werden kann; dabei wird ein magnetisches Material durch Aufdampfen im Vakuum auf einen flexiblen,bandförmigen Träger unter einem schrägen Winkel aufgebracht, also unter einem Winkel, der von der normalen der Trägeroberfläche abweicht; dieser bandförmige Träger wird kontinuierlich durch den Verdampfungsraum transportiert, wodurch ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial mit dem Träger und einer dünnen, magnetischen Schicht hergestellt wird.

In der letzten Zeit ist der Bedarf an magnetischen Aufzeichnungen hoher Dichte ständig angestiegen; deshalb werden statt der herkömmlichen Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums,bei dem ein auf einem Bindemittel beruhender, magnetischer Lack auf einen flexiblen Träger aufgebracht und getrocknet wird, mehrere Verfahren zur Herstellung von magnetischen Aufzeichnungsmedien verwendet, bei denen keine Beschichtung vorgenommen, sondern ohne Verwendung eines Bindemittels eine Filmschicht aus einem ferromagnetischen Material durch Aufdampfen im Vakuum, Zerstäuben, Ionenplatieren oder ein ähnliches Verfahren auf einem Träger ausgebildet wird.

Von den verschiedenen, zur Verfügung stehenden Verfahren zur Herstellung von magnetischen Aufzeichnungsträgern, bei denen keine Beschichtung verwendet wird, hat insbe-' sondere das Verfahren durch Aufdampfen im Vakuum mit schrägem Einfallswinkel Interesse für die Praxis gefunden,

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weil dieses Verfahren einfach ist und eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens relativ kompakt ausgelegt werden kann; bei diesem Verfahren werden Strahlen aus verdampftem, magnetischem Material in einem schrägen Winkel zur Oberfläche, des bahnförmigen Trägers erzeugt, um auf diesem.abgelagert zu werden.

Ein weiterer Vorteil dieses Verfahrens liegt darin, daß sich so magnetische Filmschichten mit exzellenten magnetisehen Eigenschaften, also Charakteristiken bzw. Kennlinien, herstellen lassen.

Ein spezielles Merkmal der herkömmlichen Ablagerung eines Films durch Aufdampfen im Vakuum mit schrägem Einfallswinkel liegt in folgendem: Wenn der Träger auf einer geraden Linie oder längs der Außenwand einer zylindrischen Trommel, d.h. längs einer gekrümmten Linie, über die Verdampfungsquelle transportiert wird, wird ein ferromagnetischer Metallfilm in einer ersten Stufe durch Aufdampfen im Vakuum in vorgegebener Dicke durch den Strahl des verdampften Metalls von der Verdampfungsquelle auf den Träger aufgebracht, wobei jedoch nur eng begrenzte Werte für den Einfallswinkel des Strahls zur Verfügung stehen. Wenn jedoch der Strahl des verdampften Metalls schräg in bezug auf die Oberfläche des Trägers verläuft, wird die Dicke des durch Aufdampfen im Vakuum abgelagerten Metallfilms gleich dem cosinus des Einfallswinkels, multipliziert mit der Dicke des durch Aufdampfen im Vakuum aufgebrachten Metallfilms, der beim Einfallswinkel Null gebildet werden würde (dabei bildet der Strahl des verdampften Metalls einen rechten Winkel mit der Oberfläche des Trägers). Es läßt sich jedoch nicht vermeiden, daß der Wirkungsgrad der Ablagerung durch Aufdampfen im Vakuum abnimmt, wenn der Einfallswinkel zunimmt. Außerdem nimmt der Abstand zwischen dem Träger und der Ver-

dampfungsquelle entsprechend zu, wenn die geometrische Anordnung des Trägers und der Verdampfungsquelle so sind, daß der Einfallswinkel vergrößert wird; dementsprechend nimmt der Wirkungsgrad der Aufbringung der magnetischen Schicht durch Aufdampfen im Vakuum weiter ab.

Da die magnetischen Eigenschaften eines durch Aufdampfen im Vakuum abgelagerten, magnetischen Films vom Einfallswinkel abhängen (sh. beispielsweise die veröffentlichte japanische Patentanmeldung No. 352,558 - 1964), ist wesentlich, daß der Einfallswinkel so klein wie möglich ist und sich während des Aufbringens der magnetischen Schicht nicht ändern kann.

Der geringe Wirkungsgrad der Herstellung einer magnetischen Schicht durch Aufdampfen im Vakuum macht es schwierig, die Herstellungskosten zu verringern, wenn ein relativ kostspieliges Nichteisen-Metall, wie beispielsweise Kobalt oder eine Kobaltlegierung, verwendet wird. Dieses schwerwiegende Problem muß also gelöst werden, bevor die Aufdampfung im Vakuum mit schrägem Einfallswinkel in der Praxis eingesetzt werden kann.

Zur Lösung dieses Problems wird beispielsweise in der offengelegten japanischen Patentanmeldung No. 9607/1979 ein Verfahren vorgeschlagen werden, bei dem die Verdampfungsquelle aus ihrer Lage unmittelbar unter der Trommel verschoben wird, so daß nur ein Bereich mit hoher Dicke des Strahls aus dem verdampften Material die Oberfläche des Trägers beaufschlagt, der sich auf der Außenwand der Trommel bzw. des Zylinders befindet. Bei Verwendung dieses Verfahrens ist der Wirkungsgrad der Aufbringung der Schicht durch Aufdampfen im Vakuum 20 %.

Bei diesem Verfahren ist es jedoch schwierig, den Bereich

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der geeigneten Einfallswinkel des Strahls aus dem verdampften Metall in bezug auf den Träger auf der Außenwand der Trommel zu erhöhen. Eine weitere Verbesserung des ■ Wirkungsgrades der Aufbringung der magnetischen Schicht durch Aufdampfen im Vakuum für eine bestimmte Verdampfungsquelle ist deshalb nur begrenzt möglich. Weiterhin muß dieses Verfahren noch stark verbessert werden, wenn der Wirkungsgrad der Aufbringung der Schicht befriedigende Werte erreichen sollte. Und schließlich ist dieses Verfahren noch insoweit nachteilig, als das sich ergebende magnetische Aufzeichnungsmedium keine gleichmäßigen magnetischen Eigenschaften hat/ wenn ein Einfallswinkel verwendet wird, der größer als ein bestimmter Einfallswinkel ist.

Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums zu schaffen, bei der die oben erwähnten Probleme des Wirkungsgrades bei der Aufbringung der Schicht durch Aufdampfen im Vakuum vermieden werden, die bei der herkömmlichen "schrägen" Aufdampfung im Vakuum auftreten;

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weiterhin sollte diese Vorrichtung magnetisch^ Aufzeichnungsmedium mit hoher magnetischer Intensität und mit rechtwinkligem Hysterese-Verhältnis fertigen.

Dies wird durch eine Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums erreicht, bei der ein mag~.netisch.er Film durch Aufdampfen im Vakuum auf der Oberfläche eines bahnförmigen, insbesondere bandförmigen, flexiblen Trägers erzeugt wird, der über eine Verdampfungsquelle für ein geschmolzenes Metall mit im wesentlichen konstanter Geschwindigkeit transportiert wird; dabei ist gemäß dem Grundprinzip der vorliegenden Erfindung eine Einrichtung zur Erzeugung einer Krümmung vorgesehen, um den Träger in der Weise zu führen, daß· der Träger über der Verdampfungsquelle für das geschmolzene Metall

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in der Weise gebogen wird, daß die Strömungslinien des Metalldampfes, die die Mitte der Verdampfungsoberfläche des geschmolzenen Metalls mit einem Punkt auf der Oberfläche des Trägers verbinden, zu allen Zeiten den gleichen Einfallswinkel mit der Längsrichtung des Trägers bilden.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: 10

Fig. 1 ein zur Erläuterung dienendes Diagramm der verschiedenen Verdampfungsrichtungen des Metalldampfes in einer Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmödiums nach der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 ein Diagramm der wesentlichen Bauteile der

Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung,

Fig. 3 im vergrößerten Maßstab eine Ansicht der Beziehungen zwischen einer Strömungslinie eines Metalldampfes und dem in Fig. 2 dargestellten, gekrümmten, bahnförmigen Material,

Fig. 4 ein Diagramm eines Mechanismus für die Bildung einer beweglichen Krümmung, und

Fig. 5 und 6 Seitenansichten von Ausführungsbeispielen eines Mechanismus für eine bewegIiehe Halterung.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, bei der das Grundprinzip der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird. In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 1. eine Quelle für

ein zu verdampfendes Metall; diese Quelle 1 wird durch einen wassergekühlten Kupfer-Behälter für ein Metall gebildet, das durch einen Elektronenstrahl beaufschlagt wird und dadurch verdampft, wie in Fig. 1 schematisch angedeutet ist. Dieser Kupfer-Behälter 2 verläuft in Richtung der Breite eines flexiblen, bahnförmigen, insbesondere bandförmigen Trägers W. Das durch den Elektronenstrahl beaufschlagte Metall 1 in dem Behälter 2 verdampft und diffundiert längs der in Fig. 1 durch die Pfeile 3 angedeuteten Strömungslinien durch den evakuierten Innenraum der Vorrichtung. Dieser bahnförmige .Träger W wird so geführt, daß er über dem Behälter 2 eine gekrümmte Schleife bildet; dadurch wird auf der unteren, dem Behälter 2 zugewandten Oberfläche des bahn-förmigen Trägers W eine Schicht aus einem Metallfilm erzeugt .

In Fig. 2 ist eine Konstruktion für die Führung des bahnförmigen Trägers W längs der gekrümmten Schleife dargestellt. Dabei sind Führungsrollen 4 bis 9 an Punkten vorgesehen, an denen die Laufrichtung des bahnförmigen Trägers W geändert werden soll, wobei die Führungsrollen

4 bis 9 den Träger W direkt halten. Von diesen Führungsrollen bilden die Rollen 4 und 5 sowie die Rollen 8 und 9 den ansteigenden Teil A der Bahn des Trägers W bzw. den fallenden Teil B der Bahn des Trägers W, die symmetrisch in bezug auf den Behälter 2 sind. Zwischen den Rollen 4 und

5 bzw. zwischen den Rollen 8 und 9 sind Mechanismen 10 und 1.0 vorgesehen, die durch die geeignete Form von endlosen Bändern die gewünschte Krümmung erzeugen.

Die Mechanismen 10 und 10'für die Bildung der Krümmung weisen endlose Bänder 1Ί bzw. 11'auf, von denen jedes auf folgende Weise hergestellt ist? ein Metall, wie beispielsweise Kupfer oder Aluminium, wird durch Aufdampfen im

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-ΙΟΙ Vakuum auf der Außenseite eines- Kunststoffbandes abgelagert, auf dessen Innenseite ein Eisenfilm, ein feiner Eisendraht oder Eisenpuder vorgesehen ist. Die so hergestellten endlosen Bänder 11 und 11' werden jeweils über mehrere Führungsrollen 12 und 12' gelegt. Mehrere Magnete 13 und 13' sind in geeigneter Weise in der Nähe der inneren Seiten der Bereiche der endlosen Bänder 11 und n¹ angeordnet, die den nach oben ansteigenden Teil A bzw. den abfallenden Teil B der Bahn des Trägers W formen. Die Magnete 13 und 13' ziehen die endlosen Bänder 11 und 11' kontinuierlich an, so daß sich die Bänder längs des ansteigenden Teils A bzw. des abfallenden Teils B der Bahn krümmen. .

Jedes endlose Band 11 und 11' kann auch durch ein "Traktorband" ersetzt werden, bei dem mehrere, langgestreckte Eisenplatten miteinander verbunden sind»

Der bahnförmige Träger W, der längs des gekrümmten, ansteigenden Teils A und des gekrümmten abfallenden Teils B seiner Bahn verläuft/ wird elektrostatisch durch eine Glimmentladung oder einen ähnlichen Prozeß aufgeladen, bevor der entsprechende Teil des Trägers in eine Lage gegenüber dem Behälter 2 kommt. Deshalb wird der bahnförmige Träger W elektrostatisch zu den äußeren Seiten der endlosen Bänder 11 und 11' in dem ansteigenden Teil A und dem abfallenden Teil B der Bahn angezogen, so daß er in Form einer Kurve geführt wird.

Die Form der Mechanismen 10 und IO' für die Erzeugung der Kurve wird wie folgt festgelegt. Wie in Fig. 3 dargestellt ist, bildet die Strömungslinie 3' des verdampften Metalls, die den Mittelpunkt 0 der Verdampfungsoberfläche des Metall 1 in dem Behälter 2 mit einem bestimmten Punkt X auf dem bahnförmigen Träger W längs des an-

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steigenden Teils A (oder des fallenden Teils B) der Bahn verbindet, einen Winkel < YXO mit einer Linie XY, die eine Tangente an dem Punkt X ist. Der die Kurve erzeugende Mechanismus ist so ausgelegt, daß er den Träger W mit einer solchen Krümmung transportiert, um den Winkel < YXO in Längsrichtung des bahnförmigen Trägers W konstant zu halten.

In. den Bereichen, in denen sich die unteren Teile des .

aufsteigenden Bereiches A und des abfallenden Bereiches B der Bahn befinden und die beiden Teile A und B den geringsten Abstand voneinander haben, sollten Abschirmmäsken 15 und 15' zwischen den Behälter 2 und der Führungsrolle 4 bzw. zwischen dem Behälter 2 und der Führungsrolle 9 sowie eine Abschirmmaske 14 zwischen den Führungsrollen 5 und 8 vorgesehen sein, um Schwierigkeiten mit der Qualität des aufgelagerten Materials zu vermeiden; diese Schwierigkeiten könnten dann auftreten, wenn die Dichte der Strömungslinien des verdampften Metails 1 zu gering ist; außerdem könnten diese Probleme in den Bereichen auftreten wo es schwierig wird, den bahnförmigen Träger W so zu krümmen, daß der oben beschriebene Einfallswinkel aufrechterhalten wird.

Wenn bei der oben beschriebenen Vorrichtung der bahnförmige Träger W den Bereich über dem Behälter 2 mit im wesentlichen konstanter Geschwindigkeit passiert, wird der bahnförmige Träger W durch die Mechanismen 10 und 10^r zur Bildung der Kurve längs einer solchen gekrümmten Bahn ge-

30· führt, daß die Strömungslinien des verdampften Metalls, die den Mittelpunkt 0 der Verdampfungsoberfläche des Metalls 1 in dem Behälter 2 mit einem bestimmten Punkt auf dem Träger W verbinden, den gleichen Einfallswinkel θ in bezug auf die Längsrichtung des bahnförmigen Trägers W bilden. Durch diese Konstruktion wird der Wirkungsgrad

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des Aufdampfens des Metalls 1 auf den Träger wesentlich verbessert, so daß die sich ergebende magnetische Charakteristik bzw. Kennlinie des magnetischen Aufzeichnungsmediums sehr gleichmäßig ist.

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Um diese Verbesserung des Wirkungsgrades des Aufdampfens des Metalls dem Vakuum bei Benutzung der Einrichtung nach der vorliegenden Erfindung zu bestätigen, wurde zunächst nur der aufsteigende Teil A der Bahn gemäß Fig. 2 verwendet; dabei wurde Kobalt im Vakuum auf einen transportierten Polyester-Film mit einer Dicke von 12 um aufgebracht; als zweiter Versuch wurden sowohl der aufsteigende Teil A als auch der abfallende Teil B der Bahn verwendet; dabei wurde Kobalt im Vakuum auf den gleichen Film aufgebracht.

Im zuerst erwähnten Fall betrug der Wirkungsgrad des Aufdampfens im Vakuum 25 % während er im zweiten Fall 52 % betrug.

Die magnetischen Charakteristiken bzw. Kennlinien eines durch Aufdampfen im Vakuum abgelagerten Kobaltfilms, der mit dem Verfahren nach der offengelegten japanischen Patentanmeldung No. 9607/1979 erzeugt worden ist, insbesondere die Koerzitiv-Kraft und das Rechteck- bzw. rechter-Winkel-Verhältnis ( rectangular ratio) wurden mit denen eines Kobaltfilms verglichen, der mit dem oben beschriebenen Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erzeugt worden ist. Die Koerzitivkraft und das Rechtwinkel-Verhältnis des Films nach dem herkömmlichen Verfahren betrugen 850 Oe bzw. 0,91, während die entsprechenden Werte für den Film nach dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfin^ dung 900 Oe und 0,95 betrugen. Dadurch wird also bestätigt, daß die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung magnetische Aufzeichnungsträger mit exzellenten magnetischen Charakteristiken herstellt.

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Das oben beschriebene Verfahren zum Aufdampfen eines Metalls im Vakuum unter Bildung einer Bewegungsbahn, bei der der Einfallswinkel θ konstant gehalten wird, ist zweckmäßig, wie bereits oben erläutert wurde. Im allgemeinen hängt der in Fig. 3 angedeutete Einfallswinkel θ eng von den gewünschten magnetischen Eigenschaften, insbesondere der Koerzitiv-Kräft ab. Im allgemeinen gilt dabei folgende Beziehung: Je kleiner der Einfallswinkel θ ist, um so größer wird die Koerzitivkraft. In Abhängigkeit von dem Anwendungszweck des magnetischen Aufzeichnungsmediums, d.h. davon, ob das magnetische Aufzeichnungsmedium für die Aufzeichnung von Tonsignalen oder die Aufzeichnung von Videosignalen eingesetzt werden soll, benötigen die durch Aufdampfen im Vakuum abgelagerten magnetisehen Schichten für magnetische Aufzeichnungsdaten unterschiedliche Koerzitivkräfte wie beispielsweise Koerzitivkräfte von 500 bis 600 Oe, von 1000 Oe und von 1500 Oe.

Es ist deshalb zweckmäßig, daß bei der Vorrichtung zum schrägen Aufdampfen eines magnetischen Metalls auf einen Aufzeichnungsträger nach der vorliegenden Erfindung der oben erwähnte Einfallswinkel θ leicht geändert werden kann, so daß die Bewegungsbahn des bahnförmigen Trägers W entsprechend der gewünschten magnetischen Kennlinie eingestellt werden kann.

Die Verwendung eines Mechanismus zur Bildung einer beweglichen Kurve, wie sie in den Fig. 4 bis 6 dargestellt ist, ermöglicht es, die Krümmung des oben erwähnten, ansteigenden Teils A oder abfallenden Teils B der Bahn je nach Bedarf einzustellen. Gemäß Fig. 4 werden die Führungsrollen 12 und die Magnete 13, die den ansteigenden Teil A der Bahn bilden, in der Weise gehaltert, daß sie längs Achsen C, die den Krümmungsmittelpunkt (in Fig. 4 nicht dargestellt) des ansteigenden Teils A der Bahn schneiden, nach

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rechts oder nach links bewegt werden können.

Fig. 5 zeigt eine Seitenansicht eines beweglichen Halterungsmechanismus 50, der beide Enden der Führungsrolle 12 haltert und die Führungsrolle 12 längs der Achse C verschieben kann. Der Mechanismus 5 enthält eine Gewindewelle 51, die parallel zu der Achse C angeordnet ist, ein Elektromotor 52, der mit einem Ende der Gewindewelle 51 gekuppelt ist, um die Welle 51 zu drehen, ein Lager 53 für das andere Ende der Gewindewelle 51 und ein bewegliches Lager 53, das durch die Gewindewelle 51 gehaltert wird, die durch das Lager 54 verläuft. Ein Druckmotor (print motor), ein Schrittmotor oder ein Stellglied bzw. Betätigungsglied kann wahlweise in Abhängigkeit von der angestrebten Genauigkeit der Bewegungssteuerung als Motor 52 eingesetzt werden.

Wenn der Motor 52 gedreht wird, um die Gewindewelle 51 in eine Richtung oder in die entgegengesetzte Richtung zu drehen, wird das bewegliche Lager 54 in eine der beiden Richtungen des Pfeils C und dementsprechend die Führungsrolle 12, die durch das Lager 54 gehaltert wird, in der gleichen Richtung bewegt. Die Bewegungsstrecke und die Bewegungsgeschwindigkeit der Führungsrolle 12 können durch übliche Feststell- und Steuereinrichtungen eingestellt bzw. geregelt werden, wie beispielsweise Grenzschalter, magnetische Fühler und Impulsoszillatoren. In ähnlicher Weise wie die Führungsrollen kann jeder Magnet 13, der zwischen benachbarten Führungsrollen 12 angeordnet ist, durch einen beweglichen Halterungsmechanismus verschoben und gesteuert werden; dieser Halterungsmechanismus kann ebenfalls die in Fig. 5 gezeigte Konstruktion haben.

Wenn also der Einfallswinkel θ zu anderen Winkeln Θ¹ und Θ" geändert werden soll, wie es in Fig. 4 dargestellt ist,

kann der ansteigende Teil A der Bahn beliebig zu einem ansteigenden Teil A' bzw. A" geändert werden.

Bei der Einstellung des ansteigenden Teils A, A¹ oder A" der Bahn sollten die Masken 14 und 15 in Richtung der Pfeile X und Y zu geeigneten Stellen verschoben werden, so daß auch jetzt die unerwünschten Strömungen des verdampften Metalls blockiert werden.

Wenn der oben erwähnte, abfallende Teil B der Bahn symmetrisch zu dem ansteigenden Teil A der Bahn angeordnet wird, kann die Maske 14 dazu verwendet werden, die beiden Teile A und B der Bahn abzuschirmen. Eine zweite Maske 14' kann unter der Maske 14 so vorgesehen werden, daß sie in bezug auf den abfallenden Teil B der Bahn verschoben werden kann. Als Alternative hierzu können die Masken 14 und 14' sowie die Masken 15 und 15* hin-und herbewegbar gehaltert werden, wodurch es möglich wird, die Abschirmbereiche für die Strömung des verdampften Metalls in bezug auf die Teile A und B der Bahn zu variieren.

Fig. 6 zeigt eine Modifikation des oben beschriebenen, beweglichen Halterungsmechanismus 50. Der oben beschriebene bewegliche Halterungsmechanismus 50 ist auf einem Mechanismus 60 für die Durchführung einer vertikalen Bewegung angebracht, der eine vertikal angeordnete Gewindewelle 61, ei nen Elektromotor 62, ein Lager 63 und eine Stütze 64 enthält, die über ein Gewinde mit der Gewindewelle 61 in Eingriff kommt, um vertikal (d.h., in Richtung des Pfeils X) verschoben zu werden. Mit diesem Mechanismus kann die Führungsrolle 12 sowohl vertikal (in X-Richtung) als auch horizontal (in Y-Richtung) gleichzeitig verschoben werden, indem die beiden Gewindewellen 51 und 61 in einer Richtung und/oder in der entgegengesetzten Richtung gedreht werden.

Bei der Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums mit der Vorrichtung zum Aufdampfen eines Metalls im Vakuum nach der vorliegenden Erfindung können Metalle, wie beispielsweise Fe, Co oder Ni als ferromagnetisch.es Material für die Bildung eines magnetischen Films, oder ferromagnetische Legierungen verwendet werden, wie beispielsweise Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr oder Fe-Co-Ni-Cr. Der magnetische Film sollte dick genug für die Erzeugung eines ausreichenden Ausgangssignals des magnetischen Aufzeichnungsmediums und dünn genug für hohe Aufzeichnungsdichten sein. Berücksichtigt man diese Anforderungen, so sollte die Dicke des magnetischen Films im Bereich von 0,02^Um bis 5,0/im, nach einer bevorzugten Äusführungsform von 0,05 /im bis 2,0^/um liegen.

Als Kunststoff für den bahnförmigen Träger W können beispielsweise eingesetzt werden: Polyethylenterephthalat, Polyimid, Polyamid, Polyvinylchlorid, Cellulosetriacetat, Polycarbonat oder Polyethylennaphthalat.

Zur Erwärmung der Verdampfungsquelle kann ein Widerstands-Heizverfahren, das Aufheizen mittels eines Laserstrahls, das Aufheizen durch hochfrequente Wellen oder das Aufheizen durch einen Elektronenstrahl verwendet werden. Für die Zuführung des Verdampfungsmaterials kann ein Verfahren eingesetzt werden, bei dem der beheizten Quelle ein lineares, insbesondere geradliniges Material zugeführt wird.

Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung ist unter Bezugnahme auf den Fall erläutert worden, bei dem sowohl der ansteigende Teil A als auch der abfallende Teil B der Bahn gleichzeitig ein-

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1 gesetzt werden. Bei Bedarf kann jedoch auch nur eine der beiden Teile A und B verwendet werden.

Claims

Patentansprüche

(Ty Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums , gekennzeichnet durch eine Verdampfungsquelle (1) für ein geschmolzenes Metall, und durch eine Einrichtung für den Transport eines flexiblen, bandförmigen Trägers (W) über die Verdampfungsquelle (1) längs einer gebogenen Bahn, die so geformt ist, daß die Strömungslinien des verdampften Materials, die einen Mittelpunkt auf der Verdampfungsoberfläche des geschmolzenen Metalls (2) mit dem Träger (W) verbinden, einen im wesentlichen konstanten Einfallswinkel in bezug auf die Längsrichtung des Trägers (W) über einen Bereich bilden, in dem die Strömungslinien des verdampften Metalls (1) zu dem Träger (W) gelangen.

TELEFON (OSS) 22 SS 6S

TELEX OS-29 38O

TELEGRAMME MONAPAT
2. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung für, die Einstellung der Lage der Transporteinrichtung, um den Einfallswinkel zu variieren.
3. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellvorrichtung eine Einrichtung für die Bewegung der Transportvorrichtung längs Linien aufweist, die im wesentlichen parallel zu den Strömüngslinien des verdampften Metalls (2) verlaufen.
4. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach Anspruch 3_f dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellvorrichtung eine Vorrichtung für die Bewegung der Transporteinrichtung längs Linien aufweist, die senkrecht zu den Strömungslinien des verdampften Metalls verlaufen.
5. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Äufzeichnungsmediums nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Transporteinrichtung mehrere Führungsrollen und mehrere Magnete aufweist, die längs ansteigender Teile (A) bzw» abfallender Teile (B) der Bahn angeordnet ist, und daß die Einstelleinrichtung mehrere Gewindewellen (51, 61) mit einer Längsachse, die parallel zu den Strömungslinien des verdampften Metalls (2) sind, sowie mehrere bewegliche Lager aufweist, die jeweils über das Gewinde auf einer der Gewindewellen (51, 61) angebracht sind, wobei jedes bewegliche Lager den entsprechenden Magneten bzw. die entsprechende Führungsrolle haltert.

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6. Vorrichtung zur Herstellung von magnetischen Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch mehrere Stützen, wobei eine Gewindewelle (51, 61) drehbar auf der entsprechenden Stütze angebracht ist, und durch mehrere, zweite Gewindewellen (51, 61), die senkrecht zu den entsprechenden ersten Gewindewsllen (51, 61) angeordnet sind, wobei die Stützen über das Gewinde verschiebbar auf den entsprechenden zweiten Gewindewellen (51, 61) gelagert sind.
7. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch Masken für die Blockierung unerwünschter Strömungslinien des Metalldampfes, die über und unter der gebogenen Bahn angeordnet sind.
8. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7/ gekennzeichnet durch Masken für die Blockierung der unerwünschten Strömungslinien des Metalidampfes, die über und unter der gebogenen Bahn angeordnet sind, wobei die Masken so angebracht sind, daß sie längs gerader Linien verschiebbar sind.
9. Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnung smediums nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch Masken für die Blockierung der unerwünschten Strömungslinien des Metalldampfes, die über und unter der gebogenen Bahn angeordnet sind, wobei die Masken hin- und herbewegbar gelagert sind.