DE3000762C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer
Vorform für optische Wellenleiter, durch Abscheidung einer
Anzahl von Schichten mit radial abnehmendem Brechungsindex
mittels eines Plasmabrenners und einem den Kernbereich
bildenden Ausgangsstab.
Bekannt ist bereits eine Anzahl von Verfahren, die die
Herstellung einer solchen Vorform gestatten.
So ist es bekannt, einen Brechungszahlgradienten dadurch
zu erhalten, daß man die Vorform einem Ionenaustauschverfahren
unterwirft. Dieses Verfahren weist mehrere Nachteile
auf: der Ionenaustausch erfolgt nur über eine sehr
geringe Dicke, und darum ist der Brechungszahlgradient
schwierig einzustellen bzw. zu regeln; darüber hinaus ist
der Verunreinigungsgrad derart, daß sich erhöhte Lichtverluste
einstellen.
Ebenfalls ist es bekannt, eine Vorform dadurch zu erhalten,
daß man ein gasförmiges Gemisch in der Flamme eines
Brenners hydrolisiert. Das Verfahren besteht beispielsweise
darin, ein Gemisch aus halogenierten Silicium- und Titanverbindungen
in eine Flamme zu geben, in der eine Oxidation
durch Sauerstoff oder eine sauerstoffhaltige Verbindung
erfolgt.
Die Oxidpartikel des Siliciums und des Titans aus dieser
Reaktion werden auf dem durch die Flamme erwärmten Vorformling
abgeschieden. Man erhält eine Hülle, deren chemische
Zusammensetzung radial variiert, indem man progressiv
die Zusammensetzung des gasförmigen Gemisches modifiziert.
Dieses Verfahren ist interessant, hat jedoch einige Nachteile:
jede abgeschiedene Schicht hat eine geringe Dicke
(etliche 10 Mikrometer); es ist notwendig, die abgeschiedenen
Oxidpartikel (zusammen)zusintern, um eine homogene
verglaste Schicht zu erhalten. Andererseits erfordert
die Regelmäßigkeit der Abscheidung, daß die Oberfläche
des Ausgangsvorformlings genau bearbeitet werden
kann.
Nach der FR-PS 21 78 175 besteht ein anderes Verfahren
darin, mehrere Schichten einer Glasfritte auf der
Oberfläche eines ursprünglich
zylindrischen Elementes abzuscheiden,
wobei jede Schicht eine progressiv unterschiedliche
Zusammensetzung
aufweist, derart, daß die erhaltene
Struktur eine radial stufenweise variierende
Zusammensetzung aufweist.
Dieses nicht beschriebene, sondern nur erwähnte Verfahren
kann als Verallgemeinerung der Hydrolyse eines gasförmigen
Gemisches in einer Flamme betrachtet werden und hat somit
die gleichen Nachteile.
Ferner beschreibt die FR-PS 22 53 723 ein Verfahren
zum Aufgeben oder Aufschleudern eines Glaspulvers auf
einen zylindrischen Träger (Rohr oder Stab).
Die verwendete Technik ist kompliziert;
sie erfordert eine Spezialvorrichtung; die Granulometrie
des aufgegebenen Glaspulvers ist extrem fein, was es
erfordert, große Vorkehrungen zu treffen, um das Glas
gegen jede Verunreinigung vor und nach der Abscheidung
auf der Vorform zu schützen.
Allgemein sind sämtliche bekannten Verfahren darauf
gerichtet, sehr feine Pulver aufzuspritzen, um die
bestmögliche Homogenität jeder abgeschiedenen Schicht
zu erhalten. Diese Verfahren sind langwierig und kostspielig,
da die Dicke jeder Schicht sehr gering ist;
es ist somit notwendig, zahlreiche Abscheidungen durchzuführen,
um einen ausreichenden Überzug zu erhalten.
Auf alle Fälle sind die Abmessungen der nach den bekannten
Verfahren hergestellten Vorformen bescheiden
und ermöglichen es nicht, kontinuierliche Wellenleiter
sehr großer Länge zu erhalten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mittels eines
einfachen, wirtschaftlichen Verfahrens Vorformen herzustellen,
aus denen kontinuierliche Wellenleiter sehr
großer Länge erhalten werden können.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß man dem
Plasmabrenner Glaspulver mit einer Granulometrie zwischen
75 und 300 µm quer zur Brennerflamme unter Einwirkung der
Schwerkraft zuführt, daß der Stab nach Abscheidung jeder
Schicht auf einen Wert gleich oder wenigstens benachbart
seinem Anfangsdurchmesser gezogen und die chemische Zusammensetzung
des Glaspulvers nach Abscheiden jeder Schicht
modifiziert wird.
Das Verfahren nach der Erfindung hat den Vorteil, daß
die schnelle Herstellung einer Vorform erheblicher
Abmessungen möglich wird, indem direkt homogene Glasschichten
gebildet werden und die Gefahren einer Verunreinigung
des Glases maximal vermieden werden.
Ein Ausgangsstab wird auf einem Vorformträger angeordnet,
der es ermöglicht, den Stab mittels einer wechselnden
Translationsbewegung kombiniert mit einer Rotationsbewegung
in die Flamme eines Hochfrequenzplasmabrenners
einzuführen. Die Geschwindigkeit dieser Translations-
und Rotationsbewegungen ist einstellbar, so daß man eine
regelmäßige Abscheidung über die gesamte Oberfläche des
Stabes erhält. Der Vorformträger ist selbst auf einem
Träger fixiert, der mit einer progressiven Entfernungsbewegung,
bezogen auf den Kopf eines Plasmabrenners, bewegt
wird. Die Achse des Plasmabrenners steht senkrecht zur
Drehachse des Stabes.
Ein oberhalb des Plasmabrenners angeordneter Pulververteiler
ermöglicht es, das Glaspulver in die Stichflamme
des Brenners quer zur Fortpflanzungsrichtung der Flamme
fallen zu lassen. Das durch diese Flamme mitgerissene
Glaspulver wird auf die beheizte Oberfläche des Stabes
geworfen und bildet direkt eine homogene verglaste Schicht.
Auf dem zylindrischen Stab, der zu Beginn einen Durchmesser
Do und eine Länge Lo aufweist, scheidet man eine erste
Glasschicht ab, die eine Konzentration C 1 eines Dotierungselementes
enthält und deren Brechungszahl n 1 kleiner als
die Brechungszahl no des Stabes ist. Die regelmäßige
Dicke der abgeschiedenen Schicht ist gleich e 1.
Der Stab, der dann einen Durchmesser D 1 = Do + 2e 1 aufweist,
wird unter Erwärmung gezogen, derart, daß sein
Durchmessr auf einen Wert benachbart oder gleich
Do zurückgeführt wird.
Auf dem so gezogenen Stab wird eine Abscheidung einer
zweiten Schicht einer Dicke e 2 eines Glases vorgenommen,
die eine Konzentration c 2 des gleichen Dotierungselementes
enthält und deren Brechungszahl n 2 kleiner als n 1 ist.
Dann zieht man den Stab von neuem, um seinen Durchmesser
auf einen Wert benachbart oder gleich Do zurückzuführen.
Dieser Vorgang wird p mal wiederholt, wobei p beispielsweise
gleich 10 ist.
Bei Beendigung dieser Vorgänge erhält man einen Vorformling,
der aus einem Kernbereich einer Brechungszahl no,
umgeben von einer Reihe von Glasschichten mit der Brechungszahl
n 1, n 2, . . . np, besteht. Dieser Vorformling ist also
dann vom Typ mit Brechungszahlsprüngen.
Man sieht jedoch leicht, daß man Gläser wählen kann, die
ein Dotierelement enthalten, deren Konzentrationen c 1, c 2,
. . . cp, um relativ geringe Konzentrationssprünge zu erhalten,
stark benachbart sind.
Darüber hinaus erfolgen Abscheidung des Glaspulvers und
Ziehen des Stabes bei einer stark erhöhten Temperatur, wodurch
die Diffusion des Dotierungselementes zwischen zwei
aufeinanderfolgenden Schichten begünstigt wird und ein
progressiver Übergang zwischen diesen Schichten sichergestellt
wird.
Die Herstellung des Vorformlings wird beendet durch die
Abscheidung einer letzten Glasschicht, deren Zusammensetzung
sich von den p ersten Schichten unterscheidet
und die dazu bestimmt ist, eine Schutzrolle zu spielen.
Das Verfahren nach der Erfindung wird anhand von zwei
Ausführungsbeispielen sowie den beiliegenden Zeichnungen
erläutert. Diese zeigen in
Fig. 1 einen schematischen Schnitt durch den Plasmabrenner
und einen Teil der Glaspulverzuführungsvorrichtung,
Fig. 2 einen schematischen Schnitt durch die relativen
Stellungen des Brennerkopfs, des Austritts des
Glaspulververteilers sowie des Stabes,
Fig. 3 einen schematischen Schnitt durch die Gesamtanordnung
der Vorrichtung, die die verschiedenen
Bewegungen des Stabes sicherstellt,
Fig. 4 einen schematischen Schnitt durch den oberen
Teil der Glaspulverzuführungsvorrichtung,
Fig. 5 ein Diagramm, wobei schematisch der Aufbau
des hergestellten Vorformlings gezeigt ist,
Fig. 6 ein schematisches Diagramm für die reelle
Struktur des nach Beispiel 1 hergestellten
Vorformlings und
Fig. 7 eine schematische Darstellung der reellen
Struktur des nach Beispiel 2 hergestellten
Vorformlings.
Die Glaspulverzuführungsvorrichtung ist in Fig. 4 dargestellt.
Ein Aufgabebehälter 9 ist mit abzuscheidendem
Glaspulver gefüllt und oberhalb einer kreisförmigen Platte 7
angeordnet. Die Granulometrie der Glaskörner liegt zwischen
75 und 300 µm und vorzugsweise zwischen 75 und
125 µm.
Diese Scheibe wird in Drehbewegung um eine vertikale Achse
18 angetrieben, die in ihrem unteren Teil mit einer genuteten
Blockrolle 19 ausgestattet ist. Diese Blockrolle dreht sich
unter der Wirkung eines Keilriemens 20 aufgrund des Antriebs
durch einen Elektromotor 8 mit regelbarer Geschwindigkeit.
Der Aufgabetrichter 9 ist in seinem unteren Teil mit einem
Zylinderorgan 17 versehen, dessen Ende sich etliche Millimeter
oberhalb der Oberfläche der Scheibe 7 befindet. Das
Pulver tritt aus dem Aufgabebehälter in Form eines kreisförmigen
Wulstes aus.
Eine in unmittelbarer Nähe der Oberseite der Scheibe 7 angeordnete
Rakel 21 schiebt das Glaspulver in einen Aufgabetrichter
6. Die Menge des zugeführten Glases wird durch
die Drehgeschwindigkeit der Scheibe 7 eingestellt.
Der Aufgabetrichter 6 ist nach unten durch ein abgewinkeltes
Zylinderrohr 5 aus transparentem Siliciumdioxid,
schematisch in Fig. 1 dargestellt, verlängert. Der untere
Teil des Rohres 5 mit einer Länge zwischen 200 und 500 mm
bildet einen Winkel mit der Horizontalen zwischen 30 und
60°, vorzugsweise von 45°.
Zweck dieser Anordnung ist es, die Fallgeschwindigkeit der
Glaskörner zu verlangsamen und ihnen eine Austrittsgeschwindigkeit
in der Größenordnung von 1 m/s zu verleihen.
Die Heizquelle ist ein induktiver Plasmagenerator mit
einer elektrischen Speisequelle 1, die einen Hochfrequenzstrom
unter erhöhter Spannung (2 Megahertz - 10 Kilovolt)
liefert. Dieser Strom zirkuliert in einem Induktor 2,
der durch ein Kupferrohr gebildet ist, welches durch
Wasserzirkulation gekühlt ist und ein Rohr aus transparentem
Siliciumdioxid 3 umgibt. Entsprechend der angelegten
Hochfrequenzleistung und entsprechend den plasmaerzeugenden
Gasen wählt man für das Siliciumdioxidrohr einen Durchmesser
zwischen 40 und 60 mm. Dieses Rohr wird durch ein
mittels Wasserzirkulation gekühltes metallisches Bauteil 4
getragen. Dieses Bauteil 4 dient auch zum Einführen plasmaerzeugender
Gase in das Kieselsäurerohr. Als plasmaerzeugende
Gase werden beispielsweise verwendet: Argon, Stickstoff,
Sauerstoff oder Gemische hiervon. Diese Gase stammen
aus Hochdruckflaschen mit Entspannungsventilen und in der
Fig. 1 nicht dargestellten Durchflußmeßgeräten. Die Luft
bildet ein besonders interessantes Beispiel für das Gemisch
Sauerstoff-Stickstoff; geliefert wird sie durch einen
Kompressor, gefolgt von einer Reinigungsvorrichtung und
einer in den Figuren nicht dargestellten Trocknungskolonne.
Das Siliciumdioxidrohr, in dem sich das induktive Plasma
befindet, kann mehrere Orientierungen in einer Vertikalebene
senkrecht zur Drehachse des Stabes 10 aufweisen.
Nach Fig. 1 ist das Kieselsäurerohr horizontal aus Gründen
der zweckmäßigen Darstellung angeordnet.
Die jeweilige Anordnung des Auslasses des Kieselsäurerohrs
3, des Endes des Rohres 5 und des Stabes 10 ist in Fig. 2
wiedergegeben. Eine besonders günstige Anordnung erhält
man mit den folgenden Einstellungen: α = 45°; a = 10 mm;
b = 30 mm; l = 150 mm.
Die in die Plasmaflamme fallenden Glaskörner werden durch
diese in Form feiner Tröpfchen mitgerissen, die sich gegen
die Vorform verkleben.
Die Längsachse des horizontal angeordneten Stabes steht
senkrecht zur Achse des Plasmabrenners, die fest bleibt.
Dieser Stab 10 wird mit einer dreifachen Bewegung angetrieben:
einer Rotationsbewegung um seine Achse, einer alternativen
Translationsbewegung parallel zu dieser Achse und
einer Translationsbewegung senkrecht zu seiner Achse.
Um dies zu erreichen, wird der Stab 10 an seinen beiden
Enden durch zwei Dorne 15 einer üblichen Glasdrehbank 14
gehalten. Diese Glasdrehbank ist auf vier Rädern 22 gelagert,
die auf zwei Schienen 13 senkrecht zur Achse des
Stabes 10 ruhen. Diese Schienen 13 sind an einem Wagen 12
befestigt, der sich selbst auf Schienen 11 parallel zur
Achse des Stabes 10 verschiebt.
Die verschiedenen Bewegungen werden durch Elektromotoren
mit einstellbarer Geschwindigkeit, die in Fig. 3 nicht
dargestellt sind, sichergestellt; entsprechend dem Durchmesser
des Stabes 10 variiert seine Drehgeschwindigkeit
zwischen 10 und 100 Umdrehungen pro Minute; die Translationsgeschwindigkeit
auf den Schienen 11 kann zwischen 10 und
100 mm pro Minute variieren. Eine (in Fig. 3 nicht dargestellte)
optische Vorrichtung mißt dauernd die Entwicklung
des Stabdurchmessers; diese optische Abtastung steuert
einen Elektromotor, der für die Translationsbewegung der
Glasdrehbank 14 auf den Schienen 13 sorgt.
Nach dem Abscheiden jeder Schicht wird der Stab 10 ausgezogen,
um seinen Durchmesser auf einen Wert, benachbart
oder gleich dem seines Anfangsdurchmessers, zu bringen.
Das Ziehen kann beispielsweise in einem Elektroofen entsprechend
dem Verfahren der FR-PS 11 08 060 oder auf einer
Glasdrehbank erfolgen, wobei man einen Ringbrenner verwendet,
der mit einem Waserstoff-Sauerstoffgemisch oder
einem Propan-Sauerstoffgemisch gespeist ist.
Nach an sich bekannten Verfahren stellt man aus sehr reinen
Bestandteilen mehrere Gläser her, deren prozentuale Gewichtszusammensetzungen
die folgenden sind:
Diese auf eine Granulometrie zwischen 75 und 125 µm gemahlenen
Gläser werden in dichte Behälter eingefüllt und im Wärmeschrank
bei 45° zur Verhinderung jedes Angriffs durch atmosphärisches
Wasser ausgelagert.
Man beginnt mit einem zylindrischen Stab aus sehr reinem Siliciumdioxid
von 1 m Länge und 45,7 mm Durchmesser. An jedem
Ende dieses Stabes ist ein Kieselsäureansatzstück gewöhnlicher
Qualität von 300 mm Länge und 90 mm Durchmesser angeschweißt.
Nach Fig. 3 werden diese Ansätze 16 in die Dorne 15 der Glasdrehbank
14 eingespannt. Diese Vorkehrung ermöglicht es, den
Stab 10 über seine gesamte Länge zur Herstellung der Vorform
zu verwenden.
Der Stab 10 wird allmählich durch den unter einem Abstand 1
größer oder gleich 300 mm angeordneten Plasmabrenner 5 Minuten
lang erwärmt: seine Drehgeschwindigkeit beträgt 30 Umdrehungen
pro Minute; seine Translationsgeschwindigkeit 250 mm pro
Minute. Die folgenden Einstellungen werden vorgenommen:
l = 100 mm; a = 40 mm; b = 20 mm; α = 45°. Die Glasmenge
von der Zusammensetzung C 1 beträgt 300 Gramm pro Stunde.
Der Vorgang wird unterbrochen, sobald die erste Schicht
eine Dicke von 1,3 mm erreicht. Der Durchmesser des Stabes
wid auf seinen Ausgangswert durch Ziehen zurückgeführt;
seine Länge liegt dann bei 1,12 m. Eine zweite Schicht von
der Zusammensetzung C 2 und einer Dicke von 1,15 mm wird
hergestellt. Nach einem zweiten Ziehvorgang wird die Länge
des Stabes auf 1,24 m gebracht.
Eine dritte Schicht von der Zusammensetzung C 3 und der
Dicke von 1,1 mm wird hergestellt; die Länge des Stabes
nach dem Ziehen liegt dann bei 1,36 m. Eine letzte Schicht
von der Zusammensetzung C 4 und der Dicke 1,1 mm wird abgeschieden;
der gezogene Stab weist eine Länge von 1,50 m auf.
Die so hergestellte Vorform wird mit einer Schicht glasiger
Kieselsäure gewöhnlicher Qualität umhüllt, die mehrere
Rollen erfüllt: sie schützt die Vorform gegen chemischen
Angriff; sie vermeidet Verluste durch Verflüchtigung bei der
Umformung der Vorform in Stäbchen und dann in Fasern;
sie setzt die Außenschicht der Faser aufgrund des Unterschiedes
zwischen dem Ausdehnungskoeffizienten des Siliciumdioxids
und denen der verschiedenen abgeschiedenen Gläser unter Druck
und verleiht ihm eine erhöhte mechanische Festigkeit.
Diese Siliciumdioxidschicht wird in Pulverform abgeschieden,
deren Granulometrie in der Größenordnung von 250 µm entsprechend
dem obenbeschriebenen Verfahren ist. Die Menge an
Siliciumdioxidpulver wird eingestellt, um eine Abscheidungsgeschwindigkeit
von 750 Gramm pro Stunde zu erhalten.
Nach unserem Beispiel wird der Abscheidungsvorgang unterbrochen,
wenn der Durchmesser der Vorform 80 mm erreicht
hat.
Man erhält schließlich eine Vorform von 1,5 m Länge,
bestehend aus einem sehr reinen Siliciumdioxidkern von
36,8 mm, umgeben von vier Schichten C 1, C 2, C 3, C 4 von
1,025 mm Dicke und einer Außenschicht glasigen Siliciumdioxids
von 17,5 mm Dicke. Der theoretische Aufbau dieser
Vorform ist schematisch in Fig. 5 wiedergegeben.
Tatsächlich sorgen die aufeinanderfolgenden von der Vorform
erfahrenen Ziehvorgänge für ausreichende Diffusion,
um radial eine praktisch kontinuierliche Konzentrationsschwankung
zu erhalten. Die reelle Struktur der Vorform
liegt nahe der schematisch in Fig. 6 gegebenen.
Die so erhaltene Vorform wiegt 16,6 kg und ermöglicht
es theoretisch, 160 km Fasern von 200 µm Durchmesser zu
ziehen. Praktisch wird es möglich, ausgehend von einer
solchen Vorform, eine Faser von 50 km in einem einzigen
Stück, was besonders vorteilhaft ist, zu erhalten.
Hergestellt werden 10 Gläser aus sehr reinen Bestandteilen,
die zum Binärsystem SiO₂-B₂O₃ gehören. Die äußeren Gläser
C 1 und C 10 dieser Reihe entsprechen folgenden Gewichtszusammensetzungen:
SiO₂ = 98%; B₂O₃ = 2% und SiO₂ = 90% : B₂O₃ =
20%. Die anderen Gläser haben dazwischenliegende Zusammensetzungen,
die man erhält, indem man die jeweiligen prozentualen
Anteile von SiO₂ und B₂O₃ um 2% verändert.
Man geht ebenfalls von einem Stab sehr reiner Kieselsäure
(Siliciumdioxid) von 1 m Länge und 50 mm Durchmesser aus.
Die im Beispiel 1 gegebenen Einstellungen werden beibehalten.
Die Dicke jeder abgeschiedenen Schicht zeigt die Tafel:
Nach dem Abscheiden jeder Schicht wird der Stab gezogen,
um seinen Durchmesser auf einen Wert benachbart oder gleich
dem des Anfangsdurchmessers zu bringen.
Ohne die bei Beendigung jeder Abscheidung erhaltene Länge
darzulegen, ist es klar, daß man begrenzt durch die Maximallänge
der Glasdrehbank ist. Man kann zwischen zwei aufeinanderfolgenden
Abscheidungen gezwungen sein, die Vorform in
zwei Teile zu zerschneiden. Die dazwischenliegenden Vorformen,
die hieraus entstehen, werden dann getrennt
behandelt, indem man die Reihenfolge der ursprünglich
gewählten Abscheidungen berücksichtigt.
Wie nach dem Beispiel der Fig. 1 wird die Herstellung der
Vorform beendet, indem man sie mit einer Schicht glasigen
Siliciumdioxids gewöhnlicher Qualität abdeckt.
Die endgültige Vorform besteht dann aus einem sehr
reinen Siliciumdioxidkern von 5 mm Durchmesser, der von
zehn Schichten der Zusammensetzung C 1 bis C 10 von 2,25 mm
Dicke und einer Schicht glasigen Siliciumdioxids bzw.
Kieselsäure von 15 mm Dicke umgeben ist.
Wie nach dem vorhergehenden Beispiel führen die aufeinanderfolgenden
Ziehvorgänge zu einer Diffusion zwischen zwei
aufeinanderfolgenden Schichten. Hieraus folgt eine radiale
Veränderung der Konzentration, wie der durch die vier
ersten Schichten in Fig. 7 dargestellten.
Selbstverständlich sind die Beispiele nicht als begrenzend
anzusehen; jede wünschenswerte Veränderung hinsichtlich
der Art der gewählten Bestandteile, der Dicke und der
Anzahl der abgeschiedenen Schichten im Rahmen der Erfindung
ist ohne weiteres möglich.
Wesentlich für die Erfindung ist, daß der Plasmabrenner
mit Glaspulver quer zur Stichflamme des Brenners gespeist
wird; daß der Stab nach der Abscheidung jeder
Schicht derart ausgezogen wird, daß sein Durchmesser
auf einen Wert benachbart oder gleich dem seines Anfangsdurchmessers
zurückgeführt wird und daß die chemische
Zusammensetzung des Glaspulvers nach der Abscheidung
jeder Schicht modifiziert wird.
Die nach dem Verfahren nach der Erfindung hergestellte
Vorform ermöglicht es, durch Ziehen optische Wellenleiter
zu erhalten, die für Anwendungen auf dem Gebiet
der Informationsübertragung bestimmt sind.
Claims (5)
1. Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische
Wellenleiter durch Abscheidung einer Anzahl von Schichten
mit radial abnehmendem Brechungsindex mittels eines
Plasmabrenners auf einem den Kernbereich bildenden
Ausgangsstab,
dadurch gekennzeichnet,
daß dem Plasmabrenner Glaspulver mit einer Granulometrie
zwischen 75 und 300 µm quer zur Brennerstichflamme
unter der Einwirkung der Schwerkraft zugeführt,
der Stab nach Abscheidung jeder Schicht auf einen Wert
gleich oder wenigstens benachbart seinem
Anfangsdurchmesser gezogen und die chemische Zusammensetzung
des Glaspulvers nach Abscheiden jeder Schicht
modifiziert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß Gläser des Binärsystems SiO₂-B₂O₃ in Pulverform
verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß pulverförmiges Glas mit wenigstens 80 Gew.-% SiO₂
verwendet wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß als letzte Schicht reines Siliziumdioxid abgeschieden
wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Kernbereich durch reines Siliziumdioxid gebildet
wird.
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