DE29717764U1

DE29717764U1 - Stator für eine Turbomolekularvakuumpumpe

Info

Publication number: DE29717764U1
Application number: DE29717764U
Authority: DE
Original assignee: Leybold Vakuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 1997-10-06
Filing date: 1997-10-06
Publication date: 1997-11-20
Anticipated expiration: 2007-10-07

Description

97.012 GM

LEYBOLD VAKUUM GMBH

Stator für eine Turbomolekularvakuumpumpe

Die Erfindung bezieht sich auf einen Stator für eine
Turbomolekularvakuumpumpe mit Distanzringen und mit Statorringscheiben oder Statorteilringscheiben, die mit ihrem äußeren Rand zwischen den Distanzringen angeordnet
sind und die auf ihrer Innenseite Statorschaufeln tragen.
Ein Stator mit diesen Merkmalen ist aus den Gebrauchsmustern
90 13 671 und 90 13 672 bekannt.

Turbomolekularvakuumpumpen weisen einander abwechselnde Statorschaufelreihen und Rotorschaufelreihen auf. Die
Statorschaufeln einer Statorschaufelreihe sind üblicherweise Bestandteile von Statorring oder Teilringscheiben, vorzugsweise Statorhalbringscheiben, deren äußere Ränder zwischen den Distanzringen angeordnet sind. Die Pumpeigenschaften
einer Turbomolekularvakuumpumpe sind um so besser, je kleiner die Axialspalte zwischen den Rotorschaufelreihen
und den Statorschaufelreihen sind. Da eine Berührung von Stator- und Rotorschaufelreihen zur sofortigen Zerstörung der Pumpe führt, müssen bei der
Festlegung des Axialspaltes die maximal auftretenden Höhentoleranzen der Schaufelreihen berücksichtigt werden.

Insbesondere bei Statorschaufelreihen mit geschränkten Schaufeln sind die Höhentoleranzen relativ groß.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Höhentoleranzen bei den Statorschaufelreihen zu reduzieren.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Distanzringe des Stators auf ihrer inneren, den Schaufeln zugewandten Seite mit einem Anschlag ausgerüstet sind, der sich radial nach innen erstreckt und dem die die axiale Höhe der Statorschaufeln bestimmenden Kanten anliegen. Dadurch, daß die Kanten der Schaufeln Anschlägen anliegen, die mit hoher Präzision gefertigt werden können, ist die Höhe der Schaufeln, insbesondere die Höhe geschränkter Schaufeln, eindeutig bestimmt. Die Höhentoleranzen sind im Vergleich zum Stand der Technik kleiner. Engere Axialspalte zwischen den Rotorschaufelreihen und den Statorschaufelreihen können gewählt werden. Das Resultat ist eine Verbesserung der Pumpeigenschaften.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden.

Die Figuren zeigen Teilschnitte durch zwei Varianten eines Stators 1 für Turbomolekularvakuumpumpen nach der Erfindung. Sie umfassen die Distanzringe 2, die in an sich bekannter Weise als Profilringe ausgebildet sind. Vorzugsweise sind sie mit zueinander korrespondierenden, im einzelnen nicht näher bezeichneten Vorsprüngen und Aussparungen ausgerüstet (vgl. Figur 2), die eine Selbstzentrierung des zusammengebauten Statorpaketes bewirken. Zwischen den Distanzringen 2 befinden sich die äußeren Ränder 3 von Statorteilring-, vorzugsweise Halbringscheiben 4, die nach innen gerichtete Statorschau-

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fein 5 tragen. In beiden Figuren sind äußere Bereiche von Rotorschaufeln dargestellt und mit 6 bezeichnet.

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ragen die Statorschafeln 5 beidseitig aus der Ebene der äußeren Ränder der Statorschaufelringscheiben 4 hervor. Diese Konfiguration ergibt sich z.B. dann, wenn die Schaufeln 5 um ihre mittlere Längsachse geschränkt sind. Um die Axialtoleranzen erfindungsgemäß zu reduzieren, sind den seitlichen Kanten 7 der Statorschaufeln 5 jeweils Anschläge 8 zugeordnet. Es handelt sich um Anschläge 8, die auf den Innenseiten der Distanzringe 2 umlaufen und die axiale Ausdehnung aller Schaufeln 5 der jeweiligen Statorschaufelrringe 4 eindeutig bestimmen. Die Anschläge werden von den axialen Begrenzungen radialer Vertiefungen oder Aussparungen 9 gebildet, die sich auf den Innenseiten der Distanzringe 2 befinden.

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 2 ragen die Statorschaufeln 5 nur einseitig aus der Ebene der äußeren Ränder 3 hervor. Nur den seitlichen Kanten 7 der Statorschaufeln 5, welche nicht in der Ebene der äußeren Ränder 3 liegen, ist ein Anschlag 8 zugeordnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der Anschlag 8 von einem auf der Innenseite der Distanzringe 2 umlaufenden Vorsprung 10 gebildet.

EM2I4.DOC

Claims

\ ··,■■■ / §7."012fcGM Stator für eine Turbomolekularpumpe ANSPRÜCHE

1. Stator (1) für eine Turbomolekularvakuumpumpe mit Distanzringen (2) und mit Statorringscheiben oder Statorteilringscheiben (4), die mit ihrem äußeren Rand (3) zwischen den Distanzringen (2) angeordnet sind und die auf ihrer Innenseite Statorschaufeln (5) tragen, dadurch gekennzeichnet, daß die Distanzringe (2) des Stators (1) auf ihrer inneren, den Schaufeln (5) zugewandten Seite mit einem Anschlag (8) ausgerüstet sind, der sich radial nach innen erstreckt und den die die axiale Höhe der Statorschaufeln (5) bestimmenden Kanten (7) anliegen.

2. Stator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Schaufeln (5) um aus der Ebene des Randes (3) hervorragende, geschränkte Schaufeln handelt.

3. Stator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschläge (8) von axialen Begrenzungen radialer Vertiefungen oder Aussparungen (9) gebildet werden, die sich auf den Innenseiten der Distenzringe (2) befinden.

EM214.DOC

4. Stator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch *""' ' ' gekennzeichnet , daß die Anschläge (8) von einem auf der Innenseite der Distanzringe (2) umlaufenden Vorsprung (10) gebildet wird.

EM214.DOC