DE2923682C2

DE2923682C2 - Magnetischer Aufzeichnungsträger

Info

Publication number: DE2923682C2
Application number: DE2923682A
Authority: DE
Inventors: Masahiro Tokyo Yanagisawa
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1978-06-13
Filing date: 1979-06-12
Publication date: 1983-11-03
Also published as: DE2923682A1; US4307156A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen magnetischen Aufzeichnungsträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Derartige Aufzeichnungsträger werden in Magne^aufzeichnungsvorrichtungen bspvv. als Magnetplatten oder Magnettrommeln verwendet

Aufzeichnungs- und Wiedergabesysteme, die bei MagnetaufzeichnungsvorrichtuDgen verwendet werden, welche mit einem Aufzeichnungs-/Wiedergabekopf (im folgenden kurz Magnetkopf genannt) und einem magnetischen Aufzeichnungsträger versehen sind, können grundsätzlich in folgende zwei Systeme unterteilt werden. Das erste System ist als Kontakt-Start-Stop (CSS)-System bekannt, das in der Weise durchgeführt wird, daß der Magnetkopf zu Beginn des Vorganges in Kontakt mit der Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers gebracht wird, daß danach der Aufzeichnungsträger mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit in der Weise rotierend angetrieben wird, daß ein Luftfilmspalt zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers gebildet wird, und daß eine Aufzeichnung oder eine Playback-Wirkung unter Aufrechterhaltung dieses Spaltes erreicht wird. Bei dem CSS-System wird der magnetische Aufzeichnungsträger gleichzeitig mit der Beendigung des Vorganges angehalten und der Magnetkopf ist wiederum, wie bei Beginn des Vorganges, in Reibkontakt mit der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers gehalten. Das zweite System ist in der Weise wirksam, daß zunächst der Aufzeichnungsträger mit einer bestimmten Geschwindigkeit gedreht wird, daß dann der Magnetkopf M plötzlich auf die Oberfläche des Aufzeichnungsträgers gedrückt wird, wobei ein Luftfilmspalt dazwischen entsteht, und daß dann die Aufzeichnung oder Wiedergabe unter Aufrechterhaltung dieses Spaltes durchgeführt wird. Beim ersten System werden der Magnetkopf und die Aufzeichnungsträgeroberfläche sowohl zu Beginn als auch am Ende des Vorganges in Reibkontakt miteinander gehalten. Beim zweiten System wird di · Magnetkopf erst beim Auflegen mit der Aufzeichnungsträgeroberfläche dann in Berührung gebracht. Die Reibkraft zwischen dem Magnetkopf und der Aufzeichnungsträgeroberfläche im Zustand der gegenseitigen Berührung bewirkt einen Abrieb des Magnetkopfes und des Aufzeichnungsträgers und kann schließlich den Magne;kopf und die m».gnetmetallische ⁴^ Dünnfilmschicht auf dem Aufzeichnungsträger beschädigen. Darüber hinaus bringt bereits eine geringe Änderung der Haltung des Magnetkopfes in einem solchen Reibkoniaktzustanü bereits eine Uneinheitlichkeit der auf den Magnetkopf ausgeübten Belastung mit >° sich, was den Magnetkopf und die Aufzeichnungsträgeroberfläche springen bzw. reißen lassen kann. Darüber hinaus ergibt sich häufig ein plötzlicher Kontakt des Magnetkopfes mit dem magnetischen Aufzeichnungsträger während der Aufzeichnung oder der Wiedergabe. " so daß zwischen dem Magnetkopf und der Aufzeichnungsträgeroberfläche eine große Reibkraft ausgeübt wird, was ein Brechen desselben zur Folge naben kann. Zum Schutz des Magnetkopfes und des Magnetaufzeichnungsträgers vor solch einer Reibung und vor ^6δ Abrieb und Reißen aufgrund der gegenseitigen Berührung ist es notwendig, die Oberfläche des Aufzeichnungsträgers mit einer Schutzschicht zu überziehen. Für diesen Film wird allgemein ein plattierter Metallfilm, bspw. aus Cr, RIi oder Ni-P verwendet. Dieser Film ist jedoch zur Lösung des Prol ie ms des o. g. Reibkoniaktes nicht sehr effektiv.

Außerdem ist bereits aus der US-PS 34 66 156 bzw. der DE-AS 12 82 084 eine andere Schutzschicht bekannt, die aus einem synthetischen organischen Polymer-Dünnfilm auf einer magnetmetallischen Dünnfilmschicht und aus einem Wachsfilm besteht, der den Polymerdünnfilm überzieht. Eine ausreichende Adhäsion zwischen jeder dieser beiden Filme und der individuellen Unterschicht kann jedoch nicht erreicht werden, so daß sich jeder Film bei wiederholter oder starker Reibberührung zwischen dem Magnetkopf und dem Magnetaufzeichnungsträger von der Unterschicht abblättert, so daß auch dies nicht praktikabel ist Eine weitere Schutzschicht ist in der US-PS 37 19 525 gezeigt, die durch Oxidieren der Oberfläche einer magnetmetallischen Dünnfilmschicht und durch Anwendung eines Silikonöls gebildet ist Diese Schutzschicht ist jedoch deshalb nachteilig, weil sich die Magneteigenschaft der Dünnfilmschicht verschlechtert und weil ein unerwünschtes Adhäsionsphänomen zwischen dem Magnetkopf tnd der Platte auftritt, so daß auch diese Schicht nicht als wirksames Mittel „.^r Lösung des Problems des Reibkontaktes dienen kam. und daher ebenfalls nicht praktikabel ist

Aus diesem Grunde ist in beiden Fällen die Fehfer- bzw. Ausfallsicherheit gering. Als Fehler- bzw. Ausfallsicherheit .Jt hier das Verhältnis von maximalen Magnetkopfausgangssignal zur Differenz zwischen dem maximalen und dem minimalen Magnetkopfausgangssignal definiert

Bereits früher hat der Erfinder vorliegender Anmeldung einen magnetischen Aufzeichnungsträger, bei dem eine magnetmetallische Dünnfilmschicht mit einer Schicht überzogen ist, die aus Polysilikat oder Metallalkoxid zusammengesetzt ist, und einen anderen magnetischen Aufzeichnungsträger vorgeschlagen, bei dem eine Schicht aus einem orientierten Schmiermittel zusätzlich auf dem HydrolysepolymerFilm gebildet ist (siehe US-PS 40 69 360 bzw. DE-OS 26 48 303 und DE-OS 27 56 254). Obwohl jede dieser beiden Erfindungen in der Lage ist. den magnetischen Aufzeichnungsträger vor dem o. g. Phänomen der Reibberührung zu schützen, sollte die Zuverlässigkeit gegenüber diesen Phänomen so groß wie möglich sein.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, einen magnetischen Aufzeichnungsträger rler eingangs genannten Art zu schaffen, der in der Lage ist. die magnetmetallische Dünnfilmschicht vollständiger vor der erwähnten Reibberührung zu schützen und der eine größere Fehler- bzw. Ausfallssicherheit besitzt.

Diese Aufgabe wird bei einem magnetischen Aufzeichnungsträger der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Die \ orteile der kombinierten Verwendung einer chemischen Behandiungsschicht und einer anorganischen Polymerschicht gemäß vorliegender E/findung liegen nicht nur darin, daß die magnetmetallische Dünnfilmschicht geschützt wird und daß die chemische Behandlungsschicht P'ne große Adhäsion zum anorganischen Polymer besitzt, sondern auch darin, daß ein magnetischer Aufzeichnungsträger geschaffen ist, welcher eine größere Fehler- bzw. Ausfallssicherheit bezüglich einer Änderungsverringerung im Wiedergabesignal des Magnetkopfes aufweist.

Weitere Einzelheit ;n und Ausgestaltungen der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausfiihrungsbeispiele näher beschrieben und erläutert w ird. Es zeigen

Fig. I—3 jeweils einen Teilschnitt durch einen magnetischen Aufzeichnungsträger gemäß verschiedener Ausführungsbeispiele vorliegender Erfindung.

In Fig. 1 ist ein magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung dargestellt. Der magnetische Aufzeichnungsträger enthält eine Legierungsplatlc 1, eine unmagnetische Legierungsschicht 2 auf der Grundplatte 1, eine magnetmetallische Dünnfilmschicht 3 auf der mit einer fein bearbeiteten bzw. polierten Oberfläche versehenen unmagnetischen Legierungsschicht 2, eine chemische Behandlungsschicht 5 auf der Schicht 3. eine anorganische Polymerschicht 7, die ggf. ein Spannungsrelaxationsmittel enthält, auf der Schicht 5 und eine Schmiermittelschicht 8 auf der Polymerschicht 7.

Das in F i g. 2 dargestellte zweite Ausführuiigsbeispiel vorliegender Erfindung ist ähnlich dem Ausführungsbeispiel der F i g. 1 aufgebaut, enthält also die Grundplatte

1. die Legierungsschicht 2. die magnetmetallische Dünnfilmschicht 3, die chemische Behandlungsschicht 5, eine hochadhäsive Schicht 6, die anorganische Polymerschicht 7 und die Schmiermittelschicht 8.

Das in Fig. 3 dargestellte dritte Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung enthält die Grundplatte 1, die Legierungsschicht 2. die magnetmetallische Dünnfilmschicht 3. eine unmagnetische Metallschicht 4. die chemische Behandlungsschicht 5. die hochadhäsive Schicht 6. die anorganische Polymerschicht 7 und die Schmiermittelschicht 8.

Die Oberfläche des Legierungsgrundelementes 1 jo sollte mit einer genügend geringen Welligkeitstoleranz von nicht mehr als 50 μ in Umfangsrichtung und 100 μ in radialer Richtung eben geschliffen bzw. poliert werden. Wenn diese nicht innerhalb dieser Werte liegt, kann der Magnetkopf, der während des Aufzeichnungs- und Wiedergabevorganges über den magnetischen Aufzeichnungsträger fliegt, der vertikalen Bewegung der Aufzeichnungsträgeroberfläche nicht folgen, so daß sich der Abstand zwischen ihnen ändert, so daß sich infolgedessen die Aufzeichnungs-Wiedergabe-Eigen- ·<ο schäften ändern. Die unmagnetische Legierungsschicht

2. die durch Piatieren auf der Legierungsgrundplatte 1 gebildet ist. wird zu einer Spiegeloberfläche, deren Rauhigkeit unter 0.2 μ liegt, fein bearbeitet. Besteht die Legierungsgraundp'atte I aus einem Metall, das mit einer Spiegeloberfläche versehen werden kann, dann ist die Schicht 2 nicht notwendig. Die magnetmetallische Dünnfilmschicht 3. die für eine Aufzeichnung hoher Dichte geeignet ist. ist mittels Piatieren auf die Schicht 2 aufgebracht. Die Schutzschicht, die in der Lage ist. die Filmschicht 3 vor einer Berührung mit dem Magnetkopf oder vor Feuchtigkeits- und Temperaturschwankungen vollständig zu schützen, besteht aus der unmagnetischen Metallschicht 4 auf der Dünnfilmschicht 3. der chemischen Behandlungsschicht 5 auf der Metallschicht 4. der Schicht 6 großer Adhäsivität, dem ein- oder doppelschichtigen Film 7. der auf der Schicht 6 aufgebracht ist, daß ggf. ein Spannungsrelaxationsmittel enthält, und aus einer Schmiermittelschicht 8 auf der Schicht 7.

Um eine hohe Beständigkeit gegenüber einem Reibkontakt mit dem Magnetkopf zu erreichen, muß die Schutzschicht den folgenden Bedingungen genügen bzw. folgende Eigenschaften besitzen:

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(1) eine große Härte;

(2) eine geringe innere Spannung;

(3) eine ausgezeichnete Adhäsion zur Unterschicht;

und
(4) einen geringen Reibungskoeffizienten.

Bei der Schutzschicht vorliegender Erfindung erreicht man beachtliche Wirkungen gegen dessen Reibberiihrung mit dem Magnetkopf aufgrund von dessen Aufbau dadurch, daß die magnetmetallische Dünnfilmschicht über eine chemische Behandlungsschicht mit einer anorganischen Polymerschicht adhäsiv überzogen wird, die eine geringe innere Spannung, eine große Härte und einen kleinen Reibkoeffizienten besitzt. Hinsichtlich der Schutzschicht ist es vorteilhaft, einen magnetischen Aufzeichnungsträger mit größerem Fehlerspielraum zu schaffen, indem die Einheitlichkeit der magnetmetallischen Dünnfilmschicht 3 aufrechterhalten wird, um die Änderung am Wiedergabeausgang des Magnetkopfes zu reduzieren. Die Schutzschicht, die man durch Zwischenfügen einer unmagnetischen Metallschicht 4 zwischen der magnetmetallischen Dünntilmschicht S und der chemischen Behandlungsschicht 5 erhält, ist geeignet, die Fehlersicherheit im Aufzeichnungsträger zu erhöhen. Die Adhäsion kann weiter dadurch verstärkt werden, daß man eine Schicht 6 hoher Adhäsivität zwischen die Schicht 5 und die anorganische Polymerschicht 7 anordnet.

Ef. ist auch möglich, eine weitere Verminderung der inneren Spannung des Schutzfilms dadurch zu erreichen, daß man eines oder zwei oder mehrere Arten von Spannungsrelaxationsmitteln in die anorganische Polymerschicht 7 mischt. Darüber hinaus kann der Reibungskoeffizient dadurch verringert werden, daß eine Schmiermittelschicht auf der Polymerschicht 7, die das oder die Spannungsrelaxationsmittel enthält oder nicht enthält, gebildet wird.

Die Schutzschicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers gemäß vorliegender Erfindung besitzt folgende ivierkmaie:

(1) Eine nicht- bzw. unmagnetische Metallschicht ist auf der magnetmetallischen Dünnfilmschicht aufgebracht, um die Einheitlichkeit in der Dicke der Dünnfilmschicht zu erhalten.

(2) Die unmagnetische Metallschicht auf der magnetmetallischen Dünnfilmschicht wird mit großer Adhäsion gehalten.

(3) Die unmagnetische Metallschicht kann so dünn (einige %) gemacht werden, so daß sie im wesentlichen keinen Einfluß auf die Dicke der gesamten Schutzschicht ausübt.

(4) Die chemische Behandlungsschicht haftet -uf der unmagnetischen Metallschicht oder an der anorganischen Polymerschicht, die das Spannungsrelaxationsmittel enthält oder nicht enthält, sehr eng und mit einer beachtlich hohen Adhäsion.

(5) Die Ungleichförmigkeit innerhalb der Oberfläche der unmagnetischen Metallschicht kann reduziert werden, da die chemische Behandlungsschicht innerhalb eines zulässigen Dickenbereiches der unmagnetischen Metallschicht relativ dick gemacht werden kann.

(6) Die hochadhäsive Schicht kann so dünn gemacht werden, daß sie praktisch keinen Einfluß auf die Dicke der gesamten Schutzschicht hat.

(7) Die hochadhäsive Schicht schafft eine sehr feste und adhäsive Verbindung zwischen der chemischen Behandlungsschicht und der anorganischen Polymerschicht, die ggf. das Spannungsrelaxationsmittel enthält. Da man erhebliche Verbesserungen

hinsichtlich der Antireibiingseigenschaft der Schutzschicht gegenüber einer Berührung mit dem Magnetkopf aufgrund der verbesserten Adhäsion erreicht, kann die anorganische Polymerschicht, die den größten Anteil an der Dicke der gesamten Schutzschicht ausmacht, noch dünner gemacht wc- !en. Dies bedeutet, daß ein solcher Aufbau die Vergrößerung des Spaltes zwischen dem Magnetkopf und der Auf/eichnungstriigeroberfläche wirksam verhindert, was aus dem mehrschichtigen Aufbau der Schutzschicht resultieren kann, und daß dieser Aufbau den Spalt sogar verringern kann. Dies bedeutet, daß der Aufzeichnungsträger gemäß vorliegender Erfindung bei der Ausführung der Aufzeichnung hoher Dichte von erheblichem Vorteil ist.

Da.s Anordnen oines unmnpnptisrhen Metalls zwischen die magnetmetallische Dünnfilmschicht und die chemische Behandlungsschicht ermöglicht es. daß man bei der Schutzschicht eine einheitliche Dicke der inagnetmetallischen Dünnfilmschicht halten und des weiteren die Fehlersicherheit erhöhen kann.

Die oben beschriebene anorganische Polymerschicht enthält ein Hydrolysepolymer aus einem Metall- oder Halb- bzw. Übergangsmetall-Alkoxid oder eines Acylats. Eine weitere Erläuterung sei nun anhand einer Verbindung, wie bspw. Polysilikat oder einem Hydrolysepolymer eines Metallalkoxids, das in der anorganischen P lymerschicht enthalten ist, gegeben.

Das hier verwendete Polysilikat ist eine Art einer anorganischen Polymersubstanz, bei welcher die kovalenten Si —O-Bindungen zu Si-OH ...O-Bindungen verkettet sind, um so einen dreidimensionalen Netzwerksaufbau, wie er nachstehend gezeigt ist. zu bilden:

— Si — O — Si — OH

-HO

■0 —Si —

— Si —Ο—Si —Ο —Si —Ο —Si —

Bei diesem Netzwerkaufbau bezeichnen die ausgezogenen Linien die kovalenten Bindungen und die gepunkteten Linien die hydrogenen Bindungen.

Das Polysilikat ist durch Dehydrations-Kondensations-Polymerisation von Tetrahydroxysilan Si(OH)* hergestellt, das ein Hydrolyseprodukt aus Tetraalkoxysilan oder Siliziumacylat ist. Tetraalkoxysilan, das auch das Rohmaterial für Tetrahydroxysilan ist, wird durch die chemische Formel Si(OR^ und Siliziumacrylat durch Si(OCOR^ ausgedrückt, wobei R ein Alcylradikal, bspw. das Methyl-, Ethyl-, Propyl- oder Buthylradiakl ist. Es ist wichtig, daß eine große Menge eines Süanolradikals in der Schicht aus Polysilikat enthalten ist, um so eine hohe Adhäsion insbesondere zur Unterschicht sicherzustellen. Dies bedeutet, daß die Polysilikatschicht, die ein Silanolradikal enthält, eng an die chemische Behandlungsschicht oder an die hoch adhäsive Schicht mit beachtlich großer Adhäsion haftet, so daß eine ganz ausgezeichnete Halbarkeit gegenüber der Reibberührung mit dem Magnetkopf gegeben ist. Die Polysilikatschicht haftet an der chemischen Behandlungsschicht oder der hochadhäsiven Schicht mit einer weit größeren

Kraft als eine Schicht aus einem organischen Harz, wie bspw.Phenolharz oder Epoxydharz. Eine solche hervorragende Adhäsivitätseigenschaft trägt /ur festen und sicheren Bindung zwischen dem Silanolradikal und der chemischen Behandlungsschicht oder der hochadhäsiven Schicht bei. Da die Polysilikatschicht selbst in der Lage ist. die magnetmetallische Dünnfilmschicht vor Korrosion zu schützen, muß die chemische Behandlungsschicht oder die hoch adhäsive Schicht nur die Funktion besitzen, die Adhäsion zur Polysilikatschicht zu verbessern. Infolgedessen ist solch eine Funktion in jeder der beiden Schichten sogar bei sehr kleiner Dicke zu erreichet:, die im wesentlichen keinen Einfluß auf die Gesamtdicke der ganzen Schutzschicht besitzt. In der Praxis erhielt man keinen Unterschied zwischen dem Ausgang eines magnetischen Aufzeichnungsträgers mit einer diese beiden Schichten enthaltenden Schutzschicht und dem Ausgang eines Trägers ohne solche zwei Schichten.

Dasselbe kann man im Hinblick auf das Hyclrolysepolymer des Metallalkoxids sagen. Das M —OH-Radikal oder das M-OR-Radikal, das in diesem Polymer enthalten ist, fördert die Adhäsion zur chemischen Behandlungsschicht oder zur hoch adhäsiven Schicht und bildet darauf eine Schicht von ausgezeichneter Antireibungseigenschaft gegenüber dem Magnetkopf.

Das Hydrolysepolymer des Metallalkoxids erhält man

durch hydrolyse-Polymerisaüon einer Verbindung, die durch folgende allgemeine Formel ausgedrückt ist:

k,„M(0R')„ ,„

wobei M ein Metall, wie Ti, Zr, V, Al, Sn, Zn. Be₁ Ce. Co, Cr. Cu, Dy, Eu, Fe. Ga. Ge, Hf. In, Mg, Mn, Mo, Nb. Ni, Pd, Rh, Sb. Th, Ti. Ta, V oder V/ bezeichnet: R und R' Alkylradikale, wie Methyl-Äthyl-, Propyl-, Butyl- oder Antiradikale sind; OR' ein Alkoxyradikal allgemein bezeichnet, η eine Valenz von M ist, und m eine ganze Zahl von O bis (n-1) ist.

Im allgemeinen ist ein Metallalkoxid reaktionsfähiger als eine organische Metallverbindung, wie Metall-Chelat, und wird durch Hydrolyse polymerisiert, so daß es eine nichtkristalline Polymerschicht hoher Härte auf einem Substrat bildet.

Das hier verwendete Metallalkoxid ist hoch reaktionsfähig mit Tetraalkoxysilan, Tetrahydroxysilan oder Tetraacysilan (Siliziumtetraacylat), von denen alle Quellenmaterialien des genannten Polysilikats sind. Eine Polysilikatschicht, die ein Hydrolysepolymer eines härteren Metall-Alkoxids mit sich bringt, kann durch

Überziehen eines Gemisches aus dem Metall-Alkoxid und einem der verschiedenen Silane und durch Wärmebehandlung des Ganzen gebildet werden. Darüber hinaus kann, obwohl das Metall-Alkoxid im allgemeinen als Quellenmaterial für das Hydrolysepolymer des Metall-Alkoxids verwendet wird, das Metallacyiat

denselben Effekt wie das Metall-Alkoxid geben.

Als Spannungsrelaxationsmittel für die vorliegende Erfindung ist ein organischer Polymer vorgesehen, das mindestens ein mit dem anorganischen Polymer reaktionsfähiges Radikal, ein Metalloxid, ein Silanhaftmittel, ein Oberflächenhaftmittel oder eine Kombination davon enthält

Das Metalloxid, das als Spannungsrelaxationsmittel dient, das im anorganischen Polymer enthalten ist, besteht aus einem der folgenden Materialien:

LiO. Ma-O. K₂O. Rb₂O, Cs₂O, La₂Oj. As₂Oj. Re₂O-. BaO. SrO. CrO₁. RuO₄. OsO₄. B₂Oj, Sb₂O,. TI₂O oder TI₂O ι.

eines oder mehrere dieser Metalloxide werden ausgewählt und in einer Alkohollösung, die Metall-Alkoxid und/oder Tetrahydroxysilan enthält, vollständig gelöst; nachdem darcit die chemische Behandlungsschicht oder die hoch adhäsive Schicht überzogen wurde, wird das Ganze wärmebehandelt.

Eine Mischung aus dem anorganischen Polymer und dem organischen Polymer, das sowohl mindestens eine funktionell Gruppe besitzt, die mit dem anorganischen

Polymer reak'^:onsfähig ist als auch als Spannungsrclaxationsmittel dient, wird auf der nuignctmctallischen Dünnfilmschicht über die chemische Behandlungsschicht und die hoch adhäsive Schicht gebildet, wodurch sich eine ausgezeichnete Widerstandsfähigkeit gegenüber einer Reibberührung mit dem Magnetkopf ergibt. Dies wird deshalb erreicht, weil das anorganische Polymer und die funktioneile Gruppe gleichzeitig mit der Spannungsrelaxationswirkung der organischen Polymerkette miteinander festgekoppelt sind. Typische funktionell Gruppen, die mit dem anorganischen Polymer reagieren sind die folgenden:

— COOH,

-NH₂, -SH, -COOR, -NHR, >NH, -CHO, -NCO, Si-OH, Si-OR.

Si — X, —CH — CH₂, —C H,O
\ /
O

CH

Hi, —OCOR ur.d OH,

N H

wobei R ein Alcylradikal und X ein Halogen bezeichnet.

Typische Polymere, die wenigstens eine der oben _>i genannten funktioneilen Gruppen besitzen sind:

N-Methoxymethylnylon,

Silikonzwischenprodukt, Epoxidharz.

Phenolharz, Melaminharz, Harnstoffharz, Zellulose

(Azethylzellulose. Nitrozellulose,
Methylzellulose, Äthylzellulose, usw.),

Polyvinylharz

(Polyvinylazetat, Polyvinylalkohol,
Polyvinylholmal, Polyvinylbutylal, usw..)

Polyiso7.yanat und Polymethylmetacrylai.

oder

-CH₃, -C₂H₅, -CH₂CH₂OCH₃.

CH₃

-C-CH₃
CH₃

und Rc einen Teil bezeichnet, der aus einer organischen Verbindung zusammengesetzt ist. die als funktionelle Gruppe bspw.

Eine Säure kann zur Beschleunigung der Reaktionsfähigkeit zwischen dem anorganischen Polymer und der funktionellen Gruppe eines der oben genannten organischen Polamere hinzugefügt werden. Insbesondere zum Epoxidharz kann eines der folgenden als Härtemittel hinzugefügt werden: Diäthylen-Triamin. Diäthyiaminopropylamin, Polyamidharz, ein Amin. wie +5 bspw. ein Silanbindemittel, das ein Aminoradikal enthält, Säureanhydrid, wie bspw. phthalisches Anhydrid, Tetrahydrophthalisches Anhydrid oder dodecylullin-Anhydrid, und Isozyanat, wie bspw. Hexamethylen-Diisozyanat.Trilendiisozyanat oder Polyisozyanat.

Das oben genannte Silikonzwischenprodukt ist ein Polymer, dessen durchschnittliche Molekulargewichtsbereiche zwischen 500 und 2000 liegen. Es besitzt eine aktive Gruppe, wie SiOH oder SiOCHj und ist in der Lage, sich mit einem anorganischen Polymer fest haftend zu verbinden.

Das Silanhaftmittel. das für die hoch adhäsive Schicht und auch als Spannungsrelaxationsmittel verwendet wird, ist eine Silan- (Siliziumwasserstoff-) Verbindung, die durch folgende allgemeine Formel ausgedrückt wird:

RcSi(XaMXb)₃-H

wobei π eine ganze Zah! von Null bis 3 is«, Xa und Xb -> Atome eines Halogens, wie bspw. Chlor -.der Brom, oder ORd oder OCORd oder OORd, wobei Rd ein Alkylr;.dikal wie bspw.

OfSjCH₂CH₂-,

Cl-CH₂CH₂CH₂-ICH₂CH₂C::,-, CH₂-CH₂

⁰ CH₂O(CHj)₃-HSCH₂CH₂CH₂

H₂NCH₂CH₂CH₂-,

HjNCH₂CH₂NH(CHj)₃-. CH₂=CH-, CH₃

CH₂=C-COO(CH₂J₃-.

H₃COOCCHjCH₂NH

or

enthält. Xa und Ab erzeugen ein Silanradikal Si-OM durch Hydrolyse.

Einige Beispiele eines solchen Silanhaftmittels seien im folgenden angegeben:

Vinyltrichlorosilan
CH₂=CHSiCi₃

Vmyhriäthoxysilan

CH₂=CHSi(OC₂Hs)₃

Viny!-lris(Beta-Methoxy-Äthoxy-i>ilr.n CH₂=CHSi(OCH₂CH₂OCH₃)

«jamma-Methacryloxypropyl-Trimethoxysilan CH₃

CH₂=C-COO(CH₂)JSi(OCH₃)

Beta(3,4-Epoxycyclohexyl)-Äthy!trimethoxysilan 0(S)CH₂CH₂Si(OCHj)₃

Gamma-Glycidoxypropyltrimethoxysilan CH₂-CHCH₂O(CH₂)Si(OCH₃)J \ /
O

Vinyltriacetoxysilan

CH₂=CHSi(CoCCH₃),

Gamrria-Chloropropyltrimethoxysilan CiCH₂CH₂CH₂Si(GCHj)J

Gamma-Melci^topropyltrimethoxysilan HSCH₂CH₂CH₂Si(OCHj)₃

Gamma- Aminopropyl-Triethoxysilan NH₂CH₂CH₂CH₂Si(OC₂Hj)₃

N-beta(Aminoäthyl)-Gammaaminopopyl-Trimethoxysilan

N H₂C H₂C H₂N H(C Hz)₃SKO CK₃)j

Vinyl-tris(t-Butylperoxy)-Silan

CH₃

15

2C

25

30

CH₂=CH-Si(OOC-CHj)₃

CH₃

Zusätzlich zu dem obengenannten esistiert ein PoIyaminüsilan, bei weichem, obwohl seine genaue chemische Formel nicht ganz eindeutig ist, eine Einheit von

35

40

,11I
— C — C — Ν —

möglich, zusätzlich zum Silanhaftmittel einen Chromkomplex zu verwenden, wobei ein typischer Vertreter dieses Komplexes Methacrylat-Chromchlorid ist.

Der Chromkomplex besitzt den folgenden Aufbau und ist in der Lage, die chemische BehandlunTSEchicht an die anorganische Polymerschicht, die das Spannungsrelaxationsmittel enthält oder nicht enthält, fest anzubinden:

,„ 0-CrCl₂

R-O OH

CtCI₂

wobei R ein Kohlenwasserstoff mit einer aktiven funktionellen Gruppe, wie bspw.

(J H₂ = (J —

CH₃

üiid der Pfeil einer Koordinatenbindung bezeichnet.

Die bei der vorliegenden Erfindung verwendeten Schmiermittel sind bspw. Silikonöl, Fluoro!, Flursilikonöl, Polyglycol, Phosphat, Perfluralcylpolyäther, höhere Fettsäuren und deren Esther.

Von diesen Schmiermitteln ist das orientierte Schmiermittel, gemäß der veröffentlichten japanischen Patentanmeldung 55 603/1977 aus einem öl, wie bspw. orientiertem Silikonöl, Fluröl oder Flurosilikonöl. oder aus Silan oder Silazan, wie bspw.

Oktodecyltriclorosilan,

Hexamethyldisilazan,

N.N-Dimethyl-N-OktadecylO-Aminopropyl-Trimetoxysilychlorid (DMOAP), oder

Dimeihyldichlorosüan,

auf das im folgenden als Oberflächenhaftmittel Bezug genommen wird, zusammengesetzt. Es sei angemerkt, daß das Oberflächenhaftmittel als Spannungsrelaxationsmittel wirkt. Silan ist durch die folgende allgemeine Formel beschrieben:

NH,

HN-

HjN-

-N-

-Si(OCHj)₃

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55

NH,

im Teil von Rc wiederholt wird und ein organisches Radikal, das primäre, sekundäre und tertiäre Aminogruppen besitzt, in komplizierter Weise zur Bildung der nachstehend aufgeführten Matrix verzweigt ist:

Das Oberflächenhaftmittel das im folgenden zu beschreiben sein wird, ist ebenfalls als weiteres Spannungsrelaxationsmittel verwendbar.

Das Spannungsrelaxationsmittel besitzt außer seiner Eigenschaft zur Relaxation der Spannung eine Reaktionsfähigkeit gegenüber der chemisciien Behandlungsschicht oder der hoch adhäsiven Schicht so daß die auf sie ausgeübte Adhäsivität verstärkt bzw. intensiviert wird.

Das Silanhaftmittel kann für die oben genannte hoch adhäsive Schicht verwendet werden. Es ist auch wobei R ein Alkylradikal oder ein aromatischer Kohlenwasserstoff, wie CH₃. C₂Hj, C₃H?, C₄Hq, CiSH₃₇, oder ein Fluor-Kohlenwasserstoff, wie CF₃, C2F5, C₃F₇, Ci₈F₃₇, X ein Alkoxyradikial, wie -OCH₃, -OC₂H₅, -OC₃H₇, oder ein Halogen, wie Chlor oder Brom, oder ein Alkylperoxyradikal, wie bspw. — OOC4H* und π eine ganze Zahl aus 1,2 oder 3 ist.

Die chemische Behandlungsschicht, die bei vorliegender Erfindung verwendet wird, bezeichnet ein Metalloxid, ein hydriertes Metalloxid, eine Mischung davon oder ein metallisches Salz, das man durch Verarbeiten bzw. Bearbeiten einer metallischen Unterschicht (eines magnetmetallischen Dünnfilmmediums oder einer unmagnetischen Metallschicht darauf) mittels chemischer, elektrochemischer oder Wärmebehandlung erhält.

Genauer gesagt, wird die chemische Behandlungsschicht durch Eintauchen der metallischen Unterschicht in eine Säure oder Alkalilösung gebildet die ein metallisches Salz, ein Oxidationsmittel, ein Puffermittel oder eine Mischung davon enthalten kann, erzeugt. Die chemische Behandlungsschicht kann man auch durch Anlegen eines elektrischen Stromes an die metallische Unterschicht bilden, die in der genannten Lösung angeordnet ist und in diesem Falle als Elektrode dient.

10

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20

oder durch Wärmebehandlung der metallischen Unterschicht Die zur Verfügung stehenden metallischen Salze sine primäre, sekundäre und tertiäre Phosphate von Magnesium, Zink und Alkalimetall. Chromkarbonat Natriummolybdat (VI) und Natrium-Wolframat Die zur Verfügung stehenden Oxidationsmittel sind Chromsäure. Dichromat Permanganat Perchlorat Nitrat Nitrit Wasserstoffperoxid, und Benzoylperoxid.

Die zur Verfügung stehenden Puffermittel sind Karbonsäure und deren Salz. Die zur Verfugung stehenden Säuren umfassen Salpetersäure, Sulfonsäure. Flursäure, Phosphorsäure, Essigsäure, Fluressigsäure und Oxalsäure. Die zur Verfugung stehenden Alkalien u:nfassen Kaliumhvdroxid. Natriumkarbonat und Ammoniak.

Der magnetische Aufzeichnungsträger gemäß vorliegender Enindung und das Verfahren zum Herstellen desselben seien nun in weiteren Einzelheiten anhand der folgenden Beispiele beschrieben.

Beispiel 1

Eine Aluminiumlegierungs-Grundplatte wurde mit einer Oberfläche geringer Topographie (weniger als 50 μ in Umfangsrichtung und weniger als 100 μ in radialer Richtung) durch Abdreh- und Wärmeglättungsverfahren versehen, so daß sich die Legierungsplatte 1 ergab. Die Aluminiumlegierungsgrundplatte wurde mit einer unmagnetischen Legierung aus N.ickelphosphor (Ni-P) mit einer Dicke von etwa 50 μ platiert, wodurch die nichtmagTietische Metallschicht 2 gebildet wurde. Die Nickelphosphorschicht wurde dann durch mechanisches Polieren zu einer Spiegelfläche mit einer Oberflächenrauhigkeit von 0,04 μ oder weniger und einer Dicke von etwa 30 μ fein bearbeitet Die unmagnetische Legierungsschicht 2 wurde dann mit einer magnetmetallischen Legierung aus Kobalt-Nickel-Phosphor (Co—Ni-P) mit einer Dicke von etwa 0,05 μ platiert. wodurch sich die magnetmetallische Dürinfilmschicht 3 ergab. Daraufhin wurde die so mit der magnetischen Co—Ni-P-Legierung platierte Platte in eine Lösung (1) der folgenden Zusammensetzung zwei Minuten lang eingetaucht, danach abgespült und getrocknet, wodurch die chemische Behandlungsschicht aus Kobaltoxid und Chromoxid gebildet wurde.

Lösung (I)

Chromsäure-Anhydride 03 Gew.-%

Natrium-Wasserstoff-Sulfosäure 2,0 Gew.-% 1 % verdünnte Schwefelsäure Rest

ehe nach außen ausgebreitet wobei die Oberflache benetzt wurde. Mit dem Verdampfen der Verdünner (Äthylalkohol und n-Butylalkohol), die in der auf diese Weise auf der Plattenoberfläche ausgebreiteten Lösung enthalten sind, wurde eine Schicht aus Poiysilikat gebildet Die Platte, die mit der Polysilikatschicht überzogen ist die eine Hydrolysepolymer eines Metall-Alkoxids enthält und eine Dicke von 0,1 μ besitzt wurde eine Zeit lang bei Raumtemperatur (etwa 25° C) zum weiteren Ausdampfen der Lösungsmittel aus Äthylalkohol und n-Butylalkohol, die in der Polysilikatschicht als Rest verbleiben, belassen, danach einem Trocknungsvorgang ausgesetzt, und schließlich wurde das Ganze bei 200° C eine Stunde lang wärmebehandelt, wodurch sich die Schutzschicht auf der Platte gebildet hat und der magnetische Aufzeichnungsträger fertig

Beispiel 2

In einer dem Beispiel 1 ähnlichen Weise, mit Ausnahme der Verwendung von Lösungen der folgenden Zusammensetzung statt der vorhergehenden Lösungen (I) und (II), wurde eine Polysilikatschicht die ein spannungsreiaxationsmittel und ein Hydrolysepolymer aus Metall-Alkoxid enthält, auf der magnetmetallischen Dünnfilmschicht über eine chemische Behandlungsschicht gebildet, wodurch sich die Schutzschicht auf der Platte ergab und der magnetische Aufzeichnungsträger fertig var.

Lösung (I)

Manganesiumdihydrogenphosphat 2 Gew.-% Kaliumpermanganat 0.1 Gew.-%

1 % Phosphorsäure Rest

50

Die so gebildete chemische Behandlungsschicht wurde mit einer Lösung (II) der folgenden Zusammensetzung durch ein Spinüberzugsverfahren überzogen.

Lösung (II)

Tetrahydroxysilan-

11%-Äthylalkohol-Lösung
Tsopropyl-Alkohol

55

lOGew.-o/o
90 Gew.-o/o

Die Platte, die aus der Aluminiumlegierungsgrund= platte und den aufeinanderfolgenden Überzügen der Nickel-Phosphor-Schicht der Kobalt-Nickel-Phosphor-Schicht und der chemischen Behandiungsschicht besteht, wurde in horizontaler Ebene mit einer Geschwindigkeit von mehr als 200 Upm gedreht. In diesem Zustand wurde die Lösung (II) von ihrem Gefäß aus auf die Oberfläche der Platte gebracht. Dann wurde durch die Zentrifugalkraft die Lösung auf der Plattenobcrflü-

Lösung (II)	Beispiel 3	9 Gew.-%
Tetrahydroxysilan-		1 Gew.-%
11%-Äthylalkohol-Lösung		0.05 Gew.-%
Gallium-n-Butylat	0.05 Gew.-o/o
Epoxidharz	50 Gew.-%
Polyaminosilan	Rest
Isobutylazetat
n-Butylalkohol

In einer dem Beispiel 1 ähnlichen Weise wurde die chemische Behandlungsschicht mittels eines Spinüberzugsverfahrens mit einer n-Butylalkohollösung überzogen, die ein Silanhaftmittel aus 0,1 Gewichtsprozent Gamma-Glycidoxypropyltrimetoxysilan enthält, das als ein hoch adhäsives Mittel dient. Danach wurde wie beim Beispiel 1 das hoch adhäsive Mittel weiter mit Poiysilikat überzogen und dann das Ganze bei 200⁰C zwei Stunden lang wärmebehandelt, wodurch sich die Schutzschicht auf der Platte und dadurch der magnetische Aufzeichnungsträger ergab.

Beispiel 4

In einer dem Beispiel 3 ähnlichen Weise wurde tue chemische Behandlungsschicht über cm hoch adhäsives Mittel mit einem anorganischen Polymer überzogen, das ein Spannungsrelaxationsmittel enthält, und zwar durch die Verwendung einer Lösung (II) der folgenden Zusammensetzung statt derjenigen der F i g. 3.

Lösung (II)

Tetrahydroxysilan-

I I%-Äthylalkohol-Lösunp

S C.cw.%

Zirkoniumpropylate
Hexamethyidisilazan
n-ButylalkohoI

1 Gew.-%
0.1 Gew.-%
Rest

Danach wurde eine 0,l%ige Trichloräthylenlosung aus Perfluoroktadecyltrichlorsilan als orientiertes Schmiermittel auf der anorganischen Polymerschicht angewendet und das Ganze bei 200⁰C zwei Stunden lang wärmebehandelt, wodurch sich die Schutzschicht auf der Platte und damit der magnetische Aufzeichnungsträger ergab.

Beispiel 5

In einer dem Beispiel 3 ähnlichen Weise wurde eine magnetmetallische Dünnfilmschicht mit einem unmagnetischen Metall aus Nickel-Phosphor (Ni-P) auf eine Dicke von 0,05 μ platiert und dann weiter mit einer chemischen Behandlungsschicht, einem hoch adhäsiven Mit* :l und einer Polysilikatschicht nacheinander überzogen, so daß sich ein magnetischer Aufzeichnungsträger ergab.

Beispiel 6

In einer dem Beispiel 4 ähnlichen Weise wurde eine magnetmetallische Dünnfilmschicht über eine unmagnetische Legierung aus Nickel-Phosphor mit einer chemischen Behandlungsschicht, einer hoch adhäsiven Schicht, einem anorganischen Polymer und einem orientierten Schmiermittel nacheinander überzogen.

woraus sich ein magnetischer Aufzeichnungsträger ergab.

Vergleichsbeispiel

Ein magnetischer Aufzeichnungsträger wurde in einer dem Beispiel 1 ähnlichen Weise erzeugt mit der Ausnahme, daß e^:ne Polysilikatschicht auf einer magnetmetallischen Dünnfilmschicht ohne eine chemische Behandlungsschicht gebildet wurde; das Ganze

ίο wurde dann bei 200⁰C zwei Stunden lang wärmebehandelt so daß sich eine Schutzschicht auf der Platte ergab. Unter Verwendung der magnetischen Aufzeichnungsträger, die man gemäß den Beispielen 1 bis 6 und dem Vergleichsbeispiel erhielt, und unter Verwsndung eines Magnetkopfes mit einer konischen Front, die starken Schmutz bzw. Staub sammeln kann, wurden Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge mittel¹; des Berührungs-Start-Stop (CCS)-Systems wiederholt durchgeführt, wobei der magnetische Aufzeichnungsträger und der Magnetkopf zu Beginn und am Ende jeder Operation bzw. jedes Vorganges in Berührung miteinander waren. Die Veränderung (Abblättern) an der Oberfläche jedes Aufzeichnungsträgers aufgrund der Reibberührung mit dem Magnetkopf wurde überprüft.

Die Ergebnisse dieser Versuche bezüglich der Beispiele 1 bis 6 und der betreffenden Anzahl der CSS-Zyklen sind in der folgenden Tabelle angegeben.

Bei spiel	Unmagnetisches Metall	Hoch adhesive Schicht	Lösung (II)	Gleitmittel	CSS- Zyklen
1	_	_	Polysilikat	—	10 000
2			Polysilikat + Spannungsrelaxationsmittel + Metalalkoxid		25 000
3	-	Siianhaftmittel	Polysilikat	-	30 000
4		Silanhaftmittel	Polysilikat + Spannungsrelaxationsmittel + Metalalkoxid	orientiert	55 000
5	NiP	Siianhaftmittel	Polysilikat	-	35 000
6	NiP	Silanhaftmittel	Polysilikat + Spannungsrelaxationsmittel + Metalalkoxid	orientiert	60 000

Gemäß den Versuchsergebnissen zeigt der magnetische Aufzeichnungsträger des Vergleichsbeispiels einige bis 10% Abblättern der gesamten Reibspuren, was durch den Magnetkopf während 7000 CSS-Zyklen verursacht wurde (obwohl keine Schramme auf dem magnetmetallischen Dünnfilmmedium vorhanden war), während jeder magnetische Aufzeichnungsträger der erfindungsgemäßen Beispiele 1 bis 6 überhaupt kein Abblättern nach den betreffenden CSS-Zyklen der Tabelle zeigte,

Aus dem obigen ist ersichtlich, dall die verbesserte Antiabriebeigcnschaft gegenüber einer Berührung mit dem Magnetkopf beim Aufzeichnungsträger des Beispiels 1 erreicht wurde, das eine anorganische Polymerschicht auf der magnetmetallischen Dünnfilmschicht über einer chemischen Behandlungsschicht besitzt. Die Tabelle zeigt auch, daß eine verbesserte Antiabriebeigcnschaft gegenüber dem Magnetkopf auch be>m Aufzeichnungsträger des Beispiels 2 erreicht ist, bei dem die anorganische Polymerschicht ein Spannungsrelaxationsmittel enthält. Beim Aufzeichnungsträger des Beispiels 3, der eine anorganische Polymerschicht auf einer chemischen Behandliingsschicht über einem hoch adhäsiven Mittel besitzt, wurde eine noch weiter verbesserte Antiabriebeigenschaft gegenüber dem Magnetkopf erreicht. Diese Eigenschaft ist beim Aufzeichnungsträger des Beispiels 4 noch weiter verbessert, bei dem ein Spannungsrelaxationsmittel in der anorganischen Polymerschicht enthalten und darauf eine orientierte Schmiermittelschicht gebildet ist. Es sei angemerkt, daß verglichen mit den Aufzeichnungsträgern der Beispiele 3 und 4, bei denen eine unmagnetische Legierungsschicht nicht vorhanden ist. die Antiabriebeigenschaft gegenüber dem Magnetkopf beim Aufzeichnungsträger des Beispiels 5 noch etwas weiter verbessert ist, bei dem eine anorganische

Polymerschicht auf einer magnetmetallischen Dünnfilmschicht über die nichtmagnetische Legierungsschicht und das doch adhäsive Mittel gebildet ist; dasselbe gilt für den Aufzeichnungsträger des Beispiels 6, bei dem ein Spannungsrelaxationsmittel in der anorganischen Polymerschicht enthalten und die orientierte Schmiermittelschicht darauf gebildet ist

Was die Ausgangsänderungen, die in stabilem Flugzustand des Magnetkopfes aufgrund von Uneinheitlichkeiten in der Dicke der magnetmetallischen Dünnfilmschicht auftreten, anbetrifft, so war das Verhältnis von minimalem zu maximalem Ausgang derselben Spur bei den Beispielen 1 bis 4 70%; dieses Verhältnis erhöhte sich bei den Beispielen 5 und 6 auf 80%, wobei vorausgesetzt ist, daß man eine große t5 Verbesserung in der Fehlersicherheit erreicht hat

Hinsichtlich des Widerstandes der magnetischen Aufzeichnungsträger gegenüber Umgebungsbedingungen bzw. -einflössen wurden die Versuche zehnmal wiederholend durchgeführt, wobei jeder Versuch aus zwei Vier-Stj»»iden-Zyklen bei einer Temperatur von 65" C und einer relativen Feuchte von 90% und einem Drei-Stunden-Zyklus bei einer relativen Feuchte von

90% und einem Drei-Stunden-Zyklus bei einer Temperatur von — 40⁰C bestand. Die Versuchsergebnisse zeigten keine Verschlechterung der Aufzeichnungs- und Wiedergabemerkmale und der Antiabriebeigenschaft gegenüber dem Magnetkopf.

Wenn auch zum Aufbau der unmagnetischen Grundplatte bei den Ausführungsbeispielen vorliegender Erfindung ein Metall verwendet wurde, so kann dies doch auch durch andere Materialien, w_:e bspw. Kunststoffe, Glas oder keramische Stoffe ersetzt werden, da offensichtlich das Material der Grundplatte keine Rolle spielt. Darüber hinaus kann statt der Wärmebehandlung des gesamten magnetischen Aufzeichnungsträgers bei 200⁰C, wie bei den Ausführungsbeispielen beschrieben, das Ziel vorliegender Erfindung auch durch Entfernen des Lösungsmittels mittels vollständigen Trocknens bei Normaliemperatur (etwa 25°C) oder durch Verwenden eines anderen Lösungsmittels mit hohem Dampfdruck erreicht werden. Es ist ferner möglich, die Wärmebehandlung bei Temperaturen oberhalb 200⁰C innerhalb eines Bereiches durchzuführen, der die magnetische Eigenschaft des Aufzeichnungsträgers nicht nachteilig beeinflußt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Magnetischer Aufzeichnungsträger, bspw. Magnetplatte, Magnettrommel oder dgL, mit einer unmagnetischen Grandplatte, die ein- oder beidseitig zu einer Spiegelfläche poliert ist und mit einer magnetmetallischen Dünnfilmschicht überzogen ist, auf der eine Schutzschicht aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Schutzschicht eine auf der Dünnfilmschicht (3) angeordnete chemische Behandlungsschicht (5), deren Material aus einer ein Magnetmetalloxid, ein Chromoxid, ein Phosphat und eine Mischung davon enthaltenden Gruppe ausgewählt ist, und mindestens eine darauf angeordnete Schicht (7) aus einem anorganischen is Polymer, das aus einer ein Polysilikat, ein Hydrolysepolymer eines Metallalkoxids und eine Mischung davon enthaltenden Gruppe ausgewählt ist, vorgesehen sind.

2. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anipruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht eine Schicht (6) hoher Adhäsivität aufweist, die zwischen der chemischen Behandlungsschicht (5) und der anorganischen Polymerschicht (7) angeordnet ist.

3. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 oder 2. dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht eine unmagnetische Metallschicht (4) aufweist, die zwischen der magnetmetallischen DünnfilmscNcht (3) und der chemischen Behändlungsschicht (5) angeordnet ist.

4. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet,daß das Metallalkoxid eines oder eine Kombii-aior aus zwei oder mehr Alkoxiden von Al. Be. Ce, Co, Cr, Cu. Dy, Eu. Fe. Ga, Ge, Hf. In. Mg. Mn, Mo. Nb. Ni.Ti. Pd. Rh. Sb. Sn. Th. Ta. U. V, W. Zr und Zn ist.

5. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß das Polysilikat ein Polymer aus Tetrahydroxysilan ist. «

6. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (6) hoher Adhäsivität ein Silanhaftmittel enthält.

7. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (6) hoher Adhäsivität ein Methakrylat-Chromchlorid enthält.

8. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß die anorganische Polymerschicht (7) ein Spannungsrelaxationsmittel enthält.

9. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 8. dadurch gekennzeichnet, daß das Spannungsrelaxationsmittel eines oder eine Kombination von zwei oder mehr organischen Polymeren enthält, die eine auf das anorganische Polymer reagierende funktionell Gruppe besitzen.

IC. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Spannungsrelaxationsmittel eines oder zwei oder mehr «> Metalloxide enthält.

11. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Spannungsrelaxationsmittel ein Silanhaftmittel enthält.

12. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach An- ^b5 spruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Spannungsrelaxationsmittel ein Oberflächenhaftmittel enthält.

13. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Spannungsrelaxationsmittel eine Kombination aus zwei oder mehr Elementen enthält, die ein organisches Polymer mit einer mit dem anorganischen Polymer reagierenden funktionellen Gruppe, ein Metalloxid, ein Silanhaftmittel und ein Oberflächenhaftmittel umfassen.

14. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 9 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem anorganischen Polymer reagierende funktionelle Gruppe ein oder eine Kombination von zwei oder mehr Elementen, die

-COOH, -NH₂, -RcI, -SH, -COOR, -NHR, >NH, -CHO, Si-OH, Si-OR, Si-X,

-CH-CH₂, -CH₂OH, -CH-CH₂, -OCOR \ / N κ

O N

und -OH

umfassen und die in anorganischen Polymeren enthalten sind, wobei R ein Alcylradical und X ein Halogen bezeichnet.

15. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das organische Polymer, das eine auf das anorganische Polymer reagierende funktionell Gruppe enthält, N-Methoxymethyl-Nylon, ein Silikonzwischenprodukt, Epoxidharz. Phenolharz. Melaminharz, Harnharz, Zellulose, Polyvinylharz, Polyisozyanat oder Polymethylmethakrylat enthält.

16. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 10 oder 13. dadurch gekennzeichnet, daß das Metalloxid BaO, SrO, Li₂O. Ν^,Ο, K₂O. Rb₂O, Cs₂O. La₂O₃, As₂Oj, OsO₄, B₂O₃, Sb₂O₃. Re₂O₇. CrOj. RuO₄. Tl₂O oder TI₂O₁ ist.

17. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 11 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Silanhaftmittel Pol>aminosilan enthalt.

18. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß eine Schmiermittelschicht (8) auf dem Hydrolysepolymer aus Metallalkoxid im anorganischen Polymerfilm (7) gebildet ist.

19. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Schmiermittel ein orientiertes Schmiermittel ist.

20. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 19. dadurch gekennzeichnet, daß das orientierte Schmiermittel fluoriertes Alkoxysilan. Alkoxysilan. Chlorsilan. Silazan oder eine Kombination davon ist.

21. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 19. dadurch gekennzeichnet, daß das orientierte Schmiermittel eine oder eine Kombination aus orientiertem Dimethyl-Silikonöl. Methylphenyl-Silikonöl, Fluor-Silikonöl oder Fluoröl ist.

22. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fluorierte Alkoxysilan-Schicht als Schmiermiüelschicht auf dem Polysilikat in der anorganischen Polymerschicht (7) gebildet ist.