DE2652273B1

DE2652273B1 - Verfahren zur bildlichen Darstellung eines Beugungsbildes bei einem Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop

Info

Publication number: DE2652273B1
Application number: DE2652273A
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Dr Rer Nat Mueller; Volker Ing Rindfleisch
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1976-11-12
Filing date: 1976-11-12
Publication date: 1978-03-16
Also published as: FR2371061A1; JPS5363860A; DE2652273C2; GB1537631A; FR2371061B1; US4160162A; NL7711654A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur bildlichen Darstellung eines Beugungsbildes bei einem Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop, bei dem das Beugungsbild mittels eines Ablenksystems zeilenrasterförmig einen Detektor überstreicht, dessen Ausgangssignal zur Hellsteuerung eines Fernseh-Monitors dient. Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der DE-OS 23 02 689 bekannt. Dabei wird der abtastende Elektronenstrahl durch ein oberhalb des Objektes angeordnetes Ablenksystem derart abgelenkt, daß er das Objekt stets senkrecht durchsetzt. Zwischen Objektivlinse und Detektor ist ein zusätzliches Ablenksystem vorgesehen. Die Objektivlinse entwirft, wenn das zusätzliche Ablenksystem nicht erregt ist, ein unabhängig vom gerade durchstrahlten Objektbereich immer an der gleichen Stelle liegendes Beugungsbild in der Detektorebene. Mit Hilfe des zusätzlichen Ablenksystems kann die Lage des Beugungsbildes in bezug auf den Detektor verändert werden. Das Beugungsbild kann somit rasterförmig den Detektor überstreichen und sukzessive aufgenommen und dargestellt werden.

Bei einem anderen Verfahren zur Lageveränderung des Beugungsbildes gegenüber dem Detektor kann auf das zusätzliche Ablenksystem zur Auslenkung des

ίο Beugungsbildes unterhalb der Objektivlinse verzichtet werden. Dazu wird das Ablenksystem, das den einfallenden Elektronenstrahl rasterförmig über das Objekt bewegt, zusätzlich mit einer größeren Frequenz als der Rasterfrequenz derart erregt, daß der Elektronenstrahl das Präparat nicht mehr ausschließlich senkrecht, sondern darüber hinaus auch schräg mit unterschiedlichen Winkeln zur optischen Achse des Mikroskops durchsetzt.

In einem Beugungsbild ist die Intensität des Nullreflexes sehr viel größer als die der Reflexe höherer Ordnung. Daher wird bei einem Elektronenmikroskop ohne Abrasterung der Nullreflex des Beugungsbildes durch eine Blende ausgeblendet (DE-PS 9 69 942).

Beim Abrastern des Beugungsbildes führt die hohe

Intensität des Nullreflexes leicht zu einer Überbelastung des Detektors, die erst nach einer längeren Erholungszeit wieder abklingt oder sogar zu einer bleibenden geringeren Empfindlichkeit des Detektors führt. Als Folge davon ergibt sich ein stark verrauschtes Rasterbild.

Um eine derartige Bildstörung zu vermeiden, muß bisher bei beiden eingangs erwähnten Verfahren zur bildlichen Darstellung eines Beugungsbildes die Strahlintensität so stark vermindert werden, bis der Nullreflex einwandfrei und ohne Überbelastung des Detektors abgebildet wird. Dadurch werden aber die Reflexe höherer Ordnung oft so intensitätsschwach, daß sie sich nicht mehr vom Untergrund abheben.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Verfahren der eingangs genannten Art die störende Intensitätsspitze des Nullreflexes zu unterdrücken, ohne dabei die Intensitätsverhältnisse des übrigen Beugungsbildes zu verändern.
Diese Aufgabe wird bei dem Verfahren nach der Erfindung dadurch gelöst, daß das Ablenksystem in zur gerade durchlaufenen Zeile (i-Richtung) senkrechter Richtung (y-Richtung) zusätzlich derart erregt wird, daß durch die dadurch verursachte Auslenkung des Beugungsbildes ein bestimmter Bereich des Beugungsbildes,

so der zumindest einen Teil-Querschnitt maximaler Intensität des Nullreflexes erfaßt, von der Abrasterung ausgenommen wird und daß der Fernseh-Monitor in dem entsprechenden Bereich dunkelgetastet wird.
Bei diesem Verfahren wird die störende Intensitätsspitze des Nullreflexes von der Abbildung ausgenommen, der Detektor also nicht übersteuert. Es ergibt sich damit ein einwandfreies, rauscharmes Beugungsbild, bei dem auch die Reflexe höherer Ordnung noch mit zur Abbildung gelangen. Nur im Bereich des Nullreflexes entsteht je nach Art und Größe des von der Abbildung ausgenommenen Bereiches ein dunkler Fleck. Wählt man dabei den von der Abbildung ausgenommenen Bereich nur gerade so groß, daß allein der störende Teil des Nullreflexes wegfällt, der intensitätsschwächere Rand dieses Nullreflexes jedoch abgebildet wird, so ist zumindest die Lage des Nullreflexes ebenfalls eindeutig festgelegt Weiterhin ist es auch möglich, mit Hilfe eines Speicher-Monitors einem gemäß der Erfindung aufge-

nommenen Beugungsbild ein weiteres Beugungsbild zu überlagern, das mit einer geringeren Strahlintensität aufgenommen wurde und bei dem kein Bereich von der Abbildung ausgenommen wurde. In diesem zweiten Beugungsbild wird durch die geringere Strahlintensität die Intensität des Nullreflexes so herabgesetzt, daß keine Überbelastung des Detektors auftritt. Man erhält somit das gesamte Beugungsbild, wobei durch die zweite Abbildung im wesentlichen nur der Nullreflex hinzukommt. Es darf dabei nicht übersehen werden, daß die Intensitätsverhältnisse des Beugungsbildes durch die Überlagerung zweier unterschiedlich aufgenommener Beugungsbilder nicht mehr den tatsächlichen Intensitätsverhältnissen entsprechen. Oft kommt es jedoch nur auf die Lage der einzelnen Reflexe an, um daraus Rückschlüsse auf die vorliegende Kristallstruktur und sogar das vorliegende Material zuzulassen.

Der von der Abrasterung ausgenommene Bereich kann bei dem Verfahren gemäß der Erfindung dadurch festgesetzt sein, daß das Ablenksystem im Bereich

x\ < χ < X2 und /ι :£ y^ yz

des Beugungsbildes zusätzlich um einen festen Betrag erregt wird, wobei χ die Koordinate in Zeilenrichtung, y die Koordinate in der dazu senkrechten Richtung und x\, Xi, y\ und 72 wählbare feste Werte dieser Koordinaten sind, und daß die durch die zusätzliche Erregung bedingte Auslenkung in in zur Zeilenrichtung senkrechten Richtung mindestens

Ay = 72—71

beträgt. Der nichtabgerasterte Bereich besteht also aus einem einstellbaren Fenster. Durch die zusätzliche Bedingung der Mindestauslenkung in 7-Richtung ist sichergestellt, daß das Beugungsbild innerhalb dieses Fensters immer mindestens so weit ausgelenkt wird, daß es nie auf den Detektor trifft. Wegen der Rotationssymmetrie des Nullreflexes ist es vorteilhaft, als von der Abrasterung ausgenommenen Bereich ein quadratisches Fenster vorzusehen.

Nach dem Verfahren gemäß der Erfindung ist es weiterhin auch möglich, daß das Ablenksystem dann zusätzlich erregt wird, wenn die vom Detektor registrierte Intensität einen vorgegebenen Wert übersteigt. Das Ablenksystem kann dabei für eine feste Zeit um einen festen Betrag zusätzlich erregt werden. Das Verfahren verläuft dann folgendermaßen: Für einen bestimmten 7-Wert wird das Beugungsbild in Λτ-Richtung über den Detektor geführt. Kommt dabei ein Bereich des Nullreflexes über den Detektor, dessen Intensität unzulässig hoch ist, springt das Beugungsbild durch die zusätzliche Auslenkung in 7-Richtung so weit, daß der Nullreflex garantiert außerhalb des Detektors zu liegen kommt. Die x-Ablenkung geht dabei ungestört weiter. Nach einer bestimmten Zeit hört die zusätzliche Auslenkung in 7-Richtung auf, d. h. das Beugungsbild springt in die ursprüngliche 7-Position zurück, natürlich auf eine andere Ar-Position, da die Λτ-Ablenkung während dieser zusätzlichen Auslenkzeit weiterging. Ist in dem so erreichten Punkt die Intensität immer noch zu hoch, wiederholt sich dieser Vorgang.

Die mit dem Verfahren gemäß der Erfindung erzielbaren Vorteile kommen besonders dann zum Tragen, wenn die zusätzliche Erregung so lange kontinuierlich vergrößert wird, wie die Intensität am Detektor den vorgegebenen Wert übersteigt, und wenn sie verringert wird, sobald die Intensität am Detektor den vorgegebenen Wert wieder unterschreitet. In diesem Fall wird die störende Intensitätsspitze des Nullreflexes abgeschnitten, indem dieser Reflex an seiner Flanke in einer Höhe umfahren wird, deren Intensität der gerade noch zulässigen Intensität entspricht. Das bedeutet, daß zumindest der intensitätsschwache Teil des Nullreflexes zur Abbildung gelangt.

Ausführungsbeispiele des Verfahrens nach der Erfindung werden im folgenden anhand der F i g. 1 bis 4 beschrieben. F i g. 1 stellt dabei ein Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskop mit einem Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zur selbsttätigen Durchführung des Verfahrens dar. Die F i g. 2 bis 4 zeigen unterschiedliche Ausführungen einer Steuerelektronik, mit deren Hilfe unterschiedliche, jedoch bestimmte Bereiche von der Abrasterung ausgenommen werden können.

In F i g. 1 ist 1 die Strahlquelle des Mikroskops, die beispielsweise eine Feldemissionskathode enthalten • kann. Zur rasterförmigen Auslenkung des Elektronenstrahls 2 über das Objekt 5 dient ein Ablenksystem 3 mit den Stufen 3a und 3b. Die Stufe 3a lenkt den Strahl 2 aus der Achse A heraus, während die Stufe 3b den Strahl wieder zur Achse zurücklenkt. Durch das Ablenksystem 3 wird der Strahl 2 um einen Punkt P gekippt, der in der Brennebene der Objektivlinse 4 liegt. Durch diese magnetische Objektivlinse 4 wird der Strahl 2 auf das Objekt 5 fokussiert. Da der Punkt P, um den gekippt wird, am vorderen Brennpunkt der Linse 4 angeordnet ist, bestrahlt der Elektronenstrahl 2 das Objekt 5 in senkrechter Richtung. In dem Objekt 5 wird ein Teil des einfallenden Elektronenstrahls 2 durch Beugung in bestimmte Richtungen außerhalb des Primärstrahlkegels (Nullstrahl 2a) abgelenkt. Mit 2b und 2c sind zwei dargestellte gebeugte Strahlen bezeichnet.

Durch ein Ablenksystem 8, das aus zwei Paaren von elektrostatischen Ablenkplatten bzw. magnetischen Ablenkspulen besteht, können die Strahlen 2a, 2b und 2c in zwei zueinander senkrechten Richtungen χ und 7 derart über einen Detektor 6 verschoben werden, daß entweder der Nullstrahl 2a oder einer der abgelenkten Strahlen durch ein Loch in einem Schirm 7 auf den Detektor 6 fällt und von diesem registriert wird. Wegen der geringen Strahldivergenz ist der Durchmesser der Strahlkegel in der Ebene des Detektors 6 etwa gleich dem Durchmesser der Detektoreintrittsfläche. Das Ablenksystem 8 wird durch einen Rastergenerator RG sowie einen Verstärker Vi derart erregt, daß das Beugungsbild den Detektor in kartesischen Koordinaben überstreicht. Eine Steuerelektronik S zwischen Rastergenerator RG und Verstärker Vi sorgt für die zusätzliche Auslenkung in 7-Richtung in dem Bereich, der von der Abrasterung ausgenommen werden soll. Die Ausgangswerte χ und 7 des Rastergenerators RG sind dabei auf den Eingang der Steuerelektronik S geschaltet, deren Ausgangswerte x' bzw. 7' einem bestimmten Ort des Beugungsbildes entsprechen, x' wird durch die Steuerelektronik 5 nicht verändert und entspricht immer dem Ausgangswert Ardes Rastergenerators RG. Auch y' entspricht meistens dem Wert 7, nur in dem Bereich, der von der Abrasterung ausgenommen wird, erhöht sich 7'gegenüber 7 um den Wert Ay, d. h. die zusätzliche Erregung, die notwendig ist, um das Beugungsbild so weit auszulenken, daß der Nullreflex nicht mehr vom Detektor erfaßt wird. Die Ausgangswerte der Steuerelektronik S sind gleichzeitig auf die Ablenksysteme für die x- bzw. die 7-Richtung eines Fernseh-Monitors 9 gegeben. Durch Umlegen des Schalters 10 können auch direkt die Ausgangssignale χ bzw. 7 des Rastergenerators AG auf die Ablenksysteme

des Fernseh-Monitors 9 geschaltet werden.

Der Detektor 6 ist über einen Verstärker V2 und die Steuerelektronik 5 mit der Helligkeitssteuerung des Fernseh-Monitors 9 verbunden. Auf dem Fernseh-Monitor 9 sind als Beispiel Beugungsringe dargestellt, die bei der Durchstrahlung einer polykristallinen Substanz entstehen. Da der Fernseh-Monitor innerhalb des Bereiches, der von der Abrasterung ausgenommen wird, dunkelgetastet wird, fehlt der Nullreflex in der Abbildung. Gestrichelt ist auf dem Fernseh-Monitor 9 ein quadratisches Fenster 11 eingezeichnet, das z. B. den Bereich festlegt, der nicht abgerastert werden soll.

Die F i g. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Steuerelektronik S, das ein Umfahren des Nullreflexes auf seiner Flanke ermöglicht. Die Steuerelektronik Sbesitzt je einen Eingang für x, y und für die von dem Detektor 6 über den Verstärker V2 kommende Intensität /. Sie besitzt auch je einen Ausgang für x', y'und /'. In diesem Beispiel ist der Eingang χ direkt mit dem Ausgang χ' verbunden. Der Eingang für / ist gleichzeitig auf einen Schalter 15 und einen Komparator 16 geschaltet. Der Ausgang dieses !Comparators 16 führt auf den Eingang eines Integrators 17. Der Ausgang des Integrators 17 ist über einen Kondensator 18 auf den Eingang rückgekoppelt. Dieser Kondensator 18 ist darüber hinaus mit einer Diode 19 überbrückt. Über eine weitere Diode 20 ist der Ausgang des Integrators 17 zum einen auf einen weiteren Komparator 21 und zum anderen auf ein Additionsglied 22 geschaltet. Auf den zweiten Eingang des Additionsgliedes 22 ist der Eingang y geschaltet. Der Ausgang des Additionsgliedes ist mit dem Ausgang y' verbunden. Der Ausgang des zweiten Komparators 21 dient zur Betätigung des Schalters 15.

Die Wirkungsweise dieser Schaltung ist folgende: In dem Komparator 16 wird das der vom Detektor 6 erfaßten Intensität entsprechende Signal / mit einem vorgegebenen I_max verglichen. Solange / kleiner ist als /ma*, bleibt der Komparator in seinem Ruhezustand, in diesem Fall auf positivem Potential. Dadurch ist die Diode 19 in Durchlaßrichtung geschaltet und überbrückt den Kondensator 18, so daß der Ausgang des Integrators 17 etwa auf gleichem positivem Potential liegt. Die Diode 20 sperrt in diesem Falle, so daß auf das Additionsglied 22 kein zusätzliches Signal Ay gegeben wird. Der Ausgangswert y' ist somit gleich dem Eingangswert y. Der Komparator 21 liefert ebenfalls kein Ausgangssignal, so daß der Schalter 15 geschlossen ist und das Eingangssignal / mit dem Ausgangssignal /' identisch ist. In diesem Falle wird also der Fernseh-Monitor 9 hellgetastet. Übersteigt nun das Eingangssignal / den vorgegebenen Wert I_max, so springt der Komparator 16 in seinen anderen Zustand, d. h. in diesem Falle erhält er am Ausgang ein negatives Potential. In diesem Fall ist die Diode 19 gesperrt, so daß der Integrator 17 zur Wirkung kommt. Der Ausgang des Integrators 17 ist über die in diesem Fall durchlässige Diode 20 als ^y auf das Additionsglied 22 gegeben, d. h. der Eingangswert y erhöht sich um diesen Wert Ay und bildet einen Ausgangswert

y = y + Ay ■ Ay

stellt die zusätzliche Erregung in y dar, durch die das Beugungsbild so weit ausgelenkt wird, daß der störende Nullreftex nicht auf den Detektor fällt. Der Komparator 21 vergleicht den vorliegenden 4y-Wert nut einem Minimalwert ε. Ist Ay < ε, so wird über den Ausgang des Komparators 21 der Schalter 15 geöffnet, d. h. der Fernseh-Monitor 9 wird in diesem Falle dunkelgetastet.

Solange die Intensität / am Eingang des ersten Komparators 16 größer ist als die Maximalintensität Imax: solange vergrößert sich durch die Integration das Signal Ay und damit die zusätzliche Erregung. Ist durch diese zusätzliche Erregung das Beugungsbild so weit ausgelenkt worden, daß der Detektor ein Signal I< l_max liefert, so springt der Komparator wieder in seinen ursprünglichen Zustand mit positivem Potential am Ausgang zurück. Die Diode 19 schließt dann den

ίο Integrator wieder kurz und die Diode 20 sperrt wieder, so daß sehr schnell das Ausgangssignal y' wieder mit dem Eingangssignal y übereinstimmt. Insgesamt ergibt sich somit bei dieser Schaltung ein Regelverhalten, bei dem die zusätzliche Auslenkung des Beugungsbildes dafür sorgt, daß der Nullreflex auf seiner Flanke in einer Höhe, die durch Imax vorgegeben ist, umfahren wird.

Fig.3 zeigt eine andere Ausführungsform der Steuerelektronik 5. Die Steuerelektronik S besitzt entsprechend der F i g. 2 jeweils drei Eingänge und drei Ausgänge. Wiederum ist der Eingang für χ direkt mit dem Ausgang für x' verbunden. Wiederum wird das Eingangssignal / auf einen Schalter 15 und gleichzeitig auf einen Komparator 25 gegeben. Der Ausgang des Komparators 25 ist einmal auf einen Eingang eines dominierend speichernden Elementarspeichers 27 (Flip-Flop) und gleichzeitig auf eine monostabile Kippstufe 26 mit einer Zeit τ\ für den instabilen Zustand geschaltet. Der Ausgang der monostabilen Kippstufe 26 ist auf den anderen Eingang des Flipflops 27 geschaltet. Der Ausgang des Flipflops 27 ist über einen Verstärker V3 auf das Additionsglied 22 geschaltet, dessen anderer Eingang das Signal y führt. Darüber hinaus ist der Ausgang des Flipflops 27 auf den Eingang einer weiteren monostabilen Kippstufe 28 und auf einen Eingang eines OR-Gliedes 29 geschaltet, dessen anderer Eingang mit dem Ausgang der monostabilen Kippstufe

28 verbunden ist. Über den Ausgang des OR-Gliedes 29 kann der Schalter 15 betätigt werden.

Die Wirkungsweise dieser Schaltung ist folgende:

Übersteigt der Eingangswert /den vorgegebenen Wert Imax, so entsteht am Ausgang des Komparators 25 ein Signal. Das Flipflop 27 liefert dann ebenfalls ein Ausgangssignal, das über den Verstärker V3 ein Ay bildet für eine zusätzliche Auslenkung des Beugungsbildes. In dem Additionsglied 22 wird dieses Ay zum y-Wert addiert. Gleichzeitig wird durch das Ausgangssignal des Komparators 25 die monostabile Kippstufe 26 in ihren instabilen Zustand versetzt. Nach der Zeit v\ springt die monostabile Kippstufe 26 wieder in ihren Ursprungszustand zurück. Das dabei entstehende Ausgangssignal wird auf den anderen Eingang des Flipflops 27 gegeben. Ist inzwischen die Intensität / wieder unter I_max abgesunken und liefert daher der Komparator 25 kein Signal mehr, so wird durch dieses Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe 26 das Flipflop 27 wieder umgeschaltet, d. h. am Ausgang steht dann kein Signal mehr an, y' ist dann wieder gleich y. Über das OR-Glied 29 wird, solange am Ausgang des Flipflops 27 ein Signal vorliegt, der Schalter 15 geöffnet und damit der Fernseh-Monitor dunkelgetastet Durch die monostabile Kippstufe 28 wird darüber hinaus noch für eine gewisse Zeit %2 dunkelgetastet, auch wenn am Ausgang des Flipflops 27 kein Signal mehr ansteht. T2 ist dabei die Zeit, in der die monostabile Kippstufe 28 in ihrem instabilen Zustand verbleibt. Diese Zeit sollte größer sein als die Zeitkonstante in der Intensitätsmessung.
Wird mit Hilfe einer derartigen Steuerelektronik S

das Beugungsbild aufgenommen, so geschieht folgendes: Für einen bestimmten y-Wert wird das Beugungsbild in ^-Richtung über den Detektor geführt. Erreicht dabei die vom Detektor registrierte Intensität einen vorgegebenen störenden Wert, so springt das Beugungsbild durch eine zusätzliche Erregung in y-Richtung so weit in dieser Richtung, daß der störende Reflex nicht mehr vom Detektor 6 erfaßt wird. In dieser j-Stellung bleibt das Beugungsbild eine Zeit ti, wobei die ,Y-Ablenkung unverändert weitergeht. Nach dieser Zeit T\ springt das Beugungsbild wieder auf den ursprünglichen y-Wert zurück. Ist dort die Intensität, jetzt natürlich bei einer anderen x-Koordinate, immer noch zu groß, so wiederholt sich dieser Vorgang sofort. Anderenfalls geht die Abrasterung normal weiter.

Fig.4 zeigt eine weitere Ausführungsform der Steuerelektronik S. Wiederum sind drei Eingänge und drei Ausgänge vorhanden. Der Eingang / ist über den Schalter 15 mit dem Ausgang /'verbunden. Der Eingang y ist einmal auf das Additionsglied 22 und zum anderen auf zwei Komparatoren 30 bzw. 31 geschaltet. Der Eingang χ ist gleichzeitig auf zwei Komparatoren 32 bzw. 33 geschaltet. Die Ausgänge der Komparatoren 30 und 31 führen zu einem UND-Glied 34, die Ausgänge der Komparatoren 32 und 33 zu einem UND-Glied 35. Die Ausgänge beider UND-Glieder 34 bzw. 35 führen auf ein UND-Glied 36, dessen Ausgang mit dem Verstärker V3 und dem Schalter 15 verbunden ist. Der Ausgang des Verstärkers K3 ist auf den anderen Eingang des Additionsgliedes 22 geführt

Die Wirkungsweise dieser Schaltung ist folgende: Die Ausgänge der beiden UND-Glieder 34 bzw. 35 liefern nur dann ein Signal, wenn die Eingangssignale χ bzw. y zwischen einstellbaren fest vorgegebenen Werten x\ und X2 bzw. y\ und /2 liegen. In diesem Falle liefert das UND-Glied 36 ein Ausgangssignal, wodurch der Schalter 15 geöffnet wird und gleichzeitig über den Verstärker V3 ein Ay auf das Additionsglied 22 gegeben wird. Dadurch wird erreicht, daß innerhalb des durch x\, X2 und j'1,/2 festgelegten Bereiches durch die zusätzliche Auslenkung Ay das Beugungsbild nicht abgerastert wird und der Fernseh-Monitor 9 gleichzeitig dunkelgetastet wird. Durch Veränderung der Werte x\, xi, Ji und yi kann die Größe dieses Bereiches beliebig geändert werden. Es liegt somit ein fest vorgegebenes Fenster vor, innerhalb dessen nicht abgerastert wird.

Bei allen bisher beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde das Beugungsbild durch ein Ablenksystem 8 unterhalb des Objektes über den Detektor geführt. Das Verfahren nach der Erfindung läßt sich aber auch mit einer Einrichtung ohne dieses Ablenksystem 8 durchführen. Dazu wird das Ablenksystem 3 für die Objektrasterung zusätzlich derart erregt, daß der einfallende Elektronenstrahl das Objekt nicht nur senkrecht durchsetzt, sondern auch in unterschiedlichen Winkeln schräg zur Achse A des Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskops. Auch hierbei können diese Winkel nacheinander so eingestellt werden, daß das Beugungsbild in kartesischen Koordinaten den Detektor 6 überstreicht.

Die Erfindung ist nicht nur bei Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskopen, sondern auch bei Ionenmikroskopen dieser Art anwendbar.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 809 511/491

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur bildlichen Darstellung eines Beugungsbildes bei einem Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop, bei dem das Beugungsbild mittels eines Ablenksystems zeilenrasterförmig einen Detektor überstreicht, dessen Ausgangssignal zur Hellsteuerung eines Fernseh-Monitors dient, dadurch gekennzeichnet, daß das Ablenksystem (8) in zur gerade durchlaufenden Zeile ^-Richtung) senkrechter Richtung (y-Richtung) zusätzlich derart erregt wird, daß durch die dadurch verursachte Auslenkung des Beugungsbildes ein bestimmter Bereich (11) des Beugungsbildes, der zumindest einen Teil-Querschnitt maximaler Intensität des Nullreflexes erfaßt, von der Abrasterung ausgenommen wird und daß der Fernseh-Monitor (9) in dem entsprechenden Bereich dunkelgetastet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ablenksystem (8) im Bereich

x\ < *■< Λ2 und y\ < y< yi

des Beugungsbildes zusätzlich um einen festen Betrag erregt wird, wobei χ die Koordinate in Zeilenrichtung £r-Richtung),ydie Koordinate in der dazu senkrechten Richtung (^-Richtung) und Ai, *2, y\ und 72 wählbare feste Werte dieser Koordinaten sind, und daß die durch die zusätzliche Erregung bedingte Auslenkung in zur Zeilenrichtung ^r-Richtung) senkrechten Richtung (y-Richtung) mindestens

Ay = yi-y\

beträgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ablenksystem (8) dann zusätzlich erregt wird, wenn die vom Detektor (6) registrierte Intensität einen vorgegebenen Wert übersteigt.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ablenksystem (8) für eine feste Zeit um einen festen Betrag zusätzlich erregt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Erregung so lange kontinuierlich vergrößert wird, wie die Intensität am Detektor (6) den vorgegebenen Wert übersteigt, und daß sie verringert wird, sobald die Intensität am Detektor (6) den vorgegebenen Wert wieder unterschreitet.