DE2640894A1

DE2640894A1 - Advancing device for surface measurement sensor - has a tubular housing in which scanning element is mounted with drive and guiding elements

Info

Publication number: DE2640894A1
Application number: DE19762640894
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: FEINPRUEF FEINMESS und PRUEFGE; FEINPRUEF FEINMESS- und PRUEFGERAETE GmbH
Current assignee: Feinpruef Perthen Feinmess- und Pruefgeraete GmbH
Priority date: 1976-09-10
Filing date: 1976-09-10
Publication date: 1978-03-16
Also published as: DE2640894C2

Abstract

Surface is measured by the scanning method. The device consists of a rigid base and a movable scanning element accurately guided over it. It delivers signals corresponding to its movement. It is driven by a drive with constant speed over a scanning path in a workpiece section plane. The miniaturised driving mechanism (5-9, 11) and the guiding elements (9) for the scanning element (10) are mounted in a tubular housing (1) forming the base, carrying the movable scanning element (10).

Description

Vorschubgerät für die Oberflächenmessung Feed device for surface measurement

nach dem Tastschnitt-Verfahren Die Erfindung betrifft.ein Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren, bestehend aus einem starren Grundkörper und einem an diesem exakt geführten, beweglichen Tastorgan, das seinen Tastbewegungen entsprechende Signale abgibt und durch einen Antriebsmechanismus mit konstanter Geschwindigkeit über eine Taststrecke in einer Profilschnittebene eines Werkstückes bewegbar ist. according to the stylus method The invention relates to a feed device for surface measurement using the stylus method, consisting of a rigid Base body and a precisely guided, movable tactile organ on this, his Sensing movements emits corresponding signals and by a drive mechanism at constant speed over a traverse path in a profile section plane a workpiece is movable.

Solche Vorschubgeräte sind für die Oberflächenmessung, d.h. für Rauhheits- und Welligkeitsabtastungen einer Oberfläche, in mehreren Ausführungsformen in der Praxis bekannt. Das Tastorgan wird in der Regel durch einen Feder- oder Elektromotor angetrieben, dem eine Einrichtung zur Konstanthaltung der Vorschubgeschwindigkeit sowie Schaltgetriebe oder Steuereinrichtungen zum Wechsel der konstanten Vorschubgeschwindigkeiten zugeordnet sind. Um zu gewährleisten, daß während des Vorschubs über die Taststrecke die Bahn des das eigentliche Tastglied des als Mikrotaster ausgebildeten Tastorgans bildenden Tastdiamanten exakt in der Schnittebene gehalten bleibt, ist eine genaue Längsführung des Tastorgans bzw.Such feed devices are used for surface measurement, i.e. for roughness and ripple scans of a surface, in several embodiments in FIG Known in practice. The tactile organ is usually operated by a spring or electric motor driven, which is a device for keeping the feed rate constant as well as gearboxes or control devices for changing the constant feed speeds assigned. To ensure that during the feed over the tracing path the path of the actual feeler element of the feeler element designed as a micro-switch forming touch diamonds held exactly in the cutting plane remain, is an exact longitudinal guidance of the tactile organ or

dessen Halterung vorgesehen. Außerdem verfügt ein derartiges Vorschubgerät über Einrichtungen zum Aufstellen oder Befestigen auf Meßplatten, Meßtischen usw..its holder provided. In addition, such a feed device has via devices for setting up or fastening on measuring plates, measuring tables, etc.

Grundsätzlich sind zwei Bauformen solcher Vorschubgeräte bekannt geworden, die in einigen Abwandlungen in Gebrauch sind. Bei der ersten Bauform sind unten an dem quaderförmigen Grundkörper Anschlußelemente für den das Tastorgan bildenden Mikrotaster vorhanden, während an einer Seitenfläche Befestigungselemente für Haltevorrichtungen vorgesehen sind. Diese Vorschubgeräte werden nämlich vorzugsweise seitlich an säulenförmigen Meßständern höhenverstellbar angebracht.Basically, two designs of such feed devices have become known, some of which are in use. The first design is below on the cuboid base body connecting elements for the forming the tactile organ Micro buttons present, while fastening elements for holding devices on one side surface are provided. These feed devices are namely preferably laterally columnar Height adjustable measuring stands attached.

Bei der zweiten Bauform ist ebenfalls ein etwa quaderförmiger Grundkörper vorhanden, der auf der Unterseite aber mit öhenverstellbaren Füßen versehen und im übrigen dazu eingerichtet ist, vorzugsweise ohne Meßständer unmittelbar auf Meßplatten oder auf eine entsprechende Bezugsfläche des Werkstückes selbst aufgestellt zu werden.The second design also has an approximately cuboid base body available, but the one on the underside with adjustable feet and is otherwise set up, preferably without a measuring stand directly on measuring plates or to be set up on a corresponding reference surface of the workpiece itself.

In beiden Fällen ragt an einer Stirnseite des Grundkörpers das indem Grundkörper längsverschieblich geführte, angetriebene Tastorgan vor. Auch ist es bekannt, an einer Stirnseite Gestänge mit Halteeinrichtungen für das Tastorgan vorzusehen.In both cases, the protrudes from one end face of the base body Base body in front of longitudinally displaceable, driven sensing element. It is too known to provide linkage with holding devices for the feeler element on one end face.

Die Hauptabmessung dieser Vorschubgeräte liegt bei 200 bis 300 mm mit einem Gewicht von 1 bis 10 kg. Sie sind damit vorzugsweise für den stationären Betrieb gedacht.The main dimensions of these feed units are 200 to 300 mm weighing 1 to 10 kg. They are therefore preferred for the stationary Operation thought.

Daneben haben sich in der Praxis auch kleine Ausführungsformen von prinzipiell gleichem Aufbau herausgebildet, die in den kleinsten Bauformen etwa faustgroß sind und zum transportablen Einsatz dienen.In addition, small embodiments of In principle the same structure is formed, which is in the smallest designs for example Are the size of a fist and are used for transportable use.

Charakteristisch für die bekannten Vorschubgeräte ist, daß die jeweilige Ausführungsform im wesentlichen durch den Aufbau der angewandten Motor-Getriebe-Kombination des Antriebsmechanismus bestimmt ist, die die Größe des Grundkörpers und dessen Gestalt bestimmt. Der Grundkörper ist dabej nämlich vorzugsweise als Gehäuse für den Antriebsmechanismus und nicht nach meßtechnischen Erfordernissen aufgebaut.It is characteristic of the known feed devices that the respective Embodiment essentially through the structure of the applied motor-transmission combination of the drive mechanism is determined, the size of the base body and its Shape determined. The base body is in fact preferably used as a housing for the drive mechanism and not built according to metrological requirements.

Bei der Handhabung eines Vorschubgerätes muß dieses in Bezug auf die Meßfläche am Werkstück so orientiert werden, daß die durch die Bahnkurve des Tastorgans bestimmte Schnittebene in die erforderliche Lage zur Meßfläche gebracht wird. Dazu müssen in der Regel mehrere Dimensionen, wie Neigung, Richtung und Höhe der Bahnkurve des Tastorgans justiert werden. Da bei den bekannten Vorschubgeräten, wie erwähnt, der Grundkörper in der Regel im Hinblick auf den in ihm angeordneten Antriebsmechanismus gestaltet und dimensioniert ist, bedeutet dies, daß diese Geräte bei ihrem Einsatz eine Fülle von Hilfseinrichtungen, wie Meßständer mit Höhen- und Neigungseinstellung, Kreuztische, Schwenk-Schraubstöcke, Vorsatzprismen und dgl. erforderlich machen. Diese Hilfsmittel sind in jedem Falle der speziellen Ausführungsform des jeweiligen Vorschubgerätes angepaßt, was zu einer großen Typenvielfalt mit unwirtschaftlichen Herstellungsmengen führt.When handling a feed device, this must be in relation to the The measuring surface on the workpiece is oriented in such a way that the trajectory of the feeler element certain cutting plane is brought into the required position to the measuring surface. In addition usually need several dimensions, such as inclination, direction and height of the trajectory of the tactile organ can be adjusted. Since with the known feed devices, as mentioned, the main body usually with regard to the drive mechanism arranged in it is designed and dimensioned, this means that these devices are in use an abundance of auxiliary equipment, such as measuring stands with height and inclination adjustment, Cross tables, swivel vices, prisms and the like. Make necessary. These tools are in each case of the specific embodiment of the respective Adapted feed device, resulting in a large variety of types with uneconomical Manufacturing quantities leads.

Aufgabe der Erfindung ist es, hier abzuhelfen und ein Vorschubgerät zu schaffen, das mit einem Minimalaufwand an einfachen Hilfsmitteln es gestattet allen meßtechnischen Forderungen gerecht zu werden und das damit universell einsetzbar ist.The object of the invention is to remedy this and a feed device to create that allows with a minimum of simple tools to meet all metrological requirements and thus universally applicable is.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist das eingangs genannte Vorschubgerät gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der miniaturisierte Antriebsmechanismus und die Führungselemente für das Tastorgan in einem den Grundkörper bildenden Gehäuse angeordnet sind, das das an ihm verschieblich gelagerte Tastorgan trägt.The feed device mentioned at the beginning is used to solve this problem according to the invention characterized in that the miniaturized drive mechanism and the guide elements for the tactile element in a body forming the base body casing are arranged that carries the tactile organ displaceably mounted on it.

Dadurch, daß der Antrieb und die Führung sowie die Lagerung des Tastorgans in miniaturisierter Ausführung in einem rohrförmigen Gehäuse angeordnet sind, ist eine von dem Aufbau des Antriebsmechanismus und den Führungselementen des Tastorganes unabhängige Gestaltung des Grundkörpers geschaffen. Die das rohrförmige Gehäuse aufweisende "Vorschubeinheit" kann wahlweise entweder unmittelbar an ihrem Umfang an einer Halterung oder dgl. aufgenommen werden oder patronenartig in ein Zusatzstück eingefügt werden, je nachdem, wie es für die jeweilige Meßaufgabe zweckmäßig ist.The fact that the drive and the guide as well as the storage of the sensing element are arranged in a miniaturized version in a tubular housing is one of the structure of the drive mechanism and the guide elements of the feeler element independent design of the base body created. The the tubular housing having "feed unit" can optionally either directly on its circumference on a bracket or the like. Or in a cartridge-like manner in an additional piece can be inserted, depending on how it is appropriate for the respective measuring task.

Um Beschädigung und Fehlbehandlungen des empfindlichen Tastorgans zu verhüten, ist es zweckmäßig, wenn das Tastorgan durch ein stirnseitig auf das rohrförmige Gehäuse aufgesetztes, haubenartiges Schutzstück abgedeckt sind. Dieses Schutzstück liegt mit Vorteil innerhalb des Umrisses des des dem rohrförmigen Gehäuses umschriebenen Zylinders, so daß das rohrförmige Gehäuse ohne Behinderung durch das Schutzstück in dem Grundkörper montiert werden kann, außerdem kann es als Stütze für das Vorschubgerät ausgebildet und gegebenenfalls mit einer prismatischen Führung versehen sein.About damage and incorrect treatment of the sensitive organ of touch To prevent it, it is useful if the organ of touch is touched by a face on the tubular housing attached, hood-like protective piece are covered. This Protective piece is advantageously within the outline of the tubular housing circumscribed cylinder so that the tubular housing can be unobstructed by the Protective piece can be mounted in the base body, it can also be used as a support designed for the feed device and optionally with a prismatic guide be provided.

Das rohrförmige Gehäuse kann in einer bevorzugten Ausführungsform in einer entsprechenden Bohrung eines Einrichtungen zur Aufstellung oder Halterung aufweisen Zusatzstückes aufgenommen sein. Dies gestattet es, beispielsweise durch entsprechende Aufstellung des Zusatzstückes auf einer Bezugsfläche und/oder durch entsprechende Verdrehung des rohrförmigen Gehäuses um seine Längsachse in der Bohrung des Zusatzstückes das Tastorgan entsprechend den jeweiligen Gegebenheiten der Meßaufgabe einfach so zu orientieren, daß es auf die Schnittebene ausgerichtet ist.The tubular housing can in a preferred embodiment in a corresponding bore of a facility for installation or mounting have additional piece to be added. This allows it, for example by corresponding installation of the additional piece on a reference surface and / or by corresponding rotation of the tubular housing about its longitudinal axis in the bore of the additional piece the tactile organ according to the respective Realities to orientate the measurement task in such a way that it is aligned with the cutting plane is.

Das Zusatzstück kann mit Vorteil eine zur Aufstellung auf ebene und zylindrische Flächen eingerichtete, prismenförmige Aufstellfläche aufweisen, in deren Bereich ein Längsschlitz vorgesehen sein kann, während das rohrförmige Gehäuse in unmittelbarer Nähe der prismenförmigen Aufstellfläche achsparallel zu deren Längsachse in dem Grundkörper gespannt ist, derart, daß das Tastorgan durch den Längsschlitz in die prismenförmige Aufstellfläche ragt und in diese eintastet. Damit kann das Vorschubgerät ohne weiteres auf ebene oder zylindrische Meßflächen aufgestellt werden, wie es im übrigen auch möglich ist, das Vorschubgerät an Meßtischen und dgl. zu befestigen.The additional piece can be used to set up on level and with advantage have cylindrical surfaces arranged, prism-shaped installation surface, in the area of which a longitudinal slot can be provided, while the tubular housing in the immediate vicinity of the prism-shaped installation surface, axially parallel to its longitudinal axis is tensioned in the base body, such that the tactile member through the longitudinal slot protrudes into the prism-shaped installation surface and clicks into it. So that can The feed unit can be set up on flat or cylindrical measuring surfaces without further ado, as it is also possible to use the feed device on measuring tables and the like attach.

Um die universelle Einsatzmöglichkeit des Vorschubgerätes' noch zu erhöhen, ist es zweckmäßig, wenn das Zusatzstück auf der der prismenförmigen Aufstellfläche gegenüberliegenden Seite eine maßgenaue Auflagefläche aufweist. Auch kann das Zusatzstück zu der prismenförmigen Aufstellfläche rechtwinklig verlaufende und als Auflage- und/oder Bezugsflächen ausgebildete Stirnflächen tragen, die ebenso wie die Auflagefläche, eine maßgenaue Positionierung des Vorschubgerätes gestatten. Darüber hinaus können an dem Grundkörper-verstellbare Stützfüße angeordnet sein, die vorteilhafterweise in im Bereiche der Stirnflächen vorgesehenen Führung höhenverstellbar geführt sein können.To the universal application of the feed device 'still to increase, it is useful if the additional piece on the prism-shaped installation surface opposite side has a dimensionally accurate support surface. The additional piece at right angles to the prism-shaped installation surface and as a support and / or reference surfaces have end faces which, like the support surface, allow precise positioning of the feed device. In addition, you can be arranged on the base body-adjustable support feet, which advantageously be guided in a height-adjustable guide provided in the areas of the end faces can.

Schließlich kann das Vorschubgerät auch derart eingesetzt werden, daß auf das rohrförmige Gehäuse endseitig wenigstens eine Standplatte aufgesetzt ist, die gegebenenfalls mit dem eine prismatische Führung tragenden Schutzstück derart zusammenwirkt,daß dieses ebenfalls als Stütze für das'Vorschubgerät wirkt.Finally, the feed device can also be used in such a way that that at least one stand plate is placed on the end of the tubular housing is, if necessary with the protective piece carrying a prismatic guide cooperates in such a way that this also acts as a support for the feed unit.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele des Gegenstandes der Erfindung dargestellt. Es zeigen: Fig. 1 Ein Vorschubgerät gemäß der Erfindung in einer Seitenansicht, Fig. 2 das Vorschubgerät nach Fig. 1 in einer Ansicht von vorne, Fig. 3 das Vorschubgerät nach Fig. 1 mit aufgesetztem Schutzstück in einer Seitenansicht, Fig. 4 das Vorschubgerät nach Fig. 3 in einer Ansicht von vorne, Fig. 5 das Vorschubgerät nach Fig. 1 im axialen Schnitt in einer Seitenansicht und in schematischer Darstellung, Fig. 6 das Vorschubgerät nach Fig. 3 mit einer aufgesetzten Standplatte in einer Seitenansicht, Fig. 7 das Vorschubgerät nach Fig. 6 in einer Ansicht von vorne, Fig. 8 das Vorschubgerät nach Fig. 3 eingesetzt in ein Zusatzstück in einer Seitenansicht, Fig. 9 die Anordnung nach Fig. 8 in einer Ansicht von vorne, Fig. 10 das Vorschubgerät nach Fig. 8 mit dem Zusatzstück und mit einem höhenverstellten Stützfuß in einer Seitenansicht, Fig. 11 die Anordnung nach Fig. 10 in einer Ansicht von vorne, Fig. 12 das Vorschubgerät nach Fig. 10 mit dem Zusatzstück in einer anderen Einsatzlage, in einer Seitenansicht, Fig. 13 die Anordnung nach Fig. 12 in einer Ansicht von vorne, Fig. 14 das Vorschubgerät nach Fig. 12 in der Anwendung auf die Messung der Oberfläche eines zylindrischen Werkstücks, in einer Seitenansicht, Fig. 15 die Anordnung nach Fig. 14 in einer Ansicht von vorne und Fig. 16 das Vorschubgerät nach Fig. 3 eingesetzt in ein Zusatzstück in der Anwendung auf die Messung der Innenwandung einer senkrecht zur Planfläche eines Werkstückes verlaufenden Bohrung.In the drawing are exemplary embodiments of the subject matter of the invention shown. 1 shows a feed device according to the invention in a side view, FIG. 2 shows the feed device according to FIG. 1 in a view from the front, FIG. 3 shows the feed device according to Fig. 1 with attached protective piece in a side view, Fig. 4 the feed device according to Fig. 3 in a view from the front, Fig. 5 the feed device according to Fig. 1 in axial section in a side view and in a schematic representation, FIG. 6 the feed device according to FIG. 3 with an attached stand plate in a side view, 7 shows the feed device according to FIG. 6 in a view from the front, FIG. 8 shows the feed device 3 inserted in an additional piece in a side view, FIG. 9 shows the arrangement 8 in a view from the front, FIG. 10 shows the feed device according to FIG. 8 the additional piece and with a height-adjusted support leg in a side view, Fig. 11 the arrangement according to FIG. 10 in a view from the front, FIG. 12 the feed device according to Fig. 10 with the additional piece in a different position, in a side view, 13 shows the arrangement according to FIG. 12 in a view from the front, FIG. 14 shows the feed device according to Fig. 12 in application to the measurement of the surface of a cylindrical Workpiece, in a side view, FIG. 15 the arrangement according to FIG. 14 in a View from the front and FIG. 16 shows the feed device according to FIG. 3 inserted in an additional piece in the application to the measurement of the inner wall of a perpendicular to the plane surface a workpiece running hole.

Das Vorschubgerät weist ein den Grundkörper bildenden starres, rohrförmiges Gehäuse 1 auf, das bei den dargestellten Ausführungsbeispielen zylindrisch und auf seiner Außenseite glattwandig ausgebildet ist. Das rohrförmige Gehäuse 1 ist endseitig durch stirnseitige Abschlußplatten 2, 3 verschlossen, von denen die eine Abschlußplatte 2 ein elektrisches Anschlußkabel 4 und die diesem zugeordnetenlim einzelnen nicht veranschaulichten elektrischen Anschlußelemente trägt. In dem rohrförmigen Gehäuse 1 ist ein miniaturisierter Elektromotor 5 (Fig. 5) enthalten, der über ein Getriebe 6 eine Gewindespindel 7 antreibt, die ihrerseits in eine entsprechende Gewindebohrung 8 eines Schlittens 9 eingeschraubt ist, der an der Innenwand des rohrförmigen Gehäuses 1 verschieblich geführt ist. Mit dem Schlitten 9 ist ein das eigentliche Tastorgan bildender Mikrotaster 10 über eine Haltestange 11 verbunden, die an dem Schlitten 9 an einem Drehpunkt 12 verschwenkbar angelenkt ist. Der Mikrotaster 10 ragt durch eine öffnung 13 der Abschlußplatte 3 nach außen; er trägt stirnseitig ein haubenartiges Schutzrohr 14, das mit einer Gleitkufe 15 versehen ist und eine Bohrung aufweist, durch die ein bei 16 angedeuteter Tastdiamant nach außen ragt.The feed device has a rigid, tubular shape forming the base body Housing 1, which is cylindrical and in the illustrated embodiments its outside is smooth-walled. The tubular housing 1 is at the end closed by end plates 2, 3, one of which is an end plate 2 an electrical connection cable 4 and the lim individual assigned to it not illustrated electrical connection elements carries. In the tubular housing 1 is a miniaturized electric motor 5 (Fig. 5) included, which is via a gear 6 drives a threaded spindle 7, which in turn in a corresponding Threaded hole 8 of a carriage 9 is screwed, which is attached to the inner wall of the tubular housing 1 is displaceably guided. With the slide 9 is a that actual tactile organ forming micro button 10 connected via a holding rod 11, which is pivotably articulated on the carriage 9 at a pivot point 12. The micro switch 10 protrudes through an opening 13 in the end plate 3 to the outside; he wears on the forehead a hood-like protective tube 14 which is provided with a skid 15 and a Has bore through which a touch diamond indicated at 16 protrudes to the outside.

Der Elektromotor 5 bildet mit dem Getriebe 6 und der Gewindespindel 7 sowie dem Schlitten 9 und der Haltestange 11 den-Antriebsmechanismus für das Tastorgan in Gestalt des Mikrotasters 10. Wird der an das elektrische Anschlußkabel 4 angeschlossene Elektromotor eingeschaltet, so werden der Schlitten 9 und damit der Mikrotaster 10 in der Längsrichtung des rohrförmigen Gehäuses 1 verschoben, womit der Tastdiamant 16 des in dem rohrförmigen Gehäuses 1 exakt seitlich geführten Mikrotasters 10 die Taststrecke- abfährt. Dabei stützt sich der Mikrotaster 10 über das Schutzrohr 14 und die Gleitkufe 15 auf der Meßfläche ab, um zu vermeiden, daß der Tastdiamant 16 einem unregelmäßigen oder einem zu hohen Anpreßdruck ausgesetzt ist. Beim Durchlaufen der Taststrecke gibt der Mikrotaster über nicht weiter dargestellte elektrische Leitungen elektrische Signale ab, die der Tastbewegung des Tastdiamanten 16 entsprechen und die ein Maß für die Welligkeit und die Rauhheit der abgetasteten Meßfläche darstellen, das in an sich bekannter Weise ausgewertet werden kann.The electric motor 5 forms with the gear 6 and the threaded spindle 7 and the carriage 9 and the support rod 11 the drive mechanism for the feeler in the form of the micro button 10. If the connected to the electrical connection cable 4 When the electric motor is switched on, the slide 9 and thus the micro-button are switched on 10 shifted in the longitudinal direction of the tubular housing 1, whereby the touch diamond 16 of the micro switch 10, which is guided exactly laterally in the tubular housing 1 Traversing trajectory. The micro switch 10 is supported by the protective tube 14 and the skid 15 on the measuring surface in order to avoid that the tactile diamond 16 is exposed to an irregular or too high contact pressure. When walking through The micro-pushbutton gives the traversing path via electrical (not shown) Lines from electrical signals that correspond to the tactile movement of the tactile diamond 16 and which represent a measure of the waviness and the roughness of the scanned measuring surface, which can be evaluated in a manner known per se.

Das den Grundkörper des Vorschubgerätes bildende rohrförmige Gehäuse 1 kann an seinem Umfang in einfacher Weise aufgenommen werden, wozu gegebenenfalls einfache Hilfsmittel verwendet werden können, die ihrerseits zur Befestigung an bekannten Meßhilfseinrichtungen der industriellen Längenmeßtechnik, wie Meßtische, Magnetständer, Meßuhrenaufnahmen und dgl. versehen sind.The tubular housing forming the main body of the feed device 1 can be included in its scope in a simple manner, including if necessary simple tools which in turn can be used for Attachment to known auxiliary measuring devices of industrial length measuring technology, such as measuring tables, magnetic stands, dial gauge holders and the like. Are provided.

Um den empfindlichen Mikrotaster 10 gegen Fehlbehandlungen zu schützen, ist bei der beispielsweise in den Fig. 3, 4 dargestellten Ausführungsform des Vorschubgerätes an der stirnseitigen Abschlußplatte 3 ein haubenartiges Schutzstück 17 befestigt, das den Mikrotaster 10 mit seinen aus dem rohrförmigen Gehäuse vorragenden Teilen 14, 15 nach oben und zur Seite hin abdeckt. Dieses Schutzstück 17 weist eine prismatische Führung - 18 auf, die es gestattet, das Schutzstück 17 gleichzeitig als Stützelement für das Vorschubgerät zu benutzen.To protect the sensitive micro switch 10 against incorrect treatment, is in the embodiment of the feed device shown for example in FIGS. 3, 4 a hood-like protective piece 17 is attached to the end plate 3, the micro switch 10 with its parts protruding from the tubular housing 14, 15 covers upwards and to the side. This protective piece 17 has a prismatic Guide - 18, which allows the protective piece 17 at the same time as a support element to use for the feed device.

Dazu kann in der aus den Fig. 6 und 7 ersichtlichen Weise auch das rohrförmige Gehäuse 1 im Bereiche der stirnseitigen Abschlußplatte 2 eine Standplatte 19 aufgesetzt sein, die, ebenso wie das Schutzstück 17, prismatische Führungen 20 aufweisen kann, die ein Arbeiten auf Plan- und Zylinderflächen gestatten, wie es bei 21 veranschaulicht ist.This can also be done in the manner shown in FIGS. 6 and 7 tubular housing 1 in the region of the end plate 2 has a base plate 19, which, like the protective piece 17, prismatic guides 20 may have that allow working on plan and cylinder surfaces, as it illustrated at 21.

In einer anderen1 in den Fig. 8 bis 13 gezeigten Ausführungsform ist das Vorschubgerät mit seinem zylindrischen Gehäuse 1 in eine entsprechende Längsbohrung 22 eines im wesentlichen quaderförmigen Zusatzstückes 23 eingesetzt und an seinem Umfang in der Längsbohrung 22 aufgenommen. Das Zusatzstück 23 weist eireprismenförmige Aufstellfläche 24 auf, in deren unmittelbarer Nähe die das rohrförmige Gehäuse 1 aufnehmende Längsbohrung 22 angeordnet ist. Die Längsbohrung 22 steht über einen in dem Zusatzstück 23 vorgesehenen Längsschlitz 250mit der prismenförmigen Aufstellfläche 24 in Verbindung, so daß in der aus Fig. 9 ersichtlichen Weise der Mikrotaster 10 mit seinem Tastdiamanten 16 unmittelbar in die prismenförmige Aufstellfläche 24 eintasten kann. Je nach den Gegebenheiten der jeweiligen Meßaufgabe kann dabei das Vorschubgerät mit seinem rohrförmigen Gehäuse in der Längsbohrung 22 längsverschoben werden, so daß der Tastdiamant 16 entweder in der aus Fig. 8 ersichtlichen Weise seitlich neben dem Zusatzstück 23 seine Taststrecke durchläuft, oder aber so bewegt wird, daß die Taststrecke zumindest teilweise im Bereiche der prismenförmigen Aufstellfläche 24 unter dem Zusatzstück 23 verläuft.In another embodiment shown in Figs the feed device with its cylindrical housing 1 in a corresponding longitudinal bore 22 of a substantially cuboidal additional piece 23 is used and at his The circumference is received in the longitudinal bore 22. The additional piece 23 has egg-prism-shaped Installation surface 24, in the immediate vicinity of which the tubular housing 1 receiving longitudinal bore 22 is arranged. The longitudinal bore 22 is above a in the additional piece 23 provided longitudinal slot 250 with the prism-shaped support surface 24 in connection, so that in the manner shown in FIG. 9, the micro switch 10 with his tactile diamond 16 directly into the prism-shaped installation surface 24 can be keyed. Depending on the circumstances of the respective measuring task, the feed device with its tubular housing is displaced longitudinally in the longitudinal bore 22 so that the diamond 16 either in the manner shown in FIG laterally next to the additional piece 23 runs through its tracing path, or moved in such a way is that the tracing path is at least partially in the area of the prism-shaped installation surface 24 runs under the additional piece 23.

Rechtwinklig zu der prismenförmigen Aufstellfläche 24 sind an dem Zusatzstück 23 zwei als Auflage- und/oder Bezugsflächen ausgebildete maßhaltige, ebene Stirnflächen 25, 26 vorgesehen, die es gestatten'beispielsweise zum Abtasten der Innenwandung einer Bohrung eines Werkstückesldas Zusatzstück 23 mit dem in der Längsbohrung 22 angeordneten Vorschubgerät auf einer der Stirnflächen 25 oder 26 auf einer Bezugsfläche aufzustellen.At right angles to the prism-shaped installation surface 24 are on the Additional piece 23 two dimensionally accurate, designed as support and / or reference surfaces flat end faces 25, 26 are provided which allow, for example, scanning the inner wall of a bore of a workpiece, the additional piece 23 with the in the Longitudinal bore 22 arranged feed device on one of the end faces 25 or 26 to be set up on a reference surface.

Außerdem-ist die der prismenförmigen Aufstellfläche 24 gegenüberliegende Kopffläche des Zusatzstückes 23 bei 27 als ebenfalls maßgenaue Auflagefläche ausgebildet, die es ermöglicht, auch sogenannte Uberkopf-Messungen vorzunehmen, wie es in Fig. 12, 13 gezeigt ist. Das Zusatzstück 23 ist dabei auf die Auflagefläche 27 aufgestellt; auf das Schutzstück 17 ist ein ringförmiges Werkstück 28 aufgelegt, dessen Innenfläche von dem Tastdiamanten 16 abgetastet wird.In addition, that of the prism-shaped mounting surface 24 is opposite The top surface of the additional piece 23 is also designed as a dimensionally accurate support surface at 27, which makes it possible to take so-called overhead measurements, as shown in Fig. 12, 13 is shown. The additional piece 23 is set up on the support surface 27; An annular workpiece 28 is placed on the protective piece 17, the inner surface of which is scanned by the tactile diamond 16.

Im Bereiche der beiden Stirnflächen 25, 26 sind an dem Zusatzstück 23 seitliche Führungen 29, 30 ausgebildet, auf denen höhenverstellbare Stützfüße geführt sind, von denen einer bei 31 in Fig. 10, 11 veranschaulicht ist.In the areas of the two end faces 25, 26 are on the additional piece 23 lateral guides 29, 30 formed on which height-adjustable support feet are performed, one of which is illustrated at 31 in FIGS.

Der Stützfuß 31 ist mittels einer Klemmschraube 32 in seiner jeweiligen Höhenlage fixierbar; er gestattet es beispielsweise in der in Fig. 10, 11 dargestellten Weise ein auf die Bezugsfläche 21 aufgesetztes Werkstück 33 abzutasten. Das Zusatzstück 23 mit seinem Stützfuß 31 dient damit als Meß-Hilfsmittel zur Messung an einer erhöht liegenden Meßfläche auf dem Werkstück, wobei das Vorschubgerät durch den Stützfuß 31 in der Waagerechten gehalten wird.The support foot 31 is by means of a clamping screw 32 in its respective Height fixable; he allows it for example in the in Fig. 10, 11, a workpiece 33 placed on the reference surface 21 to feel. The additional piece 23 with its support foot 31 thus serves as a measuring aid for measuring on an elevated measuring surface on the workpiece, with the feed device is held by the support foot 31 in the horizontal.

In den Fig. 14, 15 ist eine weitere Anwendung des Vorschubgerätes mit dem Zusatzstück 23 auf eine sogenannte Uberkopf-Messung veranschaulicht. Dabei ist das Zusatzstück 23 mit seiner Auflagefläche 27 wiederum auf eine Aufstellfläche aufgestellt, während das bei 34 veranschaulichte zylindrische Werkstück auf die nunmehr nach oben weisende prismenförmige Aufstellfläche 24 aufgelegt ist und durch den Längsschlitz 250des Zusatzstückes 23 hindurch durch den Tastdiamanten 16 von unten her abgetastet wird.14, 15 shows another application of the feed device illustrated with the additional piece 23 on a so-called overhead measurement. Included is the additional piece 23 with its support surface 27 in turn on a mounting surface while the cylindrical workpiece illustrated at 34 is placed on the now upwardly facing prism-shaped installation surface 24 is placed and through the longitudinal slot 250 of the additional piece 23 through the tactile diamond 16 of is scanned down.

In Fig. 16 schließlich ist noch der bereits erwähnte Anwendungsfall veranschaulicht, bei dem das Zusatzstück 23 mit seiner Stirnfläche 25 auf eine Unterlage 35 aufgesetzt ist, so daß die Stirnfläche 25 als Bezugsfläche und Standfläche dient. Die Unterlage 35 ist im vorliegenden Fall durch das Werkstück gebildet, das eine rechtwinklig zur Planfläche verlaufende Bohrung 36 aufweist, deren Innenwandung durch den Tastdiamanten 16 abgetastet wird.Finally, FIG. 16 shows the application already mentioned illustrates, in which the additional piece 23 with its end face 25 on a base 35 is placed so that the end face 25 serves as a reference surface and standing surface. The base 35 is formed in the present case by the workpiece, the one Has bore 36 running at right angles to the plane surface, the inner wall of which is scanned by the probe diamond 16.

Auch diese Weise können auch Schnittkanten an Planflächen abgetastet werden.Cut edges on plane surfaces can also be scanned in this way will.

Claims

Claims 1. Feed device for surface measurement according to the stylus method, consisting of a rigid body and an on this precisely guided, movable organ of touch, which corresponds to its tactile movements Emits signals and through a drive mechanism at constant speed is movable over a tracing path in a profile section plane of the workpiece, thereby characterized in that the miniaturized drive mechanism (5 to 9, 11) and the Guide elements (9) for the feeler element (10) in a tubular shape forming the base body Housing (1) are arranged, which is displaceably mounted on it feeler element (10) wearing.

2. Feed device according to claim 1, characterized in that the Touch element (10) by a front side on the tubular housing (1) removably attached, hood-like protective piece (17) is covered.

3. Feed device according to claim 2, characterized in that the Protective piece (17) as a support, if necessary with a prismatic guide (18) is trained.

4; Feed device according to claim 2, characterized in that the Protective piece (17) within the outline of the tubular housing (1) circumscribed Cylinder lies.

5. Feed device according to claim 1, characterized in that the tubular housing (1) on the circumference in a corresponding bore (22) of a device (24, 25, 26, 27) for setting up or holding an additional piece (23) is recorded.

6. Feed device according to claim 5, characterized in that the Additional piece (23) a set up for installation on a flat and cylindrical surface, Has prism-shaped installation surface or sole (24).

7. Feed device according to claim 6, characterized in that the Additional piece (23) has a longitudinal slot in the area of the prism-shaped installation surface (24) (250) and the tubular housing (1) in the immediate vicinity of the prism-shaped Support surface (24) axially parallel to its longitudinal axis in the additional piece (23) is and that the sensing element (10) through the longitudinal slot (250) into the prismatic Installation surface (24) protrudes.

8. Feed device according to claim 6 or 7, characterized in that the additional piece (23) on the opposite of the prism-shaped installation surface (24) Side has a dimensionally accurate support surface (27)

9. Feeder after one of the Claims 6 to 8, characterized in that the additional piece (23) to the prism-shaped Installation surface (24) running at right angles and as support and / or reference surfaces has formed end faces (25, 26).

10. Feed device according to claim 6, characterized in that on the additional piece (23) is arranged at least one adjustable support leg (31).

11. Feed device according to claims 9 and 10, characterized in that that the support foot (31) is arranged in the region of one of the end faces (25, 26) Guides (29, 30) is adjustable in height.

12. Feed device according to claim 1, characterized in that on the tubular housing (1) has at least one standing lath (19) on the end is, which is optionally formed with a prismatic guide (20).