DE2631025B2 - Differenzdruck-Mefiumformer - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Differenzdruck-Meßumformer mit einer aus zwei Kammerhälften und einer
dazwischen eingespannten Meßmembran bestehenden Meßkammern, die zentrisch in einer beweglichen Wand
in Form einer Ringmembran angeordnet ist, die mit ihrem Rand in einem Gehäuse befestigt ist und darin
zwei innere Druckkammern voneinander trennt, mit äußeren Druckkammern, die mit Trennmembranen
nach außen abgeschlossen sind und über Bohrungen mit den inneren Druckkammern und den Meßkammerhälften
in Verbindung stehen, mit einer inkompressiblen Füllflüssigkeit in den Kammern zur hydraulischen
Übertragung der von außen auf die Trennmembranen wirkenden Drücke auf die Meßmembran, mit die
differenzdruckabhängige Auslenkung der Meßmembran abbildenden elektrischen Mitteln und mit Mitteln
zur Sicherung der Meßmembran vor Überlastung.
Bekannte Mittel zur Sicherung der Meßmembran vor Überlastung bestehen aus druckgesteuerten Ventilen,
die bei Überschreiten des Differenzdruck-Greiizwerts,
also im Überlastfall, die Druckleitungen der Meßkammer schließen, so daß kein Überdruck auf die
ίο Meßmembran einwirken kann.
Der Nachteil derartiger Einrichtungen ist in der bei längerem Gebrauch kaum vermeidbaren Undichtigkeit
der Ventile zu sehen, auch kleine Undichtigkeiten verursachen, insbesondere bei hohen statischen Drükken,
mit der Zeit ein Ansteigen des Druckes in der Meßkammer über den zulässigen Wert hinaus.
Dieses Undichtigkeitsproblem tritt auch bei einem Differenzdruck-Meßumformer der eingangs angegebenen
Art auf, wie er in der DE-OS 23 60 276 beschrieben ist
Es besteht demgemäß die Aufgabe, den bekannten Differenzdruck-Meßumformer so zu verbessern, daß
auch bei länger anhaltender Überlastung eine über den zulässiger· Grenzwert hinausgehende Druckerhöhung
in der Meßkammer ausgeschlossen ist. Dabei ist auf einen möglichst einfachen mechanischen und herstellungsmäßig
günstigen Aufbau zu achten.
Eine Lösung dieser Aufgabe wird in einem Differenzdruck Meßumformer der im Oberbegriff des Anspruchs
so 1 angegebenen Art gesehen, der dadurch gekennzeichnet
ist, daß die den Innenflächen der Trennmembranen gegenüberliegenden Wandungen der äußeren Druckkammern
in den Stirnflächen des Gehäuses als Membranbetten ausgebildet sind. Bei dem an sich
bekannten Trennmembran-Überlastbett-System treten keine Undichtigkeitsprobleme auf. Die Konstruktionsteile
von Überlastsicherung und Meßkammer können infolge der Trennung der Funktion für sich optimiert
werden.
•to Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist am
inneren Rand der Ringmembran ein mit der Meßkammer verbundener Tragring befestigt. Damit ergibt sich
der Vorteil, daß die Meßkammer für sich vollständig aufgebaut, geprüft und für verschiedene Wirkdrücke
kalibriert werden kann, so daß beim Zusammenbau der
sind.
2 Ausführungsbeispiele dargestellt und im folgenden beschrieben.
F i g. 1 Wie der Querschnitt zeigt, besteht die eigentliche Meßkammer 48 aus zwei Kammerhälften 59
und 60, zwischen denen die Meßmembran 67 mit ihrem Fland eingespannt und verschweißt ist. Von den
beiderseits der Meßmembran 67 befindlichen Volumen führen die Druckleitungen 68 und 69 durch die
Kammerhälften 59 und 60 nach außen. Das mit der Meßmembran 67 zusammenwirkende elektrische Ab-
b() griffsystem, welches die dem Differenzdruck PX — P2
proportionale Auslenkung der Meßmembran 67 in ein elektrisches Signal umformt, ist hier ein induktiver
Abgriffsystem, das aus den Induktionsspulen 74 und 75 in den Kammerhälften 59 und 60 besteht. Die
M Induktionsspulen sind in eine Isoliermasse 61 bzw. 62
eingebettet, welche entsprechende Ausnehmungen in den Kammerhälften 59 und 60 ausfüllt. Die Meßmembran
67 aus einem Werkstoff niedriger Permeabilität
wirkt nach dem Wirbelstromprinzip mit den Induktionsspulen 74 und 75 zusammen, indem sie je nach
Auslenkung die eine oder andere mehr oder weniger bedampft, was als Impedanzänderung der Spulen
gemessen werden kann.
Die Meßkammer 48 ist in e;rien Tragring 70
eingesetzt und dort befestigt An der in der Ebene der Meßmembran 67 befindlichen Kante des Tragrings 70
ist der innere Rand einer Ringmembran 71 befestigt, die
als bewegliche Wand zwischen zwei gleichen und spiegelbildlich angeordneten Gehäuseteilen 49 und 50
eingespannt ist und in dem so gebildeten Gehäuse 40 zwei innere Druckkammern 55 und 56 voneinander
trennt An den auSenliegenden Stirnseiten der das Gehäuse 40 bildenden Gehäuseteile 49 und 50 sind
Vertiefungen angebracht an deren Rand Trennmembranen
51 und 52 befestigt sind, so daß zwischen den Stirnflächen und den Trennmembranen die äußeren
Druckkammern 53 und 54 entstehen, die jeweils über zentrische Bohrungen 57, 58 mit den entsprechenden
inneren Druckkammern 55,56 verbunden sind.
Sämtliche Kammern sind mit einer inkompressible!! Flüssigkeit gefüllt zur hydraulischen Übertragung der
auf die Trennmembranen 51 und 52 von außen wirkenden Drücke PX und P 2 auf die Meßmembran 67.
Die unter den Drücken Pt bzw. P2 stehenden Medien
stehen über die öffnungen 45 und 46 in den beiderseitig auf das Gehäuse 40 aufgesetzten Abdeckkappen 41,42
mit den entsprechenden Räumen 43 und 44 in Verbindung, deren eine Begrenzung jeweils von der
Trennmembran 51 bzw. 52 gebildet wird. Die Drücke Pi und P 2 können relativ hoch sein und beispielsweise
100 bzw. 99 bar betragen, der von der Meßmembran 67 zu verarbeitende Differenzdruck liegt im Meßbereich
von 0—1 bar. Wird infolge eines Absinkens des einen Druckes dieser Bereich überschritten, so legt sich
jeweils die dem höheren Druck, hier z. B. dem Druck Pi, ausgesetzte Trennmembran 51 an die in bekannter
Weise als Überlastbett ausgebildete Stirnwand der Gehäusehälfte 49 an und verdrängt dabei die in der
äußeren Druckkammer 53 befindliche Flüssigkeit durch die Bohrung 58 in die innere Druckkammer 55, deren
Volumen sich durch das Ausweichen der beweglichen Wand, hier der Ringmembran 71 mit der darin
befestigten Meßkamnier 48 so weit vergrößert, daß der
auf die Meßmembran 67 in der Meßkammer 48 ausgeübte Druck innerhalb der vorgegebenen Grenzen
bleibt
In Fig.2 ist eine andere Ausführungsform des
Differenzdruck-Meßumformers dargestellt bei welcher aus fertigungs- und betriebstechnischen Gründen
besonderer Wert auf absolut symmetrische Ausführung aller Teile gelegt wurde.
Identische Teile tragen die gleichen Bezugszeichen wie die in F ig. 1.
Die Meßkammer 48 besteht hier aus zwei Kammerhälften
59 und 60 aus keramischem und elektrisch isolierendem Werkstoff, sie sind zylindrisch geformt und
is in metallischen Fassungsringen 80 bzw. 81 gefaßt Zwischen diesen Fassungsringen ist die Meßmembran
67 eingespannt und verschweißt Auf den kugelkalottenförmig ausgebildeten Innenwänden der Meßkammerhälften
59 und 60 sind metallische Beläge 63 und 64 aufgebracht die zusammen mit der Meßmembran 67 ein
an sich bekanntes kapazitives Abgriffsystem bilden. Aus dem Inneren der Meßkammer 48 führen die Druckleitungen
68 und 69 nach außen. Die Tragringe 82 und 83 sind hier gleiche Gebilde, die spiegelbildlich zusammengesetzt
mit der als bewegliche Wand wirkenden Ringmembran 71 an deren inneren Rand verbunden
sind. Der äußere Rand der Ringmembran 71 ist wie in dem vorhergehenden Beispiel zwischen den Gehäusehälften
49 und 50 des Gehäuses 40 eingespannt Mit dem Tragring 82 ist der Fassungsring 80, mit dem Tragring 83
der Fassungsring 81 der Meßkammer 48 verbunden. Die Tragringe 82 und 83 weisen Hinterdrehungen auf,
derart daß zwischen den äußeren Mantelflächen der Fassungsringe 80 und 81 und den inneren Mantelflächen
der Tragringe 82 und 83 ein ringspaltförmiger Raum 84 entsteht, der über eine Bohrung 85 mit einem der
inneren Druckräume, hier mit dem Druckraum 55, in Verbindung steht Die Funktion der Überlastsicherung
entspricht der im vorhergehenden Beispiel beschriebenen. Auch hier sind die auf die Innenwände und auf die
Außenwände der Meßkammer 48 wirkenden Drücke im wesentlichen gleich, so daß auch bei hohen statischen
Drücken eine Ausdehnung der Meßkammer und damit eine Verspannung der Meßmembran 67 nicht auftritt.
Claims (4)
1. Differenzdruck-Meßumformer mit einer aus zwei Kammerhälften und einer dazwischen eingespannten
Meßmembran bestehenden Meßkammer, die zentrisch in einer beweglichen Wand in Form
einer Ringmembran angeordnet ist, die mit ihrem Rand in einem Gehäuse befestigt ist und darin zwei
innere Druckkammern voneinander trennt, mit äußeren Druckkammern, die mit Trennmembranen
nach außen abgeschlossen sind und über Bohrungen mit den inneren Druckkammern und den Meßkammerhälften
in Verbindung stehen,, mit einer inkompressiblen Füllflüssigkeit in den Kammern zur
hydraulischen Übertragung der von außen auf die Trennmembranen wirkenden Drücke auf die Meßmembran,
mit die differenzdruckabhängige Auslenkung der Meßmembran abbildenden elektrischen
Mittein und mit Mitteln zur Sicherung der Meßmembran vor Überlastung, dadurch gekennzeichnet,
daß die den Innenflächen der Trennmembran (51, 52) gegenüberliegenden Wandungen
der äußeren Druckkammern (53,54) in den Stirnflächen des Gehäuses (40) als Membranbetten
ausgebildet sind.
2. Differenzdruck-Meßumformer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am inneren Rand der
Ringmembran (71) ein mit der Meßkammer (48) verbundener Tragring (70) befestigt ist.
3. Differenzdruck-Meßumformer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßkammerhälften
(59, 60) der Meßkammer (48) spiegelbildlich gleich aus einem elektrisch isolierenden,
keramischen Werkstoff hergestellt sind und in je einem metallischen Fassungsring (80, 81) gefaßt
sind, der auch zur Befestigung des Außenrands der Meßmembran (67) dient.
4. Differenzdruck-Meßumformer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwei spiegelbildlich
gleiche Tragringe (82,83) vorgesehen sind, zwischen denen der innere Rand der Ringmembran (71)
befestigt ist, und daß mit den Innenrändern der Tragringe (82, 83) die Fassungsringe (fW, 81) der
Meßkammerhälften (59,60) verbunden sind und daß die Tragringe (82, 83) und/oder die Fassungsringe
(80, 81) derart hinterdreht sind, daß zwischen den zusammengesetzten Tragringen (82, 83) und der
Mantelfläche der Meßkammer (48) ein riingspaltförmiger
Raum (84) gebildet ist, der über eine Bohrung (85) mit einer der inneren Druckkammern (55,56) in
Verbindung steht.
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE (1) | DE2631025B2 (de) |
FR (1) | FR2319121A1 (de) |
GB (1) | GB1548589A (de) |
IT (1) | IT1067175B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3236720A1 (de) * | 1982-10-04 | 1984-04-05 | Schoppe & Faeser Gmbh, 4950 Minden | Messkapsel fuer einen differenzdruck-messumformer |
DE3341987A1 (de) * | 1983-11-21 | 1985-05-30 | Samson Ag, 6000 Frankfurt | Ueberdrucksicherung fuer eine differenzdruckmesszelle |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2657933C3 (de) * | 1976-12-21 | 1984-01-05 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Differenzdruck-Meßumformer mit Überlastschutz |
DE2659376C2 (de) * | 1976-12-29 | 1982-10-21 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Differenzdruck-Meßzelle |
JPS5815049B2 (ja) * | 1977-12-20 | 1983-03-23 | 富士電機株式会社 | 差圧測定装置 |
DE3213320A1 (de) * | 1982-04-06 | 1983-10-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Druck- oder druckdifferenz-messumformer |
JPS58180927A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | Toshiba Corp | 半導体感圧素子の保護装置 |
CH655521B (de) * | 1982-04-16 | 1986-04-30 | ||
FR2555743B1 (fr) * | 1983-11-25 | 1986-04-11 | Sereg Soc | Capteur inductif de pression differentielle |
CH662824A5 (de) * | 1984-02-14 | 1987-10-30 | Graf & Co Ag | Kardiersegment. |
ATE67591T1 (de) * | 1985-12-09 | 1991-10-15 | Toyota Motor Co Ltd | Messeinrichtung zum messen einer brennstoffeinspritzmenge. |
JPS6399254U (de) * | 1986-12-19 | 1988-06-27 | ||
DE102004039169A1 (de) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Kaden, Günther | Überlastfestes Differenzdruckmessgerät |
DE102010043043A1 (de) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmesswandler |
JP6058986B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-01-11 | アズビル株式会社 | 差圧センサ |
DE102014104831A1 (de) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdrucksensor |
CN117705335B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-05-14 | 中国科学技术大学 | 一种电感式可重构多维力传感器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2999386A (en) * | 1956-11-02 | 1961-09-12 | Trans Sonics Inc | High precision diaphragm type instruments |
US3618390A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-09 | Rosemount Eng Co Ltd | Differential pressure transducer |
US3800413A (en) * | 1969-10-27 | 1974-04-02 | Rosemount Inc | Differential pressure transducer |
JPS573897B2 (de) * | 1974-04-22 | 1982-01-23 |
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1975
- 1975-07-24 JP JP9052375A patent/JPS5214470A/ja active Granted
-
1976
- 1976-07-09 DE DE19762631025 patent/DE2631025B2/de not_active Ceased
- 1976-07-20 IT IT2547976A patent/IT1067175B/it active
- 1976-07-23 BR BR7604814A patent/BR7604814A/pt unknown
- 1976-07-23 FR FR7622604A patent/FR2319121A1/fr active Granted
- 1976-07-23 AT AT0542976A patent/AT371601B/de not_active IP Right Cessation
- 1976-07-23 GB GB3091476A patent/GB1548589A/en not_active Expired
- 1976-07-23 BE BE169188A patent/BE844464A/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3236720A1 (de) * | 1982-10-04 | 1984-04-05 | Schoppe & Faeser Gmbh, 4950 Minden | Messkapsel fuer einen differenzdruck-messumformer |
DE3341987A1 (de) * | 1983-11-21 | 1985-05-30 | Samson Ag, 6000 Frankfurt | Ueberdrucksicherung fuer eine differenzdruckmesszelle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATA542976A (de) | 1982-11-15 |
IT1067175B (it) | 1985-03-12 |
GB1548589A (en) | 1979-07-18 |
FR2319121A1 (fr) | 1977-02-18 |
AT371601B (de) | 1983-07-11 |
JPS5619577B2 (de) | 1981-05-08 |
JPS5214470A (en) | 1977-02-03 |
DE2631025A1 (de) | 1977-02-10 |
FR2319121B1 (de) | 1982-10-01 |
BR7604814A (pt) | 1977-08-02 |
BE844464A (fr) | 1977-01-24 |
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DE2931215A1 (de) | Durchflussmessgeraet |
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