DE2456845A1

DE2456845A1 - Frontplatte fuer farbaufnahmeroehre

Info

Publication number: DE2456845A1
Application number: DE19742456845
Authority: DE
Inventors: Haruo Matumaru; Toshio Nakano; Akira Sasano; Ken Tsutsui
Original assignee: HITACHI ELECTRONICS; Hitachi Ltd
Current assignee: HITACHI ELECTRONICS; Hitachi Ltd
Priority date: 1973-12-03
Filing date: 1974-12-02
Publication date: 1975-09-04
Also published as: US4107568A; NL7415533A; GB1462448A; NL163667C

Description

Patentanwälte ⁸ München 22, steinsdorfstr.

- 1 , _ra DceT7c_Qn Tel. (089)227201/227244/295910

Dipl.-Ing. R. B E E T Z sen.

Dipl.-Ing. K. LAMPRECHT Telegr. Allpatent München

Dr.-Ing. R. B E E T Z jr. Telex 522O48

8I-23.482PC23.483H) . 2. 12. 197¹» ·

HITACHI, LTD., Tokio (Japan)

und HITACHI ELECTRONICS, LTD., Tokio (Japan)

Frontplatte für Farbaufnahmeröhre

Die Erfindung bezieht sich auf eine Frontplatte einer Farbaufnahmeröhre zur Verwendung in einer Farbfernsehkamera, die mit einer oder zwei Farbaufnahmeröhren ausgerüstet ist. Üblicherweise bezeichnet man die Fernsehkameras dieser Art als Einröhrenfarbkameras bzw. Zweiröhrenfarbkameras. Die in diesen Kameras' verwendete Farbaufnahme-

81-(A 495-03)-T-r (9)

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röhre nennt man Farbauf nahm er öhre für Farbfernsehen, und im folgenden wird sie einfach als Farbaufnahmeröhre bezeichnet.

Es sind verschiedene Arten von Farbaufnahmeröhren bekannt, wofür typische Beispiele die Farbaufnahmeröhren des Frequenzteilung smehrfachtyps, des Phasenteilungstyps und des Vielelektrodentyps sind. Die Erfindung bezieht sich u. a. auf die Farbaufnahmeröhre des Mehrelektrodentyps.

Fig. 1 zeigt eine Schnittansicht zur Erläuterung des Aufbaues- eines bekannten Dreifarbenvidikons, das eine der am meisten verbreiteten Farbaufnahmeröhren des Mehrelektrodentyps ist. Gemäß Fig. 1 wird auf eine Glasplattenunterlage 7 einfallendes Licht durch eine transparente, dünne Isolierplatte 1, Streifenfilter 2 und Streifenelektroden 3 zu einer photoleitenden Schicht oder einem photoleitenden Film 4 durchgelassen. Die photoleitende Schicht 4 wird von der Hinterseite durch eine Elektronenschleuder 5 abgetastet, wodurch das fallende optische oder Lichtbild in drei Primärfarben, nämlich Rot (R), Grün (G) und Blau (B) geteilt und aus dem Vidikon in Form der entsprechenden Farbsignale durch Ausgangsanschlüsse 8 abgenommen wird. Außerdem erkennt man ein Glasgehäuse 6.

Fig. 2 ist eine Teilaufsicht zur Darstellung des Aufbaus der Frontplatte für das in Fig. 1 dargestellte Dreifarbenvidikon. Die Streifenfilter 2 sind in abwechselnder Reihenfolge für die Farben R, G, B, R usw. angeordnet. Jeder Streifenfilter 2 trägt eine darauf ausgebildete strei-

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fenartige transparente Elektrode 3. Die der vom einfallenden licht erhaltenen Farbinformation entsprechenden Signale werden unabhängig voneinander von den transparenten Elektroden 3 mittels der Stromschienen 9 und der damit verbundenen Ausgangsanschlüsse 8 abgeleitet.

Obwohl die Farbaufnahmeröhre des Vielelektrodentyps historisch die älteste unter den Aufnahmeröhren ist, findet sie auch gegenwärtig wegen ihres komplizierten Aufbaus noch keine praktische Verwendung, obwohl sie im Prinzip im Gegensatz zu anderen Typen der Farbaufnahmeröhren, die gegenwärtig eingesetzt werden, einfach ist. Mit anderen Worten läßt sich aufgrund der Tatsache, daß die Frontplatten der bisher bekannten Vielelektrodentyp-Farbaufnahmeröhren einschließlich der typischsten Dreifarbenröhre oder des Dreifarbenvidikons während aller Herstellschritte durch Maskenaufdampfverfahren gefertigt wurden, die gewünschte angemessene Genauigkeit nicht erreichen, was seinerseits zur Senkung der Mengenausbeute führt.

Die Frontplatten für die Farbaufnahmeröhren dieses komplizierten Aufbaus führten daher zu erheblichen Schwierigkeiten bei ihrer Herstellung .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Frontplatte neuen Aufbaus für Farbaufnahmeröhren anzugeben, die sich leicht herstellen läßt und gleiche Funktionen wie jene des bisher bekannten Vielelektrodentyps der Farbaufnahmeröhren, wie z. B. der Dreifarbenröhren- oder -vidikonart erfüllen kann. Insbesondere soll sich die Frontplatte für Farbaufnahmeröhren gemäß der Erfindung während sämtlicher Verfah-

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rensschritte nach einem Photoätzverfahren herstellen lassen, ohne daß ein mit Masken arbeitendes Vakuumaufdampfverfahren benötigt wird.

Der Grundgedanke der Erfindung beruht darauf, einen Schutzfilm oder eine Schutzschicht zwischen den Streifenfiltern und der Isolierschicht und den transparenten Elektroden anzuordnen, um die Streifenfilter von jedem Einfluß einer Ätzlösung nach Bilden der Isolierschicht zu schützen, wodurch dann die Herstellung der Frontplatten für die Aufnahmeröhren nach einem Photoätzverfahren ermöglicht wird.

Gegenstand der Erfindung ist daher eine Frontplatte für eine Farbaufnahmeröhre mit einer transparenten Unterlage, auf dieser Unterlage gebildeten, zyklisch und zueinander parallel angeordneten, streifenartigen Farbfiltern, über den Farbfiltern abgeschiedenen, streifenartigen» transparenten Elektroden und mit diesen Elektroden einzeln unter Isolation gegenüber den übrigen Elektroden durch eine Zwischenisolierschicht elektrisch verbundenen Anschlußelektroden, mit dein Kennzeichen, daß eine transparente Schutzschicht unter Bedeckung der streifenartigen Farbfilter und der dazwischen freiliegenden Teile der transparenten Unterlage ausgebildet ist und die streifenartigen, transparenten Elektroden auf der transparenten Schutzschicht abgeschieden sind.

Weiterbildende Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung gibt also eine Frontplatte für eine Farbaufnahmeröhre an, die eine transparente Unterlage, streifenartige Farbfilter, die auf der transparenten Unterlage ausgebildet sind, eine so abge-

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schiedene Schutzschicht, daß sie die Streifenfarbfilter und die frei bleibenden Teile der transparenten Unterlage bedeckt, auf bestimmten Teilen dieser Schutzschicht ausgebildete, streifenartige, transparente Elektroden, eine photoleitende Schicht, Stromschienenelektroden und eine Isolierschicht aufweist. Die Isolierschicht und die Schutzschicht werden aus verschiedenen Werkstoffen gebildet, die verschiedene Beständigkeiten gegenüber einer Ätzlösung aufweisen, wodurch die streifenartigen Filter vor dem ungünstigen Einfluß der zur Bildung der Isolierschicht nach einem Photoätzverfahren verwendeten Ätzlösung geschützt werden.

Die Erfindung wird anhand der zwei in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigen:

Fig. 1 wie schon erwähnt, eine Schnittansicht zur Veranschaulichung des Hauptteils einer bisher bekannten Farbaufnahmeröhre,

Fig. 2 wie schon erwähnt, eine Aufsicht zur Veranschaulichung der Anordnung der Stromschienenelektroden, der streifenartigen, transparenten Elektroden und der Streifenfarbfilter einer bekannten Mehrelektroden-Farbaufnahmeröhre eines Aufbaus wie in Fig. 1,

Fig. 3 eine Schnittansicht zur Darstellung des Aufbaus einer bekannten Frontplatte für die Farbaufnahmeröhre, und

Fig. 4 und 5 Schnittansichten von Frontplatfen für eine Farbaufnahmeröhre gemäß zweier Ausführungsarten der Erfindung.

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Wie weiter oben beschrieben, umfaßt die Frontplatte für die Farbaufnahmeröhre des- Vielelektrodentyps streifenartige Farbfilter zur räumlichen Zerlegung eines fallenden optischen Bildes in Farben, entsprechend den und" dicht an den Streifenfiltern angeordnete streifenartige·, transparente Elektroden, mit den transparenten Streifenelektroden verbundene Stromleiter, die als Farbsignalelektroden für die Farben R, G und B dienen, außerhalb einer wirksamen Bildebenenfläche vorgesehene Viellagenverdrahtungen und eine photoleitende Schicht oder einen photoleiteriden Film, die bzw. der auf den Streifenfiltern und den transparenten Elektroden in der der wirksamen Bildebene entsprechenden Fläche abgeschieden ist."

Fig. 3 zeigt den Aufbau einer bekannten Frontplatte für eine bisher bekannte Farbaufnahmeröhre des Vielelektrodentyps in einem Querschnitt, der längs der zu den Streifenfiltern und den transparenten Elektrodenstreifen parallelen Richtung gelegt ist. Die schon erwähnte dünne Isolierplatte i ist hier ausgelassen, da eine ausreichende Isolation durch die Glasplattenunterlage 7 gesichert werden kann, die im folgenden als transparente Unterlage bezeichnet wird. Als Streifenfilter werden üblicherweise, Interferenzfilter mit entsprechenden dünnen Filmen, wie z. B. aus TiO₀, die darauf abgeschieden sind, verwendet. Die Streifenfilter, für die Farben R, G und B absorbieren oder lassen die zugehörige der drei Primärfarben durch und sind zyklisch parallel zueinander angeordnet.

Die in Fig. 3 dargestellte Frontplatte wird gewöhnlich in folgender Weise hergestellt: Zunächst wird die transparente Unterlage 7 mit den Streifenfarbfiltern 2 beschichtet, und außerdem werden die streifenarti-

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gen, transparenten Elektroden 3 ausgebildet. Anschließend wird die Isolierschicht 11 auf dem untereinander verbundenen Vielschichtkreis oder Verdrahtungsteil abgeschieden, und die den Farben R, G und B entsprechenden Stromschienenelektroden 9 werden gebildet. Schließlich wird die photoleitende Schicht 4 zur Vervollständigung der Frontplatte abgeschieden, die dann im Gehäuse der Farbaufnahmeröhre angeordnet wird.

Vom Standpunkt der Massenproduktion ist es wünschenswert, daß all die Schritte der Bildung, der verschiedenen vorstehend erwähnten Bestandteile oder Teile der Frontplatte aus den schon erwähnten Gründen nach einem Photoätzverfahren ausgeführt werden. Z. B. sollte die Anordnung der streifenartigen, transparenten Elektroden vorzugsweise nach einem Muster ätzverfahr en unter Verwendung einer chemischen Ätzlösung aus einer transparenten Zusammensetzung gebildet werden, die Zinnoxid (SnO.) als Hauptbestandteil enthält.

Jedoch ergibt sich bei der Herstellung der Frontplatte mit dem Aufbau nach Fig. 3 mittels des Photoätzens eine ernstliche Schwierigkeit. Und zwar werden die streifenartigen" Filter 2 durch die Flußsäure (HF) als Hauptbestand enthaltende Ätzlösung, die üblicherweise zur Bildung der Isolierschicht 11 verwendet wird, korrodiert, so daß der obige Aufbau der Frontplatte tatsächlich nicht einwandfrei herstellbar ist.

Erfindungsgemäß wird nun diese erwähnte Schwierigkeit überwunden, und es wird eine neue Targetfrontplatte für die Vielelektrodentyp-Farbaufnahmeröhre mit einem zur Herstellung unter Anwendung '

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BAD ORIGINAL

von Photoätztechniken in Massenproduktion geeigneten Aufbau zur Verfügung gestellt.

Fig. 4 zeigt eine beispielsweise Ausführungsart der Targetfrontplatte gemäß der Erfindung im Schnitt. Der in Fig. 4 dargestellte Aufbau unterscheidet sich von dem nach Fig. 3 dadurch, daß eine Schutzschicht oder ein Schutzfilm 14 aus einem isolierenden Werkstoff zwischen den Streifenfiltern 2 und den streifenartigen, transparenten Elektroden 3 eingefügt ist, um die Streifenfilter 2 abzudecken.

Werkstoffe für die transparente Unterlage 7, die Schutzschicht 14, die streifenartigen, transparenten Elektroden 3 und die Isolierschicht sind unter Berücksichtigung der Umstände auszuwählen, daß mögliche Verformungen oder Verspannungen zu vermeiden sind, eine gewisse mechanische Festigkeit erzielt werden soll oder andere Faktoren zu beachten sind. Insbesondere sind die Schutzschicht 14 und die Isolierschicht 11 beide aus Werkstoffen mit möglichst dem gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient herzustellen, der außerdem demjenigen der transparenten Unterlage 7 möglichst gleichen soll, um erwünschte Ergebnisse zu erreichen. Wenn der Aufbau der Targetfrontplatte gernäß der Erfindung unter Verwendung einer Zusammensetzung aus zum größten Teil SiO , BO, Al O und BaO als Werkstoff für die Isolierschicht 11 und die Schutzschicht 14, die zweckmäßig von dünner Filmform sein soll, hergestellt wird, findet man, daß die Schutzschicht 14 eine Korrosion erleidet, wenn die Isolierschicht 11 photogeätzt wird, wodurch die transparenten Streifenelektroden, die auf der Schutzschicht 14 ausgebildet sind, beeinträchtigt werden.

Unter Berücksichtigung dieser Tatsache ist es erforderlich, für

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die betroffenen Schichten solche Werkstoffe zu verwenden, die einerseits die gleichen physikalischen Eigenschaften wie z. B. mechanische Festigkeit, Wärmeausdehnungskoeffizient od. dgl. aufweisen, andererseits aber erheblich unterschiedliche Beständigkeiten gegenüber der beim Photoätzverfahren verwendeten Ätzlosung zeigen....

Nach zahlreichen Versuchen unter Verwendung von Werkstoffen des Glassystems mit zum größten Teil SiO₀, BO und Na 0 einerseits und Werkstoffen des Glassystems mit SiO , BO, -^o^o ^unc^ BaO als Hauptbestandteilen andererseits, welche Werkstoffe merklich

J?

voneinander verschiedene chemische Eigenschaften aufweisen, wurde gefunden, daß einige Arten von Glas mit den gleichen physikalischen Eigenschaften wie z. B. insbesondere gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten, jedoch stark unterschiedlichen Beständigkeiten gegenüber der bei der Photoätzbehandlung verwendeten Ätzlösung erhältlich sind, indem man in geeigneter Weise die Zusammensetzungsverhältnisse der beiden genannten Glaswerkstoffe auswählt.

Unter den verfügbaren Glaswerkstoffen sollen die Werkstoffe mit der größten Beständigkeit gegenüber der Ätzlösung für die Schutzschicht verwendet werden. In dieser Hinsicht ist die Glaszusammensetzung, die hauptsächlich aus SiO„, BO und Na O besteht, weit besser als die Glaszusammensetzung mit SiO , B'O_Q, Al O und BaO hinsichtlich der Beständigkeit gegenüber der Ätzlösung und daher gut zur Verwendung als Schutzschicht "geeignet.

Außerdem tritt, da diese Glaswerkstoffe einen dem eines Dünnfilms aus SnO₀ gleichen Wärmeausdehnungskoeffizient haben können,

C*

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praktisch keine Delaminierurig von Dünnfilmen bei Abscheidung von SnO₀ mittels Hochtemperaturbehandlung auf.

Entsprechend den vorstehenden Ausführungen soll die gemäß der Lehre nach der Erfindung verwendete Schutzschicht eine geeignete Beständigkeit gegenüber der Ätzlösung aufweisen, wenn die Isolierschicht und die Stromschienenelektroden in gewünschten Konfigurationen oder Mustern ausgebildet werden.

Was die Filter betrifft, so wird bei den meisten Farbaufnahmeröhren ein Vielschichtinterferenzfilter für die Streifenfilter verwendet. Wie gut bekannt ist, sind die Interferenzfilter für die zugehörigen Farben R, G und B in ihrer Dicke unterschiedlich. Dementsprechend entstehen, wenn.die aus den Interferenzfiltern bestehenden Streifenfilter mit der Schutzschicht abgedeckt werden, beträchtlich konvexe oder konkave Teile an der Oberfläche der Schutzschicht, wodurch es praktisch unmöglich wird, den photoleitenden Film geeignet darauf abzuscheiden. Aus diesem Grund wird bei der praktischen Herstellung der Frontplatte für die Farbaufnahmeröhre die Schutzschicht vorher mechanisch poliert, um sie einzuebnen, und erst danach werden der photoleitende Film und die Isolierschicht abgeschieden. Jedoch wird offenbar eine Schutzschicht von wenigstens einigen 10 um Dicke zum mechanischen Polieren benötigt, und daher ist es dann wesentlich, nicht nur die chemischen Eigenschaften der Schutzschicht, sondern auch ihr optisches Verhalten bzw. ihren Lichtdurchlässigkeitsfaktor in Betracht zu ziehen.

In Fig. 5, die eine weitere beispielsweise Ausführungsart der Er-

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findung zeigt, bei der ein Werkstoff mit einem ziemlich geringen Lichtdurchlässigkeitsfaktor für die Schutzschicht verwendet wird, ist erkennbar, daß der auf der transparenten Unterlage abgeschiedene Streifenfilter 2 zunächst mit einer Glättungsschicht 14' bedeckt ist und man die Schutzschicht 14 hierauf abgeschieden hat. Da die Glättungsschicht 14' relativ dick gemacht ist, muß entsprechend dem obigen Hinweis der Lichtdurchlässigkeitsfaktor dieser Schicht einen verhältnismäßig hohen Wert haben. Aus Einfachheitsgründen kann die Schicht 14' aus dem gleichen Werkstoff wie dem der Glasunterlage 7 hergestellt werden. Da die Oberfläche der Glättungsschicht geebnet ist, braucht man die dann folgende Schutzschicht 14 nicht dick auszubilden. In der Praxis läßt sich die Schutzschicht 14 nun sehr dünn machen, da es nur erforderlich ist, daß die Streifenfilter 2 und die Glättungsschicht 14' geschützt sind, wenn die Isolierschicht 11 oder dgl. der Ätzbehandlung unterworfen werden. In dieser Weise läßt sich eine Verminderung der Intensität des durch die Schutzschicht 14 hindurchgehenden einfallenden Lichts auf ein Minimum unterdrücken, auch wenn der Werkstoff für die Schutzschicht 14 einen relativ niedrigen Lichtdurchlässigkeitsfaktor aufweist.

Wie bereits erwähnt wurde, spielen die Wärmeausdehnungskoeffizienten der für den Frontplattenaufbau verwendeten Glaswerkstoffe eine sehr erhebliche Rolle zur Erzielung der gewünschten Ergebnisse. Hierzu ist zu bemerken, daß nicht alle Bestandteile des Glaswerkstoffs notwendigerweise einen Einfluß auf den Wärmeausdehnungskoeffizienten ausüben, sondern nur die Anteile gewisser Bestandteile den Wärmeausdehnungskoeffizeint besonders beeinflussen.

Z.B. ergibt im Fall eines Glaswerkstoffs des SiO -B O -Na O-

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Systems eine Änderung im Verhältnis von B_O zu SiO nur eine geringe Änderung des Wärmeausdehnungskoeffizienten. Wenn jedoch die anteilige Menge von Na O merklich variiert wird, ändert sich der Wärmeausdehnungskoeffizient proportional dazu wesentlich.

Im Fall eines Glaswerkstoffes des SiO₀-Al 0 -BO -BaO-Systems

£ fit O £ä O

bleibt der Wärmeausdehnungskoeffizient durch Änderung im Verhältnis von (Al O +B O) zu SiO im wesentlichen unbeeinflußt, währender sich proportional zur Änderung der anteiligen Menge von BaO ändert.

Es ist so möglich, die Wärmeausdehnungskoeffizienten beider Glaswerkstoffe sehr stark aneinander anzunähern, indem man die Anteile von Na„O bzw. BaO in diesen Glaswerkstoffen geeignet auswählt.

Beispiel 1

Bei dem in Fig. 4 dargestellten Aufbau wurden die transparente Unterlage 7 und die Schutzschicht 14 aus dem gleichen Glaswerkstoff mit gewichtsmäßig 70 % SiO , 18 % BO und 12 % NaO hergestellt.

dt dt ό Ct

Der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient dieser Glaszusammensetzung

-6

war 4,7 χ 10 /⁰C, so daß er angenähert mit dem linearen Wärmeausdehnungskoeffizient von 4,0 χ 10 /⁰C des SnO -Dünnfilms übereinstimmte, der zur Bildung der transparenten Elektroden 3 diente.

Für die Isolierschicht 11 wurde eine Glaszusammensetzung verwendet, die sich chemisch von der ersterwähnten Glaszusammensetzung, ganz erheblich unterscheidet und gewichtsmäßig 50 % SiO , 13 % Al O₃, 17 % B₂O₃ und 20 % BaO enthielt. Der lineare Wärmeausdeh-

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nungskoeffizient dieser Glaszusammensetzung war 4,5 χ 10 /C und damit angenähert gleich denen der schon erwähnten Schutzschicht und der SnO -Schicht.

Der Glaswerkstoff zur Verwendung als Isolierschicht oder -film soll leicht photoätzbar sein. Die oben genannte Glas zusammensetzung erfüllt diese Forderung gut und läßt sich leicht zur gewünschten Konfiguration mit hoher Genauigkeit unter Verwendung einer Ätzlösung photoätzen, die z. B. Flußsäure und Salpetersäure als ihre Hauptbestandteile enthält. .

Andererseits ist die Glaszusammensetzung für die transparente Unterlage 7 und die Schutzschicht 14 in Gegenwart der Flußsäure und Salpetersäure enthaltenden Ätzlösung stabil und wird nur sehr wenig angegriffen. Durch geeignetes Auswählen der Zusammensetzung der Ätzlösung kann man leicht eine Auswahl von Lösungen herstellen, die Ätzangriffsverhältnisse im Bereich der Faktoren 10 bis 100 aufweisen. Demgemäß läßt sich die Isolierschicht der erwähnten Zusammensetzung in der gewünschten Konfiguration nach dem Photoätzverfahren ohne Beschädigung der Schutzschicht 14 und somit der transparenten Streifenelektroden 3 ausbilden, womit sich der Aufbau der in Fig. 4 dargestellten Targetfrontplatte ohne Schwierigkeit verwirklichen läßt.

Es soll nun ein Verfahren zum Herstellen der Frontplatte gemäß der Erfindung im einzelnen beschrieben werden.

Zunächst wurden die aus dem Vielschichtinterferenzfiltertyp aus TiO-SiO bestehenden Streifenfarbfilter 2 auf der transparenten Unter-

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lage 7 der oben beschriebenen Zusammensetzung nach einem bekannten Verfahren ausgebildet, und anschließend wurde ein Glasfilm der gleichen Zusammensetzung wie der der Unterlage darauf in einer Dikke von 5-10 um durch Aufstäuben oder nach einem ähnlichen Verfahren zur Erzeugung der Schutzschicht 14 aufgebracht. Nach dem Einebnen oder Glätten der freien Oberfläche der Schutzschicht 14 durch optisches Polieren wurde der transparente Elektroden werkstoff, der SnO als Hauptbestandteil enthielt, auf der Schutzschicht 14 nach einem bekannten Hochtemperaturverfahren abgeschieden und danach der Photoätzbehandlung unterworfen, um ein gewünschtes Muster der streifenartigeii transparenten Elektroden 3 zu schaffen. Anschließend wurde die zuerst erwähnte Glaszusammensetzung mit BaO-Gehalt, die von der Zusammensetzung der Schutzschicht 14 verschieden ist, nach einem Hochfrequenzaufstäubungsverfahren abgeschieden und nach dem Photoätzverfahren unter Verwendung einer 1 Teil Flußsäure, 4 Teile Salpetersäure und 30 Teile Wasser enthaltende Ätzlösung zu der gewünschten Isolierschicht 11 ausgebildet. Schließlich wurden die Stromschienenelektroden 9 in an sich bekannter Vielschichtverdrahtungsanordnung vorgesehen, und zuletzt wurde die photoleitende Schicht 4 abgeschieden, um den Aufbau der Targetfrontplatte gemäß Fig. 4 fertigzustellen.

Wie sich aus der vorstehenden Beschreibung ergibt, läßt sich eine verbesserte Targetfrontplatte mit einer sehr gering beeinträchtigten Bildfläche nach einem gut stabilisierten und reproduzierbaren Verfahren mit hoher Ausbeute herstellen. Obwohl für die Schutzschicht in diesem Beispiel die Glaszusammensetzung aus SiO , BO und Na₀O

Ci dt O Ct

verwendet wurde, kann man dieser Glasmischung auch Al O zusetzen.

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Beispiel 2

Nach diesem Beispiel wurde der in Fig. 5 dargestellte Aufbau der Frontplatte hergestellt.

Zunächst wurde die Vielschichtinterferenzfilteranordnung nach einem bekannten Verfahren auf der transparenten Unterlage 7 zur BiI--dung der Streifenfilter 2 abgeschieden. Anschließend wurde eine gewichtsmäßig 50 % SiO₀, 13 % Al O , 17 % BO und 20 % BaO enthaltende Glaszusammensetzung in einer Dicke von etwa 7 bis 9 um nach einem Hochfrequenzaufstäubungsv erfahren abgeschieden, um dadurch die Glättuhgsschicht 14' unter Einebnung der konkaven oder konvexen unebenen Oberfläche der Filter zu erzeugen. Nach Glätten der freien Oberfläche der Schicht 14' wurde eine gewichtsmäßig 70 % SiO , 18 % B₀O und 12 % Na O enthaltende Glaszusammensetzung auf der Schicht 14' nach einem Aufstäubungsverfahren zur Bildung der Schutzschicht .14 abgeschieden. Die transparenten Elektroden 3, die Isolierschicht 11, die Stromschienenelektroden 9 und die photoleitende Schicht 4 wurden in gleicher Weise wie im vorangehenden Beispiel 1 hergestellt.

Obwohl die Isolierschicht 11 aus dem gleichen Glaswerkstoff wie die Glattungsschicht 14' hergestellt wurde, war die auf der Glättungsschicht 14' vorgesehene Schutzschicht 14, die eine merklich andere Beständigkeit gegenüber Chemikalien aufwies, von jedem durch die Photoätzbehandlung der Isolierschicht verursachten Einfluß ausgeschlossen.

Der Wärmeausdehnungskoeffizient des für die Glättungsschicht 14'

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und die Isolierschicht 11 verwendeten Glas werkstoff es war 4,7 χ 10 / C, so daß er angenähert dem Wärmeausdehnungskoeffizient des Glaswerkstoffes für die Schutzschicht 14 gleich war, welch letzterer 4,5 χ 10 /C betrug. Dank dieser Tatsache traten weder eine Delaminierung noch Risse auf, auch wenn die Glättungsschicht in verhältnismäßig größerer Dicke (z. B. etwa 10 um dick) abgeschieden wurde. Es ist bekannt, daß ein durch das Aufstäubungsverfahren gebildeter. Glasfilm in Abhängigkeit von den Typen des Glaswerkstoffes und den jeweils angewendeten Aufstäubungsbedingungen gefärbt ist. Z. B. verringerte sich der Lichtdurchlässigkeitsfaktor der Schutzschicht 14, wenn man ihre Dicke im vorliegenden Beispiel steigerte. Insbesondere wurde ein merklicher Abfall des Lichtdurchlässigkeitsfaktors im Bereich kurzer Wellenlängen in der Nähe von 400 nrn beobachtet. Deshalb ist es sehr vorteilhaft, die Schutzschicht 14 so dünn wie möglich ausbilden zu können. Hierbei ist zu erwähnen, daß kein merklicher Unterschied beim Lichtdurchlässigkeitsfaktor des für die Glättungsschicht 14' verwendeten Glaswerkstoffes festzustellen ist, wenn diese in verschiedenen Dicken, wie z.B. 1,4 um und 7,4 um, ausgebildet wird. Dies bedeutet, daß sich die Glättungsschicht 14* in angemessener Dicke ausbilden läßt.

Beispiel 3

Beim Aufbau der in Fig. 5 gezeigten Frontplatte wurde die Glättungsschicht 14' aus SiO hergestellt, und die Schutzschicht 14 wurde aus einer gewichtsmäßig aus 70 % SiO , 18 °/o B O„ und 12 % Na₀O be-

Ct £t ό Ct

stehenden Glaszusammensetzung- ausgebildet, während die Isolierschicht 11 aus SiO erzeugt wurde.

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Da die Glaswerkstoffe der obigen Zusammensetzungen sowie die streifenartigen Farbfilter hohe Dielektrizitätskonstanten aufweisen, tritt zwischen den Elektroden eine. Kapazität auf, die möglicherweise eine Mischfarbe unter Verschlechterung der Farbreinheit verursachen kann.

Jedoch läßt sich durch Verwendung von SiO mit einer äußerst niedrigen Dielektrizitätskonstante für die dicke Glättungsschicht 14' und durch dünne Ausbildung der Glasschicht 14 des SiO₀-B O„-Na O-

c\ c\ O c*

Systems die mögliche Kapazität zwischen den Elektroden sehr gering halten, und so kann man eine ausgezeichnete Frontplatte für eine Farbaufnahmeröhre ohne Farbmischungsstörungen erhalten.

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Claims

Patentansprüche

J Frontplatte für eine Farbaufnahmeröhre mit einer transparenten Unterlage, auf dieser Unterlage gebildeten, zyklisch und zueinander parallel angeordneten, streifenartigen Farbfiltern, über den Farb filtern abgeschiedenen, streifenartigen, transparenten Elektroden und mit diesen Elektroden einzeln unter Isolation gegenüber den übrigen Elektroden durch eine Zwischenisolierschicht elektrisch verbundenen Anschlußelektroden, dadurch gekennzeichnet, daß eine transparente Schutzschicht (14) unter Bedeckung der streifenartigen Farbfilter (2) und der dazwischen freiliegenden Teile der. transparenten Unterlage (7) ausgebildet ist und die streifenartigen, transparenten Elektroden (3) auf der transparenten Schutzschicht (14) abgeschieden sind.
2. Frontplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (ll) aus einem Werkstoff besteht, der durch eine Salpetersäure und Flußsäure enthaltende Ätzlösung ätzbar ist, und die Schutzschicht (14) aus einem transparenten Werkstoff besteht, der durch die Ätzwirkung dieser Ätzlösung praktisch nicht angreifbar ist. _#
3. Frontplatte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (ll) aus einer Glaszusammensetzurig gebildet ist, die SiO , BO, Al O und BaO als Hauptbestandteile enthält, während die Schutzschicht (14) aus einer Glaszusammensetzung gebildet ist, die SiO , BO und Na O als Hauptbestandteile enthält.

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4. Frontplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (ll) aus einer Glaszusammensetzung gebildet ist, die gewichtsmäßig aus 50 % SiO , 13 % AlO, 17 % BO und 20 % BaO

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besteht, während die Schutzschicht (14) aus einer Glaszusammensetzung gebildet ist, die gewichtsmäßig aus 70 % SiO , 18 % BO und

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12 % NaO besteht. . .

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5. Frontplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder streifenartige Farbfilter (2) aus einem Interferenzfilter besteht.
6. Frontplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die transparenten Elektroden (3) aus -Zinnoxid bestehen.
7. Frontplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich eine Glättungsschicht (14') zum Ausgleich der Oberflächenunebenheit zwischen der Schutzschicht (14) und den sixeifenartigen Farbfiltern (2) sowie der transparenten Unterlage (7) enthält.
8. Frontplatte nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glättungsschicht (14¹) aus einer Zusammensetzung gebildet· ist, die SiO , Al O„, BO und BaO als Hauptbestandteile enthält.
9. Frontplatte nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glättungsschicht (14¹) aus SiO besteht.

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