DE2422799B2 - Verfahren zum Entfernen von Fluorwasserstoff und Borfluorid aus einer Gasmischung - Google Patents
Verfahren zum Entfernen von Fluorwasserstoff und Borfluorid aus einer GasmischungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von Fluorwasserstoff und Borfluorid aus einer Gasmischung,
bei dem die Gasmischung in einen Gaswäscher eingeführt wird, sodann die Gasmischung in eine
Nebelauffangvorrichtung eingeleitet wird, die aus einem porösen Filter und einer oder mehreren, oberhalb der
Filteroberfläche angeordneten Düsen besteht, wobei Wasser oder eine wäßrige, alkalische Lösung in
Strömungsrichtung der zu behandelnden Gasmischung kontinuierlich oder intermittierend auf die Oberfläche
des Filters gesprüht wird.
Fluorwasserstoff wird in weitem Umfang von einer Vielzahl von Industrien verwendet oder als Nebenprodukt
erzeugt, wie beispielsweise von der anorganischen und organischen chemischen Industrie, der Metallschmelzindustrie
und der Töpfereiindustrie; weiterhin wird Bortrifluorid auf immer mehr Anwendungsgebieten
verwendet, wie beispielsweise bei der Polymerherstellungsindustrie und der petrochemischen Industrie.
Die Luftverschmutzung durch Abgase, die Fluor und/oder fluorhaltige Verbindungen enthalten, ist
jedoch für Menschen, Tiere und Pflanzen schädlich. Deswegen sollten Verfahren, bei denen diese Verbindungen
zur Anwendung gelangen, und Verfahren, die fluorhaltige Verbindungen als Nebenprodukte erzeugen,
in einem geschlossenen Kreislaufsystem durchgeführt werden, um ein unkontrolliertes Austreten oder
Entweichen der fluorhaltigen Verbindungen zu verhindern.
Da Fluorwasserstoff sehr gut wasserlöslich ist, ist es ganz allgemein bekannt, ein Abgas, das Fluorwasserstoff
enthält, mit Wasser zu waschen, um hierdurch den Fluorwasserstoff zu entfernen. So ist es beispielsweise
aus INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY (1954), Bd. 46, Nr. 9, Seiten 1769-1777 bekannt,
-, daß sich die Entfernung von Fluorwasserstoff aus einem Abgas mit einem hohen Wirkungsgrad dadurch
erreichen läßt, daß als absorbierendes Bett ein in einem feuchten Zustand befindliches Filter aus Fasern aus
thermoplastischem Vinylidenchlorid oder Vinylchlorid-Acrylnitril-Copolymerisat mit mehr als 27 μπι bzw.
10 μπι Durchmesser verwendet wird. Dieses Verfahren
wird jedoch nicht als wirksam angesehen, um Florwasserstoff aus einer Mischung von Fluorwasserstoff und
einer großen Menge eines inerten Verdünnungsgases zu entfernen.
Borfluorid besitzt genau wie Fluorwasserstoff eine hohe Wasserlöslichkeit. Es hegt daher nahe, daß
Borfluorid auch leicht vom Wasser absorbiert wird, wenn ein Abgas, das Borfluorid enthält, mit Wasser
2!) gewaschen wird. Völlig im Gegensatz zu dieser
Annahme hat sich jedoch gezeigt, daß Borfluorid nicht in wirksamer Weise von Wasser absorbiert wird. Das
heißt, daß selbst wenn ein mit einem Inertgas, wie beispielsweise Luft, verdünntes Borfluorid mit Wasser
α im Wege des Gas-Flüssigkeits-Kontaktverfahrens in
einem Gaswäscher, wie beispielsweise einer Füllkörpersäule, einer Säule mit einer Vielzahl von Lochplatten
oder einem Wirbelschichtbett gewaschen wird, dennoch der Wirkungsgrad hinsichtlich der Absorption von
in Borfluorid sehr niedrig ist. Ein Versuch zeigte, daß der
Absorptionswirkungsgrad bei einem Gaswäscher in Verbindung mit einem Wirbelschichtbett, bei dem eine
wäßrige Calciumhydroxidlösung zur Anwendung gelangte, für Fluorwasserstoff mehr als 95%, für
π Borfluorid dagegen lediglich 30% betrug.
Bei Untersuchungen der im vorstehend beschriebenen Versuch erhaltenen unterschiedlichen Wirkungsgrade
der Absorption von F.1 ;orwasserstoff und
Borfluorid wurden die folgenden vieir Tatsachen
to festgestellt:
a) Borfluorid besitzt eine Affinität zu Wasser, so daß Borfluoridhydrat leicht gebildet wird.
b) Es ist schwierig, das gebildete Borfluoridhydrat mittels eines Absorptionsmediums aufzufangen.
'' c) Wenn das Hydrat das Absorptionsmedium berührt,
wird ein Nebel gebildet.
d) Der Nebel weist die Neigung auf, zusammen mit dem Abgas aus dem Absorptionsbe.-eich zu
strömen, ohne daß er durch die Behandlungslösung
'" absorbiert wird.
Aufgabe der Erfindung ist es demgemäß, ein Verfahren zur wirksamen Entfernung einer beträchtlichen
Menge von Fluorwasserstoff, auch in Gegenwart γ-, einer großen Menge eines inerten Verdünnungsgases,
sowie von Borfluorid aus einem diese Verbindungen enthaltenden Abgas vorzusehen.
Ausgehend von einem Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 wird diese Aufgabe durch die im
M> Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.
Das Gasgemisch, welches Fluorwasserstoff und Bortrifluorid enthält, wird durch einen Gaswäscher vom
Typ einer Gas-Flüssigkeits-Kontaktvorrichtung, wie beispielsweise einer Füllkörpersäule, einer Säule mit
einer Vielzahl von Lochplatten oder einem Wirbelschichtbett geführt, um einen Teil der fluorhaltigen
Verbindungen aus dem Gas zu entfernen.
Das derart behandelte Gas wird sodann durch eine Nebelauffangeinrichtung geleitet, die ein in einem film-
oder folienartigen Zustand befindliches poröses Filter mit Poren in einer mittleren Größe von nicht mehr als
60 μΐπ sowie wenigstens eine oberhalb der Filteroberfläehe
angeordnete Düse aufweist und kontinuierlich oder intermittierend Wasser oder eine wäßrige alkalische
Lösung in der Richtung der Strömung des G&es auf die Oberfläche des Filters sprüht, so daß hierdurch eine
beträchtliche Menge der fluorhaltigen Verbindung aus dem Gas entfernt wird. Durch das erfindungsgemäße
Verfahren werden sowohl Borfluorid, das ansonsten durch Wasser nicht wirksam absorbiert werden kann,
als auch Fluorwasserstoff, der durch eine große Menge eines Inertgases verdünnt ist, äußerst wirksam fixiert
oder aufgefangen. Es werden daher erfindungsgemäß Fluorwasserstoff und Borfluorid weitgehend aus diesem
diese Bestandteile enthaltenden Abgas beseitigt
Das zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens eingesetzte Filter ist ein in einem film- oder 3s
folienähnlichen Zustand befindliches porous Material
mit Poren in einer mittleren Größe von nicht mehr als
60 μπί; bevorzugt gelangt eine mittlere Porengröße von
20—60 μπί zur Anwendung, wobei der Größenbereich
von 20—40 μπί am vorteilhaftesten ist Das poröse
Filter wird dadurch hergestellt, daß ein Pulver, welches das Rohmaterial für das Filtermedium aufweist,
druckgesintert wird. Die Größe der Poren des porösen Filters kann dadurch eingestellt werden, daß die
Teilchengröße des zu sinternden Pulvers, der Druck «1
beim Druckformen und die Sinterbedingungen gesteuert werden.
Da der zu behandelnde Nebel Borfluorid und Fluorwasserstoff ist, sollte das Rohmaterial für das
Filter korrosionsfest sein. Geeignete Materialien sind y,
unter anderem Fluor enthaltende Harze, wie beispielsweise Polytetrafluoräthylenharz; Polyolefinharze, wie
beispielsweise Polyäthylen oder Polypropylen; und Polyvinylid .nchloridharz. Hierbei wird als Material
Polyäthylen vorgezogen.
Der durch das Filter aufzufangende Borfl'ioridhydratnebel
ist eine zähe Flüssigkeit; außerdem stellt das Versprühen von Wasser oder einer alkalischen wäßrigen
Lösung eine wesentliche Forderung dar.
Wenn caher ein den Nebel enthaltendes Gas dadurch 4-,
behandelt wird, daß es durch ein in Form eines Gewebes oder Filzes vorliegendes Filter hindurchgeleitet wird,
setzen der Nebel und das Wasser oder die wäßrige Lösung einige der im Fi'.tcr vorhandenen Gasdurchlaßporen
zu, was zur Folge hat, daß der Durchlaßwider- w stand des Filters in bezug auf das Gas vergrößert wird.
Gleichzeitig bewirkt die Steigerung des Filterdurchlaßwiderstandes gegenüber Gas, daß sich die im Filter
verbleibenden nichtverstopften Poren ausdehnen und daß das Gas lediglich durch diese Poren strömt,
wodurch ein örtlicher Gasstrom erzeugt wird. Es wird daher bei der Verwendung eines Filters in Form eines
Gewebes oder Filzes nicht nur ein Druckverlust erzeugt, und zwar aufgrund der Verringerung der Anzahl der
wirksamen Poren, sondern es wird auch wegen der bo Ausdehnung der Gasdurchlaßporen der Nebelauffangwirkungsgrad
verkleinert.
Demgegenüber weist das bei der Erfindung zur Anwendung gelangende poröse Filter nicht die
obenerwähnten Nachteile auf. Es kann daher mit diesem Filter wirksam ein Nebf \ der Borfluorid und Fluorwasserstoff
enthält, aufgefangen werden.
Aus den Ergebnissen der durchgeführten Versuche hat sich gezeigt, daß der obenerwähnte Großenbereirh
hinsichtlich der mittleren Größe der Poren des Filters sinen kritischen Wert darstellt Das heißt, dieser
Größenbereich wurde auf der Basis des Druckverlustes und der Nebelauffangwirksamkeit bestimmt
Bei der praktischen Durchführung der Erfindung sollte die Oberfläche des zum Auffangen des Nebels
verwendeten porösen Filters kontinuierlich oder intermittierend mit Wasser gewaschen werden, wenn das
Gas durch das Filter hindurchgeleitet wird. Dieses Waschen ist besonders wirksam, um den Nebel, der
Borfluorid enthält, aufzufangen, da durch das Waschen ein Zusetzen der Poren, das von der Zähigkeit des
Borfluoridhydrats herrührt, verhindert wird. Die zur
Anwendung gelangende Wassermenge hängt ab vom Anteil der im Abgas enthaltenen fljorhaltigen Verbindungen,
der Menge des durchgeleiteten Abgases, der mittleren Größe der Poren und der Verteilung der
Wassertröpfchen an der Oberf iche des Filters. Selbstverständlich wird die untere Grenze der zur
Anwendung gelangenden Wassermenge dadurch bestimmt, daß der in den Poren zurückgehaltene oder
absorbierte Nebel noch in ausreichender Weise entfernt wird. Die obere Grenze der zur Anwendung gelangenden
Waschwassermenge hängt demgegenüber von wirtschaftlichen Gesichtspunkten ab.
Im speziellen beträgt die Menge des zur Anwendung gelangenden Waschwassers mehr als 0,1 Mol, vorzugsweise
1 —5 Mol, pro 1 Mol des Borfluoridhydrats, das in dem behandelten Abgas enthalten ist.
Obwohl das Abgas je nach den Umständen zusammen mit dem Flüssigkeitsnebel eine geringe
Menge von Feststoffen enthalten kann, können diese Feststoffe doch leicht aus den Poren entfernt werden,
indem anstatt Wasser andere Behandlungslösungen verwendet werden, wodurch ein Zusetzen des Filters
durch die Feststoffe verhindert wird. Es wird angenommen,
daß das Versprühen von Wasser oder einer wäßrigen alkalischen Lösung auf das Filter eher als
Ve fahrensschritt zum Waschen und daher Beseitigen des an der Oberfläche des Filters absorbierten Nebels
als dazu dient, durch direkten Kontak' mit dem Gas das
Abgas zu reinigen.
Das Wasser oder die wäßrige alkalische Lösung sollte in Richtung der Strömung des Gases auf die Oberfläche
des Filters versprüht werden.
Zu diesem Zweck läßt man sowohl das Gas als auch das Wasser oder die alkalische Lösung vom oberen Teil
der Nebelauffangeinrichtung zu deren unterem Teil strömen. Das bedeutet, daß der Gasstrom nicht im
Gegenstrom zum Flüssigkeitsstrom verläuft.
Um zur Erzielung eines auf wirtschaftlicher Basis durchführbaren Verfahrens das Wasser gleichförmig
über die Filteroberfläche verteilen zu könn ;n, ist üs von
Vorteil, das Wasser oder die Lösung aus wenigstens einer Düse bzw. aus mehreren Düsen im Zustand eines
Nebels auf die Filteroberfläche zu sprühen.
Bei der praktischen Anwendung der Erfindung kann
das bei der Nebelauffangeinrichtung zur Anwendung gelangende Absorptionsmedium Wasser oder eine
wäßrige alkalische Lösung sein, wie beispielsweise eine wäßrige Lösung eines Hydroxids oder Carbonats eines
Alkalimetalls oder Erdalkalimetalls.
Beim Betrieb der Nebelauffangeinrichtung ist deren Innentemperatur nicht von wesentlicher Bedeutung
bzw. stellt keinen kritischen Wert dar. Im allgemeinen ist es erwünscht, daß die Innentemperatiir der
Nebelauffpngeinrichtung niedrig ist, und zwar aus
Gründen, die darin liegen, daß eine fluorhaltige Verbindung, insbesondere Borfluoridhydrat, die in dem
aus dem Gaswäscher herausgeleiteten Gas enthalten ist, leichter einen vom Filter aufzufangenden Nebel bildet
und daß weiterhin eine ausgewaschene Lösung, die fluorha Itige Verbindungen bzw. Bestandteile enthält, bei
höheren Temperaturen die Nebelauffangeinrichtung korrodiert Es kann jedoch der Betrieb der Nebelauffangeinrichtung
auch bei gehobener Temperatur durchgeführt werden, indem dann eine Nebelauffangeinrichtung
zur Anwendung gelangt, die eine große Korrosionsbeständigkeit besitzt oder bei einem größeren
Überdruck gefahren wird.
Die Erfindung wird irr. folgenden anhand der Zeichnung näher erlä:;terl. Diese zeigt schematisch das
Flußdiagramm einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich, sind eine Leitung 1
zum Einleiten des zu behandelnden Abgases, eine Leitung 2 zum Einleiten von Wasser oder einer
wäßrigen alkalischen Lösung, ein Gaswäscher 3, eine Leitung: 4 zum Abziehen des derart behandelten Gases
aus den Gaswäscher 3 und zum Einleiten des Gases in eine Nebelauffangeinrichtung 5, ein poröses Filter 6,
eine Djse 7 zum Versprühen von Wasser oder einer wäßrigen alkalischen Lösung, eine Leitung 8 zum
Einleiten des Wassers oder der Lösung zur Nebelauffangeinrichtune
5. eine Leitung 9 zum Abziehen des behandelten Gases und eine Leitung 10 vorgesehen,
mittels der die Waschlösung bzw. Waschflüssigkeit aus der Nebelauffangeinrichtung 5 herausgeleitet wird.
Aus dem im Gaswäscher 3 enthaltenen Gas wird durch den Gas-Flüssigkeitskontakt ein Teil der im
Abgas enthaltenen fluorhaltigen Verbindungen beseitigt. Das derart behandelte Gas wird sodann vom
Gaswäscher 3 über die Leitung 4 zur Nebelauffangeinrichtung 5 geleitet. In dieser wird eine große Menge der
im Abgas enthaltenen fluorhaltigen Verbindungen, insbesondere Borfluoridhydrai. au*. Jem Gas entfernt,
indem das Gas durch das Filter 6 hindurchgeleitet wird. Hierbe; wird der die fluorhaltigen Verbindungen
enthaltende Nebel, der in den Poren des Filters 6 absorbiert wird, mit Wasser oder der alkalischen
Lösung ausgewaschen.
Bei der Nebelauffangeinrichtung 5 wird das Filter 6 dadurch hergestellt, daß ein poröser Filterbogen zu
einem Zylinder geformt wird. Durchmesser und Länge dieses Zylinders sowie die Anzahl der Zylinder werden
derart gewählt, daß die gewünschte Filteroberfläche erzielt wird. Weiterhir ist die Länge des Zylinders auch
durch die zu erreichende Sprühwirkung der Flüssigkeit bestimmt. Der Durchmesser des Zylinders ist durch die
Dicke und Stärke des Filterbogens bestimmt Die Gesamtanzahl der Zylinder ist auf der Basis des
Verteilungszustandes des zu behandelnden Gases sowie der Leistungsfähigkeit der zum Versprühen der
Flüssigkeit vorgesehenen Düse 7 bestimmt Der oder die Zylinder sind vertikal in der Nebelauffangeinrichtung 5
angeordnet Die Nebelauffangeinrichtung 5 ist derart ausgebildet daß das zu behandelnde Gas von der
Außenfläche des Zylinders zum Zylinderinnern durch das Filter 6 hindurchgeleitet wird, wobei das im
Nebelzustand befindliche Wasser oder die wäßrige alkalische Lösung in der gleichen Richtung, d. h. in der
PJchtung der Gasströmung, auf die Oberfläche des Filters 6 gesprüht werden. Das Waschwasser oder die
alkalische Lösung werden am Boden der Nebelauffangeinrichtung 5, und zwar außerhalb der vertikal
angeordneten Zylinder, aufgefangen bzw. gelagert. Das Filter 6 kann die Form einer quadratischen Säule oder
einer Platte aufweisen; jedoch wird eine zylindrische Form bevorzugt.
■> Es ist von Vorteil, wenn das Gas in die Nebelauffangeinrichtung
5 durch oberhalb des Filters 6 angeordnete Gaseinlässe hindurch eingeleitet wird, wobei gleichzeitig
das Wasser oder die wäßrige alkalische Lösung aus wenigstens einer oberhalb des Filters 6 angeordneten
"■ Düse 7 kontinuierlich oder intermittierend auf die
Oberfläche des Filters 6 versprüht wird.
Wenn sich einige Poren des Filters 6 zusetzen und der sich hieraus ergebende Druckverlust bemerkhar wird.
kann das Gas nicht mehr weiter durch das Filter 6
ι . hindurchströmen. Um dieses Problem zu lösen, wird
beispielsweise durch Verringerung des Innenvolumens der geschlossenen Nebelauffangeinrichtung 5 deren
Innendruck gesteigert, indem das Niveau des am Boden
der Nebelauffangeinrichtung 5 gelagerten Wassers oder
:n der Lösung angehoben wird. Auf diese Weise wird es
trotz des Druckverlustes ermöglicht, das Gas durch das Filter 6 strömen zu lassen. Im allgemeinen wird der
Innendruck der geschlossenen Nebelauffangeinrichtung 5 al;; Überdruck von weniger als 20 bar gewählt
Der Druckverlust kann auch dadurch kompensiert werden, daß der Gasauslaß des zylindrischen Filters auf
einer reduzierten, d. h. verringerten Druck gehalten wird, indem das Gas aus dem Gasauslaß der
Nebelauffangeinrichtung 5 abgesaugt wird. In diesem
in Fall kann der Innendruck der Nebelauffangeinrichtung
5 während der Zeit, in der das Gas aus der Nebelauffangeinrichtung 5 abgesaugt wird, auf einem
verringerten Druck von mehr als 266 mbar gehalten werden.
r. Wie schon erläutert, eignet sich die Erfindung
außerordentlich gut zur Behandlung eines Abgases, das Borlluorid enthält, welches mittels eines konventionellen
Gaswäschers vom Typ einer Gas-Flüssigkeitskontaktvorrichtung
nicht entfernt werden kann, weil sich
:. ein Borfluoridhydratnebel ausbildet.
Bui der Anwendung der Erfindung kann daher in
großem Ausmaß eine Luftverschmutzung verhindert werden. Es ist deswegen die Bedeutung der Erfindung
für die Industrie außerordentlich groß.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Ausführungsbeispiele näher erläutert. Bei diesen wird der
Fluoranteil auf der Basis der Literaturstelle »Analytical method für determination of fluorine compounds in
exhaust gas« (Analytisches Verfahren zur Bestimmung
ν, fluorhaltiger Verbindungen im Abgas) gem^iß der
japanischen Norm JIS K 010.5 gemessen.
Ausführungsbeispiel 1
Gemäß dem Flußdiagramm der Zeichnung wurde dem Gaswäscher 3, der eine Füllkörpersäule aufwies,
über die Leitung 1 ein mit Gas verdünntes Bortrifluoridgas und über die Leitung 2 eine wäßrige alkalische
Lösung zugeführt Durch das Gegenstromprinzip wurde das Gas im Gaswäscher 3 mit der Lösung in Kontakt
eo gebracht Das derart behandelte Gas wurde über die
Leitung 4 aus dem Gaswäscher 3 herausgeleitet und der Nebelauffangeinrichtung 5 zugeführt In dieser war ein
aus Polyäthylen gefertigtes poröses Filter 6 in zylindrischer Form angeordnet Das Filter besaß Poren
mit einer mittleren Größe von 20—30 μιτι. Die
Waschlösung wurde von der an der inneren Oberseite der Nebelauffangeinrichtung 5 befestigten Düse 7 aus
versprüht
Der Wirkungsgrad hinsichtlich des Waschens des Bortrifluorid enthaltenden Gases wurde dadurch bestimmt,
daß diejenigen Fluoranteile gemessen wurden, die in dem aus der Leitung 9 herausgeleiteten
gereinigten Abgas enthalten waren. Das Ergebnis ist aus der Tabelle 1 ersichtlich, wobei die im Gas enthaltenen
Fluoranteile als F berechnet und die Gasvolumina auf Normalbedingungen bezogen sind.
| Menge des durch den | Lineare Gas | Konzentration des im | Konzentration des im | Absorbierter |
| Filter geleiteten Gases | geschwindigkeit | Gas am Einlaß der | Gas am Auslaß der | Fluoranteil |
| Hinrichtung 5 enthaltenen | F'nrichtiing S enthaltenen | |||
| Fluoraiiteilcs | l-'luonintcilcs | |||
| (mVh) | (m/min) | (mg/m1) | (mg/m1) | (%) |
| 1,2 | 1,0 | 483 | 3.07 | 99,36 |
| 1.8 | 1,5 | 490 | 2.90 | 99,40 |
| 2,8 | 2,0 | 483 | 3.81 | 99,21 |
| 1.2 | 1,0 | 32,9 | 0.68 | 97.93 |
| 1.8 | 1.5 | 33.1 | 1.12 | 96,62 |
| 2,4 | 2,0 | 32,5 | 0,89 | 97.26 |
Ausführungsbeispiel 2
Das beim Ausführungsbeispiel 1 durchgeführte Verfahren wurde mit einem Abgas wiederholt, das
dieselbe molare Menge sowohl von Bortrifluorid als auch Fluorwasserstoff zusammen mit Verdünnungsluft
enthielt, wobei jedoch die Behandlung in der Nebelauf-Tabelle 2
fangeinrichtung 5 bei einem verringerten Druck durchgeführt wurde, indem ein nichtdargeslelltes, an die
Leitung 9 angeschlossenes Gebläse zur Anwendung gelangte, und wobei die mittlere Größe der Poren
40— 50 μπι betrug. Die Ergebnisse sind aus Tabelle 2
ersichtlich.
N .enge des durch den
Filter geleiteten Gases
Filter geleiteten Gases
Lineare Gasgeschwindigkeit
(m/min)
1.5
2,5
3,08
2,5
3,08
| Konzentration des im | Konzentration des im | Absorbierter |
| Gas am Einlaß der | Gas am Auslaß der | Fluoranteil |
| Einrichtung 5 enthaltenen | Einrichtung 5 enthaltenen | |
| Fluoranteiles | [-Ί lorantciles | |
| (mg/m') | (mg/m1) | (%) |
| 144 | 0,42 | 99,71 |
| 144 | 0.64 | 99,56 |
| 144 | 0,69 | 99.52 |
Ausführungsbeispiel 3
Es wurde die gleiche Vorrichtung wie bei Ausführungsbeispiel 1 verwendet, jedoch in solch einer Größe,
daß die Behandlung von 750 mVh Gas, das 250 mg F
pro m! der kombinierten Menge aus Borfluorid und Fluorwasserstoff als Gesamtfluoranteil enthielt, durchgeführt werden konnte. Die hier angegebenen Gasvolumina sind auf Normalbedingungen bezogen.
pro m! der kombinierten Menge aus Borfluorid und Fluorwasserstoff als Gesamtfluoranteil enthielt, durchgeführt werden konnte. Die hier angegebenen Gasvolumina sind auf Normalbedingungen bezogen.
Zum Fixieren bzw. Auffangen eines Teils der fluorhaltigen Verbindungen wurde als gasabsorbierendes
Medium eine wäßrige alkalische Lösung verwend t. In der Nebelauffangeinrichtung 5 wurden wenigstens
zwei poröse, aus Polyäthylen gefertigte und in zylindrischer Form vorliegende Filter, die Poren mit
einer mittleren Größe von 30—40 μίτι aufwiesen,
angeordnet, so daß die Filterfläche 8 m2 betrug. Die
verwendete Lösung wurde auf die Filter mit einer Geschwindigkeit von 0.5 mVh gesprüht. Der Gesamtfluoranteil,
der in dem aus der Nebelauffangeinrichtung 5 herausgeleiteten Gas enthalten war, betrug sodann
0,7 mg F- prom3.
Hierzu 1 Blatt Zeichnunccn
Claims (3)
1. Verfahren zum Entfernen von Fluorwasserstoff und Borfluorid aus einer Gasmischung, bei dem die
Gasmischung in einen Gaswäscher eingeführt wird, sodann die Gasmischung in eine Nebelauffangvorrichtung
eingeleitet wird, die aus einem porösen Filter und einer oder mehreren, oberhalb der
Filteroberfläche angeordneten Düsen besteht, wobei Wasser oder eine wäßrige alkalische Lösung in
Strömungsrichtung der zu behandelnden Gasmischung kontinuierlich oder intermittierend auf die
Oberfläche des Filters gesprüht wird, dadurch gekennzeichnet, daß man die Gasmischung
durch ein in der Nebelauffangvorrichtung angeordnetes film- oder folienartiges, poröses Filter leitet,
das durch Drucksintern von Pulvern hergestellt worden ist, die ein Rohmaterial enthalten, das
ausgewählt ist aus der Gruppe P.uorhaltiger Harze, Polyolefinharze und Polyvinylidenchloridharz, wobei
das Filter Poren einer mittleren Größe von maximal 60 μπι aufweist
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das aus dem Gaswäscher entfernte
Gas in die Nebelauffangeinrichtung oberhalb des Filters eingeleitet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Menge des auf die
Oberfläche ies Filters zu sprühenden Wassers oder
der wäßrigen alkalischen Lösung mehr als 0,1 Mol pro Mol des Fluorid'.iydrats jeträgt, das in dem aus
dem Gaswäscher entnommenen Gas enthalten ist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48051833A JPS5243467B2 (de) | 1973-05-10 | 1973-05-10 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2422799A1 DE2422799A1 (de) | 1974-11-28 |
| DE2422799B2 true DE2422799B2 (de) | 1980-01-10 |
| DE2422799C3 DE2422799C3 (de) | 1980-09-11 |
Family
ID=12897851
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| DE2422799A Granted DE2422799B2 (de) | 1973-05-10 | 1974-05-10 | Verfahren zum Entfernen von Fluorwasserstoff und Borfluorid aus einer Gasmischung |
Country Status (6)
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| JP (1) | JPS5243467B2 (de) |
| DE (1) | DE2422799B2 (de) |
| FR (1) | FR2228523B1 (de) |
| GB (1) | GB1469158A (de) |
| IT (1) | IT1014121B (de) |
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- 1974-05-09 FR FR7416037A patent/FR2228523B1/fr not_active Expired
- 1974-05-09 GB GB2046474A patent/GB1469158A/en not_active Expired
- 1974-05-10 DE DE2422799A patent/DE2422799B2/de active Granted
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| US3907522A (en) | 1975-09-23 |
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