DE2409894C3 - Vorrichtung zum genauen Positionieren eines Objektträgers in bezug auf eine Korpuskularoptik - Google Patents

Description

Di<e Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art.

Eine solche Vorrichtung kann zum Aufzeichnen einer Information auf dem Objekt verwendet werden, wobei das Objekt dann aus einer Platte besteht, die mit einer für die Teilchen empfindlichen Harzschicht überzogen ist, insbesondere zur Herstellung von Masken, die in der Halbleitertechnik verwendet werden. Eine solche Vorrichtung kann aber auch zum Lesen einer Information auf einem Träger verwendet werden, auf welchem sich diskrete Zonen befinden, die unter der Einwirkung des Teilchenbeschusses Sekundärel'.'ktronen, rückgestreute Elektronen, Röntgenstrahlen oder Lichtstrahlen aussenden können.

In allen Fällen besteht das Problem, daß für jeden Aufzeichnungs- oder l.esevorgang zunächst ein festgelegter Bezugspunkt des Objekts mit großer Genauigkeit in eine Sollposition gebracht werden muß. damit ausgehend von diesem Bezugspunkt dann eine Abta-

stung eines Bereichs des Objekts durch Programmierung mit Hilfe eines Elektronenrechners ausgeführt werden kann, der Ober Digital-Analog-Umsetzer auf das Ablenksystem des Teilchenstrahls einwirkt

Außerdem besteht das weitere Problem, daß man nach erfolgter Positionierung des Objekts erneut Stellungsfehler infolge von mechanischen Schwingungen des Objektträgers auftreten können.

Bei einer aus der DE-OS 20 56 620 bekannten Vorrichtung dieser Art erfolgt sowohl eine Grobeinstellung als auch eine Feineinstellung dadurch, daß jeweils in einem eigenen Registrierzyklus Registriermarken auf dem Objekt mittels digitaler Stellungsgeber lokalisiert werden, worauf der Rechner die Abweichungen der Ist-Position des Objekts von der Soll-Position berechnet Aufgrund der Abweichungen der für die Grobeinstellung verwendeten Registriermarken werden Schrittmotoren vom Rechner so gesteuert, daß diese Abweichungen verschwinden. Aufgrund der Abweichungen der für die Feineinstellung verwendeten Registriermarken berechnet der Rechner Kr.rrekii.rsignale, die in einer Registriermarkenversatzschaltung gespeichert werden. Die Registriermarkenversatzschaltung erzeugt aufgrund der gespeicherten Korrektursignale eine Gleichspannung, die zusammen mit einer linearisierenden Korrekturspannung, einer eine stufenweise Ablenkung bewirkenden Sägezahnspannung und der das Ablenkmuster bestimmenden programmierten Ablenkspannung an die Ablenkeinrichtungen angelegt wird. Die auf diese Weise bewirkte Stellungskorrektur bleibt bis zum nächsten Registrierzyklus unverändert; zwischenzeitliche Stellungsänderungen, wie sie beispielsweise durch mechanische Schwingungen verursacht werden können, werden nicht korrigiert. Der Abtastvorgang des Objekts muß dabei zur Lokalisierung der Registriermarken zyklisch unterbrochen werden.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der angegebenen Art, die während des gesamten Abtastvorgangs eines Objekts eine kontinuierliche genaue Stellungskorrektur ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 gelöst

Bei der Vorrichtung nach der Erfindung erfolgt sowohl die anfängliche Grob- und Feineinstellung als auch eine dauernde Stellungskorrektur aufgrund eines ständig durchgeführten Soll-Ist-Vergleichs. Eine Regelung bewirkt zunächst die Grobeinstellung mittels der Motoren in zwei Ge^chwindigkeitsstufen bis die Regelabweichung einen vorgegebenen Schwellenwert unterschreitet. Anschließend erfolgt die Feineinstellung mittels der Ablenkeinrichtungen aufgrund des sich aus dem ständigen Soll-Ist-Vergleich ergebenden Fehlersignals. Hierdurch ergibt sie eine laufende Stellungskorrektur, wenn aus irgendeinem Grund, beispielsweise infolge von mechanischen Schwingungen, wieder Abweichungen von der Sollstellung des Objektträgers auftreten.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Vorrichtung nach der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. In der Zeichnung zeigt

Fig. I eine elektronenoptische Einrichtung, der die Vorrichtung nach der Erfindung zugeordnet ist,

F i g. 2 ein Gesamtsch..· na des der einen Koordinatenrichtung zugeordneten Teils der Vorrichtung nach der Erfindung und

F i g. 3 Diagramme zur Erläuterung der Arbeitsweise der Vorricittung von F i g. 2.

Die in Fig. 1 sehr schematisch dargestellte elektronenoptische Vorrichtung enthält eine Katode 1 und eine Beschleunigungsanode 2. Die Beschleunigungsanode ist mit einem Durchgangsloch für das von der Katode ausgehende Elektronenbündel ausgestattet, und sie erteilt den Elektronen eine durch den Potentialunterschied zwischen Katode und Beschleunigungsanode

iü festgelegte Geschwindigkeit

Ein Hauptablenksystem mit zwei Ablenkplattenpaaren 31a, 3if>, 32a, 32b bekannter Bauart ist so angeordnet daß es das Elektronenbündel umschließt Die beiden zueinander senkrechten Platten 31a, 32a sind miteinander und mit Masse verbunden, während die beiden anderen Platten 31 b und 32b Spannungen empfangen, die von einem Rechner und von Digital-Analog-Umsetzern kommen, welche in F i g. 1 nicht dargestellt sind. Dies ermöglicht eir° programmierte Ablenkung des Elektronenbündels n. zwei zueinander senkrechten Richtungen X und Y. Das tlektronenbündel beschießt oin nicht dargestelltes Objekt, welches auf einem Objektträger 4 mit Hilfe einer an sich bekannten Vorrichtung sehr genau positioniert ist

Zwei Schrittmotoren 41 und 42 steuern die Verschiebung des Objektträgers in den beiden Richtungen X bzw. Y.

Mit dem Objektträger 4 sind zwei Interferometer 51 und 52 verbunden. Jedem dieser Interferometer ist ein Zähler 101 bzw. 102 zugeordnet Wenn sich der Objektträger 4 verschiebt verschieben sich die Interferenzstreifen. Eine lichtempfindliche Zelle 71 bzw. 72 sendet bei jedem Vorbeigang eines Interferenzstreifens (beispielsweise des weißen Streifens) einen Impuls aus.

j-3 Die Impulse werden durch die beiden Zähler 101, 102 gezählt Die Zahlen, die diese Zähler anzeigen, geben die Koordinaten Ybzw. Kder Position des Objektträgers 4 an.

Es besteht das Problem, zu erreichen, daß beim An'^gen bestimmter Spannungen an die Ablenkplatten genau ein bestimmter Punkt des Objekts beschossen wird, und zwar mit einer absoluten Genauigkeit unter 500 Angström. Dieser genaue Punkt ist beispielsweise der Anfang einer Spur, die durch einen Rechner programmiert ist. Zum Beschießen dieses Punktes muß dem Objektträger eine Position gegeben werden, die mit Bezug auf die Achsen X und Yhinreichend genau ist. Ein Hilfsablenksystem mit Ablenkplattenpaaren 61a, 61 b, 62a, 62Z>, die in der Laufrichtung des Elektronen-

>o bündeis vor dem Hauptablenksystem angeordnet sind, ermöglicht es, durch eine Verschiebung des Elektronenbündels den Restfehler in der Positionierung des Objektträgers 4 zu verringern und die Auswirkungen von mechanischen Schwingungen des Objektträgers 4 zu beseitigen.

Die beiden Ablenkplatten 61a und 62a sind miteinander und mit Masse verbunden. Jede der beiden anderen Ablenkplatten 61/, 626 empfängt eine Korrekturspannung von einer zugeordneten Stellungskorrekturschal-

M> tung. Die den beiden Koordinateniichtungen X und Y zugeordneten Stellungskorrekturschaltungen sind gleich. In F i g. 2 ist die der A"-Richtung zugeordnete Stellungskorrekturschaltung dargestellt. Eine gleiche Stellungskorrektursijnaltung wirkt auf die V-Richtung

,"> ein.

Zu der Stellungskorrekturschaltung von F ι g. 2 gehört der Zähler 101, welcher den Istwert ΛΊ der Koordinate ^registriert.

Der Ausgang des Zahlers 101 und der Ausgang eines Registers 122. welches den von dem Rechner 100 angegebenen Sollwert Xo der Koordinate X speichert, sind mit zwei Eingängen eines Vergleichen 103 verbunden. Dieser ermittelt die Differenz, E zwischen , detn von dem Rechner 100 vorgegebenen Sollwert Xn und dem vom Zähler 101 angezeigten Istwert Xi und liefert am Ausgang ein den Positionsfehler /^darstellendes Signal DP.

Der Ausgang des Vergleichers 103 ist mit dem m Eingang einer Decodierschaltung 104 verbunden, die an drei Ausgängen drei binäre Signale DEo, DE\ und .5 liefert.

Es werden die folgenden Definitionen verwendet:

— En ist der kleinste Wert des Positionsfehlers £ der '' durch eine mechanische Verschiebung korrigiert werden kann;

— t^\ iäi uci" giOutc rrci'i ucs rÜMÜuiiÄiciiicfü t;, ucF

durch Ablenkung des Elektronenbündels korrigiert werden kann; -'"

— esgilt|£i| > |£b|.

Die Decodierschaltung 104 ist so ausgebildet, daß sie ihren Ausgangssignalen die folgenden Werte erteilt:

DE_n = I für

DE_n - 0 fur

/J/:', - I tür U'|>|£, I

DE; - 0 fur |f|<|£·, I

.V = 1 fur EXi

.V = 0 für £<0

Zur Vereinfachung werden die Ausgänge der Decodierschaltung 104 mit den gleichen Bezugszeichen wie die von ihnen abgegebenen Signale bezeichnet.

Der Ausgang DEo und der Ausgang DE\ sind mit zwei Eingängen eines Taktgebers 105 verbunden, der Impulse mit einer veränderlichen Folgefrequenz liefert, die zwischen zwei Werten Fb und Fh liegt Fg ist die Maximalfrequenz der Impulse, bei welcher der Schrittmotor 41, der die Verschiebung des Objektträgers 4 in der X-Richtung steuert, unter Berücksichtigung seiner Belastung anlaufen kann. Fu ist dii Maximalfrequenz der Impulse, bei welcher der Motor seine Maximalgeschwindigkeit annimmt.

Der Rechner gibt einen Positionierungsbefehl ab. indem er durch einen seiner Ausgänge eine bistabile Kippschaltung 108 in den Zustand »0« versetzt. Das Ausgangssignal der Kippschaltung 108 wird an einen Eingang des Taktgebers 105 angelegt.

Wenn der Positionierungsbefehl gegeben wird, zeigt der Rechner 100 die Sollposition in das Register 122 ein. und der Vergleicher 103 gibt an seinem Ausgang ein den Stellungsfehler darstellendes Fehlersignal DP ab. Die Frequenz des Taktgebers 105 geht, wenn das binäre Signal DE-, am Anfang den Wert >:■!« hat. nach einem von den Kennlinien des Motors abhängigen Gesetz fortschreitend von Fsauf F«über.

Der Ausgang des Taktgebers 105 si mit jeweils einem Eingang von zwei UND-Schaltungen 106 und 107 verbunden. Die Ausgänge der UND-Schaltungen 106 und 107 sind mit zwei Eingängen des in Fig.2 nicht dargestellten Schrittmotors 41 verbunden, clic seine Drehung in dem einen oder anderen Richtungssinn steuern. Der Ausgang S ist mit einem zweiten Eingang der UND-Schaltung 106 direkt und mit einem /weiten Eingang der UND-Schaltung 107 über einen Inverter 109 verbunden, der an seinem Ausgang das Komplement .5 des Signals liefert. Außerdem ist der Ausgang DFm jeweils mit einem dritten Eingang jeder der beiden UND-Schaltungen 106 und 107 verbunden.

Der Ausgang DEo ist andererseits über einen Inverter 112 mit einem Eingang einer UND-Schaltung 110 verbunden, deren Ausgang mit einer bistabilen Schaltung 111 verbunden ist, die ein das Ende der mechanischen Positionierung anzeigendes Signal /Wan einen ersten Eingang des Rechners 100 und an den Setzeingang der bistabilen Kippschaltung 108 abgibt, welche somit beim Erscheinen dieses Impulses den Zustand »I« annimmt.

Der andere Eingang der UND-Schaltung HO ist in derselben Weise mit einem das Signal DEo liefernden Ausgang der der K-Richtung zugeordneten Vorrichtung verbunden.

Die UND-Schaltung 110 liefert somit ein Ausgangssignal 1, wenn die Signale DEo für beide Koordinaten X und Y den Wert »0« haben, d. h., wenn ihre Komplemente Obgleich 1 sind.

Der Ausgang DE-, der Decodierschaltung 104 ist mit einem Eingang einer ODEP.-Schaltung 113 verbunden. Der andere Eingang der ODER-Schaltung 113 ist mit dem entsprechenden Ausgang DEi in der der K-Richtung zugeordneten Vorrichtung verbunden. Der Ausgang der ODER-Schaltung 113 ist mit einem ersten Eingang einer UND-Schaltung 114 verbunden, deren zweiter Eingang mit dem Ausgang der bistabilen Schaltung 108 verbunden ist und deren Ausgang m't einem zweiten Eingang des Rechners 100 verbunden ist. Der Ausgang der bistabilen Schaltung 108 ist andererseits mit einem Eingang einer UND-Schaltung 115 verbunden, deren anderer Eingang direkt an den Ausgang für das Fehlersignal DP des Vergleichers 103 angeschlossen ist.

Der Ausgang der UND-Schaltung 115 ist mit einem Digital-Analog-Umsetzer 116 verbunden, dessen Ausgangsspannung an die der X-Richtung zugeordnete Ablenkplatte 61 b angelegt wird.

Die Arbeitsweise der Anordnung wird mit Hilfe der in Fig.3 dargestellten Diagramme erläutert. In jedem Diagramm ist die Abszisse die Zeit f. Das Diagramm a zeigt den Positionierungsfehler E in der betreffenden Koordinatenrichtung.

Das Diagramm b zeigt die Geschwindigkeit des zugeordneten Motors.

Das Diagramm c zeigt die Ablenkungen des Elektronenbündels zum Korrigieren der Auswirkungen von mechanischen Schwingungen des Objektträgers.

Das Diagramm d zeigt das das Ende der mechanischen Positionierung anzeigende Signal MP.

Das Diagramm e zeigt das die fehlerhafte Positionierung anzeigende Diagramm FP. welches geliefert wird, wenn der Objektträger infolge von mechanischen Schwingungen Stellungsfehler aufweist, die nicht mehr elektronisch korrigiert werden können.

Die Positionierung besteht nämlich aus zwei Phasen. nämlich der Phase der mechanischen Positionierung, in welcher lediglich von dem Motor Gebrauch gemacht wird, und der Phase der elektronischen Korrektur, in welcher der restliche Stellungsfehler und durch mechanische Schwingungen verursachte zufällige Ver-

Schiebungen allein durch F.inwirkung auf das F.lektronenbündel korrigiert werden.

Am Beginn der ersten Phase im Zeitpunkt I» gibt der Rechner einen .Stellungskorrekturbefehl ab. der die bistabile Kippschaltung 108 in den Zustand »0« versetzt. Die .Sollposition wird durch das Register 122 angezeigt. Der Sttiiimgsfehler wird durch den Vergleicher 103 angezeigt. Wenn die Kippschaltung 108 in dem Zustand »0« ist, ist die UND-Schaltung 114 geschlossen.

Es wird von der Annahme ausgegangen, daß der durch das Signal DP angezeigte Stellungsfehler E größer als E\ ist.

Das Signal DE\ hat den Zustand »I«. Das Signal S nimmt den Zustand an, der dem Richtungssinn der auszuführenden Verschiebung entspricht. Der Taktgeber 105 geht fortschreitend von der Frequenz Fg auf die Frequenz Fn über. Eine der UND-Schaltungen 106 und 1Ü7 ist gemäß dem Wert des Signals S geöffnet. Außerdem gilt DE₀ = 1. da f, größer als E₀ ist. Der Motor dreht folglich mit der Maximalgeschwindigkeit, was aus dem Diagramm (b) ersichtlich ist.

Zur Zeit fi wird Ekleiner als E₁, bleibt jedoch über E_n. Das Signal DEo bleibt gleich »1«, aber das Signal DE₁ geht auf »0«.

Der Taktgeber 105 liefert die Frequenz Fa, und der Motor dreht mit seiner niedrigsten Geschwindigkeit (Diagramm b).

Wenn zur Zeit t₂ der Stellungsfehler Edurch Eo geht, hält der Motor an und der Inverter 112 liefert an die UND-Schaltung UO ein Signal »1«. Wenn in der Y- Richtung das gleiche Ergebnis erreicht ist, liefert die UND-Schaltung 110 ein Signal »1«, und die bistabile Schaltung 111 liefert das das Ende der mechanischen Positionierung anzeigende Signal MP (Diagramm d), welches einerseits an den Rechner 100 und andererseits an die bistabile Kippschaltung 108 angelegt wird. Die Kippschaltung 108 nimmt den Zustand »I« an und bleibt in diesem Zustand. Dadurch wird die zweite Phase eingeleitet.

Durch das Ausgangssignal »Ic der bistabilen Kippschaltung 108 werden die UND-Schaltungen 114 und 115 geöffnet. Die UND-Schaltung 115 überträgt das den restlichen Stellungsfehler anzeigende Ausgangssignal DPdes Vergleichers 103 zum Digital-Analog-Umsetzer 116, der eine entsprechende Korrekturspannung an die Ablenkplatte 6ib anlegt. Dadurch wird der restliche Stellungsfehler korrigiert.

Wenn anschließend infolge von Vibrationen Stellungsfehler auftreten (Diagramm c), werden diese durch die über die UND-Schaltung 115 und den Digital-Analog-Umsetzer 116 an die Ablenkplatte 61 b angelegte Korrekturspannung korrigiert, soweit der Steiiungstehler Ekleiner als E₁ bleibt.

Wenn dagegen der durch Vibrationen verursachte Stellungsfehler den Wert E\ dem Absolutwert nach überschreitet, wie im Diagramm (c) in den Zeitpunkten /j und U dargestellt ist, kann er nicht mehr durch das Hilfsablenksystem elektronisch korrigiert werden. In diesem Fall gibt die Decodierschaltung 104 ein Signal DF, des Wertes »1« ab, das über die ODER-Schaltung 113 der UND-Schaltung 114 zugeführt wird. Da die UND-Schaltung 114 durch das Ausgangssignal der bistabilen Kippschaltung 108 geöffnet ist, gibt sie am Ausgang ein die fehlerhafte Positionierung anzeigendes Signal FP des Wertes »1« ab, wie im Diagramm (e) gezeigt ist. Das Signal FPzeigt dem Rechner 100 an, daß beim Beschreiben der Spur ein Fehler aufgetreten ist. der nicht mehr korrigiert werden konnte.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum genauen Positionieren eines Objektträgers in bezug auf eine Korpuskularoptik, die einen auf das Objekt gerichteten Teilchenstrahl erzeugt und Ablenkeinrichtungen für den Teilchenstrahl in zwei Koordinatenrichtungen aufweist, mit digitalen Stellungsgebern, die mit dem Objektträger verbunden sind, mit einem programmgesteuerten Rechner, der die Soll-Position des Objektträgers bestimmde digitale Ausgangssignale liefert, und mit Motoren zur Grobeinstellung des Objektträgers in den beiden Koordinatenrichtungen entsprechend den Ausgangssignalen des Rechners und sowie mit einer Decodierschaltung und einer digitalen Schaltung zur Steuerung der Ablenkeinrichtung für die Feineinstellung des Teilchenstrahls relativ zum Objektträger aufgrund der Ausgangssignale des Rechners. Ja durch gekennzeichnet, daß für jede Koordinatenrichtung ein Vergleicher (103) vorgesehen ist, der eingangsseitig mit dem Rechner (100) und mit einem der Stellungsgeber (51,71,101; 52, 72, 102) und ausgangsseitig mit der Decodierschaltung (104) und einer dieser nachgeschalteten Steuerschaltung (105, 106, 107, 109) für den zugeordneten Motor (41, 42) verbunden ist und kontinuierlich ein die Differenz zwischen den Eingangssignalen darstellendes Fehlersignal (DP) erzeugt, daß die Decodierschaltung (104) ein erstes Signal (5^ vom Wert »0« oder »1« entsprechend dem Vorzeichen des Fehlersignais (DP), ein zweites Signal (DE₁) vom Wen s0« oder »1«, wenn der Betrag des Fehlersignals (DP)u..ier oder über einen ersten Wert (Ei) liegt, und ein drittes Signal (DE₀) vom Wert »0« oder »1«, wenn der Betrag des Fehlersignals (DP) unter oder über einem zweiten kleineren Wert (Eo) als dem ersten Wert (E\) liegt, an die Steuerschaltung (105, 106, 107, 109) liefert, welche den Lauf des Motors (41,42) in der durch das erste Signal (S) bestimmten Drehrichtung mit einer großen (V\) bzw. kleinen (V₂) Verstellgeschwindigkeit steuert, wenn das zweite Signal (DEt) und das dritte Signal (DE₀) den Wert »1« haben, bzw. das zweite Signal (DEt) auf den Wert »0« geht, und den Motor stillsetzt, wenn das dritte Signal (DE₀) auf den Wert »0« geht, und daß die digitale Schaltung (108, UO, 111, 115) das Anlegen einer von dem Fehlersignal (DP) abgeleiteten Ablenkspannung an die Ablenkeinrichtungen (61a, 61b, 62a, 62b) freigibt, wenn das dritte Signal (DE₀) auf den Wert »0« geht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Decodierschaltung (104) eine weitere digitale Schaltung (113, 114) angeschlossen iüt, die dem Rechner (100) ein eine fehlerhafte Positionierung anzeigendes Signal (FP) liefert, wenn nach der Freigabe des Anlegens der Ablenkspannung das zweite Signal (DEt) wieder auf den Signalwert »!«geht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die digitale Schaltung (108,110, 111,115) eine bistabile Kippschaltung (108) aufweist, die von dem Rechner (100) beim Beginn eines Positionierungsvorgangs in den einen Zustand (»0«) versetzt wird und die in den entgegengesetzten Zustand (»I«) zurückgestellt wird, wenn cias dritte Signal (DEn) der Decodierschaltung (104) erstmals auf den Wert »0« geht und einschließend bis zum

Beginn des nächsten Positionierungsvorgangs in diesem Zustand bleibt, und daß das Ausgangssignal der bistabilen Kippschaltung (108) im entgegengesetzten Zustand (»1«) das Anlegen der vom Fehlersignal (DP) abgeleiteten Ablenkspannung an die Ablenkeinrichtungen (61 a, 61 b, 62a, 62b; freigibt.

4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgakgssignal der bistabilen Kippschaltung (108) an einen Eingang und das zweite Signal (DEt) an den anderen Eingang einer UND-Schaltung (114) der weiteren digitalen Schaltung (193,114) angelegt ist, deren Ausgangssignal das die fehlerhafte Positionierung anzeigende Signal fFPjbildet

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückstellung der bistabilen Kippschaltung (108) durch das Ausgangssignal einer UND-Schaltung (110) erfolgt, die an zwei Eingängen die den beiden Koordinatenrichtungen zugeordneten dritten Signale (DEn) jeweils über einen Inverter (112) empfängt.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Motoren (41, 42) Schrittmotoren sind, und daß die die Verstellgeschwindigkeit der Motoren (41, 42) steuernde Steuerschaltung^lO5,106,107,109) einen Taktgeber (105) enthält, der Impulse mit einer zwischen zwei vorbestimmten Werten (F₃, F_H) liegenden Folgefrequenz erzeugt, die durch das zweite und das dritte Signal (DE₁, DE₀) gesteuert wird.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Taktgebers (105) jeweils mit einem ersten Eingang von zwei UND-Schaltungen (106,107) verbunden ist, daß das erste Signal (S) an einen zweiten Eingang der einen UND-Schaltung (106) direkt und an einen zweiten Eingang der anderen UND-Schaltung (107) über einen Inverter (109) angelegt ^!tt. daß ein dritter Eingang jeder UND-Schaltung (106, 107) das dritte Signal (DEo) empfängt, und daß die Ausgänge der beiden UND-Schaltungen (106, 107) mit zwei der einen bzw. der anderen Drehrichtung zugeordneten Eingängen des betreffenden Motors (41, 42) verbunden sind.