DE2365951C3 - Ionengetterpumpe - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Ionengetterpumpe mit -einem Gehäuse, mindestens einem darin angeordneten, auf ein homogenes Magnetfeld ausgerichteten Elektrodensystem, bestehend aus einer Zellenanode und je einer den Öffnungen der Zellenanode gegenüberliegenden Kathodenplatte und mit Mitteln zur Halterung der Elektroden in relativ zueinander unterschiedlichen Lagen. Durch eine Positionsveränderung wird eine Verschiebung des Hauptzerstäubungsstellen bewirkt, was eine Verlängerung der Lebsdauer der Pumpe zur Folge hat

Eine Ionengetterpumpe dieser Art ist aus der DE-OS 14 14 565 bekannt Bei dieser Ionengetterpumpe sind an jeder Seite der Zellenanode vier mittels Isolatoren gehalterte Stifte vorgesehen, die in entsprechende Bohrungen in der Kathodenplatte eingreifen. Diese Bohrungen sind als deckungsgleiche Lochgruppen mit je vier Löchern mit einem Abstand von ungefähr dem halben Anodenzellendurchmesser gebildet Der wesentliche Nachteil dieser vorbekannten Ionengetterpumpe besteht darin, daß ein aufwendiger Aus- und Wiedereinbau des Elektrodensystems erforderlich ist, um die Lage der Kathoden in Bezug auf die Anode zu verändern. Besonders aufwendig sind diese Aus- und Wiedereinbauarbeiten, wenn die Ionengetterpumpe eine Vielzahl von Pumptaschen mit je einem Elektrodensystem aufweist Bei dem in der DE-OS 14 14 565 beschriebenen Ausführungsbeispiel sind z. B. etwa 40 Elektrodensysteme vorgesehen. Weiterhin behindern die seitlich der Anode angeordneten Isolatoren mindestens in vier Zellen das Entstehen einer Glimmentladung, so daß die Pumpwirkung dadurch herabgesetzt wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ionengetterpumpe der oben beschriebenen Art und ohne bewegliche Teile (vergleiche DE-AS 11 07 368) zu schaffen, bei der sehr schnell und in einfacher Weise die gewünschte Verschiebung der Kathoden in Bezug auf die Anode (oder umgekehrt) und damit die gewünschte Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen möglich ist

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Zellenanode derart asymmetrisch ausgebildet ist bzw. die Kathodenplatten derart asymmetrisch gehaltert sind, daß die gewünschte Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen durch Umlegen der Zellenanode oder der Kathodenplatte erzielt wird, indem entweder die Zellenanode von einem Rahmen mit

ίο asymmetrisch darin angeordneten Anodenzellen getragen wird oder die Kathodenplatten um den Betrag gegeneinander seitlich versetzt gehaltert sind, der der gewünschten Verschiebung der Hautzerstäubungsstellen entspricht

is Soll die Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen durch Umlegen der Kathodenplatten erzielt werden, dann ist es zweckmäßig, wenn die Kathodenplatten an entsprechend gekröpften Halteblechen lösbar befestigt sind. Da die Kathodenplatten leicht zugänglich sind, ist ihr Umlegen bzw. Umhängen in schneller und einfacher Weise durchführbar.

Anhand von in den F i g. 1 bis 4 schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen soll die Erfindung im einzelnen erläutert werden. Es zeigt:

F i g. 1 eine Prinzipskizze im Querschnitt,

F i g. 2 eine Zellenanode mit asymmetrischer Halterung in Achsrichtung der Anodenzellen gesehen,

F i g. 3 das Ausführungsbeispiel nach F i g. 2 senkrecht zur Achsrichtung der Anodenzellen gesehen und

F i g. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit in ihrer Position veränderbaren Kathodenplatten.

Die F i g. 1 zeigt schematisch einen Teilschnitt durch eine Ionengetterpumpe 1, deren Gehäuse mit 2 bezeichnet ist Innerhalb des Gehäuses 2 befindet sich die wabenartig ausgebildete Zellenanode 3 mit den einzelnen Zellen 4, deren gestrichelt dargestellte Achsen mit 5 bezeichnet sind Auf beiden Seiten der Anode 3 befinden sich die Kathodenplatten 6. Außerhalb des Gehäuses 2 sind die Magnetpole 7 angeordnet, die ein den Achsen 5 der Anodenzellen 4 gleichgerichtetes Magnetfeld erzeugen.

Während des Betriebs einer derartigen Ionengetterpumpe Findet eine besonders starke Zerstäubung der Kathodenplatten an denjenigen Stellen statt an denen sich die Achsen 5 der einzelnen Zellen 4 mit den Kathodenplatten 6 kreuzen. Dadurch entstehen Krater, die in der F i g. 1 bis 8 bezeichnet sind. Ist das Kathodenmaterial an diesen Stellen verbraucht dann hat die Ionengetterpumpe keine Pumpwirkung mehr.

so Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine geringfügige Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen, was in der F i g. 1 strichpunktiert dargestellt ist Die nach der Verschiebung entstehenden Krater sind mit 8' bezeichnet Durch eine derartige Verschiebung kann das Elektrodensystem in praktisch neuwertigen Zustand versetzt werden.

Bei dem in den Fig.2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel eines Elektrodensystems wird die Anode 3 von einem Rahmen 13 gebildet, in welchen die Anodenzellen 4 asymmetrisch gehaltert sind. Die Art und Weise der Asymmetrie kann unterschiedlich gewählt werden. Beim Ausführungsbeispiel nach den F i g. 2 und 3 ist der Abstand der den Schmalseiten des Rahmens 3 benachbarten Zellenreihen unterschiedlich

hs groß. Der Rahmen 13 ist über die Isolatoren U und die Haltebleche 14 mit den Kathodenplatten 6 lösbar durch Klammern 15 aus Blechstreifen verbunden. Eine Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen kann bei

diesem Ausführungsbeispiel dadurch erreicht werden, daß die Anode ausgebaut und in einer solchen Stellung wieder eingebaut wird« daß die im Rahmen 3 asymmetrisch gehalterten Anodenzellen 4 eine um den Betrag der Asymmetrie verschobene Stellung einnehmen.

Beim Ausführungsbeispiel nach F i g. 4 ist die Anode 3 mit ihren Zellen 4 aber die Haltebleche 16 am Gehäuse 2 der Ionenzerstäuberpumpe 1 befestigt An der Anode 3 sind Isolatoren 11 befestigt, welche Haltebleche 17 tragen, die jer/eils an einer Seite der Anode 3 eine Kröpfung 18 aufweisen. An diesen einseitig gekröpften Halteblechen 17 sind die Kathodenplatten 6 aufgehängt Bei einer in dieser Weise ausgebildeten Ionengetterpumpe ^;: «ti« eine Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen (.ω den Kathodenplatten 6 um eine in der Zeichnungsebene liegende, senkrecht auf der Kathode 6 stehende Achse 19 oder ein geeignetes Vertauschen der Kathodenpiatte durchgeführt wird. Außerdem besteht bei diesem Ausführungsbeispiel die Möglichkeit, die Rückseiten der Kathodenplatte 6 der Anode 3 zuzuwenden und als Zerstäubungsfläche zu verwenden. In der Fig.4 ist eine Spannungsversorgungsleitung 20 für die Kathodenplatten 6 dargestellt In den übrigen Figuren wurde auf die Darstellung der Art und Weise der Spannungsversorgung verzichtet Die Darstellung von Magneten erfolgte der Übersichtlichkeit wegen lediglich in F i g. 1.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:

1. Ionengetterpumpe mit einem Gehäuse, mindestens einem darin angeordneten, auf ein homogenes Magnetfeld ausgerichteten Elektrodensystem, bestehend aus einer Zellenanode und je einer den öffnungen der Zellenanode gegenüberliegenden Kathodenplatte und Mitteln zur Halterung der Elektroden in relativ zueinander unterschiedlichen Lagen, dadurch gekennzeichnet, daß die Zellen-Anode (3) derart asymmetrisch ausgebildet ist bzw. die Kathodenplatten derart asymmetrisch gehaltert sind, daß die gewünschte Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen durch Umlegen der Zellen-Anode oder der Kathodenplatten erzielt wird, indem entweder die Zellen-Anode (3) von einem Rahmen (13) mit asymmetrisch darin angeordneten Anodenzeilen (4) getragen wird oder die Kathodenplatten (6) um den Betrag gegeneinander seitlich versetzt gehaltert sind, der der gewünschten Verschiebung der Hauptzerstäubungsstellen entspricht

2. Ionengetterpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathodenplatten (6) an entsprechend gekröpften Halteblechen (17) lösbar befestigt sind.