DE2212094A1

DE2212094A1 - Haltevorrichtung für einen Vibrator

Info

Publication number: DE2212094A1
Application number: DE19722212094
Authority: DE
Inventors: Junichi Ishiwata; Yoshimune Ohshima
Original assignee: Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1971-03-13
Filing date: 1972-03-13
Publication date: 1972-09-28
Also published as: CH549885A; DE2212094B2; FR2129616A5; NL158040B; NL7202961A; GB1383394A

Description

2212094 Patentanwalt Dipl.-Phys. Gerhard Liedl 8 München 22 Steinsdorfstr. 21-22 Tel. 29 84

B 5539

KABUSHIKI KAISHA MEIDENSHA No.2-1 -17, Ohsaki, Shinagawa-ku, TOKYO - to / Japan

Haltevorrichtung für einen Vibrator

Die Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für einen Vibrator, bei dem mehrere Schlitzelektroden, die Ausnehmungen und Vorsprünge aufweisen, auf den Oberflächen eines Vibratorelementes angeordnet und mehrere Halterungsstücke an den Schlitz elektroden in Schwingungsknotenpunkten des Vibratorelementes vorgesehen sind.

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Z/M

Im allgemeinen sind zwei Arten von Vibratoren bekannt, wobei der eine nach Art einer Längen-Breiten-Biegungsschwingung arbeitet und der andere bei Ausbildung als zusammengesetzter Vibrator eine X-Y-Biegungsschwingung aufweist. Der nach Art der Längen-Breiten-Biegungsschwingung arbeitende Vibrator weist mehrere Schlitzelektroden auf, die auf der Ober- und Unterseite des aus einer Quarz- oder Keramikplatte hergestellten Vibrators angeordnet sind; weiterhin sind an den Schwingungsknotenpunkten der jeweiligen Schlitz elektroden Halterungsstücke befestigt, die sich in bezug auf das Vibratorelement einander gegenüberliegen. Wenn bei dieser Ausführungsform den Schlitzelektroden über die Halterungsstücke eine Spannung angelegt wird, zieht sich das Vibratorelement an einer Seite zusammen und dehnt sich an der anderen Seite aus, was ein Verziehen bzw. ein Verkrümmen des Vibratorelementes in die Form eines Ventilatorrades zur Folge hat. Wenn daher die Schlitzelektroden kontinuierlich an einer Spannung mit der Grundfrequenz des Vibratorelementes liegen, ergibt sich im Vibrator eine kontinuierliche Biegungsschwingung.

Der Vibrator mit einer X-Y-Biegungsschwingung weist demgegenüber mehrere Schlitzelektroden auf, die sowohl auf der Ober- und Unterseite als auch zu beiden Seiten des aus einer Quarz- oder Keramikplatte hergestellten Vibratorelementes angeordnet sind; weiterhin sind Halterungsstücke vorgesehen, die über die Schlitzelektroden an den Schwingungsknotenpunkten des Vibratorelementes befestigt sind. In diesem Fall besitzen die auf beiden Seiten des Vibratorelementes vorgesehenen Schlitzelektroden zum Zwecke der elektrischen Leitung in der Nähe der Schwingungsknotenpunkte Vor Sprünge; in bezug auf diese Vorsprünge sind die

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Halterungsstücke einander entgegengesetzt liegend angeordnet. Bei dieser Ausführungsform des zusammengesetzten Vibrators müssen die Elektroden in senkrechter Richtung am Vibrator element befestigt werden. Aus diesem Grund gestaltet sich die Befestigung der Elektroden äußerst schwierig. Darüber hinaus ist es wünschenswert, daß die Halterungsstücke an den beiden Endstellen des Vibratorelementes befestigt sind, an denen 1 = die Gesamtlänge des Vibrators. Die richtige Einstellung der Befestigungspunkte ist jedoch ebenfalls sehr schwierig. Weiterhin müssen alle Halterungsstücke isoliert sein, so daß der Vibrator mit Sicherheit erregt werden kann.

Schließlich ist eine Haltevorrichtung für die Elektroden eines zusammengesetzten Vibrators sehr kompliziert, was zur Folge hat, daß die Elektroden nur äußerst schwer am Vibratorelement befestigt werden können. Dies alles setzt der Präzision eines fertigen Vibrators bestimmte enge Grenzen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile zu beseitigen und eine leicht herstellbare sowie in ihrer Konstruktion einfache Haltevorrichtung für einen Vibrator zu schaffen, mittels der der Vibrator leicht über eine einfache elektrische Verbindung erregt werden kann; weiterhin sollen durch diese Haltevorrichtung, die eine bedeutend verbesserte mechanische Festigkeit aufweisen soll, die Schwingungsknotenpunkte des Vibratorelementes nicht nachteilig beeinflußt werden«

Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einer Haltevorrichtung für einen Vibrator der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Vorsprünge und Ausnehmungen jeder

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Schlitzelektrode derart angeordnet sind, daß die einander entgegengesetzten Halterungsstücke in bezug auf das elektrische Potential die gleiche Polarität aufweisen.

Bei der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für den zusammengesetzten Vibrator ist das Schwingen und die Halterung des Vibratorelementes dadurch gewährleistet, daß zwei einander entgegengesetzt liegende Halterungsstücke an zwei einander entgegengesetzt liegendenSchlitzelektroden befestigt sind, und zwar außerhalb der jeweiligen an den Oberflächen des Vibratorelementes angeordneten Elektroden; statt dessen können auch in sehr kleinen Bereichen, die die Schwingungsknotenpunkte des Vibratorelementes beinhalten, Durchbohrungen oder Löcher vorgesehen sein, in welche m?t den Halterungsstücken einstückige Haltestangen eingesetzt und hierin befestigt sind.

Weitere Merkmale, Einzelteile η und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen anhand der Zeichnung. Diese zeigt in:

Fig. IA einen bekannten Vibrator mit Längen-Breiten-Bie

gungsschwingung perspektivisch,

Fig. IB im Schnitt und

Fig. IC schematisch in Betrieb;

Fig.2A einen bekannten Vibrator mit einer X-Y-Biegungs-

schwingung perspektivisch,

Fig.2B im Schnitt und

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Fig.2C schematisch in Betrieb;

Fig. 3 perspektivisch eine erste Ausführungsform einer

Haltevorrichtung für einen Vibrator mit Längen-Breiten-Biegungsschwingung;

Fig. 4 perspektivisch eine erste Ausführungsform einer

Haltevorrichtung für einen Vibrator mit einer X-Y-Biegungsschwingung;

Fig. 5 im Schnitt eine zweite Ausführungsform einer

Haltevorrichtung für einen Vibrator mit Längen-Breiten-Biegungsschwingung und

Fig. 6 für einen Vibrator mit X-Y-Biegungsschwingung.

Zum besseren Verständnis der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für den Vibrator werden zuerst die beiden zuvor erwähnten bekannten Vibratoren beschrieben, wobei in allen Fällen gleiche Bezugszeichen verwendet werden.

Der aus Fig. IA und B ersichtliche bekainte Vibrator mit Längen-Breiten-Biegungsschwingung weist ein Vibratorelement 1 auf, das aus einer Quarz- oder Keramikplatte hergestellt ist. Wie aus Fig. IA ersichtlich, ist auf einer Oberfläche des Vibratorelementes 1 eine Schlitzelektrode 2 angeordnet, die eine Ausnehmung 2b und einen Vorsprung 2a aufweist. Weiterhin ist auf derselben Fläche des Vibratorelementes 1 eine Schlitzelektrode 3 vorgesehen, die einen Vorsprung 3a und eine Ausnehmung 3b aufweist. Hierbei ist jeweils der Vorsprung 2a bzw. die Ausnehmung 2b der Elektrode 2 der Ausnehmung 3b bzw. dem Vorsprung 3a der Elektrode 3 zugeordnet. Weiterhin ist auf der anderen Oberseite

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des Vibratorelementes eine Schlitz elektrode 4 mit einem Vorsprung 4a und einer Ausnehmimg 4b sowie eine Schlitzelektrode 5 mit einem Vorsprung 5^r ind einer Ausnehmung 5b angeordnet. In diesem Fall ist jeweils der Vorsprung 4a bzw. die Ausnehmung 4b der Schlitzelektrode 4 der Ausnehmung 5b bzw. dem Vorsprung 5a der se nütz elektrode 5 zugeordnet. Die Ausnehmung 2b und der Vorsprung 3a liegen der Ausnehmung 4b und dem Vorsprung 5a genau gegenüber. Ebenso liegen der Vorsprung 2a und die Ausnehmung 3b dem Vorsprung 4a und der Ausnehmung 5b genau gegenüber. Wie aus Fig. IA ersichtlich, ist ein elektrisch leitendes Halterungsstück 6a vorgesehen, das in der Nähe eines Schwingungsknotenpunktes des Vibratorelementes 1 mittels eines Klebstoffes 9 am Vorsprung 2a der ersten Elektrode 2 befestigt ist. In gleicher Weise sind jeweils in der Nähe der anderen entsprechenden Schwingungsknotenpunkte elektrisch leitende Halterungsstücke 6b, c und d an den Vorsprüngen 3a, 4a und 5a der zweiten, dritten und vierten Elektrode 3 bzw. 4 bzw. 5 befestigt.

Bei dem aus Fig.2A und B ersictilichen bekannten Vibrator mit X-Y-Biegungsschwingung sind eine erste und eine dritte Elektrode 2' und 4' an der Oberseite und Unterseite eines aus einer Quarz- oder Keramikplatte hergestellten Vibratorelementes 1' angeordnet; weiterhin ist eine zweite und eine vierte Elektrode 3' und 5' vorgesehen, die sich beidseits des Vibratorelementes 1' gegenüberliegen. An der ersten und dritten Elektrode 2', 4' sind Ausnehmungen 2b' bzw. 4b' vorgesehen, während die zweite und vierte Elektrode 3' bzw. 5' Vorsprünge 3a' bzw. 5a» aufweist. Die Vorsprünge 3a' bzw. 5a' ragen in die Ausnehmungen 2b' bzw. 4b'. Das Halterungsstück 6a' ist an der ersten Elektrode 2' befestigt. Das Halterungsstück 6b' ist über den Vorsprung 3a' an

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der zweiten Elektrode 3' befestigt. Das Halterungsstück 6c' ist über den Vorsprung 5a' an der vierten Elektrode 5' befestigt. Das Halterungsstück 6d' ist an der dritten Elektrode 4' befestigt. Das Halterungsstück 6a' bzw. 6b' liegt dem Halterungsstück 6c' bzw. 6d' genau gegenüber.

Beim Betrieb der bekannten Vibratoren sind die Halterungsstücke 6a, 6a', wie aus Fig. IC und 2C ersichtlich, mit den Halterungsstücken 6d, 6d' und die Halterungsstücke 6c, 6c' mit den Halterungsstücken 6b, Bb' elektrisch verbunden. Wenn daher die Anschlußklemmen 7, 7' und 8, 8' derart mit elektrischer Leistung beliefert werden, daß die ersten und vierten Elektroden 2, 2' und 5, 5' ein positives Potential und die zweiten und dritten Elektroden 3, 3' und 4, 4' ein negatives Potential aufweisen, dehnen sich die Vibratorelemente 1, 1' an der Oberseite aus und ziehen sich an der Unterseite zusammen, wodurch sie gemäß den aus Fig. IC und 2C ersichtlichen Linien 10a und 10a' verformt werden. Wenn demgegenüber die den Anschlußklemmen 7, 7' und

in
8, 8' zugeführte elektrische Leistung/ihrerPolarität umgekehrt wird, formen sich die Vibratorelemente 1, 1' in einen Ventilatorflügel gemäß den aus Fig. IC und 2C ersichtlichen Linien 10b und 10b'. Wenn daher den Anschlußklemmen 7 und 8 kontinuierlich elektrische Leistung bei der Grundfrequenz der Vibratorelemente 1, 1' zugeführt wird, befinden sich diese in kontinuierlicher Biegungssehwingung.

Diese bekannten zusammengesetzten Vibratoren weisen folgende Nachteile auf:

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A) Wenn die Halterungsstücke an den entsprechenden Elektroden senkrecht zum Vibratorelement befestigt werden,

a) gestaltet sich die Befestigung der Halterungsstücke äußerst schwierig,

b) ist die genaue Einstellung der Befestigungsstellung sehr schwer;

c) außerdem bildet die Berührungsstelle einer Elektrodenplatte mit einem Halterungsstück keinen Punkt, sondern einen vergleichsweise großen Bereich.

B) Wenn das Vibratorelement elektrisch erregt wird,

d) ist es erforderlich, die jeweiligen Halterungsstücke elektrisch zu isolieren;

e) außerdem sind die jeweiligen Elektroden kreuzweise miteinander verbunden.

Im folgenden wivd die erfindungsgemäße Haltevorrichtung in Anwendung auf die eingangs erläuterten Vibratoren beschrieben.

Bei der aus Fig. 3 ersichtlichen ersten Ausführungsform des Vibrators mit Breiten-Längen-Biegungsschwingung, bei dem die Erfindung angewendet ist, ist die erste Schlitzelektrode 2, die den Vorsprung 2a und die Ausnehmung 2b aufweist, auf einer Oberseite des Vibratorelementes 1 angeordnet. Die zweite Schlitzelektrode 3, die· den Vorsprung 3a und die Ausnehmung 3b aufweist, ist ebenfalls auf einer Oberfläche des Vibratorelementes 1 angeordnet. Der Vorsprung 2a bzw. die Ausnehmung 2b ist der Ausnehmung 3b bzw. dem Vorsprung 3a zugeordnet. Die dritte Schlitzelektrode 4, die den Vorsprung 11 und die Ausnehmung M auIv.ι. um, ipt auf der anderen Seite des Vibratorelementes 1 angei jrJ D. ι, was auch für die vierte Schlitz elektrode 5 gilt,

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die den Vorsprung 12 und die Ausnehmung 13 aufweist. Hierbei liegt die Ausnehmung 2b bzw. der Vorsprung 3a dem Vorsprung bzw. der Ausnehmung 13 gegenüber. In gleicher Weise liegt der Vorsprung 2a bzw. die Ausnehmung 3b der Ausnehmung 14 bzw. dem Vorsprung 12 gegenüber. Weiterhin sind mittels eines Klebmittels 9 Halterungsstücke 6a, b, c und d jeweils an den Vorsprüngen 2a, 3a, 11 und 12 befestigt. Aus diesem Grund ist das Halterungsstück 6a bzw. 6b genau gegenüber dem Halterungsstück 6b bzw. 6d angeordnet. Beim Betrieb des mit der ersten Ausführungsform der Erfindung versehenen Vibrators mit Längen-Breiten-Biegungsschwingung wird dem Vibrator elektrische Leistung derart zugeführt, daß die Halterungsstücke 6a und c in bezug auf das elektrische Potential die gleiche Polarität aufweisen; gleiches gilt für die Halterungsstücke 6b und d, d.h. sie weisen ebenfalls in bezug auf das elektrische Potential gleiche Polarität auf. Die Halterungsstücke 6a und c sind gegenüber den Halterungsstücken 6b und d mit entgegengesetzter Polarität versehen. Wenn daher beispielsweise der ersten Elektrode 2 positives Potential angelegt wird, erhält die zweite Elektrode 3 ein negatives Potential. Wenn weiterhin der vierten Elektrode 5 eine positives Potential angelegt wird, liegt an der dritten Elektrode 4 ein negatives Potential. Hierbei ergibt sich selbstverständlich auf gleiche Weise wie bei dem bekannten Vibrator gemäß Fig. IA bis C eine Biegungsschwingung, d.h. der Unterschied zwischen der erfindungsgemäßen und der bekannten Vorrichtung liegt darin, daß die bekannten Halterungsstücke 6a, c und 6b, d (Fig. IA) in bezug auf die ihnen angelegte elektrische Leistung untereinander jeweils entgegengesetzte Polarität aufweisen, wogegen bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die einander gegenüberliegenden Halterungsstücke 6b, d ein negatives Potential aufweisen, wenn

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den einander gegenüberliegenden Halterungsstücken 6a, c ein positives Potential angelegt wird. Das bedeutet, daß die einander gegenüberliegenden Halterungsstücke in bezug auf das elektrische Potential jeweils die gleiche Polarität aufweisen.

Die erste Ausfühmr i&i'orm der Erfindung ist ebenfalls bei dem aus Fig. 4 ersichtlichen Vibrator mit X-Y-Biegungsschwingung angewendet.

Der Vorsprung 3a' der auf einer Seite des Vibratorelementes 1 angeordneten zweiten Elektrode 3' ist an der Oberseite des Vibratorelementes 1' befestigt. Der Vorsprung 15 ist demgegenüber an der auf der anderen Seite des Vibratorelementes 1' angeordneten vierten Elektrode 5' vorgesehen. Die Ausnehmung 16 ist an der dritten Elektrode 4' ausgebildet, und zwar genau gegenüber der an der ersten Elektrode 2' vorgesehenen Ausnehmung 2b', die dem Vorsprung 3a' der zweiten Elektrode 3' zugeordnet ist. Der Vorsprung 15 befindet sich genau gegenüber dem Vorsprung 3a' der zweiten Elektrode 3'. Die einander gegenüberliegenden Halterungsstücke 6b' und d' sind über die Vorsprünge 3a' und 15 an den auf beiden Seiten des Vibratorelementes 1' angeordneten Elektroden 3' bzw. 5' befestigt; dagegen sind die einander gegenüberliegenden Halterungsstücke 6a' und C an der ersten bzw. dritten Elektrode 2' bzw. 4' befestigt.

Beim Betrieb des aus Fig. 4 ersichtlichen Vibrators haben die einander gegenüberliegenden Halterungsstücke 6b' und d' in bezug auf das elektrische Potential die gleiche Polarität; ebenso weisen die halt.erungsstücke 6a' und c' in bezug auf das elektrische Potential gleiche Polarität auf, so daß die Halterungsstücke 6b'

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und d' gegenüber den Halterungsstücken 6a' und c' entgegengesetzte Polarität besitzen. Weiterhin ist der Vorsprung 15 so abgewandelt, daß er dem Vorsprung 3' gegenüberliegt. Wenn daher der ersten Elektrode 2' ein positives Potential angelegt wird, wird der zwei-, ten Elektrode 3' ein negatives Potential angelegt; wenn der vierten Elektrode 5' ein positives Potential angelegt wird, wird der dritten Elektrode 4' ein negatives Potential angelegt. Aus diesem Grund weist der Vibrator gemäß Fig. 4 die gleiche kontinuierliche Biegungsschwingung wie der Vibrator gemäß Fig.2A bis C auf. D.h. der Unterschied zwischen der erfindungsgemäßen und der bekannten Vorrichtung liegt darin, daß die bekannten Halterungsstücke 6a', c' und 6b', d' (Fig. 2A) in bezug auf die den entsprechenden Halterungsstücken angelegte elektrische Leistung untereinander jeweils entgegengesetzte Polarität aufweisen, während bei der eriindungsgemäßen Vorrichtung den einander gegenüberliegenden Halterungsstücken 6a', c' ein negatives Potential angelegt wird, wenn den Halterungsstücken 6b*, d' ein positives Potential angelegt wird, d.h., daß die jeweils einander gegenüberliegenden Halterungs stücke in bezug auf das elektrische Potential gleiche Polarität aufweisen.

Die Vibratoren gemäß Fig. 3 und 4, bei denen die erste AusfÜhrungsform der eriindungsgemäßen Haltevorrichtung angewendet ist, haben folgende Vorteile:

a) Wenn die Vibratoren erregt und in Biegungsschwingungen versetzt werden, ergibt sich die Schwingung durch eine einfache elektrische V ei bindung.

b) Der Herstellungsaufwand wird in bedeutendem Maße verkleinert, da si(h die je-A eiligen lialterungsatiicke leicht isolieren lasnen.

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c) Da beim Erregen keine Verbindung über Kreuz erforderlich ist, ist die elektrische Sicherheit verbessert.

d) Es läßt sich ein Vibrator mit hoher Genauigkeit und Präzision herstellen, da die Haltevorrichtung einfach und leicht herzustellen ist.

Bei dem aus Fig. 5 ersichtlichen Vibrator mit Breiten-Längen-Biegungsschwingung ist die zweite Ausführungsform der Haltevorrichtung angewendet. Hierbei weist das Vibratorelement 1 an den Stellen, an denen sich die Vorsprünge 2a, 12 und 3a, 11 befinden, senkrechte Bohrungen auf. Diese weisen entweder über die gesamte Dicke des Vibratorelementes 1 gleichen Durchmesser auf oder aber sie verlaufen innerhalb eines Winkelbereiches von 10° oder weniger konisch. Die Innenfläche der vertikalen Bohrungen des Vibratorelementes 1 kann geätzt o.dgl. Behandlung unterworifei /Orden sein, worauf dann in die Bohrungen elektrisch leitende Stange: ? eingesetzt und dort befestigt werden.

Die zweite Ausführung^: , » der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung ist ebenfalls bei dem mm Fig. 6 ersichtlichen Vibrator mit X-Y-Biegungsschwingung angewendet.

Hierbei verlaufen auf gleiche Weise wie beim Vibrator gemäß Fig. 5 von der ersten Elektrode 2' zur dritten Elektrode 4* senkrechte Bohrungen durch das Vibratorelement 1'. Ebenfalls sind in diese vertikalen Bohrungen Haltestangen 17 eingesetzt und dort befestigt.

Wenn bei einem der aus Fig. 5 und 6 ersichtlichen Vibratoren, bei denen die zweite Ausführungsform der Erfindung angewendet

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ist, eine Quarzplatte verwendet wird, werden die Endteile der Bohrungen unter Berücksichtigung des in den Innenflächen der Bohrungen vorgesehenen Ätz musters angeordnet. Darüber hinaus ist es zweckmäßig, das Vibratorelement 1 vorher zu erhitzen und sich ausdehnen zu lassen, bevor die Haltestangen eingesetzt werden.

Zusätzlich zu den vorerwähnten Vorteilen a) bis d) weist die zweite Ausführungsform der Haltevorrichtung folgende Vorteile auf:

e) Da Haltestangen in an den Haltebereichen vorgesehene Bohrungen eingesetzt und sodann dort befestigt werden, ist keine elektrische Verbindung erforderlich.

f) Da die Anordnung der Lagerungspunkte des Vibrators durch eine Perforiermaschine vorbestimmt ist, ist das gegenseitige Versetzen der Befestigung im Haltebereich prinzipiell unmög-. lieh und die Schwingungspunkte des Vibrators sind sicher gehalten bzw. gelagert; aus diesem Grunde ist die Herstellung bemerkenswert einfach.

g) Die Haltevorrichtung weist eine bedeutend verbesserte mechanische Festigkeit auf, da Durchbohrungen vorgesehen und in diese Haltestangen eingesetzt sowie dort befestigt sind.

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Claims

Patentansprüche

Haltevorrichtung für einen Vibrator, bei dem mehrere Sehliteelsktroden, die Ausnehmungen und Vorsprünge aufweisen, auf den Oberflächen eines Vibratorelementes angeordnet und mehrere Halterungsstücke an den Schlitzelektroden in Schwingungsknotenpunkten des Vibratorelementes vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorsprünge (2a, 3a, 11, 12) und Ausnehmungen (2b, 3b, 13, 14) jeder Schlitzelektrode (2 bis 5) derart angeordnet sind, daß die jeweils einander entgegengesetzt liegenden Halterungsstücke (6a, c bzw. 6b, d) in bezug auf das elektrische Potential gleiche Polarität aufweisen.
2. Haltevorrichtung nach Anspruch!, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungsstücke (6a bis d) an den an den jeweiligen Elektroden (2 bis 5) vorgesehenen Vor Sprüngen (2a, 3a, 11, 12) befestigt sind und die Vorsprünge (2a, 3a) der auf einer Seite des Vibratorelementes (1) angeordneten Elektroden (2, 3) den auf der anderen Seite des Vibratorelementes angeordneten Elektroden (4, 5) und den die Vorsprünge (12, 11) aufweisenden Elektroden (5, 4) gegenüberliegen.

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3. Haltevorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungsstücke (6a bis d) mittels eines Klebstoffes (9) an den Elektroden (2 bis 5) befestigt sind.
4. Haltevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Vibratorelement (1) an den Schwingungsknotenpunkten senkrechte Durchbohrungen oder Löcher aufweist, in welche die Halterungsstücke (17) eingesetzt und dort befestigt sind.
5. Haltevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungsstücke als Haltestangen (17) ausgebildet sind.
6. Haltevorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenfläche der Durchbohrungen geätzt ist.
7. Haltevorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungsstücke (17) einen sich verjüngenden Querschnitt aufweisen.

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