DE2148705A1

DE2148705A1 - Verfahren zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske fuer eine Farbfernsehbildroehre

Info

Publication number: DE2148705A1
Application number: DE19712148705
Authority: DE
Inventors: Philip Kuznetzoff; Fadner Jun Glenn Roland
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1970-09-30
Filing date: 1971-09-29
Publication date: 1972-04-06
Also published as: CA950962A; IT939783B; FR2108104A1; US3663997A; AU466629B2; GB1346657A; US3725065A; BE773288A; FR2108104B1; NL7113359A; AU3362071A; CA950963A

Description

7244-71/Kö/S

RCA Docket No.: 63684/63692
Convention Date:
September 30, 1970

RCA Corporation, New York, N.Y., V.St.A.

Verfahren zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske für

eine Farbfernsehbildröhre

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske für eine Farbfernsehbildröhre, wobei die provisorische Maske aus einem dünnen Blech mit einem Muster von permanenten Löchern und einer auf seiner einen Seite befestigten Schicht aus opakem Material mit provisorischen Löchern, die sich lagemäßig jeweils mit den permanenten Löchern decken und zum Zwecke des Drückens von Leuchtstoffelementen auf dem Bildschirm der Röhre kleiner sind als die entsprechenden permanenten Löcher, besteht.

Bei einer bekannten Art von Farbfernsehbildröhren weist der Bildschirm eine Vielzahl von Gruppen aus dicht beabstandeten Leuchtstoffelementen auf. Die einzelnen Leuchtstoffelemente jeder Gruppe emittieren bei Beaufschlagung mit einem Elektronenstrahl jeweils Licht einer anderen Farbe. Zwischen dem Bildschirm und dem Elektronenstrahlsystem ist eine Farbwählmaske angeordnet. Diese sogenannte Schatten- oder Lochmaske (Viellochmaske) kann entweder nichtfokussierend oder fokussierend sein.

Bei bekannten Schirmdruckverfahren für Farbfernsehbildröhren (z.B. USA-Patentschriften 2 96I 314, 2 96I 313, 3 231 380 und

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3 070 441) wird eine Lochmaske mit Löchern einer gewünschten endgültigen oder permanenten Größe als Schablone für das photographische Drucken der flächigen Leuchtstoffelemente auf dem Bildschirm verwendet. Die Lochmaske mit unveränderter Lochgröße wird dann zusammen mit dem gedruckten Bildschirm zur Farbwahl in der fertigen Bildröhre verwendet. Diese Löcher gleichbleibender Größe, die sowohl für das Schirmdrucken als auch für die Farbwahl verwendet werden, bezeichnet man als "Doppelfunktionslöcher¹¹.

Bei Bildröhren, deren Lochmasken Doppelfunktionslöcher haben, sind die einzelnen Leuchtstoffelemente, seien sie linien- oder punktförmig, gewöhnlich breiter als der Strahlfleck, da der Elektronenr strahl u.U. durch Fokussierfeider zwischen der Lochmaske und dem ' Bildschirm zusammengedrückt oder eingeengt wird. Ferner ist der Lichtfleck auf dem Schirm, der das Leuchtstoffelement photοgraphisch druckt, größer als das Maskenloch, durch welches das Licht hindurchtritt. Da die Größe des Leuchtstoffelements direkt von der Belichtungszeit abhängt, kann sie auch aus diesem Grunde größer ausfallen*

Um die Lichtausbeute und den Wirkungsgrad der Farbbildröhre zu steigern, ist es erwünscht, daß die einzelnen Leuchtstoffelemente jeweils auf ihrer gesamten Fläche vom Elektronenstrahl beaufschlagt werden. Das heißt, die Breite des Strahlflecks sollte ^ so groß wie oder größer als die Breite der einzelnen Leuchtstoff-™ elemente sein. Zu diesem Zweck sollten die Maskenlöcher beim Schirmdrucken kleiner sein als später im Betrieb der Röhre.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske mit Löchern anzugeben, die zur Verwendung beim photographischen Drucken des Leuchtschirms kleiner sind als die im Betrieb der Röhre verwendeten permanenten ■ Maskenlöcher.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß ein Blechstück auf seiner einen Seite mit einer ersten Ätzschutzschicht beschichtet wird; daß in dieser Ätzschutzschicht ein Muster von. die Schicht durchsetz-enden Löchern mit der Größe der gewünschten

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provisorischen Löcher angebracht wirdj daß das Blechstück auf seiner anderen Seite mit einer zweiten Ätzschutzschicht beschichtet wirdj daß in dieser zweiten Ätzschutzschicht Löcher angebracht werden, die sich lagemäßig jeweils mit den Löchern in der ersten Ätzschutzschicht decken, jedoch größer sind als diese; daß die durch die Löcher in den beiden Ätzschutzschichten freigelegten Teile des Blechstückes unter Bildung von permanenten Löchern im Blechstück, die sich lagemäßig mit den Löchern in der ersten Ätzschutzschicht decken, jedoch größer sind als diese, weggeätzt werden; daß die Oberfläche der ersten Ätzschutzschicht mit feinen Metallteilchen unter Bildung einer opaken Metallschicht, die von provisorischen Löchern durchsetzt ist, die sich lagemäßig mit den Löchern der ersten Ätzschutzschicht decken und gleichgroß sind wie diese, beschichtet wird; und daß schließlich das Blechstück zu einer provisorischen Lochmaske für das Schirmdrucken geformt wird.

In Weiterbildung des Verfahrens wird das Ätzen des Blechstückes solange fortgesetzt, bis das Metall unter den Ätzschutzschichten und um die Ränder der Löcher der Ätzschutzschichten abgetragen ist, derart, daß die Ätzschutzschichten die einzelnen permanenten Löcher teilweise abdecken.

Vorzugsweise werden nach dem Aufbringen der opaken Metallschicht die zweite Ätzschutzschicht und/oder diejenigen Teile der ersten Ätzschutzschicht, die die permanenten Löcher teilweise abdecken, vor der Formung der Lochmaske entfernt.

In den Zeichnungen zeigen:

Figur 1 eine teilweise im Axialschnitt dargestellte Seitenansicht einer Farbbildröhre mit erfindungsgemäß hergestellter Lochmaske;

Figur 2 bis 6 fragmentarische Schnittdarstellungen eines Blechstückes, die schematisch die verschiedenen Verfahrensschritte bei der erfindungsgemäßen Herstellung einer für das Drucken des Bildschirms der Farbbildröhre nach Figur 1 verwendeten provisorischen Lochmaske veranschaulichen;

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Figur 7 eine fragmentarische perspektivische Darstellung einer Farbbildröhren-Schirmanordnung mit der provisorischen Lochmaske nach Figur 6j

Figur8 und 9 fragmentarische Schnittdarstellungen, die bestimmte Verfahrensstufen bei der Herstellung von provisorischen Lochmasken gemäß anderen Ausführungsformen der Erfindung veranschaulichen .

Die in Figur 1 gezeigte Kathodenstrahlröhre 10 hat einen Glaskolben 12 mit einem Trichter- oder Konustefl. 14 und einer Kappe 16 mit transparenter Frontplatte 18. Auf der Innenfläche 24 der transparenten Frontplatte 18 sind eine Vielzahl von Leuchtstoffelementen 20 in Form von Gruppen aus jeweils andersfarbig kathodolumineszenten Leuchtstoffen angebracht. Die Frontplatte und die Leuchtstoffelemente 20 werden nachstehend insgesamt als "Bildschirm" 28 bezeichnet. Die Leuchtstoffelemente 20 sind um der Einfachheit und besseren Anschaulichkeit willen in ihrer Größe übertrieben dargestellt und haben jeweils Punktform. Stattdessen können die Leuchtstoffelemente auch Streifenform haben und in einem Muster von abwechselnden Streifen aus jeweils andersfarbigen Leuchtstoffen angeordnet sein, so daß sich ein Linienrasterschirm ergibt. Die Kathodenstrahlröhre 10 ist ferner mit mehreren Strahl systemen zum Erzeugen von Elektronenstrahlen 22 sowie mit entweder elektrostatischen oder magnetischen Ablenk- und Konvergenzeinrichtungen (nicht gezeigt) ausgerüstet.

In gleichmäßigem Abstand vom Bildschirm 28 ist eine mittels eines Rahmens 32 gehalterte Farbwähl- oder Lochmaske (Vielloch- oder Schattenmaske) 30 angeordnet. Die Lochmaske 30 besteht aus einem Blechstück (aus Leitermaterial) und hat eine Vielzahl von "permanenten" Löchern 34 endgültiger Größe.

Statt der in Figur 1 gezeigten Löcher 34 von im wesentlichen zylindrischer Form können auch Löcher anderer Formen verwendet werden. Auch kann die Farbwählmaske vom bekannten "Grill"- oder Gitterrosttyp sein. Die einzelnen Löcher 34 sind in ihrer Größe und Lage jeweils entsprechenden Leuchtstoffelementen 20 des Bildschirms 28 so zugeordnet, daß sie die Elektronenstrahlen 22 in

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Richtung auf die entsprechenden Leuchtstoffelemente hindurchtreten lassen.

Die Breite des Elektronenstrahlflecks ist vorzugsweise gleich oder größer als die Breite der einzelnen Leuchtstoffelemente 20, jedoch nicht so groß, daß der Elektronenstrahl auch auf andere als die jeweils gewünehten Leuchtstoffelemente auftritt. Zu diesem Zweck müssen die Löcher 34 der Lochmaske 30 erheblich breiter sein als die entsprechenden einzelnen Leuchtstoffelemente, und zwar gleichgültig, ob der Strahlfleck schmaler oder breiter als ein entsprechendes Leuchtstoffelement ist.

Im Betrieb der Kathodenstrahlröhre 10 werden die Elektronenstrahlen 22 durch die Löcher 34 gerichtet, so daß sie auf die Leuchtstoffelemente 20 auftreffen. Da ein Elektronenstrahlfleck erzeugt wird, der breiter ist und im wesentlichen die gesamte Breite eines einzelnen Leuchtstoffelements überdeckt, weist die Kathodenstrahlröhre 10 eine erhöhte Bildhelligkeit und einen größeren Kontrast auf.

Figur 2 bis 6 veranschaulichen eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens. Das Verfahren dient zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske 50, die in Figur 6 gezeigt ist und für das Drucken des Leuchtschirms (Bildschirms) einer Farbfernsehbildröhre verwendet wird. Der erste Schritt zur Herstellung der provisorischen Lochmaske 50 besteht darin, daß eine durchgehende erste Schicht 52 (Figur 2) aus lichtempfindlichem Ätzschutz mittel (Ätzreservage) wie bichromatisiertem Fischleim auf die eine Seite (Hauptfläche) 54 einer Unterlage 56 in Form eines dünnen Metallblechs, beispielsweise aus kaltgewalztem Stahl mit einer Dicke von ungefähr 0,18 mm (7 Mil) angebracht wird. Die andere Seite (Hauptfläche) 60 der Unterlage 56 wird mit einer durch gehenden zweiten Schicht 58 aus lichtempfindlichem Ätzschutzmittel beschichtet« In den Schichten 52 und 58 werden auf photographischem Wege Löcher 66 bzw. 68 angebracht. Zu diesem Zweck belichtet ■an durch geeignete Schablonen und entfernt anschließend selektiv die unbelichteten, ungehärteten Flächenbereiche durch Abwaschen, so daß entsprechende Muster der Löcher 66 und 68 entstehen. Jedes

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Loch 66 deckt sich lagemäßig mit einem entsprechenden Loch 68. Die Löcher 66 haben eine vorbestimmte Größe, die der Größe der herzustellenden provisorischen Löcher in der provisorischen Lochmaske entspricht. Die Löcher 68 in der anderen Schicht 58 sind jeweils erheblich größer als die entsprechenden Löcher 66.

Die Schichten 54 und 58 sind normalerweise widerstandsfähig gegen Metallätzlösungen. So wird durch Ätzen mit Ferrichlorid (Chloreisen) dasjenige Metall der Unterlage 56, das sich allgemein in den Bereichen zwischen den Löchern 66 und 68 befindet, abgetragen. Das Ätzen erfolgt von beiden Seiten 52 und 60 der Unterlage 56 aus, so daß verjüngt zulaufende Löcher 78 (Figur 4) ^ im Blech 56 entstehen. Das Wegätzen des Metalls wird in der Weise * durchgeführt, daß das Metall des Blechs 56 unter den Schichten 52 und 58 und um die Ränder der Löcher 66 und 68 herum abgetragen wird. Wie in Figur 4 gezeigt, steht jeweils ein Teil 69 der beiden Schichten 62 und 64 über die einzelnen geätzten Löcher 78 vor, so daß die Löcher teilweise abgedeckt oder verschlossen sind.

Die geätzten Löcher 78 im Blech 56 können später als Permanentlöcher der Lochmaskenelektrode der fertigen Farbbildröhre verwendet werden.

Statt daß man das Metall des Bleches 56 wegätzt, kann man Löcher auch nur in der Ätzschutzschicht 64 anbringen, wie bei 64^f in Figur 9 gezeigt. Das Ätzen des Bleches 56' erfolgt dann nur ™ von der einen Seite 6O¹ aus, so daß die konisch geformten Löcher 78' entstehen. Sodann werden in der lichtempfindlichen Ätzschutzsdiicht 62» Löcher 66.' gebildet. Die Löcher 66» sind kleiner als die Löcher 68' und decken sich lagemäßig mit diesen sowie mit den geätzten Löchern 78'.

Als nächstes werden die Oberfläche 70 der Ätzschutzschicht (Figur 4) und die Oberfläche 70' der Schicht 62' (Figur 9) mit einer hitzebeständigen opaken (lichtundurchlässigen) Metallschicht 72 bedeckt. Der Schmelzpunkt der Metallschicht 72 liegt oberhalb der Glühteeperatur des Bleches 56, 56', die ungefähr 900° C. beträgt.

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Gemäß einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Metallschicht 72 aus feinen Teilchen eines hitzebeständigen opaken Metalls in einer Dicke von nur ungefähr 0,0127 mm (l/2 Mil) aufgebracht. Diese Metallschicht 72 kann nach irgendeinem geeigneten bekannten Verfahren hergestellt werden, beispielsweise durch Aufdampfen, stromloses chemisches Aufplattieren, elektrolytisches Aufplattieren, Elektrophorese, Aufsprühen oder Aufstreichen des Metalls direkt auf die Oberfläche 70 der Ätzschutzschicht 62. Für die Metallschicht 72 kann man Kupfer oder Nickel verwenden.

Bei der erfolgreichen Erprobung des Verfahrens wurde die hitzebeständige opake Schicht 72 durch Aufdampfen von metallischem Kupfer hergestellt. Beim Aufdampfverfahren werden Metallteilchen mit einer Teilchengröße von ungefähr 0,2 bis 0,25 mm (8 bis 10 Mil) direkt auf die Oberfläche 70 der Ätzschutzschicht 62 aufgedampft. Das aufgedampfte Kupfer bedeckt die Oberfläche 70 vollständig mit der dünnen Schicht aus metallischem Kupfer 72. Wegen der kleinen Größe der aufgedampften Metallteilchen dampfen diese beim Aufdampfen vollständig durch die Löcher oder Öffnungen 66 in der Ätzschutzschicht 62 hindurch, so daß sie diese Öffnungen in keiner Weise verstopfen oder verschließen. Auf diese Weise erhält die Schicht 72 genau die gleiche Form wie die tragende Schicht 62, wobei die Schicht 72 Löcher 73 mit genau der gleichen Größe und Form wie die Löcher 66 hat. Da die Löcher 66 in der Ätzschutzschicht 62 mit vorbestimmter Größe hergestellt worden sind, haben die Löcher 73 in der Schicht 72 die gleiche Größe, wie sie für die provisorischen Löcher zum photographischen Drucken des Leuchtschirms 28 für die Farbbildröhre nach Figur 1 vorgewählt worden ist.

Zur Herstellung der opaken Schicht 72 braucht die Ätzschutzschicht 62 nicht entfernt zu werden. Die Dicke der opaken hitzebeständigen Schicht 72 ist bestimmt als diejenige Dicke, die notwendig ist, damit selbsttragende Teile 75 um die Ränder der Löcher 63 herum entstehen, da beim späteren Glühen die Ätzschutzschicht 62 weggebrannt und die tragenden Teile 69 von den überhängenden Teilen 75 der hitzebeständigen Schicht 72 entfernt werden.

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Um das Werkstück 71 (gezeigt in Figur 5) zu einer provisorischen Lochmaske zu formen, wird es zusammen mit der hitzebeständigen Schicht 72bsi ungefähr 900° C. geglüht. Dadurch werden etwaige im dünnen Blech 56 vorhandene Spannungen beseitigt. Im wesentlichen wird durch das Glühen das gesamte Material der Ätzschutzschichten 62 und 64 entfernt, und die hitzebeständige Schicht 72 bleibt an der perforierten Unterlage 56 haften.

Nach dem Glühen wird die Anordnung zur provisorischen Lochmaske 50 geformt (Figur 6). Die Form kann z.B. sphärisch sein, so daß sie der Form der Frontplatte 18 der Röhre nach Figur 1 angepaßt ist. Diese Formgebung erfolgt normalerweise durch Stanzen.

Die provisorische Lochmaske 50 (Figur6) wird dann, wie in Figur 7 gezeigt, in der Kappe 16 der Röhre vor deren Anschmelzen an den Konusteil 14 montiert. Die provisorische Lochmaske 50 dient als photographische Schablone zum "Drucken" der verschiedenen flächigen Leuchtstoffelemente 82, 84 und 86 der entsprechenden Leuchtstoffgruppen (z.B. Rot, Blau und Grün) auf der Innenfläche der Frontplatte 18. Das Druckverfahren ist im einzelnen in der USA-Patentschrift 3 406 068 beschrieben.

Beim Schirmdrucken kann, kurz%esagt, die transparente Frontplatte 18 auf ihrer einen Oberfläche 24 mit einem Gemisch aus einem ersten der gewünschten Leuchtstoffe und einem geeigneten lichtempfindlichen Material beschichtet und dann durch die Löcher 73 der provisorischen Lochmaske 50 mit geeignetem Licht belichtet werden. Die von den Lichtstrahlen beaufschlagten Bereiche des lichtempfindlichen Leuchtstoffbelags werden gehärtet, und anschließend werden die ungehärteten Bereiche des Belags z.B. durch Abwaschen entfernt, so daß ein Muster oder Raster von Leuchtstoff elementen (Punkten) 82 des Leuchtstoffs der ersten Farbe in Mischung mit dem gehärteten lichtempfindlichen Material zurückbleibt. Diese Verfahrensschritte werden entsprechend für die Raster der beiden anderen Leuchtstoffarten mit den Leuchtstoffeleraenten 84 bzw. 86 wiederholt. Das gehärtete lichtempfindliche Material wird danach von den Leuchtstoffpunkten durch Brennen oder chemisches Weglösen entfernt.

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- Nach Beendigung des Schirmdruckens wird die provisorische Lochmaske 50 (Figur 6) durch Entfernen der Schicht 72 aus hitzebeständigem Material in die endgültige Farbwählmaske 30 (gezeigt in Figur l) umgewandelt. Wenn das hitzebeständige Material Metall ist, wird die Schicht 72 durch einen zweiten Ätzvorgang unter Verwendung einer geeigneten Ätzlösung entfernt. Vorzugsweise verwendet man als Ätzlösung hierfür eine solche, die nicht auch die Unterlage 56 ätzt. Da jedoch die hitzebeständige Schicht 72 verhältnismäßig dünn ini Vergleich zum Blech 56 ist, ändert sich wegen der kurzen Zeit, die für das Abtragen der hitzebeständigen Schicht 72 erforderlich ist, die Dicke des Bleches 56 nur geringfügig, falls das Blech nicht ätzbeständig ist. Das Metall für die hitzebeständige Schicht 72 kann so gewählt werden, daß es von der Ätzlösung stärker angegriffen wird als die Unterlage, wodurch die Entfernung der Schicht erleichtert wird. Geeignete Metalle sind z.B. solche, deren Oxydations-Reduktions-Potentiale erheblich höher sind als das des Materials der Unterlage 56.

Gemäß einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird (Figur 8) eine Anordnung 110 mit einer Unterlage 112 hergestellt, die in der oben beschriebenen Weise zu einer grill- oder gitterrostartigen Farbwählmaske gewünschter Abmessungen zugearbeitet worden ist. Als erstes wird auf der metallischen Unterlage 112 eine perforierte oder durchbrochene Ätzschutzschicht 114 angebracht, die den gleichen Zwecken wie die Schicht 62 in Figur 3 bis 5 dient. In der fHr die Schicht 72 beschriebenen Weise wird sodann eine opake Schicht 116 aus hitzebeständigem Material angebracht, die die gleiche Ausdehnung hat wie die Schicht 14· Die Schicht 116 ist der Schicht 72 in Figur 3 bis 5 vergleichbar und dient dem gleichen Zweck. Die anschließende Formung der An ordnung 110 zu einer provisorischen Lochmaske erfolgt ähnlich wie oben beschrieben.

Das Verfahren kann in der Weise abgewandelt werden, daß die Möglichkeit des Verformens, Reißens oder anderweitigen Beschädifene der über die Löcher 78 überhängenden Teile 75 der hitzebeetindigen Schicht 72 wesentlich verringert wird. Bine solche Beschädigung kann infolge von thermisch bedingter Bewegung der über-

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hängenden Teile 75 relativ zu den Bereichen 69 der Ätzschutzschicht 62 während des Glühens eintreten. Das Werkstück 7I (gezeigt in Figur 5) wird vor dem Glühen so behandelt, daß die Bindung zwischen den von den Bereichen 69 der Ätzschutzschicht 62 getragenen Teilen 75 der hitzebeständigen Schicht 72 verringert oder im wesentlichen aufgehoben wird. Diese Aufhebung oder Verringerung der Bindung kann dadurch erreicht werden, daß die überhängenden Teile 69 der Ätzschutzschicht vollständig vom Werkstück 71 entfernt werden.

Diese Teile 69 können von den entsprechenden Teilen 75 der fc hitzebeständigen Schicht 72 auf chemischem Wege abgelöst werden, indem man das Werkstück 71 in einer Ätzlauge , z.B. in Ätznatron wäscht. Eine andere Methode besteht darin, daß man das Werkstück in einer oxydierenden Atmosphäre, beispielsweise in Luft, bei einer Mindesttemperatur von ungefähr 350° C. (für die meisten organischen Ätzschutzschichtmaterialien) erhitzt. Eine Temperatur von 4OO bis 5OO C. reicht aus, wenn das Material der Ätzschutzschicht Fischleim ist. Durch das Erhitzen in einer oxydierenden Atmosphäre wird der unverbrennliche Teil der freiliegenden Schicht bereiche 69 rissig, so daß er von den Metallschichtbereichen 75 abbricht.

Während durch das Erhitzen des Werkstücks 71 in einer oxy- fc dierenden Atmosphäre die metallische hitzebeständige Schicht 72 u.U. in ein sprödes Oxyd umgewandelt wird, wird beim anschließenden Glühen des Werkstücks bei ungefähr 900° C. in einer chemisch reduzierenden Atmosphäre das unerwünschte Metalloxyd zum Metall reduziert·

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Claims

Patentansprüche

(lJ Verfahren zur Herstellung einer provisorischen Lochmaske für eine Farbfernsehbildröhre, wobei die provisorische Maske aus einem dünnen Blech mit einem Muster von permanenten Löchern und einer auf seiner einen Seite befestigten Schicht aus opakem Material mit provisorischen Löchern, die sich lagemäßig jeweils mit den permanenten Löchern decken und zum Zwecke des Drückens von Leuchtstoffelementen auf dem Bildschirm der Röhre kleiner sind als die entsprechenden permanenten Löcher, besteht, dadurch gekennzeichnet , daß ein Blechstück (56) auf seiner einen Seite (54) mit einer ersten Ätzschutzschicht (52) beschichtet wird; daß in dieser Ätzschutzschicht ein Muster von die Schicht durchsetzenden Löchern (66) mit der Größe der gewünschten provisorischen Löcher angebracht wird; daß das Blechstück auf seiner anderen Seite (60) mit einer zweiten Ätzschutzschicht (58) beschichtet wird; daß in dieser zweiten Ätzschutzschicht Löcher (68) angebracht werden, die sich lagemäßig jeweils mit den Löchern in der ersten Ätzschutzschicht decken, jedoch größer sind als diese; daß die durch die Löcher in den beiden Ätzschutzschichten freigelegten Teile des Blechstückes unter Bildungvon permanenten Löchern (78) im Blechstück, die sich lagemäßig mit den Löchern in der ersten Ätzschutzschicht decken, jedoch größer sind als diese, weggeätzt werden; daß die Oberfläche (70) der ersten Ätzschutzschicht (52) mit feinen Metallteilchen unter Bildung einer opaken Metallschicht (72), die von provisorischen Löchern (73) durchsetzt ist, die sich lagealßig mit den Löchern der ersten Ätzschutzschicht decken und gleichgroß sind wie diese, beschichtet wird; und daß schließlich das Blechstück zu einer provisorischen Lochmaske (50) für das Schirmdrucken geformt wird.
2. Verfahren nach Anspruch \ dadurch gekennzeichnet , daß die Ätzschutzschichten aus einem lichtempfindlichen Ätzschutzmaterial bestehen unddie Löcher in den Ätzschutzschichten auf photographischem Wege gebildet werden.

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3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzen des Blechstückes solange fortgesetzt wird, bis das Metall unter den Ätzschutzschichten und um die Ränder der Löcher der Ätzschutzschichten abgetragen ist, derart, daß die Ätzschutzschichten die einzelnen permanenten Löcher teilweise abdecken (69).
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die opake Metallschicht durch Aufstreichen, Aufsprühen, Aufdampfen, stromloses Aufplattieren, elektrolytisches Aufplattieren oder Elektrophorese aufgebracht wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d adurch gekennzeichnet, daß die Schmelztemperatur des Metalls der opaken Metallschicht höher ist als die Glühtemperatur des Blechstückes.
6. Verfahren nach Anspruch Sy dadurch gekennzeichnet, daß das Blechstück aus Stahl besteht und bei der Formung zur provisorischen Lochmaske bei einer Temperatur von ungefähr 900° C. geglüht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 3_f dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Aufbringen der opaken Metallschicht die zweite Ätzschutzschicht und/oder diejenigen Teile der ersten Ätzschutzschicht,' die die permanenten Löcher teilweise abdecken, vor der Formung der Lochmaske entfernt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Entfernen der die permanenten Löcher teilweise abdeckenden Teile der Ätzschutzschichten das Blechstück in einer oxydierenden Atmosphäre erhitzt wird.

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