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DE2144487B2 - Einrichtung zur beruhrungslosen Messung - Google Patents

Einrichtung zur beruhrungslosen Messung

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Publication number
DE2144487B2
DE2144487B2 DE19712144487 DE2144487A DE2144487B2 DE 2144487 B2 DE2144487 B2 DE 2144487B2 DE 19712144487 DE19712144487 DE 19712144487 DE 2144487 A DE2144487 A DE 2144487A DE 2144487 B2 DE2144487 B2 DE 2144487B2
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DE
Germany
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speed
image
frequency
light
photoelectric
Prior art date
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Granted
Application number
DE19712144487
Other languages
English (en)
Other versions
DE2144487C3 (de
DE2144487A1 (de
Inventor
Hermann Dipl.-Ing. 6335 Naunheim Eisenkopf
Knut Dipl.-Ing. Heitmann
Eckart Schneider
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz GmbH filed Critical Ernst Leitz GmbH
Priority to DE19712144487 priority Critical patent/DE2144487C3/de
Priority to CH1257172A priority patent/CH548605A/de
Priority to IT6977672A priority patent/IT965158B/it
Priority to GB4033572A priority patent/GB1389309A/en
Priority to FR7231442A priority patent/FR2152122A5/fr
Publication of DE2144487A1 publication Critical patent/DE2144487A1/de
Publication of DE2144487B2 publication Critical patent/DE2144487B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2144487C3 publication Critical patent/DE2144487C3/de
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Expired legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/36Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

3 4
kierungen gegenüber einer Bezugslage mit Abbildung dunkle Bereiche angedeutet, das Licht verschieden des Objektes auf ein Gitter und Messung des dieses stark hindurchläßt, enthalten die Ausgangssignale der Gitter durchsetzenden Lichtflusses mittels fotoelek- Fotozellen 10, 11 veränderliche Gleichanteile enttrischer Mittel, deren Ausg^ngssignale eine der Be- sprechend der zeitlichen Änderung der Helligkeitswegungsgeschwindigkeit proportionale Frequenzkom- 5 verteilung in der Ebene des Gitters 5 infolge der ponente aufweisen. Diese Einrichtung zeichnet sich Bewegung des Objektes 1. Durch die Überlagerung dadurch aus, daß zur Unterdrückung der Gleich- der Objektstruktur mit der Struktur des Gitters ergibt signalanteile in den Ausgangssignalen der fotoelek- sich eine Ausfilterung der Bildstrukturanteile, deren triscLcn Empfänger im Abbildungsstrahlengang ein Ortsfrequenz der Gitterkonstante entspricht. Dabei doppelbrechendes, in der Ebene des Gitters zwei um io werden zusätzliche niederfrequentere Bildanteile als eine halbe Gitterkonstante gegeneinander verschobene störender GleichlichtanteiJ durchgelassen. Für das Bilder erzeugendes Bauteil vorgesehen ist und daß um eine halbe Gitterkonstante versetzte Bild gilt uas dem Gitter über einen polarisierenden Teiler zwei foto- gleiche, aber mit dem Unterschied, daß nur die der elektrische Empfänger nachgeschaltet sind. Mit Vorteil Gitterkonstante entsprechende Ortsfrequera gegenkann als doppelbrechendes Bauteil ein Wollaston- 15 über dem erstgenannten Ortssignal um 180° in der Prisma vorgesehen sein. Auch können Mittel zur Phase verschoben ist. Durch anschließende Differenzdefinierten, vorzugsweise kontinuierlichen Bewegung bildung der aus den beiden Bildanteilen gewonnenen des Gitters relativ zur optischen Achse des Gerätes elektrischen Signale erhält man eine Elimination der vorgesehen sein. gleichphasigen Gleichlichtanteile und eine Addition
Der besondere Voiteil des Anmeldungsgegenstandes 20 der gegenphasigen Signalanteile der ausgefilterten
gegenüber Bekanntem liegt darin, daß er bei Ver- Ortsfrequenz. Bei Bewegung des Objektes wird dann.
Wendung von Gegentaktsignalen die Anwendung von wie bekannt, die Ortsfrequenz in geschwindigkeits-
Gittern mit hoher Linienzahl zuläßt, was sich erheblich proportionale Zeitfrequenz umgesetzt und gemessen,
in der Signalqualität und damit in der Meßgenauigkeit Es ist natürlich auch möglich, bei ortsfester Lage des
auswirkt. 25 Objektes das Gitter 5 relativ zur optischen Achse des
Ein Ausführungsbeispiel für die neue Einrichtung Gerätes definiert zu bewegen (Antrieb 15, gestrichelt ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und nach- angedeutet). Tut man solches beispielsweise gleichfolgend beschrieben. förmig in einer Richtung, so erhält man am Ausgang
Mit dem Bezugszeichen 1 ist ein bewegtes trans- des Empfänger« bei ruhendem Objekt eine Zeitfrequenz, parentes Objekt bezeichnet, dessen Relativgeschwindig- 30 die nur der Bewegungsgeschwindigkeit des Gitters 5 keit im Durchlicht gemessen werden soll. Dieses proportional ist. Bei bewegtem Objekt dagegen erhält Objekt 1 wird von einer Lampe 2 über einen Konden- man eine Zeitfrequenz, die je nach Bewegungssor 3 beleuchtet. Ein Objektiv 4 bildet das Objekt in richtung des Objektes entweder der Summe oder der die Ebene eines Gitters 5 ab. Dabei erzeugt ein zwi- Differenz von Objekt- und Gitterbewegungsgeschwinschen die Objektivlinsen gesetztes Wollaston-Prisma 6 35 digkeit proportional ist. Aus diesen Signalen lassen durch Doppelbrechung zwei Objektbilder, die in der sich in bekannter Weise durch Vergleich mit einem Gitterebene 5 um eine halbe Gitterkonstante senkrecht nur von der Gitterbewegung abgeleiteten Signal (z. B. zu den Gitterstrichen gegeneinander versetzt sind. mittels eines phasenempnndlichen Gleichrichters) Das Licht je eines Bildes wird nach Filterung durch das Größe und Richtung der Objektbewegung bestimmen. Gitter 5 über einen polarisierenden Teiler 7 und 40 Soll die Ortslage gemessen werden, so muß die AnKondensoren 8, 9 je einem der fotoelektrischen zahl der durchlaufenen Perioden am Ausgang des Empfänger 10, 11 zugeführt. Vergleichers unter Berücksichtigung der ebenfalls vor-
Da die Objektstruktur, wie auf dem Objekt 1 durch handenen Richtungsinformation gezählt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

den Abtastern, aus der man über den Abbildungs-Patentansprüche: maßstab die Objektgeschwindigkeit V0 erhält, als
1. Einrichtung zur berührungslosen Messung
der Geschwindigkeit von Objekten ohne spezielle 5 v„' = —.
optische Markierungen gegenüber einer Bezugslage r
mit Abbildung des Objektes auf ein Gitter und
Messung des dieses Gitter durchsetzenden Lichtflusses mittels fotoelektrischer Mittel, deren Aus- Dieses bekannte Verfahren bedingt mit regelbarem gangssignale eine der Bewegungsgeschwindigkeit io Speicher und Korrelator einen komplizierten, störproportionale Frequenzkomponente aufweisen, anfälligen Geräteaufwand und liefert nur eine über d a d u r c h g e k e η η ζ e i c h η e t, daß zur Un- die Speicherzeit τ gemittelte Durchschnittsgeschwindigterdrückung der Gleichsignalanteile in den Aus- keit.
gangssignalen der fotoelektrischen Empfänger Schließlich kann man das bewegte Objekt auf ein
(10, 11) im Abbildungsstrahlengang ein doppel- 15 Gitter 0^ der Linienzahl k pro Millimeter abbilden, brechendes, in der Ebene des Gitters (5) zwei um hinter dem ein Fotoempfänger das vom Objekt eine halbe Gitterkonstante gegeneinander ver- kommende Licht aufnimmt und vorzugsweise bei schobene Bilder erzeugendes Bauteil (6) vorgesehen Vorliegen einer bestimmten Ortsfrequenz in der ist und daß dem Gitter (5) über einen polarisieren- Helligkeitsverteilung des Objektes eine Wechseiden Teiler (7) zwei fotoelektrische Empfänger 20 spannung abgibt, deren Frequenz / der Geschwindig-(10,11) nachgeschaltet sind. te't des Objektbildes ν relativ zum Gitter und zu k
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- proportional ist. Es gilt
kennzeichnet, daß als doppelbrechendes Bauteil
ein Wollaston-Prisma (6) vorgesehen ist. f = ν ■ k .
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- 2s
kennzeichnet, daß Mittel (15) zur definierten, Dieses Signal ist überlagert von längerperiodischen vorzugsweise kontinuierlichen Bewegung des Git- Signalen (Gleichlicht) entsprechend dem Integral über ters(5) relativ zur optischen Achse des Gerätes die Bildanteile mit Ortsfrequenzen, die k nicht entvorgesehen sind. sprechen. Zur Unterdrückung dieses Gleichlicht-
30 anteils ist eine Einrichtung mit einem speziellen Fotoempfängerpaar mit ineinandergeschachtelten strei-
fenförmigen Elektroden bekannt, die nur aus Bildanteilen mit k entsprechender Ortsfrequenz ein Gegentaktsignal liefert, und bei der sich die Gleichtaktanteile 35 anderer Signale durch eine differenzbildende Brücken-
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur schaltung herausheben. Die speziellen Fotoempfänger
berührungslosen Messung der Geschwindigkeit oder dieser bekannten Einrichtung bedingen infolge ihrer
des Weges von Objekten ohne spezielle optische Mar- schwierigen Geometrie wiederum hohen Aufwand,
kierungen gegenüber einer Bezugslage. und sie begrenzen, da sie sich nicht mit beliebiger
Es sind bereits optische Geschwindigkeitsmeßein- 40 Feinheit herstellen lassen, die Streifenzahl, welche in
richtungen bekannt, bei denen Relativbewegungen unmittelbarem Zusammenhang mit der Meßgenauig-
eines Objektes gegenüber einem fotoelektrischen keit des Systems steht.
Empfänger von der Relativgeschwindigkeit abhängige Ferner ist eine Vorrichtung zur Steuerung von Luft-Meßgrößen erzeugen. Dabei verwendet man grund- bildkameras zur Bildbewegungskompensation bekannt sätzlich drei verschiedene Methoden: 45 (Journ. Opt. Soc. of America, Vol. 53, Nr. 12, 1963, Einmal kann man das anzumessende Objekt mit S. 1416 bis 1422), bei der mittels Parallelschlitzgittern monochromatischer kohärenter Strahlung bestrahlen, eine Lichtmodulation erzielt und daraus Signale dann das am Objekt gestreute Licht einfangen, dessen mit geschwindigkeitsproportionaler Frequenz erhalten Frequenz infolge Dopplerverschiebung beeinflußt ist, werden. Dabei sind zur Unterdrückung der Gleich- und sodann die Frequenz des Streulichtes durch Inter- 50 signalanteile zwei um eine halbe Gitterkonstante verferenz mit der Primärstrahlung oder mit in entgegen- schoben nebeneinanderliegende Gitter vorhanden, gesetzter Richtung frequenzverschobenem Licht mes- welche durch zwei fotoelektrische Empfänger absen. Dieses bekannte Verfahren bedingt im Hinblick getastet werden. Die dadurch bedingte Parallaxe ist auf die erforderlichen Laser und Interferometer einen insbesondere für geringe Flughöhen bzw. geringe in vielen Fällen untragbaren apparativen Aufwand. 55 Objektentfernungen in vielen Fällen untragbar.
Zum anderen kann man das bewegte Objekt in eine Aufgabe der Erfindung ist es, eine Einrichtung zur Bildebene abbilden, in der mindestens zwei in Be- berührungslosen Messung der Geschwindigkeit von wegungsrichtung versetzte fotoelektrische Abtaster Objekten ohne spezielle optische Markierungen gegenangeordnet sind. Das Signal des ersten Abtasters, der über einer Bezugslage zu schaffen, bei der in äußerst in der Bewegungsrichtung als erster angeordnet ist, 60 einfacher Weise die angeführten Nachteile bekannter wird für eine vorgewählte Zeit τ in einem Kurzzeit- Einrichtungen vermieden sind, die sich mit handelsspeicher gespeichert und danach mit dem vom üblichen optischen und elektronischen Bauteilen leicht nächsten um die Strecke c verschobenen zweiten Ab- realisieren läßt und eine große Flexibilität in bezug taster gelieferten Signal in einem Korrelator verglichen. auf die speziellen Eigenarten vorliegender Meßobjekte Dabei wird die Speicherzeit τ so geregelt, daß das 65 aufweist.
Signal des zweiten Abtasters mit dem verzögerten des Gegenstand der Erfindung ist eine Einrichtung zur
ersten Abtasters zeitlich zusamnaßtrfäfTt Dann ergibt berührungslosen Messung der Geschwindigkeit oder
sich die GeschwindigkeiWtesObjektbildes relativ zu des Weges von Objekten ohne spezielle optische Mar-
DE19712144487 1971-09-06 1971-09-06 Einrichtung zur berührungslosen Messung Expired DE2144487C3 (de)

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DE19712144487 DE2144487C3 (de) 1971-09-06 1971-09-06 Einrichtung zur berührungslosen Messung
CH1257172A CH548605A (de) 1971-09-06 1972-08-24 Einrichtung zur beruehrungslosen messung der relativen geschwindigkeit, lage, entfernung oder verschiebestrecke von objekten.
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GB4033572A GB1389309A (en) 1971-09-06 1972-08-31 Apparatus for measuring properties of movement
FR7231442A FR2152122A5 (de) 1971-09-06 1972-09-05
US05/480,822 US3989378A (en) 1971-09-06 1974-06-19 Method for no-contact measurement

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DE2144487C3 DE2144487C3 (de) 1974-04-18

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DE2144487A1 (de) 1973-03-22

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Date Code Title Description
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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE

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