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DE2056449C - Vorrichtung zur elektromagnetischen Anregung eines schwingenden optischen Elements - Google Patents

Vorrichtung zur elektromagnetischen Anregung eines schwingenden optischen Elements

Info

Publication number
DE2056449C
DE2056449C DE2056449C DE 2056449 C DE2056449 C DE 2056449C DE 2056449 C DE2056449 C DE 2056449C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mirror
optical element
deflection
axis
moving coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Albrecht 7923 Königsbronn RiIk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Publication date

Links

Description

5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, 30 statten.
dadurch gekennzeichnet, daß das optische EIe- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge-
ment den Magneten (4) trägt und die Tauchspule löst, daß ein drehbar gelagertes optisches Element (2, 3) stationär angeordnet ist. eine außerhalb seiner Drehachse gelegene Tauchspuie
trägt, die in das Feld eines stationär angeordneten
15 Permanent- oder Elektromagneten ragt, und daß das
elektromagnetische Tauchspulsystem das Stellglied in einem geschlossenen Regelkreis darstellt, der ein
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur elek- System zur Messung der Auslenkung des optischen tromagnetischen Anregung eines schwingenden opti- Elements und eine Vorrichtung zum Vergleich dieser sehen Elements. ♦« Auslenkung mit der den gewünschten zeitlichen
Schwingende optische Elemente, wie beispielsweise Amplitudenvorlauf aufweisenden Führungsgröße, auf Schwingspiegel dienen vorzugsweise zur Abtastung den die Auslenkung einregelbar ist, enthält,
von optischen Abbildungen. Diese werden dabei vor- Für hohe Konstanz der Betriebseigenschaften ist es
zugsweise linienförmig abgetastet, wobei die Bild- von besonderem Vorteil, wenn der Spiegel in einem punkte nacheinander einem photoelektrischen Detek- 45 Kreuzfedergelenk gelagert ist. Kreuzfedergelenke getor zugeleitet werden, der sie in ein elektrisches statten bei kleinstem Bauvolumen große Schwing-Bildsignal umwandelt. Dieses wird über Kabel oder amplituden bei großem Massenträgheitsmoment des Funk einem Empfänger zugeleitet, der ein sichtbares Schwingers.
Bild erzeugt. Bei den mittels eines Schwingspiegels In einer vorteilhaften Ausführungform der Erfin-
abgetasteten Abbildungen handelt es sich meist um 50 dung ist das Tauchspulsystem so auf der Rückseite solche im nicht sichtbaren Spektralbereich, z. B. um des Spiegels befestigt, daß bei einer Spiegelbewegung Wärmebilder. Das Weg-Zeit-Diagramm des Spiegels sich die Achse des Tauchspulsystems als Tangente soll dabei möglichst durch Linien ersten Grades auf einem Umkreis der Spiegeldrehachse bewegt,
darstellbar sein, weil Abrundungen im Weg-Zeit- Weiterhin ist es möglich, daß auf dem Schwing-
Diagrammen gleichbedeutend sind mit Verlustwegen. 55 spiegel ein Magnet befestigt und eine Tauchspule Außerdem ist es wünschenswert, daß der Weg für stationär angeordnet ist.
die Rückführung des Spiegels kürzer ist als der für Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen
den Arbeitsgang. Ein vorteilhaftes Weg-Zeit-Dia- insbesondere darin, daß durch die Verwendung des gramm für einen Schwingspiegel ist also eine Säge- Tauchspulsystems so hohe Flußdichten im Luftspalt zahnkurve, deren Anstiegsflanke einen kleineren 60 erzeugt werden, daß auch bei einer vom Stromnetz Steigungswinkel hat als die abfallende Flanke. Die unabhängigen Energieversorgung hohe Auslenkkräfte in diesem Fall bei der Rückführung auftretenden und damit hohe Beschleunigungen erhalten werden starken Beschleunigungskräfte sind ausschlaggebend können. Dadurch ist es möglich, den Spiegel zu nicht für die Schwierigkeiten und Probleme der Kon- sinusförmigen Schwingungen anzuregen, beispieisstruktion. 65 weise zu einer sägezahnartigen Schwingung, deren
Es ist bekannt, die Anregung von Schwingsyste- Verlaufsform eine flache Anstiegs- und eine steile men motorisch und mittels mechanischer Getriebe Abfall flanke zeigt,
vorzunehmen, wobei die Amplitudenkonstanz und Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den
Fig. 1 bis 3 dec Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 die Vorrichtung entsprechend der Erfindung in einem Schnitt in der Seitenansicht,
Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie H-II der "il
ι α r Fi ρ 3 ist die vom Sollwertgeber in den gelkreis eingegetne Führungsgröße mit W begeiKreis ciuBtB „ . is» sondern eine sich
Regelkreis
KegeiKreis
sondern eine sich
Fig. 3 das Blockschaltbild des geschlossenen Regelkreises.
Im einzelnen ist in den Fig. 1 und 2 mit 1 der Spiegel bezeichnet, der drehbar um die Achse 8 in einem Kreuzfedergelenk 5 gelagert ist. Auf der Rückseite des Spiegels 1 ist außerhalb der Drehachse 8 eine Tauchspule 2 mit den Wicklungen 3 befestigt. Mit 4 ist ein rotationssymmetrischer Topfmagnet bezeichnet, in welchen die Spüle 2 bei Schwingbewegungen des Spiegels 1 eintaucht. Die Achse 6 der Spule 2 bewegt sich dabei als Tangente auf den Umkreis 7 der Spiegeldrehachse 8.
und der Spiet-ei-
auf da
vSrker und einen Leistung
eleCmagneüsche System des Schwngungssp^eK
gegeben.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

1 2 - :-ill die Formtreue der Bewegung durch die Mechanik äff Patentansorüche- selbst vorgeschrieben ist. Für nicht sinusförmige SSfv Patentansprüche. Ablenkungen des Spiegels sind Getriebe jedoch S
1. Vorrichtung zur elektromagnetischen An- schwierig in der Bestimmung und Fertgung und I^ regung eines schwingenden optischen Elements, 5 bedingen ein großes Bauvolumen. Weitere Nachteile ^ dadurch gekennzeichnet, daß ein dreh- Hegen in ihrem großen Gerauschpegel und noren ,^Urbar gelagertes optisches Element (1) eine außer- Verschleiß. i# halb seiner Drehachse (8) gelegene Tauchspule Es sind auch elektromagneüsche Anregung*- Jg (2,3) trägt, die in das Feld eines stationär an- systeme für Schwingspiegel bekannt be» denen eine ^ geordneten Permanent-oder Elektromagneten (4) io elektrische Spule in einem Magnetfeld durch einen .,..·,. ragt und daß das elektromagneüsche Tauchspul- sie durchfließenden Wechselstrom ausgelenkt wird, system das Stellglied in einem geschlossenen Bei den bekannten Ausführungsbeispielen dieser ^n ^ Regelkreis darstellt, der ein System zur Messung läßt die Größe des Luftspaltes im Magnetfeld r.ur ^ der Auslenkung des optischen Elements und eine geringe Auslenkungskräfte zu. Deshalb Können uu- κ Vorrichtung zum Vergleich dieser Auslenkung 15 artige Schwingsysteme nur fur sinusförmige bpiegei ψ. mit der den gewünschten zeitlichen Amplituden- bewegungen und Spiegel mit kleinem Massentra*- g verlauf aufweisenden Führungsgröße, auf den die heitsmoment verwendet werden. K-Auslenkung einregelbar ist, enthält. Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrun· ν
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- eine Vorrichtung zur elektromagnetischen Anregu ;, kennzeichnet, daß das optische Element (I) aus ao eines schwingern optischen Elements, beispie
einem Spiegel besteht. weise eines Schwingspiegels anzugeben, die es ,
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge- laubt, der Amplitude der Spiegelauslenkung ein ·. kennzeichnet, daß der Spiegel (1) in einem Kreuz- gewünschten zeitlichen Verlauf zu geben, wot· · federgelenk (5) gelagert ist. auch große Ainlenkungsamplituden möglich sip,*
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 3, as Die neue Vorrichtung soll es insbesondere auch 1-dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Spiegel- möglichen, Spiegel mit relativ großem Massenträt. bewegung sich die Achse (6) des Tauchspul- heitsmoment zu Schwingbewegungen anzuregen, iltt systems (2,3) als Tangente auf einem Umkreis (7) eine Auslenkung von Strahlenbündel größerer Durch der Spiegeldrehachse (8) bewegt. messer, beispielsweise von 100 mm und mehr gc

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