DE2055970C - Verpackung fur empfindliche kreis scheibenförmige Gegenstande, insbesondere Haltleiterscheiben - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verpakkung für kreisförmige Gegenstände, insbesondere Halbleiterscheiben, wobei die Verpackung aus einer Runddose besteht, die zumindest einen Dosenteil mit zumindest einer schräg zur Dosenachse verlaufenden kegelmantelförrr.igen Anschlagfläche für die kreisscheibenförmigen Gegenstände aufweist, und wobei ferner zumindest ein Dosenteil keilförmige, nutenartige Aufnahmen für die scheibenförmigen Gegenstände aufweist und wobei außerdem in der Mitte der Dose ein Führungsstab angeordnet ist.

Aus der schweizei ischen Patentschrift 481 809 ist eine derartige Runddose bekannt. Jedoch ist diese nur für gleich große Scheiben geeignet, zudem werden die scheibenförmigen Gegenstände an ihren Flächen berührt, so daß die Möglichkeit einer Verunreinigung durch das Verpackungsmaterial besteht. Weiterhin liegt keine Fixierung der Scheiben vor, wodurch bei empfindlichem Verpackungsgut Bruchgefahr besteht.

Die USA.-Patentschrift 3067 869 empfiehlt für zerbrechliche Gegenstände, z. B. Geschirr, die Verwendung von in jeder Höhe feststellbaren Niederhaltern.

Dem Anmeldungsgegenstand kommt die mit den Maßnahmen des zitierten Stands der Technik nicht gelöste Aufgabe zu, eine Verpackung in der Art nach der genannten schweizerischen Patentschrift für besonders empfindliche Kreisscheiben, wie z. B. Halbleiterscheiben, derart weiterzubilden, daß ein und dieselbe Verpackung in einem weiten Bereich auf eine Anzahl Scheiben gleichen Rohrdurchmessers einstellbar ist und außerdem trotz weiter Toleranzen dieses Rohrdurchmessers eine sichere Festlegung jeder einzelnen Scheibe gewährleistet ist, und daß ferner aus Gründen der Reinhaltung die planer Flächen der Scheiben von der Verpackung möglichst nicht berührt weiden.

Die Lösung dieser Aufgabe ist dadurch gekenn-7.eichnet, daß in an sich bekannter Weise die kreisscheibenförmigen Gegenstände an ihrem Umfang in Gen nutenartigen Aufnahmen mittels eines Nieder halters gehalten werden, der zumindest in einem Höhenbereich beliebig durch eine Feststellvorrichtung arretierbar ist, und daß zwei gegenüberliegende, im Winkel von 40 bis 100 schräg, im Querschnitt trapezförmig aufeinander zu laufende Kegelmantel flachen vorgesehen sind, auf denen die keilförmigen Nuten angeordnet sind, und daß am Führungsstab der Niederhalter axial beweglich ist, wobei ώ ■ Niederhalter mit Nuten versehene Lamellen aufweist die mit einer gewissen Spannung auf den kreisförmi gen Gegenständen aufliegen und zusammen mit de:·. kegelmantelförmia angeordneten Nuten eine senkrechte Dreipunkthalterung bilden.

Die erfindungsgemäße Verpackung hat den Vo, teil, daß ein staubfreier und bruchsicherer Transpo, ι für Halbleiterscheiben ermöglicht und somit au«.;. eine Nachreinigung beim Weilerverarbeiten in jeden Fall vermieden wird. Weiterhin liegen die ScheiK nicht auf ihren planen Flächen und können sich aut.ii gegenseitig nicht verkrat/en. Zudem ist mit diesu Verpackung ein Versenden von Halbleiterscheibe·! aller Art verschiedenster Dicke und Größe mn gleich gutem Erfolg möglicn.

Es wird nur für eine Verpackung Schutz begehrt. die zumindest alle im Anspruch 1 aufgeführter. Merkmale aufweist.

Im folgenden sind Ausführungsbeispiele der Etfindung näher erläutert, insbesondere an Hand von Zeichnungen.

F i g. 1 stellt den Deckel 2, die Feststellvorrich tung 9, den Niederhalter 6 mit Lamellen 8 und die Runddose 1 mit Einsatz 3 im Aufriß dar. Die nutenförmigen Vertiefungen der Lamellen 8 sind mit 10 bezeichnet. Der Führungsstab, auf den der Niederhalter 6 gesetzt wird, trägt die Nummer 5. Um den Führungsstab herum befindet sich der Einsatz 3 mit den schrägen, kegelmantelförmigen Außenflächen 4.

Fig. 2 stellt den Niederhalter 6 in Draufsicht dar, wobei die lamellenartige Struktur (Lamellen sind mit 8 bezeichnet) deutlich erkennbar ist;

F i g. 3 ist ein Teil eines Querschnitts durch eine Aufnahmefläche 4 mit den keilförmigen Nuten 7;

Fig.4 gibt die Draufsicht auf den Einsatz3 wieder. Hierbei werden die Aufnahmeflächen 4 mit den keilförmigen Nuten 7 dargestellt.

Die Verpackung ist besonders geeignet für gesägte, geläppte und polierte Halbleiterscheiben. In einer Dose können je nach Ausführungsform zwischen 10 und 100 Scheiben eingesteckt werden. Der Durchmesser der Scheiben ist dabei nicht von Bedeutung, da der Niederhalter auf jede Scheibengröße einstellbar ist.

Die Runddose ist mit einem staubschützenden,

feststellbaren Deckel verschlossen. Beide Teile sind Dose möglich. Weiterhin kann bei nicht ganz gefüll-

aus Kunststoff, vorzugsweise Polystyrol, gefertigt. ter Dose die Anzahl der Scheiben sofort abgelesen

Der Deckel kann "beispielsweise auf einem abgestuf- werden.

ten Teil mehrere Flügel aufweisen, die das Öffnen Der Einsatz ist meistenteils aus Kunststoff herge- und Schließen der Dose erleichtern sowie zudem bei 5 stellt. Dabei hat sich für gesägte und geläppte Scheigeeigncter Gestaltung des Dosenbodens das Stapeln ben weißes Kunststoffmaterial bewährt, vorzugsweise der Dosen aufeinander ermöglichen. Dabei kann der geschäumtes Polystyrol; für polierte Scheiben härtere Dosenboden rund um den Umfang der Dose einen Kunststofftypen, vorzugsweise massives Polystyrol, niederen Rand aufweisen, dessen Durchmesser arö- Der Führungsstab im Zentrum der Dose und der ßer ist als der Kreis, der von den rund um den Dek- io Niederhalter sind so aufeinandergepaßt, daß letzterer kel angebrai > m Flügeln gebildet wird. Dadurch nur in einer bestimmten Stellung auf den Stab gepassen die Flu_toJ der unteren Dose in den Rand des schoben werden kann und somit auch zur Dose und Dosenbodens der oberen Dose, und ein Verrutschen zum Doseneinsatz eine vorgegebene Stellung hat. der Dosen gegeneinander wird verhindert. Vorzugsweise wird dies dadurch erreicht, daß auf

Weiterhin können auf dem Deckel Etiketten auf- 15 dem Führungsstab asymmetrisch angeordnete Füh-

gebracht werden, auf denen die Spezifikationen der rungsschienen angebracht sind. Damit gelingt es, daß

verpackten Halbleiterscheiben angegeben sind. jeweils eine Nut in den Lamellen des Niederhalters

Das Innere der Dose kann durch einen Einsatz. über den keilförmig einander pogenüberliegenden

der die nutenförmigen Aufnahmen für die Scheiben Nuten der Aufnahmefläche zu stehen kommt und so

darstellt, gebildet werden. Der Einsatz paßt _oenau in ao mit die senkrechte Dreipunkthalterung der einzelnen

die Dose und wird mittels bekannter Vorrichtungen. Scheiben erreicht wird. Der Niederhalter ist aus ther-

beispielsweise Nuten und Gegenstücke, arretiert, so moplastischem Kunststoff, beispielsweise aus Poly

daß er nur in einer bestimmten Stellung in die Dose propylen Polycarbonat oder auch glasfaserverstärk -

einsetzbar ist. Dadurch wird erreicht, daß der Einsatz ten Polymeren angefertigt und hat die Aufgabe, du

gegenüber der Dose und dem Führungsstab eine 35 in den Nuten stehenden Scheiben senkrecht zum Dc

nicht veränderbare Stellung hat. senboden festzuhalten. Arretiert wird er beispieh

Die Nuten in den Aufnahmeflächen sind so ange- weise mittels einer Mutter.

bracht, daß jeweils eine Nut der inneren Aufnahme- Vor dem Einsetzen der Scheiben wird der Nieder fläche einer solchen der äußeren Autnahmeflächen halter entfernt, und wenn die gewünschte Anzahi gegenüberliegt. In diese Nuten werden die Scheiben 30 Scheiben eingesetzt ist, wird dieser wieder auf den eingesetzt, wobei, bedingt durch die Keilform und Führungsstab aufgesetzt und so weit nach unten geurabhängig von der Dicke der Scheiben, letztere Nut schoben, bis die Lamellen auf den Scheiben mit einbaut ihren Kanten aufliegt. Dadurch kommen die gewissen Spannung aufliegen und diese fixieren. An hochempfindlichen Oberflächen der Scheiben mit schließend wird der Niederhalter arretiert und der den Verpackungsteilen nicht in Berührung. ₃₅ Dosendeckel verschlossen. Zur völligen Abdichtung

Die einzelnen Nuten können numeriert sein. Da- gegen Staub kann die Dose an der Trennaht zwi-

durch ist eine Kennzeichnung der Scheiben sowie sehen Dosenunterteil und Deckel mit einem Selbst

die Angabe deren Spezifikation auf dem Deckel der klebeband umwickelt werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

2 970 Patentansprüche:

1. Verpackung für empfindliche kreisscheibenförmige Gegenstände, insbesondere Halbleiterscheiben, wobei die Verpackung aus einer Runddose besteht,, die zumindest einen Dosenteil mit zumindest »^:ner schräg zur Dosenachse verlaufenden keguimanielförmigen AnschJagfiäche für die kreisscheibenförmigen Gegenstände aufweist und wobei ferner zumindest ein Dosenteil keilförmige, nutenartige Aufnahmen für die scheibenförmigen Gegenstände aufweist und wobei außerdem in der Mitte der Dose ein Führungsstab angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise die kreisscheibenförmigen Gegenstände an ihrem Umfang in den nutenartigen Aufnahmen mittels eines. Niederhalters gehalten "-erden, der zumindest in einem Hölienhereich beliebig durch eine Feststellvorrichtung arrelierbar ist, und daß zwei gegenüberliegende, im Winkel von 40 bis 100 schräg, im Querschnitt trapezförmig aufeinander zu laufende Kegclmantelfläehen vorgesehen sind, auf denen die keilförmigen Nuten angeordnet sind, und daß am Führung>otdb der Niederhalter axial beweglich ist, wobei der Niederhalter mit Nuter! versehene Lamellen aufweist, die mi' einer gewissen Spannung auf den kreisförmigen Gegenständen aufliegen und j jsammen mit den kegelmantelförmig angeordneten Nut'-n ein- senkrechte Dreipunkthalterung bilden.

2. Verpackung nach Anspru h I, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Führungsstab asymmetrisch angeordnete Führungsschienen angebracht sind.