DE2045534C3

DE2045534C3 - Oberflächenwellenfilter

Info

Publication number: DE2045534C3
Application number: DE2045534A
Authority: DE
Inventors: William Burgess Hill Sussex Willis
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1969-09-17
Filing date: 1970-09-15
Publication date: 1982-04-08
Also published as: CA925966A; ES383659A1; JPS5211186B1; GB1328343A; US3688223A; DE2045534B2; DE2045534A1; SE367294B; FR2062279A5; NL7013518A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Oberflächenwellenfilter mit einem Körper aus piezoelektrischem Material, auf dessen einer Oberfläche zwei Interdigitalwandler in der Weise angebracht sind, daß ein dem einen Wandler, zugeführtes elektrisches Signal eine Oberflächenwelle hervorruft, die sich an der Oberfläche des Körpers entlang fortpflanzt und mit Hilfe des anderen Wandlers wieder in ein elektrisches Ausgangssignal umgewandelt wird, wobei die beiden Wandler Amplitude-Frequenz-Kennlinien aufweisen, die über wenigstens einen Teil des Durchlaßbandes des Filters voneinander verschieden sind.

Für Frequenzen unterhalb des Mikrowellenbandes hat es sich als praktisch unmöglich erwiesen, Induktivitäten in integrierter Form herzustellen. Dies hat z. B. zur Folge, daß bisher Zwischenfrequenzverstärker für Fernsehempfänger nicht völlig integriert sind.

Filter auf der Basis von akustischen Oberflächenwellen lassen sich auf einfache Weise integrieren. Es bereitet jedoch bisher Schwierigkeiten, hohe Anforde-

rungen in bezug auf den Verlauf der Filterkennlinie zu erfüllen.

Durch die Zeitschrift »Electronics Letters« Vol. 5, No. 10, Seiten 219 und 220 (15. Mai 1969) ist bereits eine dispersive Verzögerungsleitung auf dsr Basis der akustischen Oberflächenwellen beschrieben, die zur Impulskompression vorgesehen ist und von der zur Unterdrückung der Ein- und Ausschwingvorgänge zugleich die Eigenschaften eines Filters gefordert werden. Der eine der beiden Interdigitalwandler dieser Verzögerungsleitung weist eine geringe Anzahl von Elektrodenfingern gleicher Länge auf, wodurch sich für diesen Wandler eine Amplitude-Frequenz-Kennlinie mit großer Durchläßbreite ergibt. Für den anderen Interdigitalwandler ist eine große Anzahl von Elektrodenfingern charakteristisch, die entlang der Breite des Wandlers sowohl hinsichtlich ihrer Länge als auch ihres gegenseitigen Abstandes variieren. Durch die Variation des Abstandes der Finger wird der Verzögerungszeit-Frequenz-Kennlinie des Wandlers der erforderliche Verlauf gegeben, während durch die Variation der Fingerlänge die Amplitude-Frequenz-Kennlinie den Verlauf erhält, der zur Unterdrückung der Ein- und Ausschwingvorgänge notwendig ist Bei diesem Wandler ist somit eine »Längenwichtung« und eine »Abstandswichtung« der Elektrodenfinger vorgesehen. Die beiden Wandler dieser als Verzögerungsleitung und als Filter wirksamen Anordnung weisen somit Amplitude-Frequenz-Kennlinien auf, die im Durchlaßbereich der Gesamtanordnung voneinander verschieden sind. Für den Frequenzgang der Verzögerungszeit unr¹ der Dämpfung der Anordnung ist jedoch in ganz überwiegendem Maße der Wandler mit den gewichteten Elektrodenfingern maßgebend.

Das Patent 20 16 109 hat unter anderem ein Filter auf der Basis der akustischen Oberflächenwellen mit zwei Interdigitalwandlern zum Gegenstand, bei welchem der eine Wandler aus einer geringen Anzahl von Elektrodenfingern gleicher Länge besteht, während der andere Wandler wesentlich mehr Zinken aufweist, deren Länge einer Wichtung unterliegt, durch die diesem Wandler eine Amplitude-Frequenz-Kennlinie mit großer Breite des Durchlaßbereiches und steilen Übergängen vom Durchlaßbereich zu den beidseitig angrenzenden Sperrbereichen eigen ist. Die beiden Wandler weisen somit Amplitude-Frequenz-Kennlinien auf, die im Durchlaßbereich des Filters voneinander abweichen. Das Übertragungsverhalten des Filters wird jedoch im wesentlichen durch die Amplitude-Frequer.z-Kennlinie des Wandlers mit Längenwichtung bestimmt und es wirkt sich somit die Unterschiedlichkeit der Amplitude-Frequenz-Kennlinien der beiden Wandler nicht nennenswert auf die Filtercharakteristik aus. Des weiteren ist dem Patent 20 16 109 die Lehre entnehmDar, daß die Übertragungsfunktion von Filtern, bei welchen der Eingangs- und der Ausgangswandler Elektrodenfinger mit Längenwichtung aufweisen, sich aus dem Produkt der Übertragungsfunktionen der beiden Wandler ergibt, zur quantitativen Erläuterung dieser Lehre wird jedoch lediglich ein Filter herangezogen, bei welchem die beiden mit Längenwichtung versehenen Wandler den gleichen Aufbau und somit übereinstimmende Amplitude-Frequenz-Kennlinien besitzen. Nach allem befaßt sich das Patent 2016 109 nur mit einer Art der verschiedenen Arten der Wichtung der Elektrodenfinger der Wandler, nämlich der Längenwichtung, und des weiteren ist das Patent 20 16 109 nicht darauf abgestellt, auf dasjenige im einzelnen einzugehen, was mit einem Filter erreichbar ist, bei welchen die beiden Wandler mit unterschiedlicher Übertragungsfunktion etwa im gleichen Umfang zum Verlauf der Filtercharakteristik im Durchlaßbereich und in dessen unmittelbarer Nähe beitragen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Oberflächenwellenfilter anzugeben, das einen großen Spielraum bei der Anpassung der Filterkurve an die Erfordernisse des Einzelfalles zuläßt und das demgemäß

ίο die Approximation eines komplizierter. Verlaufes der gewünschten Filterkurve ermöglicht und das sich insbesondere für die Anwendung im Zwischenfrequenzteil eines Fernsehempfängers eignet.

Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angeführten Merkmale gelöst.

Durch die Lehre nach der Erfindung kann eine genauere Annäherung an die gewünschte Filterkennlinie erhalten werden. Wenn z. B. in einem Teil des Durchlaßbandes des Filters ein möglichst flacher Verlauf erhalten werden soll, kann dafür gesorgt werden, daß der Sperrbereich in der Kennlinie des einen Wandlers bei einer anderen Frequenz als in der Kennlinie des anderen Wandlers auftritt. Wenn jedoch ein bestimmter Sperrbereich verlangt wird, z. B. beim Zwischenfrequenzwert der Tonträgerweüe des benachbarten Kanals im Zwischenfrequenzteil eines Fernsehempfängers, kann dafür gesorgt werden, daß die Sperrbereiche der Kennlinien der beiden Wandler bei dieser Frequenz auftreten, wodurch die Sperrwirkung erhöht wird.

Um störende Einflüsse infolge unerwünschter Kopplungen zwischen dem Eingangs- und dem Ausgangswandler zu vermeiden, kann in weiterer Ausgestaltung der Erfindung auf derjenigen Oberfläche des plattenförmigen Körpers aus piezoelektrischem Material, die der mit den Wandlern versehenen Oberfläche gegenüberliegt, eine leitende Schicht angebracht werden. Wenn diese leitende Schicht geerdet wird, werden Kopplungen zwischen den Wandlern, die auf andere Weise als durch die Oberflächenwellen zustande kommen, erheblich herabgesetzt. Dabei kann die leitende Schicht eine Metallschicht oder ein Si-Substrat mit einer größeren Leitfähigkeit als das Material des plattenförmigen Körpers sein.

Wenn als Material des Filterkörpers ein piezoelektrisches Material vorgesehen ist, das zugleich Halbleitereigenschaften aufweist, kann eine Zone mit erhöhter Leitfähigkeit über die ganze Breite des Körpers, beispielsweise durch Diffusion oder Ionenbeschuß, gebildet werden, wobei diese Zone mit erhöhter Leitfähigkeit mit der leitenden und geerdeten Schicht auf derjenigen Oberfläche des Körpers verbunden wird, die der mit den Wandlern versehenen Oberfläche gegenüberliegt. Diese Zone mit erhöhte» Leitfähigkeit setzt die unerwünschte elektrische Kopplung in noch erheblicherem Maße herab.

Die Orientierung der piezoelektrischen Achse des Körpers kann derart gewählt werden, daß der Kopplungsfaktor maximal ist. Durch passende Wahl des piezoelektrischen Werkstoffes können dessen Ausdehnungskoeffizient und die Geschwindigkeitsänderung der Oberflächenwellen in Abhängigkeit von der Temperatur derart aufeinander abgestimmt werden, daß der Einfluß der Temperatur auf das Übertragungsverhalten des Filters erheblich herabgesetzt ist.

Oberflächenwellen können mit Hilfe eines Wandlers erzeugt werden, der aus einer interdigitalen Elektrodenkonfiguration besteht, die auf der Oberfläche eines

piezoelektrischen Substrats angebracht ist. Ein derartiger Wandler ist in Abhängigkeit von der Anzahl und den gegenseitigen Abständen der Finger der Elektroden frequenzselektiv. Eine einfache Form einer bereits bekannten Konfiguration enthält in gleichen Abständen voneinander liegende Finger mit gleichen Abmessungen, wodurch im wesentlichen eine nach der Funktion

verlaufende Dämpfungskurve erhalten wird, wobei χ sich auf die Frequenz des Eingangssignals bezieht. Ein derartiger Wandler strahlt Oberflächenwellen gleichmäßig in entgegengesetzten Richtungen über die Oberfläche des Substrats senkrecht zu den einzelnen Fingern der interdigitalen Elektroden ab.

Ein interdigitaler Wandler für Oberflächenwellen kann als eine Anordnung aus Quellen von Oberflächenwellen betrachtet werden, die hintereinander in der Fortpflanzungsrichtung der Welle liegen.

Jeder Finger der interdigitalen Elektroden kann bekanntlich als eine Quelle betrachtet werden, welche eine Welle erzeugt und demgemäß tragen die von sämtlichen Quellen erzeugten Wellen zu der vom Wandler abgehenden Oberflächenwelle bei. Die Wirkungsweise der Wandler ist im Schrifttum bereits als analog zur Wirkungsweise der »End-Fire-Array-Antennen« bezeichnet worden. Die Amplitude und die Phase der auf diese Weise erhaltenen, stark gebündelten Ausgangswelle des Wandlers in Abhängigkeit von der Frequenz ist durch die relative Stärke und den gegenseitigen Abstand der Quellen festlegbar. Die Stärke einer Quelle kann dadurch auf ein Maximum gesteigert werden, üaü üic Bieite des betreffenden Elektrodenfingers vergrößert wird. Wenn die Breite auf einen noch höheren Wert gesteigert wird, hat die Stärke der Quelle die Neigung abzunehmen, aber die Kapazität des Elektrodenfingers nimmt nach wie vor mit der Breite zu. Die Stärke der Quelle kann auch durch Änderung der Länge der betreffenden Elektrodenfinger geändert werden. Im grundsätzlichen ist die Quellenstärke eines Elektrodenfingers von der wirksamen Oberfläche des Elektrodenfingers und auch von der Lage der benachbarten Elektrodenfinger abhängig. Diese Faktoren beeinflussen auch die Frequenzabhängigkeit, mit der sich die Oberflächenwelle von einem Elektrodenfinger ablöst, obwohl diese Frequenzabhängigkeit klein ist gegenüber der Frequenzabhängigkeit, die aufgrund des Zusammenwirkens der Gesamtheit der Elektrodenfinger eines Wandlers für die Bildung einer Oberflächenwelle maßgebend ist

Um bei einem Wandler die gewünschte Amplitude-Frequenz-Kennlinie zu erhalten, ist der gegenseitige Abstand der Quellen, die durch die entsprechenden Elektrodenfinger verwirklicht werden, zugleich mit der Stärke der betreffenden Quelle rechnerisch zu ermitteln. Es ist dabei vielfach erwünscht, daß die vom Filter in das Signal eingeführte Zeitverzögerung von der Frequenz unabhängig ist Dies kann dadurch erreicht werden, daß bei den einzelnen Wandlern Änderungen der Länge und der Breite sowie des Abstandes der Finger und Änderungen des Vorzeichens und der Größe der an jeden einzelnen Finger angelegten Spannung auf eine zu der Achse des Wandlers symmetrische oder antisymme irische Weise erfolgen.

Es kann erforderlich sein, das Filter derart auszubilden, daß einige Finger der Wandler eine Länge aufweisen, die nur einem kleinen Vielfachen der betreffenden akustischen Wellenlänge gleich ist; dies hat Streuverluste zur Folge. Diese Verluste können dadurch verringert werden, daß die Oberflächenwelle zwischen den Wandlern geführt wird, was beispielsweise dadurch möglich ist, daß eine dünne Goldschicht auf der Schallübertragungsbahn angebracht wird.
Einige Ausführungsformen des Filters nach der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. IA und IB schematisch in Draufsicht und im Längsschnitt längs der Linie h—h ein Filter nach der

ίο Erfindung,

F i g. 2 im Längsschnitt eine zweite Ausführungsform des Filters nach der Erfindung,

F i g. 3 eine weitere Ausführungsform eines Wandlers für das Filter nach der Erfindung,

Tj Fig.4 ein Prinzipschaltbild zur Veranschaulichung eines Wandlers, bei dem die Finger mittels gesonderter Spannungsquellen gespeist werden,

Fig.5A und 5B die Amplitude-Frequenz-Kennlinien des Eingangs- und des Ausgangswandlers des Filters nach Fig. !,und

F i g. 5C die Gesamtübertragungskennlinie des Filters nach Fig. 1.

F i g. 1A und 1B zeigen schematisch in Draufsicht und im Längsschnitt ein Ausführungsbeispiel eines Oberflächenwellenfilters nach der Erfindung, das für den Zwischenfrequenzteil von Fernsehempfängern vorgesehen ist. Das Filter weist einen Körper 1 auf, der aus einer verhältnismäßig dünnen Scheibe aus piezoelektrischem Material, z. B. Lithiumniobat, besteht, auf der zwei Interdigitalwandler 2 und 3 angebracht sind. Jeder der beiden Wandler 2 und 3 enthält ein Elektrodenpaar 4, 5 bzw. 6, 7, wobei jedes Paar aus einer Anzahl paralleler Finger 8 besteht, die miteinander durch Verbindungsglieder 9 verbunden sind. Die elektrischen Verbindungen mit den Wandlern werden über Anschlüsse 10 und 11 hergestellt Von den beiden Anschlüssen 10 ist vorzugsweise derjenige geerdet, der durch das Verbindungsglied 9 mit demjenigen Finger 8 verbunden ist, der unmittelbar an die Schallübertragungsbahn angrenzt.

Gleiches gilt von den Anschlüssen 11. Den Anschlüssen 10 wird ein elektrisches Eingangssignal zugeführt, wodurch Oberflächenwellen in Abhängigkeit von der Frequenz-Amplitude-Kennlinie und der Frequenz-Phase-Kennlinie des Wandlers 2 und von dem elektrischen Eingangssignal erzeugt werden. Die Wellen pflanzen sich in der zu den Fingern 8 des Wandlers 2 senkrechten Richtung fort Die Welle in Richtung des Pfeiles 12 wird von dem Wellendämpfungsmaterial 14, z. B. einer Wachsschicht, absorbiert Die sich in der Richtung 13

so fortpflanzenden Oberflächenwellen rufen beim Passieren des Wandlers 3 ein elektrisches Ausgangssignal an den Klemmen 11 hervor. Das elektrische Ausgangssignai steht zu der Oberflächenwelle in einer bestimmten Beziehung, die durch die Frequenz-Amplitude-Kennlinie und die Frequenz-Phase-Kennlinie des Wandlers 3 bestimmt wird Zwischen dem elektrischen Ausgangssignal und dem elektrischen Eingangssignal besteht somit eine Beziehung, die durch das Produkt der Übertragungsfunktionen der Wandler 2 und 3 bedingt wird.

Auf der Oberfläche des plattenförmigen Körpers 1, die der Oberfläche gegenüberliegt, auf der sich die Wandler 2 und 3 befinden, ist eine leitende Schicht 15 angebracht Diese leitende Schicht 15 kann eine Metallschicht sein. Die Schicht 15 soll wenigstens die Fläche bedecken, die auf der anderen Oberfläche die Schallübertragungsbahn zwischen den Wandlern 2 und 3 einnimmt und manchmal kann es erwünscht sein, daß

sie sich bis unterhalb der beiden Wandler erstreckt. Die Schicht 15 ist geerdet.

Bei einer anderen Ausführungsform des Filiers nach der Erfindung ist die leitende Schicht durch ein Siliciumsubstrat verwirklicht, das einen Teil einer integrierten Schaltung bildet, während der piezoelektrische Körper 1 aus einer Schicht aus piezoelektrischem Halbleitermaterial, z. B. Cadmiumsulfid, hergestellt ist, das durch Aufdampfen oder Anwachsen auf der Oberfläche des Siliciumsubstrats angebracht ist. F i g. 2 zeigt einen Längsschnitt durch ein Oberflächenwellenfilter nach dieser Ausführungsform, bei dem eine piezoelektrische halbleitende Cadmiumsulfidschichl auf einem Siliciumsubstrat 15' angebracht ist. F i g. 2 zeigt außerdem eine weitere Ausgestaltung der Erfindung, die darin besteht, daß in die mit den Wandlern 2, 3 versehene Oberfläche eine Zone 16 mit erhöhter Leitfähigkeit in der Cadmiumsulfidschicht 15' z. B. durch Diffusion oder durch lonenbeschuß eingebettet ist. Die Zone 16 erstreckt sich über die ganze Breite des Körpers 1 und ist über das Siliciumsubstrat oder über eine geeignete weitere elektrische Verbindung geerdet. Die Zone 16 bildet somit eine zusätzliche elektrische Abschirmung zwischen den Wandlern 2 und 3, wodurch die elektrische Kopplung zwischen den Wandlern 2 und 3 noch weiter herabgesetzt werden kann.

Bei dem in F i g. 1 gezeigten Wandler 2 ändern sich in der Längsrichtung des Wandlers die Breite und der gegenseitige Abstand der Finger 8. Man nennt diese Maßnahme »Wichtung der Quellen durch Variation der Fingerbreite und der Fingerabstände«. Hierdurch ist eine Beeinflussung des Kennlinienverlaufes des Wandlers möglich. In F i g. 3 ist die Wichtung der Quellen durch Variation der Länge der Finger 8 eines Wandlers dargestellt. Auch durch diese »Längenwichtung« läßt sich der Kennlinienverlauf von Interdigitalwandlern den Erfordernissen des Einzelfalles anpassen. F i g. 4 zeigt, daß die Finger 8 gesondert von Spannungsquellen 18 mit verschiedenen Werten gespeist werden können. Dies läßt sich ohne Schwierigkeiten durch Anwendung von bei der Herstellung integrierter Schaltungen üblichen Verfahren verwirklichen und die Spannungsquellen können gesonderte aktive Halbleiteranordnungen, z. B. Transistoren oder MOS-Transistoren, sein; die gesonderten Spannungen können aber auch einem Potentiometer entnommen werden.

Beim Filter nach der Erfindung sind die Übertragungskennlinien der Wandler unterschiedlich bemessen. Wenn das Filter nach der Erfindung als Fernseh-ZF-Filter dient, sollen die Kennlinien der Wandler 2 und 3 wenigstens in demjenigen Teil des Zwischenfrequenzdurchlaßbandes voneinander abweichen, in dem die höheren Modulationsfrequenzen auftreten. Dies kann ζ B. dadurch erreicht werden, daß die beiden Wandler mit einer unterschiedlichen Anzahl von Fingern, Längenwichtung bzw. einer unterschiedlichen Abstandswichtung der Finger versehen werden. Es hat sich auf diese Weise als möglich erwiesen, eine befriedigende Gesamtübertragungskennlinie zu erhalten. Der eine Wandler ergibt z. B. einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert der Bildträgerwelle des benachbarten Kanals, während der andere Wandler z. B. einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert der Tonträgerwelle aufweist. Die Sperrwirkung beim Zwischenfrequenzwert der Tonträgerwelle im benachbarten Kanal ist dadurch steigerbar, daß darauf Bedacht genommen wird, daß Sperrbereiche in den Kennlinien der beiden Wandler bei dieser Frequenz zusammenfallen.
Die Frequenzdurchlaßbänder der Wandler 2 und 3 sind in den graphischen Darstellung der F i g. 5A bzw. 5B jeweils für sich allein wiedergegeben, während die hieraus resultierende Dämpfungscharakteristik des Filters in F i g. 5C dargestellt ist.

Aus F i g. 5A ist ersichtlich, daß die Übertragungskennlinie des Wandlers 2 einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert /₅ der Tonträgerwelle und beim Zwischenfrequenzwert f_as der Tonträgerwelle des benachbarten Kanals aufweist. Aus F i g. 5B geht hervor, daß die Übertragungskennlinie des Wandlers 3 einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert f_av der Bildträgerwelle des benachbarten Kanals und gleichfalls beim Zwischenfrequenzwert f_as der Tonträgerwelle des benachbarten Kanals aufweist. Die Gesamtkennlinie des Filters nach Fig.5C weist demzufolge den verlangten Verlauf für ein Fernseh-ZF-Filter mit einem sehr ausgeprägten Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert f_as der Tonträgerwelle des benachbarten Kanals auf.

Das piezoelektrische Material und dessen Schnittrichtung werden vorzugsweise derart gewählt, daß die Übertragungskennlinien der Wandler 2 und 3 sich nicht beträchtlich mit der Temperatur ändern. Da diese Kennlinien von dem Abstand zwischen den Elektrodenfingern in der Fortpflanzungsrichtung und von der Fortpflanzungsgeschwindigkeit der Oberflächenwellen abhängig sind, ist es erwünscht, daß der lineare Ausdehnungskoeffizient der Elektrodenanordnung in der Fortpflanzungsrichtung durch eine entsprechende Vergrößerung der Fortpflanzungsgeschwindigkeit der Oberflächenwellen ausgeglichen wird, so daß die Kennlinie nahezu temperaturunabhängig bleibt

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

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Claims

Patentansprüche:

1. Oberflächenwellenfilter mit einem Körper aus piezoelektrischem Material, auf dessen einer Oberfläche zwei Interdigitalwandler in der Weise angebracht sind, daß ein dem einen Wandler zugeführtes elektrisches Signal eine Oberflächenwelle hervorruft, die sich an der Oberfläche entlang fortpflanzt und mit Hilfe des anderen Wandlers wieder in ein elektrisches Ausgangssignal umgewandelt wird, wobei die beiden Wandler Amplitude-Frequenz-Kennlinien aufweisen, die über wenigstens einen Teil des Durchlaßbandes des Filters voneinander verschieden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Wandler (2,3) durch Variation der Länge und/oder der Breite und des Abstandes der Elektrodenfinger (8) ungleichmäßige Elektrodenstrukturen aufweisen und daß in die Unterschiedlichkeit der Amplitude-Frequenz-Kennlinien der Wandler (2_ä 3) die Frequenzlage der Sperrbereiche zu beiden Seiten des Durchlaßbereiches jedes der beiden Wandler in der Weise miteinbezogen ist, daß die unterhalb der Bandmittenfrequenzen der Wandler (2, 3) auftretenden, an die Wandler-Durchlaßbereiche angrenzenden Sperrbereiche und die ober-.halb der Bandmittenfrequenzen gelegenen, an die Wandler-Durchlaßbereiche anschließenden Sperrbereiche unterschiedliche gegenseitige Frequenzabstände aufweisen und daß bei hohen Anforderungen an die Größe der Sperrdämpfungswerte an einer der beiden Filterflanken für die an diese Filterflanke angrenzenden Sperrbereiche der beiden Wandler (2, 3) anstelle eines gegenseitigen Frequenzabstandes Deckungsgleichheit ihrer Frequenzlage vorgesehen ist.

2. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als Zwischenfrequenzfilter für Fernsehempfänger bemessen ist.

3. Filter nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine solche Bemessung der Amplitude-Frequenz-Kennlinien der beiden Wandler (2,3), daß unterhalb ihrer Durchlaßbereiche der eine Wandler einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert der Tonträgerwelle und der andere Wandler einen Sperrbereich beim Zwischenfrequenzwert der Bildträgerwelle des benachbarten Kanals aufweist.

4. Filter nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch eine solche Bemessung der Amplitude-Frequenz-Kennlinien der beiden Wandler (2, 3), daß oberhalb ihrer Durchlaßbereiche hinsichtlich ihrer Frequenzlage deckungsgleiche Sperrbereiche beim Zwischenfrequenzwert der Tonträgerwelle des benachbarten Kanals zustande kommen.

5. Filter nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der die Wandler (2, 3) aufweisende Körper (1) aus piezoelektrischem Material verhältnismäßig dünn ist und daß auf derjenigen Oberfläche, die der mit den Wandlern (2, 3) versehenen Oberfläche gegenüberliegt, eine leitende Schicht (15 in Fig. IB, 15' in Fig. 2) von solcher Flächenausdehnung angebracht ist, daß durch Erdung dieser Schicht für die Betriebsfrequenz des Filters die nicht durch die Oberflächenwellen bewirkte elektrische Kopplung zwischen den Wandlern (2, 3) in erheblichem Maße herabgesetzt ist.

6. Filter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die leitende Schicht aus einer auf der Oberfläche des plattenförmigen Körpers (1) angebrachten Metallschicht (15 in ^u i g. 1 B) besteht

7. Filter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die leitende Schicht aus einer Halbleitermaterialschicht (15' in Fig.2) besteht, auf der das piezoelektrische Material des Körpers (1) in Form einer Schicht angebracht ist, wobei die Leitfähigkeit des Halbleitermaterials größer als die des darauf angebrachten piezoelektrischen Materials ist.

8. Filter nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß für den Körper (1) als piezoelektrisches Material ein Werkstoff vorgesehen ist, der zugleich Halbleitereigenschaften aufweist und daß eine Zone (16) mit erhöhter Leitfähigkeit über die ganze Breite des Körpers (1) zwischen den zwei Wandlern (2, 3) vorgesehen ist und daß diese Zone gleichfalls geerdet ist

9. Filter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die über die ganze Breite des piezoelektrischen Halbleiterkörpers (1) sich erstreckende Zone (16) mit erhöhter Leitfähigkeit durch Diffusion einer geeigneten, die Leitfähigkeit erhöhenden Verunreinigung gebildet ist

10. Filter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die über die ganze Breite des piezoelektrischen Halbleiterkörpers (1) sich erstreckende Zone (16) mit erhöhter Leitfähigkeit durch den mit -lonenbeschuß bewirkten Einbau einer geeigneten, die Leitfähigkeit erhöhenden Verunreinigung gebildet ist.

11. Filter nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Kristallschnitt des piezoelektrischen Körpers (1) in bezug auf die beiden Wandler (2, 3) derartig ist, daß sich die Oberflächenwelle vom Eingangswandler (2) zum Ausgangswandler (3) in einer selbstkollimierenden Richtung fortpflanzt.

12. Filter nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Verwendung in einem als integrierte Schaltung ausgebildeten Zwischenfrequenzverstärker für Fernsehempfänger.