DE202017003212U1

DE202017003212U1 - Mehrstufige Wälzkolbenpumpe

Info

Publication number: DE202017003212U1
Application number: DE202017003212.0U
Authority: DE
Original assignee: Leybold GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2017-06-17
Filing date: 2017-06-17
Publication date: 2018-09-18
Anticipated expiration: 2027-06-18
Also published as: CN110770444A; KR102581752B1; EP3638906A1; KR20200019620A; CN110770444B; US20210140430A1; TW201907091A; WO2018228784A1; JP2020524236A; TWI770196B

Abstract

Mehrstufige Wälzkolbenpumpe, mit
zwei in einem Gehäuse (10) angeordneten, mehrere Drehkolben (20) tragenden Wellen,
wobei korrespondierende Drehkolben (20) ein Drehkolbenpaar ausbilden und mehrere jeweils eine Pumpenstufe (12, 14, 16, 18) ausbildende Drehkolbenpaare vorgesehen sind,
mehreren jeweils benachbarte Pumpstufen miteinander verbindenden Verbindungskanälen (38),
einem mit der ersten Pumpstufe verbundenen Pumpeneinlass (34) und
einem mit der letzten Pumpstufe verbundenen Pumpenauslass (36),
dadurch gekennzeichnet, dass
das eingebaute Volumenverhältnis (VR) mindestens 15, vorzugsweise mindestens 20 und besonders bevorzugt mindestens 25 beträgt.

Description

Die Erfindung betrifft eine mehrstufige Wälzkolbenpumpe.
Wälzkolbenpumpen weisen üblicherweise zweizähnige, in einem Pumpenraum angeordnete Drehkolben auf. Ferner sind auch mehrzähnige Drehkolben mit beispielsweise drei oder vier Zähnen bekannt. Die beiden Drehkolben werden gegenläufig angetrieben, so dass durch die einzelnen entstehenden Kammern ein Gas durch einen Einlass angesaugt und durch einen Auslass wieder ausgestoßen wird. Bei mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind mehrere derartige Drehkolbenpaare hintereinander angeordnet. Der Auslass einer Pumpstufe ist mit dem Einlass der nachfolgenden Pumpstufe verbunden.
Zum Evakuieren großer Schleusenkammern oder anderer großer Kammern muss eine große Menge Gas gepumpt werden. Dies muss häufig in kurzen Zeiträumen erfolgen. Hierzu ist es bekannt, Wälzkolbenpumpen in Kombination mit in Reihe in Strömungsrichtung nachgeordnet geschalteten Vorvakuumpumpen vorzusehen. Derartige Systeme werden auch verwendet, wenn große Gasflüsse kontinuierlich gepumpt werden müssen, wobei dies insbesondere bei geringen Ansaugdrücken unter 20 mbar (absolut) erfolgt.
Üblicherweise werden zum Pumpen großer Gasmengen heute Kombinationen von Wälzkolbenpumpen und Vorvakuumpumpen eingesetzt, die ein entsprechend hohes Saugvermögen aufweisen.
Bekannte auf dem Markt befindliche mehrstufige Wälzkolbenpumpen weisen ein Saugvermögen von ca. 600 m³/h auf. Ein derartiges Saugvermögen weisen beispielsweise die Pumpen der Firma Kashiyama mit der Bezeichnung SD600C auf. Üblicherweise werden in diesen Pumpensystemen große Schrauben- oder mehrstufige Wälzkolbenpumpen als Vorvakuumpumpen eingesetzt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine mehrstufige Wälzkolbenpumpe zu schaffen, mit der die Kombination aus Wälzkolben- und Vorvakuumpumpe durch eine Wälzkolbenpumpe mit vergleichbarem Saugvermögen ersetzt werden kann.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Grundsätzlich besteht die Problematik, dass bei großen Vakuumpumpen mit entsprechend großem Saugvermögen das Verhältnis aus den internen Oberflächen zu dem Fördervolumen bzw. zur umgesetzten Leistung ungünstig ist. Dies hat zur Folge, dass in derartigen Pumpen hohe Temperaturen auftreten. Hohe Temperaturen resultieren in einer großen Wärmeausdehnung. Bei mehrstufigen Wälzkolbenpumpen erfolgt die durch die hohe Temperatur hervorgerufene Wärmeausdehnung insbesondere in axialer Richtung, so dass die Drehkolben axial, d.h. in Längsrichtung der Achse, die die Drehkolben trägt, verschoben werden. Dies führt dazu, dass die Pumpkammern, in denen die Drehkolben angeordnet sind, einen entsprechend großen Axialspalt aufweisen müssten. Dies hätte jedoch wiederum negative Auswirkungen auf die Pumpleistung und somit die Temperatur.
Die erfindungsgemäße mehrstufige Wälzkolbenpumpe weist zwei in einem Gehäuse angeordnete Wellen auf, die jeweils mehrere Drehkolben tragen. Hierbei können die Drehkolben auch einstückig mit der jeweiligen Welle ausgebildet sein. Korrespondierende Drehkolben bilden jeweils ein Drehkolbenpaar aus, wobei mehrere Drehkolbenpaare vorgesehen sind, die jeweils eine Pumpstufe ausbilden. Benachbarte Pumpstufen sind über Verbindungskanäle miteinander verbunden. Hierbei ist jeweils der Auslass einer Pumpstufe mit dem Einlass der nächsten Pumpstufe über Verbindungskanäle verbunden. Ferner ist die in Strömungsrichtung erste Pumpstufe mit dem Pumpeneinlass verbunden. Mit dem Pumpeneinlass ist die zu evakuierende Schleusenkammer oder dergleichen verbunden. Mit der in Strömungsrichtung letzten Pumpstufe ist der Pumpenauslass verbunden.
Erfindungsgemäß weist die mehrstufige Wälzkolbenpumpe ein hohes eingebautes Volumenverhältnis auf. Das eingebaute Volumenverhältnis definiert das Fördervolumen der Einlassstufe zu dem Fördervolumen der Auslassstufe. Erfindungsgemäß beträgt das eingebaute Volumenverhältnis mindestens 15, vorzugsweise mindestens 20 und besonders bevorzugt mindestens 25. Aufgrund des Vorsehens eines hohen eingebauten Volumenverhältnisses und aufgrund des Vorsehens einer mehrstufigen Wälzkolbenpumpe ist es möglich, hohe Saugvermögen von insbesondere mindestens 1500 m³/h und insbesondere mehr als 2500 m³/h zu realisieren. Das eingebaute Volumenverhältnis kann durch Variation der Länge der Stufen wie auch durch Variation der Außendurchmesser der Drehkolben sowie der Zähnezahl wie auch durch eine Kombination dieser Variationen erfolgen.
Besonders bevorzugt ist es zur Erzielung besonders hoher Saugvermögen, dass die mehrstufige Wälzkolbenpumpe mindestens drei Stufen, insbesondere mindestens fünf Stufen aufweist.
Für die Anzahl der Stufen gilt vorzugsweise $n > \sqrt{V R} - 1$
wobei

n die Anzahl der Stufen und
VR das eingebaute Volumenverhältnis ist.

Ferner ist es bevorzugt, zur Verminderung von Überkompression mindestens eine der Pumpstufen mit einem Entlastungskanal zu verbinden, wobei in dem Entlastungskanal bzw. zwischen Pumpstufe und Entlastungskanal ein Entlastungsventil angeordnet ist. Unter Überkompression versteht man die Verdichtung des Gases auf einen Zwischendruck, der größer als der Auslassdruck der Pumpe ist, d.h. in der Regel wird alles oberhalb von 1 bar als Überkompression bezeichnet. Durch Verringerung der Überkompression wird die maximal benötigte Motorleistung reduziert.
Besonders bevorzugt ist es, dass zumindest die ersten beiden und insbesondere die ersten drei Pumpstufen mit einem Entlastungskanal, in dem wiederum ein entsprechendes Entlastungsventil angeordnet ist, verbunden sind. Hierbei handelt es sich um die ersten Stufen in Strömungsrichtung.
Durch Vorsehen derartiger Entlastungskanäle ist es möglich, in den einzelnen aufeinanderfolgenden Pumpstufen unterschiedliche Saugvermögen zu realisieren. Ist das Saugvermögen einer zweiten Stufe geringer als das einer ersten Stufe, so kann insbesondere zu Beginn einer Abpumpphase ein Teil des gepumpten Gases unmittelbar über den Entlastungskanal ausgestoßen werden. Entsprechend ist dies je nach Phase der Abpumpung bei unterschiedlichen Saugvermögen zwischen den in Strömungsrichtung nachgeordneten Stufen möglich.
Die erfindungsgemäße mehrstufige Wälzkolbenpumpe kann daher insbesondere derart betrieben werden, dass bei einem anfangs hohen Druck von beispielsweise 1000 mbar die erste Pumpstufe das zu pumpende Gas insbesondere vollständig über den Entlastungskanal ausstößt. Zu Beginn des Abpumpvorgangs ist insbesondere das Ventil der ersten Stufe geöffnet. Die übrigen Pumpstufen laufen in dieser Pumpphase leer, d.h. sie fördern geringe Mengen an Gas. Auch derartige „leerlaufende“ Stufen fördern Gas, durch die Entlastungsventile bauen sie allerdings keinen Druck auf. Zu einem späteren Zeitpunkt, wenn der Druck entsprechend gesunken ist, d.h. beispielsweise 500 mbar beträgt, schließt das mit der ersten Pumpstufe verbundene Entlüftungsventil, und das gepumpte Gas wird insbesondere vollständig über den mit der zweiten Pumpstufe verbundenen Entlastungskanal ausgestoßen. Die Ventile der zwei und aller weiteren Pumpstufen sind offen. Die übrigen Pumpstufen laufen leer. Zu einem späteren Zeitpunkt bei einem wiederum niedrigen Druck von beispielsweise 250 mbar erfolgt ein Schließen des mit der zweiten Pumpstufe verbundenen Entlastungsventils, und das Pumpen erfolgt entweder über die restlichen Pumpstufen oder über die dritte Pumpstufe durch einen mit der dritten Pumpstufe verbundenen Entlastungskanal. Die Ventile der ersten und zweiten Pumpstufe sind geschlossen, die Ventile der dritten und ggf. weiterer Pumpstufen sind offen. Nach Anzahl der Stufen der Vakuumpumpe und nach Anzahl der mit den entsprechenden Pumpstufen verbundenen Entlastungskanäle kann dies entsprechend fortgesetzt werden.
Die Entlastungskanäle sind vorzugsweise jeweils mit der Umgebung und/oder dem Pumpenauslass verbunden. Eine Verbindung der Pumpenauslässe ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die gepumpten Gase nicht unmittelbar in die Umgebung geleitet werden können, da sie beispielsweise toxisch sind oder noch gereinigt werden müssen.
Über eine weitere bevorzugte Ausführungsform sind die Druckstufen bzw. die Größen der Pumpräume, in denen die korrespondierenden Drehkolbenpaare zur Auswahl einer Pumpstufe angeordnet sind, derart ausgebildet, dass die Druckdifferenz benachbarter Pumpstufen kleiner als 500 mbar ist. Hierdurch kann auch eine Reduzierung der Maximaltemperatur erreicht werden, so dass insbesondere aufgrund der vorgesehenen Vielzahl an Pumpstufen für die gesamte mehrstufige Wälzkolbenpumpe ein sehr hohes Saugvermögen erzielt werden kann.
Desweiteren ist es zur Erzielung eines insbesondere hohen Saugvermögens vorteilhaft, eine gute Kühlung vorzusehen. In bevorzugter Ausführungsform weist das Gehäuse daher an seiner Außenseite Kühlrippen und/oder in den Gehäusewänden angeordnete Kühlkanäle auf. Die Kühlkanäle sind von einem Kühlmedium, insbesondere einer Kühlflüssigkeit, durchströmt. Desweiteren ist es bevorzugt, dass die in dem Gehäuse angeordneten Verbindungskanäle, mit denen die Pumpstufen verbunden sind, in der Nähe von Kühlkanälen angeordnet sind. Beispielsweise können die Verbindungskanäle auch teilweise von Kühlkanälen umgeben sein, um eine äußerst effektive Kühlung zu erzielen.
Hinsichtlich der Kühlung ist es desweiteren besonders bevorzugt, dass eine innere Oberfläche der Pumpräume, in denen die Drehkolben angeordnet sind, möglichst groß ist. Insbesondere gilt: $A > 400 {mm}^{2} / (m^{3} /h) *S/VR,$
wobei

A Teil der inneren Oberfläche eines Pumpraums, der bei Enddruckbetrieb vorzugsweise einen zeitlich gemittelten Druck von über 200 mbar aufweist,
S das höchste gemessene Saugvermögen der Vakuumpumpe zwischen Eintrittsdrücken am Pumpeneinlass von 1-50 mbar und
VR das Volumenverhältnis ist. Um entsprechend große Oberflächen bei gegebenem Fördervolumen zu realisieren, sind moderate Drehzahlen der Rotoren vorteilhaft. Insbesondere ist die Drehzahl < 6000¹/min, bevorzugt < 4500¹/min, besonders bevorzugt < 3000¹/min.

Weiterhin ist bevorzugt, dass die Verbindungskanäle eine z.B. durch Rippen vergrößerte Oberfläche aufweisen, um das Gas effektiv zu kühlen.
Bei einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung liegt bei Betreiben der mehrstufigen Wälzkolbenpumpe im Enddruck die Gastemperatur unmittelbar nach der letzten Stufe unter 300°C, vorzugsweise unter 250°C, und besonders bevorzugt unter 200°C. Gemessen werden diese Temperaturen bei einer Umgebungstemperatur von ca. 20°C und einer Kühlmitteleintrittstemperatur von ca. 20°C, sowie bei nominellem Kühlwasserfluss (d.h. die Temperaturerhöhung des Kühlwassers ist kleiner als 20°C von Eintritt zu Austritt) und Betrieb mit Luft.
Desweiteren ist es bevorzugt, dass die Drehkolben und vorzugsweise auch die die Drehkolben tragenden Wellen aus einer Stahllegierung bzw. aus Stahl hergestellt sind. Insbesondere ist die Kombination aus Stahlwelle und Aluminiumgehäuse vorteilhaft, da die Wärmeausdehnungskoeffizienten deutlich unterschiedlich sind.
Das Gehäuse weist vorzugsweise Aluminium oder eine Aluminiumlegierung auf.
Besonders bevorzugt sind die Kombinationen der vorstehenden Merkmale, da hierdurch ein besonders gutes Saugvermögen erzielt werden kann.
Ein weiterer wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen mehrstufigen Wälzkolbenpumpe besteht darin, dass der erforderliche Bauraum deutlich reduziert werden kann. Das Vorsehen von Vorvakuumpumpen ist nicht mehr erforderlich, oder es können zumindest kleinere Vorvakuumpumpen eingesetzt werden.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der Auslass der ersten Pumpstufe mit einer Umwegleitung verbunden. In der Umwegleitung ist ein Ventil angeordnet. Die Umwegleitung ist insbesondere mit dem Einlass der ersten Pumpstufe verbunden. Durch das Vorsehen einer derartigen Umwegleitung kann eine Entlastung der ersten Stufe erfolgen. Ferner ist hierdurch sichergestellt, dass die Druckerhöhung in der ersten Pumpstufe begrenzt wird.
Des weiteren ist es erfindungsgemäß möglich, den Antriebsmotor kurzzeitig über Nennleistung zu betreiben. Hierdurch kann die Effektivität der Pumpe weiter verbessert werden. Ein Antriebsmotor kann hierbei insbesondere für einen Zeitraum von 5 bis zu 30 Sekunden über der Nennleistung betrieben werden. Insbesondere ist es möglich, die Leistung um 50%, vorzugsweise um 100% gegenüber der Nennleistung zu erhöhen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform anhand der anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:

1 eine schematische Schnittansicht einer erfindungsgemäßen mehrstufigen Wälzkolbenpumpe und
2 einen schematischen Querschnitt einer Wälzkolbenstufe mit zwei Zähnen.

Eine erfindungsgemäße mehrstufige Wälzkolbenpumpe weist in einem Pumpengehäuse 10 mehrere Pumpstufen 12, 14, 16, 18 auf. Je Pumpstufe sind zwei Drehkolben vorgesehen. Entsprechende als zweizähnige Drehkolben ausgebildete Drehkolben 20 sind schematisch in 2 im Querschnitt dargestellt. Die beiden Drehkolben 20 drehen sich gegensinnig, so dass Gas in Richtung eines Pfeils 22 durch einen Gaseinlass 24 eingesaugt und durch einen gegenüberliegenden Auslass 26 in Richtung eines Pfeils 28 wieder ausgestoßen wird.
Je ein Drehkolben der Drehkolbenpaare ist auf einer gemeinsamen Welle 30 ( 1) angeordnet. Insofern weist die mehrstufige Wälzkolbenpumpe zwei in 1 hintereinanderliegende Wellen 30 auf, die jeweils in dem Gehäuse 10 gelagert sind. Der Antrieb der Wellen erfolgt beispielsweise über Zahnräder 32. Das zu fördernde Gas wird über einen Pumpeneinlass 34 angesaugt und über einen Pumpenauslass 36 ausgestoßen. Die einzelnen Stufen 12, 14, 16 18 sind jeweils über Verbindungskanäle 38 miteinander verbunden. Dabei weist jede Pumpstufe 12, 14, 16, 18 einen Auslass 40 auf, durch den das zu fördernde Gas in den Verbindungskanal 38 gefördert wird. Der Auslass 42 der letzten Pumpstufe 18 ist mit dem Pumpenauslass 36 verbunden. Des Weiteren weisen die Pumpstufen 14, 16, 18 jeweils einen Einlass 44 auf, der jeweils mit dem entsprechenden Verbindungskanal 38 verbunden ist. An jedem Einlass 44 ist ein Ventil 46, 48, 50 bei dem es sich beispielsweise um ein gewichtsbelastetes Kugelventil handeln kann, vorgesehen. Über die Ventile kann eine Verbindung zwischen den Einlässen 44 und einem Entlastungskanal 52 erfolgen. Die erste Stufe 12 kann ferner mit einer nicht dargestellten Umwegleitung verbunden sein. Eine derartige Umwegleitung ist mit dem Auslass 40 der ersten Stufe 12 verbunden und weist ein Umwegleitungsventil auf. Die Umwegleitung ist üblicherweise mit dem Einlass 34 der ersten Stufe verbunden. Der Entlastungkanal 52 ist mit dem Pumpenauslass 36 verbunden.
Bevorzugt ist es, dass das Saugvermögen der einzelnen Pumpstufen in Förderrichtung abnimmt. Insbesondere beträgt das Saugvermögen einer nachfolgenden Pumpstufe die Hälfte des Saugvermögens der vorangegangenen Pumpstufe.
Am Pumpenauslass 36 beträgt der Druck üblicherweise ca. 1000 mbar.
Die Wälzkolbenpumpe kann idealisiert entsprechend der nachstehenden Tabelle betrieben werden, wenn Druckverluste in Ventilen und Leitungen vernachlässigt werden.

P_ein P₁ P₂ P₃ V₁ V₂ V₃

1000 1000 1000 1000 0 0 0

500 1000 1000 1000 g 0 0

250 500 1000 1000 g g 0

125 250 500 1000 g g g
Die Tabelle gilt für ein Abstufungsverhältnis von 2:1 für jede Pumpstufe, d.h. die nachfolgende Stufe weist das halbe Saugvermögen der vorherigen Pumpstufe auf.
Hierbei ist P_ein der am Pumpeneinlass 34 herrschende Druck. Der Druck P₁ ist der am Einlass der zweiten Stufe 14, P₂ der am Einlass der dritten Stufe 16 und P₃ der am Einlass der vierten Stufe 18 herrschende Druck.
Die angegebenen Drücke verstehen sich in mbar.
Das Ventil V₁ ist das Ventil 46, das Ventil V₂ das Ventil 48 und das Ventil V₃ das Ventil 50. „0“ bedeutet, dass das Ventil geöffnet und „g“, dass das Ventil geschlossen ist.
Die vorstehenden in der Tabelle genannten Werte stellen nur ein Beispiel dar. Relevant ist, dass sich die Drücke je nachdem, welche Ventile geöffnet sind, von einer zur nächsten Stufe jeweils halbieren. Eine Halbierung des Drucks erfolgt somit stets dann, wenn das entsprechende Ventil in der Stufe geschlossen ist, da die Stufe nur bei geschlossenem Ventil arbeitet.

Claims

Mehrstufige Wälzkolbenpumpe, mit zwei in einem Gehäuse (10) angeordneten, mehrere Drehkolben (20) tragenden Wellen, wobei korrespondierende Drehkolben (20) ein Drehkolbenpaar ausbilden und mehrere jeweils eine Pumpenstufe (12, 14, 16, 18) ausbildende Drehkolbenpaare vorgesehen sind, mehreren jeweils benachbarte Pumpstufen miteinander verbindenden Verbindungskanälen (38), einem mit der ersten Pumpstufe verbundenen Pumpeneinlass (34) und einem mit der letzten Pumpstufe verbundenen Pumpenauslass (36), dadurch gekennzeichnet, dass das eingebaute Volumenverhältnis (VR) mindestens 15, vorzugsweise mindestens 20 und besonders bevorzugt mindestens 25 beträgt.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl (n) der Stufen mindestens drei, insbesondere mindestens fünf beträgt.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass für die Anzahl (n) der Stufen gilt: $n > \sqrt{V R} - 1.$
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung von Überkompression zumindest eine der Pumpstufen mit einem Entlastungskanal (52) verbunden ist, in dem ein Entlastungsventil (46, 48, 50) angeordnet ist.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die zweite und dritte, insbesondere auch die vierte Pumpstufe mit einem Entlastungskanal (52) verbunden ist.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Entlastungskanäle (52) mit der Umgebung und/oder dem Pumpenauslass verbunden sind.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdifferenz benachbarter Pumpstufen kleiner als 500 mbar ist.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (10) an einer Außenseite Kühlrippen und/oder in Gehäusewänden angeordnete Kühlkanäle aufweist.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungskanäle (38) im Gehäuse (10) insbesondere nahe der Kühlkanäle angeordnet sind.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Saugvermögen der gesamten Wälzkolbenpumpe mindestes 1500 m³/h, insbesondere mindestens 2500 m³/h beträgt.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass für eine Oberfläche (A) eines Pumpraums, in dem ein Drehkolbenpaar (20) angeordnet ist, der einen zeitlich gemittelten Druck von über 200 mbar aufweist, gilt: $A > 400 {mm}^{2} / (m^{3} /h) *S/VR,$
wobei S das höchste gemessene Saugvolumen der Pumpe zwischen Enddrücken von 1-50 mbar und VR das innere Volumenverhältnis ist.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass im Enddruckbetrieb eine unmittelbar nach der letzten Stufe gemessene Gastemperatur weniger als 300°C, insbesondere weniger als 250°C und besonders bevorzugt weniger als 200°C beträgt.