DE19937393A1

DE19937393A1 - Stator ring for a turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: DE19937393A1
Application number: DE1999137393
Authority: DE
Inventors: Reiner Hoelzer; Dietmar Bonn
Original assignee: Leybold Vakuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 1999-08-07
Filing date: 1999-08-07
Publication date: 2001-02-08
Also published as: CA2379547A1; EP1200742A1; JP2003506631A; WO2001011242A1

Abstract

The invention relates to a stator ring (1) for a turbomolecular vacuum pump, comprising an outer spacing ring (3) and stator blades (2). In order to reduce fabrication and mounting costs, said spacing ring (3) and said stator blades (2) are designed as a unitary part.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Statorring für ei ne Turbomolekularvakuumpumpe mit einem äusseren Dis tanzring und mit Statorschaufeln.The invention relates to a stator ring for egg ne turbomolecular vacuum pump with an outer dis dance ring and with stator blades.

Der Aufbau von Turbomolekularvakuumpumpen ähnelt dem Aufbau von Turbinen. Rotorschaufelreihen und Stator schaufelreihen wechseln einander ab.The structure of turbomolecular vacuum pumps is similar to that Construction of turbines. Row of rotor blades and stator Row of blades alternate.

Es ist bekannt, den Stator und den Rotor einer Turbomo lekularvakuumpumpe mit jeweils separat montierbaren Stator- und Rotorschaufelringen auszurüsten. In diesem Fall erfolgt die Montage der Turbomolekularpumpe in der Weise, dass abwechselnd ein Statorschaufelring und ein Rotorschaufelring übereinander gelegt werden. Distanz ringe zwischen den jeweiligen Ringen sorgen dafür, dass die ineinandergreifenden Schaufeln einander nicht be rühren.It is known the stator and the rotor of a Turbomo lecular vacuum pump with separately mountable Equip stator and rotor blade rings. In this The turbomolecular pump is installed in the case Way that alternately a stator blade ring and a Rotor blade ring are placed one above the other. Distance rings between the respective rings ensure that the interlocking blades do not adhere to each other stir.

Inzwischen setzt es sich immer mehr durch, dass der Ro tor mit seinen Schaufeln einstückig ausgebildet ist. In diesem Fall müssen die Statorschaufelringe geteilt sein, um das aus ineinander greifenden Stator- und Ro torschaufelreihen bestehende System montieren zu kön nen. Üblicherweise bestehen die Statorringe aus zwei Statorhalbringen, die von den Distanzringen auf Abstand gehalten zentriert werden. Aus der EU-A-478882 ist ein in dieser Weise aufgebauter Stator für eine Turbomole kularvakuumpumpe bekannt.In the meantime it is becoming increasingly common that the Ro gate is integrally formed with its blades. In In this case, the stator blade rings must be divided be the interlocking stator and ro to be able to install existing system nen. The stator rings usually consist of two Stator half rings spaced from the spacer rings kept centered. From EU-A-478882 is a stator constructed in this way for a turbomole Kularvakumpumpe known.

Nachteilig am Stand der Technik ist die relativ hohe Zahl der Bauteile des Statorpaketes, welche Einfluss auf die Herstellkosten und auf die Montagekosten hat.The disadvantage of the prior art is the relatively high level Number of components of the stator package, which influence on manufacturing costs and on assembly costs.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Herstell- und Montageaufwand für den Stator einer Turbomolekularvakuumpumpe zu reduzieren.The present invention is based on the object the manufacturing and assembly costs for the stator one Reduce turbomolecular vacuum pump.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass der Distanzring und die Statorschaufeln einer Stator schaufelreihe einstückig ausgebildet sind.According to the invention, this object is achieved in that the spacer ring and the stator blades of a stator blade row are integrally formed.

Neben der Reduzierung der herzustellenden und zu mon tierenden Teile ist mit der Erfindung ein weiterer, we sentlicher Vorteil verbunden, der die Wärmeleiteigen schaften betrifft. Bei einem Statorschaufelring mit in tegriertem äusseren Distanzring ist im Verbleib zum Stand der Technik auch die Anzahl der äusseren Kontakt flächen reduziert. Dadurch wird die Ableitung der von den Schaufeln aufgenommenen Wärme in den Stator erheb lich verbessert. In addition to the reduction of the to be manufactured and mon parts with the invention is another, we substantial advantage associated with the heat-conducting concerns. With a stator blade ring with in integrated outer spacer ring remains in the State of the art also the number of external contacts space reduced. This will derive the from the heat absorbed by the blades into the stator Lich improved.

Zweckmässig weist der Statorring ausser dem äusseren, integrierten Distanzring auch einen inneren mit den Schaufeln integrierten Ring auf. Dadurch ergibt sich ein äussert stabiles System, das z. B. durch Fräsen in einfacher Weise hergestellt werden kann.The stator ring expediently has, in addition to the outer, integrated spacer ring also an inner with the Scoop up integrated ring. This results in an extremely stable system that e.g. B. by milling in can be manufactured in a simple manner.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 4 dargestellten Ausfüh rungsbeispielen erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS . 1 to 4. Show it

Fig. 1 und 2 einen Statorhalbring nach der Er findung, bestimmt für die Saugseite einer Turbomo lekularpumpe, sowie Fig. 1 and 2, a Statorhalbring after he invention, intended for the suction side of a Turbomo lekularpumpe and

Fig. 3 und 4 einen Statorhalbring nach der Er findung, bestimmt für die Druckseite einer Turbo molekularvakuumpumpe. FIGS. 3 and 4 a Statorhalbring according to the invention He determines molecular vacuum pump for the pressure side of a turbo.

In allen Figuren sind der Statorhalbring mit 1, die Statorschaufeln mit 2, ein äusserer Halbring mit 3 und ein innerer Halbring mit 4 bezeichnet. Sämtliche Be standteile sind einstückig ausgebildet.In all of the figures, the stator half ring is denoted by 1 , the stator blades by 2 , an outer half ring by 3 and an inner half ring by 4 . All components are made in one piece.

Die dargestellten Statorhalbring 1 erlauben die Montage einer Turbomolekularvakuumpumpe mit einem einstückigen Rotor. Umfasst auch der Rotor separate Rotorschaufel ringe, können ungeteilte Statorschaufelringe 1 einge setzt werden. In den Zeichnungen sind als Ausführungs beispiele Halbringe dargestellt. Die Patentansprüche sollen so verstanden werden, dass es sich bei einem Statorring nach der Erfindung sowohl um einen geteilten als auch um einen ungeteilten Statorring handeln kann. The stator half ring 1 shown allows the assembly of a turbomolecular vacuum pump with a one-piece rotor. If the rotor also includes separate rotor blade rings, undivided stator blade rings 1 can be inserted. In the drawings, half rings are shown as execution examples. The claims are to be understood so that a stator ring according to the invention can be a divided as well as an undivided stator ring.

Der äussere Ring 3 hat - in axialer Richtung gesehen - eine Höhe, die es erlaubt, auch die Funktion eines Dis tanzringes zu übernehmen. Der Innenring muss zwischen den nicht dargestellten Rotorschaufelreihen Platz fin den. Seine axiale Höhe ist entsprechend kleiner.The outer ring 3 has - seen in the axial direction - a height that allows it to take over the function of a dance ring. The inner ring must find space between the rows of rotor blades, not shown. Its axial height is correspondingly smaller.

Abstand und Anstellwinkel der Schaufeln 2 des Stator halbringes 1 nach den Fig. 1 und 2 sind relativ gross. Schaufelkonfigurationen dieser Art werden im Eintrittsbereich einer Turbomolekularvakuumpumpe einge setzt.Distance and angle of attack of the blades 2 of the stator half ring 1 according to FIGS. 1 and 2 are relatively large. Blade configurations of this type are used in the inlet area of a turbomolecular vacuum pump.

Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 3 und 4 sind der Anstellwinkel und der Schaufelabstand relativ klein. Die Schaufeln überlappen einander zum Teil. Schaufelkonfigurationen dieser Art werden im Austritts bereich einer Turbomolekularvakuumpumpe eingesetzt.In the embodiment according to FIGS. 3 and 4, the angle of attack and blade pitch are relatively small. The blades partially overlap each other. Blade configurations of this type are used in the outlet area of a turbomolecular vacuum pump.

Claims

1. stator ring ( 1 ) for a turbomolecular vacuum pump with an outer spacer ring ( 3 ) and with stator blades ( 2 ), characterized in that the spacer ring ( 3 ) and the stator blades ( 2 ) are integrally formed.

2. Stator ring according to claim 1, characterized in that the blades ( 2 ) between the outer ring ( 3 ) and an inner ring ( 4 ) erstrec ken, which is also an integral part of the stator ring ( 1 ).

3. stator ring according to claim 1 or 2, characterized records that it is made by milling.