[go: up one dir, main page]

DE19828454B4 - Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche Download PDF

Info

Publication number
DE19828454B4
DE19828454B4 DE19828454A DE19828454A DE19828454B4 DE 19828454 B4 DE19828454 B4 DE 19828454B4 DE 19828454 A DE19828454 A DE 19828454A DE 19828454 A DE19828454 A DE 19828454A DE 19828454 B4 DE19828454 B4 DE 19828454B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
target area
target
detector
temperature
infrared
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19828454A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19828454A1 (de
Inventor
Shahin Trumbull Baghai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omega Engineering Inc
Original Assignee
Omega Engineering Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omega Engineering Inc filed Critical Omega Engineering Inc
Publication of DE19828454A1 publication Critical patent/DE19828454A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19828454B4 publication Critical patent/DE19828454B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/07Arrangements for adjusting the solid angle of collected radiation, e.g. adjusting or orienting field of view, tracking position or encoding angular position
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0808Convex mirrors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0813Planar mirrors; Parallel phase plates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0831Masks; Aperture plates; Spatial light modulators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0893Arrangements to attach devices to a pyrometer, i.e. attaching an optical interface; Spatial relative arrangement of optical elements, e.g. folded beam path
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0896Optical arrangements using a light source, e.g. for illuminating a surface

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

Vorrichtung zur Messung der Temperatur einer Zielfläche (9), mit
einem IR-Detektor (5) zur Erfassung von IR-Strahlung, die von der Zielfläche (9) ausgeht,
einer Visiereinrichtung (1–4, 7), die einen teilweise durchlässigen Reflektor (7) aufweist, der im Strahlengang zwischen der Zielfläche (9) und dem IR-Detektor (5) angeordnet ist, wobei
die Visiereinrichtung (1–4, 7) einen Lasergenerator (1) aufweist, der einen Laserstrahl (2) erzeugt, sowie Strahlteilermittel (3), die den Laserstrahl (2) in ein Bündel von wenigstens drei Teilstrahlen (3a) aufteilen, die von dem teilweise durchlässigen Reflektor (7) auf die Zielfläche (9) gerichtet werden, wobei
die Teilstrahlen (3a) um die Mitte (10) der Zielfläche (9) herum kleine sichtbare beleuchtete Flächen (11a) bereitstellen,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Visiereinrichtung (1–4, 7) als Modul ausgebildet ist, das von dem IR-Detektor abnehmbar ist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der Temperatur einer Zielfläche, mit einem IR-Detektor zur Erfassung von IR-Strahlung, die von der Zielfläche ausgeht, und einer Visiereinrichtung, die einen teilweise durchlässigen Reflektor aufweist, der im Strahlengang zwischen der Zielfläche und dem IR-Detektor angeordnet ist, wobei die Visiereinrichtung einen Lasergenerator aufweist, der einen Laserstrahl erzeugt, sowie Strahlteilermittel, die den Laserstrahl in ein Bündel von wenigstens drei Teilstrahlen aufteilen, die von dem teilweise durchlässigen Reflektor auf die Zielfläche gerichtet werden, wobei die Teilstrahlen um die Mitte der Zielfläche herum kleine sichtbare beleuchtete Flächen bereitstellen.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Messen der Temperatur einer Zielfläche.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft somit insbesondere eine derartige Vorrichtung bzw. ein derartiges Verfahren, bei denen eine Visiereinrichtung bzw. Zieleinrichtung verwendet wird, die dazu ausgelegt ist, die Energiezone des Ziels, also die Zielfläche, deren Temperatur zu messen ist, mit einem Laser oder mit Laserstrahlen, die die gesamte Zielfläche oder einen Teil der Zielfläche umschreiben, anzuzielen oder zu projizieren oder zu erfassen.
  • Vorrichtungen zur Fernmessung der Temperatur mittels Infrarotstrahlung werden seit vielen Jahren dazu verwendet, die Temperatur einer Oberfläche von einem entfernt liegenden Ort aus zu messen und werden gewöhnlich als Infrarot-Pyrometer oder Radiometer bezeichnet. Das Funktionsprinzip dieser Vorrichtungen ist allgemein bekannt. Alle Oberflächen mit einer Temperatur über dem absoluten Nullpunkt emittieren Wärme in Form von Strahlungsenergie. Diese Strahlungsenergie wird durch Molekularbewegung erzeugt, die die elektromagnetischen Wellen hervorruft. Daher wird ein Teil der Energie in dem Material in geraden Linien weg von der Oberfläche des Materials abgestrahlt. Viele Infrarot-Radiometer verwenden die Prinzipien optischer Reflexion und/oder Refraktion, um die von einer vorgegebenen Oberfläche abgestrahlte Energie einzufangen. Die Infrarotstrahlung wird auf einen Detektor fokussiert und, unter Verwendung bekannter Techniken, analysiert, wobei die Oberflächenenergie akkumuliert und verarbeitet wird und anschließend die Temperatur berechnet und auf einer geeigneten Anzeige angezeigt wird.
  • Wenn derartige Radiometer dazu verwendet werden, die Oberflächentemperatur zu messen, wird das hierzu verwendete Instrument auf eine Zielfläche innerhalb der Energiezone der Oberfläche gezielt, an der die Messung vorzunehmen ist. Das Radiometer empfängt die emittierte Strahlung durch ein optisches System, so daß die Strahlung auf einen für Infrarot empfindlichen Detektor fokussiert wird. Dieser erzeugt ein Signal, das intern verarbeitet und in einen Temperaturwert umgewandelt wird, der wiederum angezeigt wird.
  • Um eine hohe Genauigkeit und Verläßlichkeit der sich ergebenden Messung zu gewährleisten, sind sowohl der genaue Ort der Energiezone an der Oberfläche als auch deren Größe außerordentlich wichtig. Es versteht sich, daß das Sichtfeld des optischen Systems eines solchen Radiometers derart ist, daß der Durchmesser der Energiezone direkt mit der Entfernung zu dem Ziel ansteigt. Die typische Energiezone von solchen Radiometern wird definiert als die Zone, in der 90% der Energie vorhanden ist, die auf den Detektor fokussiert wird. Bislang wird die Größe der tatsächlichen Energiezone bestimmt durch Verwendung einer "Zielentfernungstabelle" oder durch physikalische Messung dieser Entfernung.
  • Aus DE 195 28 590 A1 ist eine Vorrichtung zur Temperaturmessung bekannt, mit einem Detektor zum Empfang einer von einem Meßfleck auf einem Meßobjekt ausgehenden Wärmestrahlung, einem optischen System zur Abbildung der vom Meßfleck ausgehenden Wärmestrahlung auf den Detektor, sowie eine Visiereinrichtung zur Kennzeichnung der Lage und Größe des Meßflecks auf dem Meßobjekt mittels sichtbarem Licht, wobei die Visiereinrichtung eine diffraktive Optik zur Erzeugung einer Lichtintensitätsverteilung aufweist.
  • Aus DE 36 07 679 C2 ist eine parallaxefreie Visiereinrichtung für ein Pyrometer bekannt, wobei eine Objektivlinse und eine verspiegelte Fläche, die den sichtbaren Teil auffallender Strahlung reflektiert, im Pyrometer vorhanden sind und damit in bekannter Weise eine Anvisierung des Meßobjekts über ein Okular ermöglicht, wobei ein im Zentrum der Objektivlinse angeordneter Bereich für den sichtbaren Teil ankommender Strahlung eine hohe Transmission und der um diesen Bereich angeordnete Bereich der Objektivlinse für Infrarotstrahlung eine hohe Transmission besitzt.
  • Aus der US 4,647,774 ist ein Pyrometer bekannt, das dazu ausgelegt ist, entfernt von einem geheizten diffus reflektierenden Ziel angeordnet zu sein, und ein erstes elektrisches Signal von dem Teil der Zielstrahlung ableitet, die das Instrument erreicht. Ein Laserstrahl wird innerhalb des Instruments erzeugt und wird auf das Ziel gerichtet, ein Teil des Strahls wird zurück zu dem Instrument reflektiert. Ein zweites Signal wird von diesem Teil abgeleitet. Der Abstand zwischen dem Ziel und dem Instrument wird gemessen und ein drittes Signal, das von dem Abstand abhängt, wird erzeugt. Ein viertes Signal, das von dem Leistungsniveau des Strahls abhängt, wird erzeugt. Das Instrument berechnet dann aus diesen Signalen die Oberflächentemperatur des Ziels.
  • Aus der DE 36 03 464 C2 ist ein Gleichlichtpyrometer bekannt, bestehend aus einer Sammeloptik, einem Strahlungsempfänger, welcher mit einer Informationsverarbeitungseinheit mit oder ohne Temperaturanzeige verbunden ist, einer Visiereinrichtung und einem Spiegel zwischen Sammeloptik und Strahlungsempfänger, wobei der Spiegel ein selektiv wirkender Spiegel ist, welcher die durch die Sammeloptik gebündelte Wärmestrahlung derart spektral teilt, daß die Meßstrahlung im auszuwertenden Spektralbereich auf den Strahlungsempfänger reflektiert oder durchgelassen wird und mindestens ein Teil der sichtbaren Strahlung auf die Visiereinrichtung durchgelassen oder reflektiert wird und dass der selektiv wirkende Spiegel aus einem Träger besteht, auf welchem eine oder mehrere optische Schichten einseitig oder zweiseitig aufgebracht sind.
  • Vor diesem Hintergrund besteht das der Erfindung zugrunde liegende Problem darin, eine verbesserte und flexiblere Vorrichtung bzw. ein verbessertes Verfahren zur Temperaturmessung anzugeben, bei denen eine verbesserte und flexiblere Visiereinrichtung zum Zielen auf die Energiezone zum Einsatz kommt.
  • Dieses Problem wird bei der eingangs genannten Vorrichtung zur Messung der Temperatur dadurch gelöst, daß die Visiereinrichtung als Modul ausgebildet ist, das von dem IR-Detektor abnehmbar ist.
  • Bei dem eingangs genannten Verfahren zur Messung der Temperatur wird dieses Problem dadurch gelöst, dass von der Zielfläche ausgehende Infrarotstrahlung mittels eines Infrarotdetektors erfasst wird und die Zielfläche anvisiert wird, wobei sichtbares Licht zum Anvisieren der Zielfläche im Strahlengang der Infrarotstrahlen von der Zielfläche zum Infrarotdetektor mittels eines teilweise durchlässigen Reflektors umgelenkt wird, und wobei ein Laserstrahl von einem Lasergenerator in einer abnehmbaren Visiereinrichtung erzeugt und in ein Bündel von wenigstens drei Teilstrahlen aufgeteilt wird, die von dem teilweise durchlässigen Reflektor auf die Zielfläche gerichtet werden, wobei von den Teilstrahlen um die Mitte der Zielfläche herum kleine sichtbare beleuchtete Flächen bereitgestellt werden.
  • Ein Hauptvorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß eine Visiereinrichtung zur Verwendung mit oder zum Einbau in oder an einem Radiometer zum Messen der Temperatur von einem entfernten Punkt mittels Infrarot geschaffen wird, wobei die Visiereinrichtung es ermöglicht, daß das Blickfeld des Radiometers bzw. Thermometers mit einer sichtbaren gewünschten Zielfläche übereinstimmt, deren Temperatur zu messen ist.
  • Ein zweiter Vorteil der Erfindung besteht darin, daß eine solche Visiereinrichtung vollkommen unabhängig von dem optischen System des Radiometers bzw. Thermometers vorgesehen werden kann und somit an diesem keine Störung hervorruft.
  • Ein dritter Vorteil besteht darin, daß eine Visiereinrichtung geschaffen wird, die an dem Radiometer bzw. dem Thermometer leicht anbringbar und von diesem leicht abnehmbar ist.
  • Ein vierter Vorteil besteht darin, daß die Sichtlinie des Systems mit der Mittenlinie des Blickfeldes der verwendeten Detektionsoptik zusammenfällt, so daß genauere Visiervorgänge möglich sind, insbesondere, wenn man unterschiedliche Ziele anpeilt.
  • Generell schafft die Erfindung eine Visiereinrichtung bzw. ein Visiersystem für eine Temperaturmeßvorrichtung unter Verwendung von Infrarottechniken, wobei die Visiereinrichtung einen Lasergenerator verwendet, um einen Laserstrahl zu erzeugen, aus dem wenigstens drei Teillaserstrahlen erzeugt werden, die um eine Mittenlinie herum beabstandet verlaufen. Die Laserteilstrahlen werden auf einen Reflektor gerichtet, der im Sichtfeld des Radiometers angeordnet ist. Der Reflektor ist so ausgewählt, daß er (a) Infrarotlicht durchläßt und (b) Laserlicht und sichtbares Licht reflektiert. Der Reflektor ist so positioniert, daß er die Teilstrahlen derart auf das Ziel richtet, daß um die Mitte der Zielfläche herum, deren Temperatur zu messen ist, kleine sichtbare beleuchtete Flächen (z. B. "Punkte oder Flecken") bereitgestellt werden.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung dazu ausgelegt, zusätzlich einen weiteren Teilstrahl bereitzustellen, der auf der Mittenlinie verläuft und demgemäß einen beleuchteten "Fleck" in der Mitte der Zielfläche hervorruft.
  • Die Erfindung betrifft somit eine Visiereinrichtung, die für Vorrichtungen zur Temperaturmessung geeignet ist und die einen Deflektor bzw. Reflektor aufweist, der für von der Zielfläche ausgehende Infrarotstrahlen transparent, für Laserlichtstrahlen jedoch reflektierend ist, und der in einem optischen Pfad zwischen der Zielfläche und einem die Temperatur dieser Zielfläche ermittelnden Radiometer aufgenommen werden kann. Das Visiersystem umfaßt ferner Mittel zum Erzeugen einer Vielzahl von auf den Deflektor gerichteten Laserlichtstrahlen, die von dem Deflektor auf den optischen Pfad gerichtet werden können, so daß sie auf das Ziel auftreffen und zumindest einen Umriß der Zielfläche visuell identifizieren.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung eine Visiereinrichtung, die für Vorrichtungen zur Temperaturmessung geeignet ist und die einen Deflektor aufweist, der gegenüber von einer Zielfläche ausgehenden Infrarotstrahlen transparent ist, sichtbare Lichtstrahlen jedoch reflektiert, und der zur Anordnung in einem optischen Pfad zwischen der Zielfläche, deren Temperatur zu messen ist, und einem Radiometer geeignet ist, mittels dessen die Temperatur dieser Zielfläche ermittelt wird.
  • Zum dritten betrifft die Erfindung ein Verfahren zum visuellen Identifizieren von wenigstens einem Umriß einer Zielfläche, deren Temperatur zu messen ist, indem man Infrarotstrahlen entlang eines optischen Pfades von der Zielfläche auf ein Radiometer auftreffen läßt, wobei mittels eines Deflektors, der für die Infrarotstrahlen transparent ist und der in dem optischen Pfad angeordnet ist, eine Vielzahl von Laserstrahlen auf die Zielfläche abgelenkt wird, um die Zielfläche visuell zumindest zu umreißen.
  • Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum visuellen Identifizieren wenigstens eines Umrisses einer Zielfläche, deren Temperatur zu messen ist, indem man Infrarotstrahlen entlang eines optischen Pfades von der Zielfläche auf ein Radiometer treffen läßt, wobei das Verfahren den Schritt umfaßt, mittels eines Deflektors, der für Infrarotstrahlen transparent ist und in dem optischen Pfad angeordnet ist, von der Zielfläche ausgehende Lichtstrahlen so abzulenken, daß die abgelenkten Lichtstrahlen auf optische Zielmittel weiterleitbar sind.
  • Ein Hauptaspekt der Erfindung liegt darin, daß die Visiereinrichtung als Modul ausgeführt ist, das an einem Radiometer bzw. Thermometer anbringbar und von diesem wieder abnehmbar ist, wobei die Visiereinrichtung die ausgewählte Zielfläche beschreiben bzw. vermessen kann, und zwar als Umriß oder Sichtfeld entsprechend der gesamten ausgewählten Fläche oder einem Teil hiervon. Dies erfolgt, indem man Ablenkungsmittel für sichtbares Licht und/oder für Laserlicht in einen optischen Pfad für Infrarotlicht zwischen der Zielfläche und Wärmeerfassungsmitteln des Radiometers einfügt, wobei die Ablenkungsmittel so ausgelegt sind, daß sie den normalen Betrieb der Infrarot-Temperaturmessung nicht verändern oder stören.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform der Erfindung unter Verwendung von Laserlicht zur Zielbeleuchtung;
  • 2 eine Draufsicht auf einen Teil eines Ziels, auf dem ein Fleckenmuster von der erfindungsgemäßen Vorrichtung bereitgestellt ist;
  • 3 eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform nicht gemäß der Erfindung unter Verwendung von sichtbarer Licht zur Zielvisierung; und
  • 4 eine Draufsicht auf einen Teil des anvisierten Ziels nicht gemäß der Erfindung.
  • In den 1 und 2 der Zeichnung ist eine erste Ausführungsform der Vorrichtung gezeigt. Ein Lasergeneratormodul 1 erzeugt einen einzelnen Laserstrahl 2, der durch Strahlteilermittel 3 geführt wird, die beispielsweise von einem Diffraktionsgitter, einem Strahlteiler oder einem Prisma gebildet sein können. Die Strahlteilermittel 3 sind so konstruiert, daß der einzelne Laserstrahl 2 in eine Vielzahl von divergierenden Teilstrahlen aufgeteilt wird. In der dargestellten Ausführungsform wird der einzelne Laserstrahl 2 in zwölf Teilstrahlen 3a aufgeteilt, die symmetrisch mit gleichen Abständen auf einem Kreis angeordnet sind, und in einen einzelnen zentralen Teilstrahl 3b. Die Vielzahl von Teilstrahlen 3a, 3b verlaufen zu einem Spiegel 4, der unter einem Winkel von 45° zur Horizontalen angeordnet ist, so daß diese Teilstrahlen um 90° abgelenkt werden. In der Folge treffen die Teilstrahlen 3a, 3b auf einen teilweise durchlässigen Reflektor (Infrarotfilter/Spiegel) 7, der die Eigenschaften hat, (a) Infrarotstrahlen durchzulassen, und (b) Laserlicht zu reflektieren. Es können (nicht dargestellte) Mittel vorgesehen sein, um die Position des Spiegels 4 mechanisch einzustellen, beispielsweise durch einen Motorantrieb oder durch eine Einstellschraube.
  • In 1 ist die Vorrichtung zur Temperaturmessung nur schematisch gezeigt. Sie enthält einen Infrarotdetektor 5, dem eine Infrarotlinse 6 zugeordnet ist.
  • Ein Ziel 8, dessen Temperatur zu messen ist, sendet Infrarotstrahlen auf die Infrarotlinse 6. Diese konzentriert die empfangenen Strahlen auf den Detektor 5. Die von der Kombination der Elemente 5, 6 erfaßte Zielfläche 9 ist kreisförmig. Der Reflektor 7 richtet die Sammlung von Teilstrahlen 3a, 3b auf dieselbe kreisförmige Fläche auf dem Ziel und definiert hierdurch eine kreisförmige Fläche auf dem Ziel in Form eines Kreises 11 aus beleuchteten "Flecken" bzw. "Punkten" 11a. Der zentrale Teilstrahl 3b trifft auf die Mitte 10 der Zielfläche 9 auf. Es versteht sich, daß der zentrale Teilstrahl 3b weggelassen werden kann, so daß nur die kreisförmige Anordnung der Teilstrahlen 3a verwendet wird.
  • Für Benutzer der Vorrichtung ergibt sich dann unmittelbar, welche kreisförmige Fläche des Ziels zur Temperaturmessung herangezogen wird, da diese Fläche von den deutlich sichtbaren Flecken 11a umrissen wird.
  • In den 3 und 4 der Zeichnung wird eine andere Art der Anvisierung verwendet. Bei dieser nicht erfindungsgemäßen Ausführungsform ist ein Zielfernrohr bzw. Visierteleskop 12 in Ausrichtung mit einem lichtreflektierenden Spiegel 13 so angeordnet, daß der Spiegel 13 Lichtstrahlen 14 auf das Fernrohr 12 reflektiert, die auf den Spiegel 13 von einem Reflektor (Infrarotfilter/Spiegel) 15 gerichtet werden, der die Eigenschaften hat, (a) Infrarotstrahlen durchzulassen, und (b) sichtbares Licht zu reflektieren.
  • Auch bei dieser Ausführungsform ist die Vorrichtung zur Temperaturmessung lediglich schematisch gezeigt. Sie enthält einen Infrarotdetektor 16, dem eine Infrarotlinse 17 zugeordnet ist. Das Ziel 18, dessen Temperatur zu messen ist, sendet Infrarotstrahlen in Richtung auf die Infrarotlinse 17. Diese konzentriert die empfangenen Strahlen auf den Infrarotdetektor 16. Die von der Kombination der Elemente 16, 17 erfaßte Zielfläche 19 ist kreisförmig. Eine konzentrische, jedoch kleinere Fläche 20 des Ziels sendet sichtbare Strahlen 14 auf den Reflektor 15, so daß ein durch das Zielfernrohr 12 sehender Betrachter die kreisförmige Fläche 20 sieht und somit erkennen kann, auf welchen Teil des Ziels die Vorrichtung zur Temperaturmessung gerichtet ist.
  • In beiden Ausführungsformen kann der Reflektor 7 bzw. 15 derartige optische Eigenschaften haben, daß er Infrarotenergie mit Wellenlängen im Bereich von 8 bis 14 μm durchläßt.
  • Es ist ein weiteres Merkmal der Erfindung, daß das System zur Erfassung und Ausrichtung, bestehend aus den Elementen 1, 3, 4 und 7 in 1 und 2, so ausführbar sein kann, daß es an dem verbleibenden Teil der Vorrichtung anbringbar und von diesem wieder abnehmbar ist.
  • Ein wesentliches Merkmal, das beiden beschriebenen Ausführungsformen gemeinsam ist, liegt in der Verwendung von Licht/Laser-Spiegelmitteln, die in den Pfad zur Infrarotlichtübertragung eingefügt sind, um die "sichtbaren" Strahlen in den Infrarotpfad hinein bzw. aus diesem heraus abzulenken, ohne den Infrarotpfad selbst zu beeinflussen.
  • In beiden Ausführungsformen besteht das zu erreichende Ziel darin, eine Übereinstimmung zwischen dem, was der Benutzer sieht bzw. anvisiert, und der Zielfläche zu schaffen, deren Temperatur gemessen wird, d. h. mit anderen Worten, einen leichten und genauen Zielvorgang für das Radiometer bereitzustellen. Es ist ein Vorteil der hier offenbarten Visiersysteme, daß diese nicht mit dem optischen System des Radiometers interferieren. Im Ergebnis kann das Visiersystem unabhängig von dem Radiometer hergestellt werden und kann als Zusatz zu dem Radiometer verwendet werden. Hierdurch lassen sich sowohl die Herstellung als auch die Lagerhaltung besser steuern.
  • Die Strahlteilermittel 3 können als Diffraktions-Gitterlinse ausgeführt sein. Das Sichtfeld des optischen Systems 5, 6 des Radiometers kann derart ausgelegt sein, daß die Zielfläche 9 etwas größer ist als der durch die Laserlicht-"Flecken" 11a definierte Kreis 11. Wenn die Strahlteilermittel 3 weggelassen würden, würde das Lasergeneratormodul 1 über die Elemente 4, 7 einen einzelnen Laserstrahl auf das Zentrum 10 der Zielfläche 9 projizieren, so daß dort ein einzelner Laser-"Fleck" entstehen würde.

Claims (4)

  1. Vorrichtung zur Messung der Temperatur einer Zielfläche (9), mit einem IR-Detektor (5) zur Erfassung von IR-Strahlung, die von der Zielfläche (9) ausgeht, einer Visiereinrichtung (14, 7), die einen teilweise durchlässigen Reflektor (7) aufweist, der im Strahlengang zwischen der Zielfläche (9) und dem IR-Detektor (5) angeordnet ist, wobei die Visiereinrichtung (14, 7) einen Lasergenerator (1) aufweist, der einen Laserstrahl (2) erzeugt, sowie Strahlteilermittel (3), die den Laserstrahl (2) in ein Bündel von wenigstens drei Teilstrahlen (3a) aufteilen, die von dem teilweise durchlässigen Reflektor (7) auf die Zielfläche (9) gerichtet werden, wobei die Teilstrahlen (3a) um die Mitte (10) der Zielfläche (9) herum kleine sichtbare beleuchtete Flächen (11a) bereitstellen, dadurch gekennzeichnet, dass die Visiereinrichtung (14, 7) als Modul ausgebildet ist, das von dem IR-Detektor abnehmbar ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstrahlen (3a) einen Kreis (11) aus den Laserlichtflecken (11a) auf der Zielfläche (9) definieren.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein weiterer Teillaserstrahl (3b) auf das Zentrum (10) der Zielfläche (9) gerichtet ist.
  4. Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche (9), mit den Schritten: Erfassen von von der Zielfläche (9) ausgehender Infrarotstrahlung mittels eines Infrarotdetektors (5); und Anvisieren der Zielfläche (9), wobei sichtbares Licht (3a, 3b) zum Anvisieren der Zielfläche (9) im Strahlengang der Infrarotstrahlen von der Zielfläche (9) zum Infrarotdetektor (5) mittels eines teilweise durchlässigen Reflektors (7) umgelenkt wird, und wobei ein Laserstrahl (2) von einem Lasergenerator (1) einer abnehmbaren Visiereinrichtung (14, 7) erzeugt und in ein Bündel von wenigstens drei Teilstrahlen (3a) aufgeteilt wird, die von dem teilweise durchlässigen Reflektor (7) auf die Zielfläche (9) gerichtet werden, wobei von den Teilstrahlen (3a) um die Mitte (10) der Zielfläche (9) herum kleine sichtbare beleuchtete Flächen (11a) bereitgestellt werden.
DE19828454A 1997-06-27 1998-06-26 Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche Expired - Fee Related DE19828454B4 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US5105697P 1997-06-27 1997-06-27
US60/051,056 1997-06-27
US5644397P 1997-08-25 1997-08-25
US60/056,443 1997-08-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19828454A1 DE19828454A1 (de) 1999-01-07
DE19828454B4 true DE19828454B4 (de) 2008-11-06

Family

ID=26729014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19828454A Expired - Fee Related DE19828454B4 (de) 1997-06-27 1998-06-26 Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche

Country Status (3)

Country Link
CA (1) CA2241761C (de)
DE (1) DE19828454B4 (de)
GB (1) GB2327493B (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2836621B1 (fr) * 2002-02-28 2004-04-16 Snecma Services Instrument de projection thermique
FR2836620B1 (fr) * 2002-02-28 2004-04-16 Snecma Services Instrument de projection thermique
FR2836619B1 (fr) * 2002-02-28 2004-04-16 Snecma Services Instrument de projection thermique
DE102005018856B4 (de) * 2005-04-22 2009-02-05 Raytek Gmbh Vorrichtung zur Visualisierung eines Messflecks
GB201121657D0 (en) 2011-12-16 2012-01-25 Land Instr Int Ltd Radiation thermometer
US11927488B2 (en) * 2019-01-03 2024-03-12 Chia-Ling Chen Thermal detection system capable of providing early warning and related products
CN112033548A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 北京泊菲莱科技有限公司 一种装置内部表面温度的测量方法及测量设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4647774A (en) * 1985-03-04 1987-03-03 Quantum Logic Corporation Pyrometer #2
DE3603464C2 (de) * 1985-04-03 1989-01-12 Veb Messgeraetewerk "Erich Weinert" Magdeburg Betrieb Des Kombinates Veb Eaw Berlin-Treptow "Friedrich Ebert", Ddr 3011 Magdeburg, Dd
DE3607679C2 (de) * 1985-05-07 1989-02-16 Veb Messgeraetewerk "Erich Weinert" Magdeburg Betrieb Des Kombinates Veb Eaw Berlin-Treptow "Friedrich Ebert", Ddr 3011 Magdeburg, Dd
DE19528590A1 (de) * 1995-08-03 1997-02-06 Raytek Gmbh Vorrichtung zur Temperaturmessung

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4647775A (en) * 1985-03-04 1987-03-03 Quantum Logic Corporation Pyrometer 1

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4647774A (en) * 1985-03-04 1987-03-03 Quantum Logic Corporation Pyrometer #2
DE3603464C2 (de) * 1985-04-03 1989-01-12 Veb Messgeraetewerk "Erich Weinert" Magdeburg Betrieb Des Kombinates Veb Eaw Berlin-Treptow "Friedrich Ebert", Ddr 3011 Magdeburg, Dd
DE3607679C2 (de) * 1985-05-07 1989-02-16 Veb Messgeraetewerk "Erich Weinert" Magdeburg Betrieb Des Kombinates Veb Eaw Berlin-Treptow "Friedrich Ebert", Ddr 3011 Magdeburg, Dd
DE19528590A1 (de) * 1995-08-03 1997-02-06 Raytek Gmbh Vorrichtung zur Temperaturmessung

Also Published As

Publication number Publication date
GB2327493B (en) 2002-02-27
DE19828454A1 (de) 1999-01-07
CA2241761A1 (en) 1998-12-27
CA2241761C (en) 2007-03-06
GB2327493A (en) 1999-01-27
GB9813935D0 (en) 1998-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69518196T2 (de) Verbesserungen von Strahlungsthermometern
DE102015001421B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
EP0987564B1 (de) Vorrichtung zur optischen Distanzmessung
EP1405037B1 (de) Vorrichtung zur optischen distanzmessung über einen grossen messbereich
DE19528590C2 (de) Vorrichtung zur Temperaturmessung
EP0264404B1 (de) Vorrichtung zum selbsttaetigen fokussieren eines auflichtmikroskopes
DE69922139T2 (de) Strahlteiler mit versetzten oeffnungen fuer sender/empfaenger in einem optomechanischen lasersystem
EP0801760A1 (de) Verfahren zur ermittlung der lage eines objektdetails relativ zu einem operationsmikroskop und vorrichtung dazu
DE10115577A1 (de) Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
EP3583390A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer fokuslage eines laserstrahls
DE3710486C1 (de) Vorrichtung zur Messfleckmarkierung bei einem Strahlungsmessgeraet
DE102007030880B4 (de) Vorrichtung zur Erfassung einer Objektszene
DE10160623B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines Laserbearbeitungsvorgangs, insbesondere eines Laserschweißvorgangs
DE19828454B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche
DE102010016462B4 (de) Schichtmessverfahren und Messvorrichtung
DE102008055486A1 (de) Optische Messanordnung und optisches Messverfahren
DE3406175A1 (de) Spektralmesskopf
DE10021379A1 (de) Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung
EP1260848B1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung, Mikroskop und Verfahren zur Mikroskopie
DE3787373T2 (de) Gerät zur Fernmessung von Temperaturen.
DE10036720A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Infrarot-Temperaturmessung
EP2435852B1 (de) Zieloptikvorrichtung
DE102012012981B3 (de) Optische Anordnung zur Laserbearbeitung einer Werkstückoberfläche sowie Verfahren zur Überwachung des Bearbeitungsprozesses
DE6918690U (de) Laser-entfernungsmess- und zielgeraet
DE102010029818B4 (de) Positionssensor

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: WITTE, WELLER & PARTNER, 70178 STUTTGART

8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee