DE19733215A1 - Method and device for the pneumatic handling of wafer sheets - Google Patents
Method and device for the pneumatic handling of wafer sheetsInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur pneumatischen Handhabung von Waffelblättern, wobei zwischen einem Waffelblatt und einer dem Waffelblatt zugekehrten Stirnfläche einer Halteplatte ein Unterdruck erzeugt wird.The invention relates to a method for pneumatic Handling waffle sheets, being between one Waffle sheet and an end face facing the waffle sheet a holding plate creates a negative pressure.
Großflächige Waffelblätter müssen nach dem Backvorgang und bis hin zur Herstellung von bestrichenen oder gefüllten Waffeln in vielfältiger Weise gehandhabt werden. Insbesondere müssen die Waffelblätter angehoben und abgelegt, gewendet, geschwenkt, gestapelt und entstapelt werden.Large waffle sheets need to be baked after and to the production of coated or filled Waffles can be handled in a variety of ways. In particular the wafer sheets have to be lifted and put down, turned, be pivoted, stacked and unstacked.
Da die Waffelblätter empfindliche Gebilde darstellen, die leicht beschädigt oder zerstört werden können, werden anstelle von mechanischen Greifvorrichtungen bisher überwiegend Vakuum-Saugvorrichtungen verwendet, bei denen die Waffelblätter durch einen Saugvorgang an die Stirnfläche einer Halteplatte angesaugt und gehalten werden, worauf die Halteplatte in der jeweils erforderlichen Weise bewegt, beispielsweise angehoben und/oder geschwenkt wird. Hierfür münden in der Stirnfläche der Halteplatte Saugkanäle, die an eine Unterdruckquelle angeschlossen sind. Since the wafer sheets represent delicate structures that can easily be damaged or destroyed so far instead of mechanical gripping devices predominantly vacuum suction devices used, in which the Wafer sheets by suction on the face be sucked and held on a holding plate, whereupon the Holding plate moved in the required manner, for example, is raised and / or pivoted. Therefor In the end face of the holding plate, suction channels open a vacuum source are connected.
Beim Saugvorgang können lose Waffelpartikel und Cremereste angesaugt werden. Dies kann zu einer Verschmutzung oder sogar Verstopfung der Saugkanäle oder weiterer angeschlossener Unterdruckleitungen führen.Loose waffle particles and cream residue can occur during the suction process be sucked in. This can lead to pollution or even Blockage of the suction channels or other connected Lead vacuum lines.
Deshalb ist es erforderlich, Filter oder Zyklon-Abscheider vorzusehen, um die Verunreinigungen zurückzuhalten bzw. abzuscheiden. Beide konstruktiven Maßnahmen sind zum einen mit größerem Bauaufwand verbunden; zum anderen können die Filter oder Zyklon-Abscheider verstopft oder zugesetzt werden, so daß regelmäßige Reinigungen erforderlich sind. Gleichwohl können in den Unterdruckleitungen Verunreinigungen zurückbleiben, die ein Hygieneproblem darstellen.Therefore it is necessary to use filters or cyclone separators to be provided in order to retain the impurities or to separate. On the one hand, both constructive measures are associated with greater construction costs; on the other hand, they can Filter or cyclone separator clogged or clogged so that regular cleaning is required. Nonetheless, contamination can occur in the vacuum lines remain, which are a hygiene problem.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren der eingangs genannten Gattung zu schaffen, bei dem die Gefahr eines Verstopfens oder einer Verschmutzung der angeschlosse nen Leitungen nicht besteht.The object of the invention is therefore a method of to create the type mentioned, in which the danger a blockage or contamination of the connected lines do not exist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen der Stirnfläche und dem Waffelblatt eine flächen parallele Luftströmung erzeugt wird.This object is achieved in that a surface between the face and the wafer sheet parallel air flow is generated.
Diese flächenparallele Luftströmung erzeugt zwischen dem Waffelblatt und der ihm zugekehrten Stirnfläche einen Unterdruck, durch den das Waffelblatt in Richtung auf die Stirnfläche gesaugt wird. Gleichwohl wird hierbei keine Luft in Kanäle eingesaugt, so daß auch keine Verunreinigungen angesaugt werden können. Die zwischen dem Waffelblatt und der Stirnfläche strömende Luft tritt am Rand des Waffelblatts in die Umgebung aus. Von der Luftströmung mitgerissene Verunreinigungen fallen infolge der Verlangsamung der austretenden Luftströmung aus oder können durch herkömmliche Absaughauben aufgefangen werden. Die Gefahr einer Verschmut zung oder Verstopfung von Leitungen, Saugkästen oder Filtern besteht nicht.This parallel air flow creates between the Wafer sheet and the face facing it one Vacuum, through which the wafer sheet in the direction of the End face is sucked. Nevertheless, there is no air sucked into channels so that no contamination can be sucked in. The between the wafer sheet and the Air flowing in the face enters at the edge of the wafer sheet the environment. Airborne Impurities fall as a result of the slowdown in the escaping air flow or can by conventional Extraction hoods are collected. The danger of being dirty or lines, suction boxes or filters does not exist.
Vorzugsweise wird die flächenparallele Luftströmung durch Zufuhr von Druckluft in einem mittleren Bereich der Stirnfläche und Austritt im Randbereich der Stirnfläche erzeugt.The parallel air flow is preferably carried out by Supply of compressed air in a central area of the End face and outlet in the edge area of the end face generated.
Hierfür hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die zugeführte Druckluft am Eintritt in den Spalt zwischen der Stirnfläche und dem Waffelblatt parallel zur Stirnfläche umzulenken. Dadurch wird verhindert, daß die austretende Druckluft einen Strömungsdruck auf das Waffelblatt an der Austrittsstelle ausübt, der zu einer Beschädigung des sehr empfindlichen Waffelblatts führen könnte.For this, it has proven to be advantageous to use the feed Compressed air at the entry into the gap between the face and redirect the waffle sheet parallel to the face. This prevents the compressed air from escaping Flow pressure on the wafer sheet at the exit point that damages the very sensitive Wafer sheet could result.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Ausgehend von einer Vorrichtung mit einer beweglichen Halteplatte, die die Stirnfläche bildet, in die mindestens ein Luftkanal mündet, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß der Luftkanal an eine Druckluftquelle, beispielsweise auch ein Gebläse, angeschlossen ist und daß vor der Mündung des Luftkanals eine Umlenkplatte parallel und im Abstand zur Stirnfläche angeordnet ist, wobei zwischen der Umlenkplatte und der Stirnfläche ein Luftaustrittsspalt gebildet wird. The invention also relates to a device for carrying it out of the procedure. Starting from a device with a movable holding plate, which forms the end face, in the at least one air duct opens, is according to the invention provided that the air duct to a compressed air source, for example, a blower is connected and that before the mouth of the air duct a baffle parallel and is arranged at a distance from the end face, wherein between the Deflection plate and the front face an air outlet gap is formed.
Bei einfachem konstruktivem Aufbau und einfacher Herstel lungsmöglichkeit wird so die Erzeugung einer flächenparalle len Luftströmung ermöglicht.With a simple construction and simple manufacture The possibility of creating a parallel area is possible len air flow allows.
Die Umlenkplatte kann im festen Abstand oder in einstellbarem Abstand zur Stirnfläche angeordnet sein. Statt dessen ist es auch möglich, die Umlenkplatte gegenüber der Stirnfläche parallelbeweglich zu führen, so daß sich diese unter der Wirkung der austretenden Luftströmung von selbst auf einen günstigen Abstand einstellt.The baffle plate can be at a fixed distance or in adjustable Distance to the end face. Instead it is also possible the baffle plate opposite the end face to move parallel, so that this is under the Effect of the emerging air flow on yourself sets a favorable distance.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgedankens sind Gegenstand weiterer Unteransprüche.Further advantageous refinements of the inventive concept are the subject of further subclaims.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert, die in der Zeichnung dargestellt sind. Es zeigt:Exemplary embodiments of the invention are described in more detail below explained, which are shown in the drawing. It shows:
Fig. 1 einen Schnitt durch eine Halteplatte einer Vorrichtung zur pneumatischen Handhabung von Waffelblättern, Fig. 1 shows a section through a support plate of an apparatus for pneumatic handling of wafers,
Fig. 2 eine vergrößerte Einzelheit bei II in Fig. 1, Fig. 2 is an enlarged detail at II in Fig. 1,
Fig. 3 in einem Schnitt ähnlich der Fig. 1 eine abgewandelte Ausführungsform mit seitlichen Führungsanschlägen für das Waffelblatt, Fig. 3 is similar in a section of Fig. 1 a modified embodiment having lateral guide stops for the wafer sheet,
Fig. 4 eine vergrößerte Einzelheit bei IV in Fig. 3, Fig. 4 is an enlarged detail at IV in Fig. 3,
Fig. 5 in einem Schnitt entsprechend den Fig. 1 und 3 eine weitere abgewandelte Ausführungsform einer Halteplatte zur Handhabung von Waffelblättern, Fig. 5 in a section corresponding to Figs. 1 and 3, a further modified embodiment of a holding plate for handling of wafers,
Fig. 6 eine vergrößerte Einzelheit bei VI in Fig. 5, Fig. 6 is an enlarged detail at VI in Fig. 5,
Fig. 7 in einem Schnitt entsprechend den Fig. 1, 3 und 5 eine Halteplatte zur Handhabung von profilierten Waffelblättern und Fig. 7 in a section corresponding to FIGS. 1, 3 and 5, a holding plate for handling profiled wafer sheets and
Fig. B eine vergrößerte Einzelheit bei VIII in Fig. 7. Fig. B shows an enlarged detail at VIII in Fig. 7.
Fig. 1 zeigt eine Halteplatte 1, die ein bewegliches Teil einer (nicht dargestellten) Vorrichtung zur Handhabung von Waffelblättern 2 bildet. In ihrem mittleren Bereich weist die Halteplatte 1 ein Anschlußstück 3 auf, durch das sich ein Luftkanal 4 erstreckt, der an eine in Fig. 1 nur schematisch angedeutete Druckluftquelle 5 angeschlossen ist. Der Luftkanal 4 mündet im mittleren Bereich der Halteplatte 1, die eine dem Waffelblatt 2 zugekehrte Stirnfläche 6 aufweist. Vor der Mündung 7 des Luftkanals 4 (Fig. 2) ist eine Umlenkplatte 8 parallel und im Abstand zur Stirnfläche 6 angeordnet. Zwischen der Umlenkplatte 8 und der Stirnfläche 6 wird ein Luftaustrittsspalt 9 gebildet, durch den nach allen Seiten eine Luftströmung flächenparallel zur Stirnfläche 6 austritt. Fig. 1 shows a holder plate 1, which forms a movable part of a device (not shown) for handling of wafers. 2 In its central region, the holding plate 1 has a connecting piece 3 , through which an air duct 4 extends, which is connected to a compressed air source 5, which is only schematically indicated in FIG. 1. The air channel 4 opens into the central region of the holding plate 1 , which has an end face 6 facing the wafer sheet 2 . In front of the mouth 7 of the air duct 4 ( FIG. 2), a deflection plate 8 is arranged parallel and at a distance from the end face 6 . An air outlet gap 9 is formed between the deflection plate 8 and the end face 6 , through which an air flow emerges on all sides parallel to the end face 6 .
Die Umlenkplatte 8 ist an ihrer Rückseite mit einem Führungszapfen 10 verbunden, der im Luftkanal 4 mit seitlichem Spiel aufgenommen ist. Ein Gewindeabschnitt 11 am entgegengesetzten Ende des Führungszapfens 10 ist in ein Innengewinde des Anschlußstücks 3 eingeschraubt und trägt eine Kontermutter 12. Damit ist die axiale Stellung des Führungszapfens 10 und damit die Breite des Luftaustritts spaltes 9 einstellbar begrenzt.The deflection plate 8 is connected on its rear side to a guide pin 10 which is received in the air duct 4 with lateral play. A threaded section 11 at the opposite end of the guide pin 10 is screwed into an internal thread of the connection piece 3 and carries a lock nut 12 . So that the axial position of the guide pin 10 and thus the width of the air outlet gap 9 is limited adjustable.
Die flächenparallele Luftströmung zwischen der Stirnfläche 6 der Halteplatte 1 und dem Waffelblatt 2 erzeugt im Spalt zwischen der Stirnfläche 6 und dem Waffelblatt 2 einen Unterdruck, durch den das Waffelblatt 2 in Richtung auf die Stirnfläche 6 gesaugt bzw. vom Umgebungsdruck gedrückt wird, wie in Fig. 1 mit Pfeilen 13 angedeutet ist. Am Rand der Halteplatte 1 tritt die flächenparallele Luftströmung aus, wie mit Pfeilen 14 angedeutet ist.The parallel air flow between the end face 6 of the holding plate 1 and the waffle sheet 2 creates a negative pressure in the gap between the end face 6 and the waffle sheet 2 , through which the waffle sheet 2 is sucked in the direction of the end face 6 or is pressed by the ambient pressure, as in FIG is indicated. 1 with arrows. 13 The parallel air flow emerges at the edge of the holding plate 1 , as indicated by arrows 14 .
Das so in seiner Lage vor der Stirnfläche 6 gehaltene Waffelblatt 2 kann durch Anheben, Verschwenken oder sonstige Bewegung der Halteplatte 1 in der erforderlichen Weise gehandhabt werden, beispielsweise angehoben und gestapelt werden. Um das Waffelblatt 2 von der Halteplatte 1 zu lösen, genügt es, die Druckluftzufuhr aus der Druckluftquelle 5 zu unterbrechen.The wafer sheet 2 thus held in its position in front of the end face 6 can be handled, for example lifted and stacked, by lifting, pivoting or other movement of the holding plate 1 . In order to detach the wafer sheet 2 from the holding plate 1 , it is sufficient to interrupt the compressed air supply from the compressed air source 5 .
Die in den Fig. 3 und 4 dargestellte, abgewandelte Ausfüh rungsform unterscheidet sich von der Ausführungsform nach den Fig. 1 und 2 im wesentlichen dadurch, daß die Umlenkplatte 8 an ihrer Rückseite über einzelne Abstandsstücke 15 in festem Abstand vor der Stirnfläche 6 befestigt ist. Am Rand der Stirnfläche 6 der Führungsplatte 1 sind seitliche Führungsan schläge 16 angebracht, die den Rand des Waffelblatts 2 gegen eine seitliche Verschiebung halten.In Figs. 3 and 4 shown, modified exporting approximate shape 1 and 2 differs from the embodiment according to Fig. Essentially in that the baffle plate 8 is fixed on its rear side via individual spacers 15 at a fixed distance in front of the end face 6. At the edge of the end face 6 of the guide plate 1 , lateral guide stops 16 are attached, which hold the edge of the wafer sheet 2 against lateral displacement.
Von den bisher beschriebenen Ausführungsformen unterscheidet sich das Ausführungsbeispiel nach den Fig. 5 und 6 im wesentlichen dadurch, daß die vor der Mündung 7 des Luftkanals 4 angeordnete Umlenkplatte 8 gegenüber der Stirnfläche 6 parallelbeweglich ist. Die Umlenkplatte 8 ist daher in begrenztem Maße schwimmend angeordnet. Der an der Rückseite der Umlenkplatte 8 angebrachte Führungszapfen 10 trägt hierbei an seinem freien Ende einen Anschlagring 17, der an einem Absatz 18 des Luftkanals 4 anschlägt und somit die Bewegung der Umlenkplatte 8 senkrecht zur Stirnfläche 6 begrenzt.The embodiment according to FIGS. 5 and 6 differs from the previously described embodiments essentially in that the deflection plate 8 arranged in front of the mouth 7 of the air duct 4 is movable parallel to the end face 6 . The deflection plate 8 is therefore arranged to be floating to a limited extent. The guide pin 10 attached to the rear side of the deflection plate 8 here carries at its free end a stop ring 17 which strikes a shoulder 18 of the air duct 4 and thus limits the movement of the deflection plate 8 perpendicular to the end face 6 .
Bei dem in dem Fig. 7 und 8 dargestellten, abgewandelten Ausführungsbeispiel ist die Umlenkplatte 8' an ihrer dem Waffelblatt 2' zugekehrten Außenseite mit einem Zentriervor sprung 19 versehen, der in eine Vertiefung 20 des Waffel blatts 2' eingreift und dadurch das Waffelblatt 2' in seiner Lage vor der Stirnfläche 6 zentriert. Der Luftaustrittsspalt 9' besteht hierbei aus Luftschlitzen, die in Form und Lage dem zu haltenden Waffelblatt 2' angepaßt sind.In the modified embodiment shown in FIGS . 7 and 8, the deflection plate 8 'is provided on its outside facing the wafer sheet 2 ' with a centering projection 19 which engages in a recess 20 of the wafer sheet 2 'and thereby the wafer sheet 2 ' centered in its position in front of the end face 6 . The air outlet gap 9 'consists of air slots which are adapted in shape and position to the wafer sheet 2 ' to be held.
Bei diesem Beispiel weist das Waffelblatt 2' Auswölbungen 21 auf, die der Stirnfläche 6 zugekehrt sind und an dieser anliegen. Die flächenparallele Luftströmung strömt zwischen diesen Auswölbungen 21 hindurch und erzeugt in der schon beschriebenen Weise auch hier einen Unterdruck, der das Waffelblatt 2' an der Halteplatte 1 hält.In this example, the waffle sheet 2 'has bulges 21 which face the end face 6 and bear against it. The air flow parallel to the surface flows between these bulges 21 and, in the manner already described, also generates a negative pressure here, which holds the wafer sheet 2 ′ on the holding plate 1 .
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